匀胶显影机PM标准作业指导书.docx
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匀胶显影机PM标准作业指导书.docx
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匀胶显影机PM标准作业指导书
匀胶显影机PM标准作业指导书
SVG88系列匀胶/显影机PM标准作业指导书1.SVG88匀胶机的胶盘拆装清洗和检查
1.1打开前门,关掉马达控制器,马达控制器开关有如下几种:
新区匀胶机1#,2#,13#,14#,15#,16#,17#,18#马达控制器开关
老区匀胶机1#,2#共用一个马达控制器控制器开关
老区匀胶机3#,4#,19#,20#,21#,22#及新区匀胶机23#,24#马达控制器控制器开关
老区匀胶机5#,6#马达控制器开关
老区匀胶机7#,8#马达控制器开关
老区匀胶机9#,10#马达控制器开关
老区匀胶机11#,12#马达控制器控制器开关
老区匀胶机15#,16#马达控制器开关在设备右后方
老区匀胶机13#,14#,17#,18#及新区匀胶机3#,4#无马达控制器控制器开关
1.2拿去金属安全罩,掀开定中心部件,拆下吸盘。
。
金属安全罩
定中心部件
吸盘
吸盘固定螺丝
2个
1.3关掉面板电源(这时主轴将下降),取出胶盘盖及方块漏斗并放入与通道号对应的盒子中,再拆下背面清洗的喷头部件。
面板电源
方块漏斗
胶盘盖
背面清洗的喷
头部件
背清管接头
1.4拆下胶盘部件(注意:
不要碰到刮边的弯头)并放入周转箱内送正胶清洗槽清洗;1.5用丙酮清洁机器上胶盘位置的残胶和滴胶头移动的导杆,再用酒精清洁滴胶头移动的导
杆,最后导杆加油润滑;
滴胶头导杆
1.6先用丙酮清洁吸盘表面,再用酒精清洁吸盘表面;
1.7待胶盘清洗好后,按顺序装好胶盘和吸盘,要注意吸盘安装位置(吸盘必须装到底,锁
紧螺钉必须锁紧),检查确认胶盘和滴胶臂不存在摩擦,否则重新检查胶盘位置;1.8打开马达控制器开关,打开面板电源,选9#背清程序用透明试片和刮边测试程序用试片
检查背清和刮边状态是否正常,背清液大小及试片背面是否有沾污,清边大小及是否有
大小边,否则调整;
背清喷头位置
1.9检查机器盘清是否正常,机器下面是否存在漏液现象,有则查明原因,如果是胶盘装配
问题则重装胶盘,不是则通知工程师;
1.10清洁胶盘拆装过程中滴在机器上的胶。
1.11显影通道滴液臂导杆清洁方法同匀胶滴胶臂导杆清洁方法(清洁用试剂丙酮改为无水酒
精)
注意:
关掉马达控制器电源后才能清洁吸盘,关掉面板开关后才能移动滴胶臂。
2.DUNA700匀胶机的胶盘拆装清洗和检查
2.1DUNA700匀胶机的胶盘清洗和SVG88匀胶通道差不多,但是要注意:
2.2控制面板不相同
面板电源
2.3背清喷头位置及结构不同
背清喷头位置
2.4胶盘盖有清洗功能的通道,拆开下胶盘盖上的盘清接头螺母后,要倾斜胶盘盖等胶盘盖里的清洗液滴干净,拆下的液管也要滴干净里面的液体;用11#呆扳手与小的活络扳手拆下胶盘芯下面的背清管接头,取出胶盘芯。
胶盘盖清洗部件
背清管接头
2.5正胶通道的胶盘放入正胶清洗槽清洗,负胶通道的胶盘放入负胶清洗槽浸泡后再清洗。
正胶清洗槽负胶清洗槽2.6清洗结束后,必须用气吹背清接头,保证背清的管路的畅通,如有异常及时处理。
2.7装好胶盘后,必须检查状态(吸盘的位置,背清的大小,是否有漏液现象等等)3.清洗的液体
正胶用丙酮清洗,负胶用溴代正丙烷,CSD用纯水清洗。
4.匀胶通道检查
4.1检查各部件(吸盘,手臂,热板,定中心挡块)表面卫生状况,如发现各部件上有胶用对应的试剂清洁干净(负胶用溴代正丙烷,正胶用丙酮)。
清洁部件时必须注意一下几点:
4.1.1在清洁吸盘前必须关闭通道的马达控制器的电源或关机后进行擦洗,不得在未关机或未关闭马达控制器的情况下,清洁吸盘。
4.1.2清洁热板时必须把热板进行降温后进行清洁以免烫伤(关机15分钟后清洁),在清洁热板时注意不要撞到热板的三根顶针。
顶针
