表面工程学.docx
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表面工程学
第二章表面工程技术的物理化学基础
1.1表面:
固相与气相的分界面。
界面:
固相之间的分界面。
相界面:
不同凝聚相之间的分界面,如:
A与M,F与M
同相中晶粒之间的分界面称为晶界微晶≤um;非晶≤1nm
理想表面:
认为半无限晶体中的原子位置和电子密度都和原无限晶体一样。
显然自然界很难获得理想表面
洁净表面:
材料表层原子结构的周期性不同于体内,但化学成分与体内相同,这种表面称为洁净表面。
相对于表面受污染程度和理想表面而言的。
清洁表面:
指经过清洗(脱脂,浸湿)以后的表面。
驰豫:
指表面附近的点阵常数在垂直方向上较晶体内部发生明显的变化。
重构;指表面原子在水平方向的周期性不同于体内的晶面。
台阶化;台阶化是指实际晶体的外表面由许多密排面的台阶构成
偏析和吸附:
是指化学组分在表面区的变化
1.2界面通常指两个块体之间的过渡区,其空间尺度决定于原子间力作用影响范围的大小;其状态决定于材料和环境条件特性。
1.4扩散途径:
体扩散表面扩散晶界扩散位错扩散
其中,后三种扩散都比第一种扩散快,又称短路扩散。
Q表<Q界<Q位<Q体;D表>D界>D位>D体
D扩散系数Q扩散激活能
吸附的基本特性:
物体表面上的原子或分子力场不饱和,有吸附周围其他物质分子的能力,即所谓吸附作用.
物理吸附----范得华力化学吸附----化学键
物理吸附容易解吸,为可逆过程;化学吸附很难解吸,为不可逆过程;
两表面必须靠近到原子间距的范围内,才能产生固体表面吸附。
用粘附功描述粘附程度
1.6、固体表面润湿
润湿:
液体在固体表面铺展的现象
水滴与玻璃,能被水润湿-亲水,如玻璃、石英、方解石、长石等。
水滴与石蜡,不能被水润湿-疏水,如石蜡、石墨、硫磺等。
(TiO2光致亲水)
用润湿角来描述润湿程度
θ<90为润湿,越小,润湿越好;
θ>90为不润湿;
θ=0和θ=180时,则称为完全润湿和完全不润湿。
润湿的大小与分子间的作用力相关:
润湿与否取决于液体的内聚力和液-固分子间的粘附
力的相对大小。
若后者大,则润湿;反之则不润湿
铺展系数
第二节材料磨损原理及其耐磨性
摩擦:
相互接触的物体相对运动时产生的阻力。
磨损:
相互接触的物体相对运动时产生的物体损失或残余变形。
摩擦:
干摩擦边界润滑摩擦流体润滑摩擦滚动摩擦
①干摩擦无润滑摩擦制动,传动
②边界润滑摩擦接触面之间存在油膜(1个分子~0.1μm厚),使F降低2-10倍;③流体润滑摩擦对摩表面完全被油膜隔开,靠油膜的压力平衡外载,F取决于润滑油的内摩擦系数,μ最小,F与接触表面无关;④滚动摩擦
如果压力太大,零件运行速度太低,或表面粗糙度太高,将会发生油膜刺穿现象,即发生微凸体之间的接触而导致磨损的增加。
此时的磨损状态称为边界润滑。
第三节:
金属腐蚀原理与防护技术
腐蚀的基本概念:
当金属与周围的介质接触时,由于化学或电化学作用而引起的材料性能的退化与破坏,称为金属的腐蚀
化学腐蚀:
金属在干燥的气体介质中或者不导电的液体介质中发生腐蚀,腐蚀过程无电流产生
电化学腐蚀:
由金属、金属中的杂质、电解质