4.1.3清洁手臂与定中心挡块时要特别小心,防止手臂与定中心挡块位置变动。
4.2检查通道背清状况,手动涂覆一片圆片,涂好后去聚光灯下检查圆片背面看是否有背面沾污,如有沾污用玻璃片检查背清状态,调节背清液量或背清出液方向。
4.3检查老区匀胶机热板间隙
4.3.1将wafer放在热板上,切换到MANUAL,按Start,查看wafer与热板间有无间隙,要求有间隙。
要求有间隙
4.3.2将测试样片放在热板上,注意放置方向,边缘突出的面与热板顶针接触,切换到MANUAL,按Start,查看测试铝片与热板间有无间隙,要求无间隙。
此面朝下
要求无间隙
5.匀胶通道罩子清洗
5.1每次洗胶盘后都要清洗匀胶通道中所有上面的罩子(包括热板和匀胶部分)
罩子
5.2把罩子拿到洗CSD胶盘的地方用水枪冲洗干净
5.3洗干净后并用氮气枪把水冲干,最后放回通道上面
6.匀胶通道废排检查与浸泡
6.1取下通道废排管与废排液管之间连接的转换盒,检查转换盒内的沾污情况,如有碎片
清洁干净,如有胶浸泡。
转换盒
6.2安装转换盒,检查是否有漏废液现象。
7.显影热板温度与恒温水温度以及恒温槽水位检查
7.1采用表面温度计检查热板表面温度,,表面温度计的探头要与热板表面可靠接触但不得用力按下探头防止探头损坏,如温度不在规范内通知工程师进行调整。
7.2检查显影恒温槽温度以及水位,温度不正常通道停止作业,并通知工程师处理,水位低于黑色线通过加水口加纯水,并稳定15分钟后通道正常作业。
恒温槽温度
恒温槽水位,需
在黑色线以上
8.匀胶显影通道通道滴胶(液)臂导杆清洁保养
8.1关闭通道面板电源,等待主轴降到底部。
用手轻轻地移动滴胶(液)臂感觉移动阻力的大小。
面板电源
滴胶臂
8.2把滴胶(液)臂移动到左面最边上用长纤维纸沾清洗液(正胶用丙酮;负胶用三氯乙烯,显影通道用酒精)清洁滴胶(液)臂上下两根导杆,然后把滴胶(液)臂移动到右面的最边上用长纤维纸沾清洗液清洁上下两根导杆。
滴胶头导杆
8.3用长纤维纸沾少许润滑油把它均匀的涂在上下两根导杆上。
8.4用手轻轻地移动滴胶(液)臂感觉移动阻力的大小,要求移动顺畅基本无阻力。
9(主轴导杆的清洁保养
9.1在主面板上选择手动1然后按Start把主轴升到顶部然后按transferstop键。
TransferstopTransferstopStart
9.2打开机器前面的门检查导杆的表面是否异常(有划痕)如异常通知工程师处理,正常的话用长纤维纸沾酒精清洁外通道的两根主轴升降导杆的下面部分然后上白油。
导杆
9.3取下机器背面的保护板检查导杆的表面是否异常(有划痕)如异常通知工程师处理,正常的话用长纤维纸沾酒精清洁设备内通道的两根主轴升降导杆的下面部分然后上白油。
9.4关闭两个通道的面板电源使主轴降到底部,检查导杆的表面是否异常(有划痕)如异常通知工程师处理,正常的话用长纤维纸沾酒精清洁内外通道的两根主轴升降导杆的上面部分然后上白油。
导杆
9.5把通道的保护板装好,前面的门关闭,打开通道的面板开关,检查主轴的升降速度要求升降柔和,如速度异常通知工程师调节。
10(定中心以及PAD导杆的清洁保养
10.1拆下定中心上两个保护盒,关闭通道电源。
保护盒
10.2手动把定中心与PAD推到里面,用长纤维纸沾酒精清洁定中心与PAD的导杆;然后手动把定中心与PAD推到外面,用长纤维纸沾酒精清洁定中心与PAD导杆的另外一端。
定中心与PAD
导杆
10.3把白油均匀的涂覆在导杆上,手动移动定中心与PAD。
10.4打开机器,检查圆片定中心状态并调整。
10.5装好定中心保护盒。
注意:
清洁前检查导杆表面确认导杆表面的状态,如有划痕通知工程师更换。
11(通道排风测试
11.1安装好胶盘后,将风速仪前段保护探头的白色壳子旋开,露出探头
11.2打开风速仪将保护壳画有竖线的一侧作为进风口,把风速仪垂直放入胶盘中
11.3读出排风的数据,并对照表格中的下限大小,若排风低于下限则需要清理排风管道,
必要时应更换通道内的排风管。
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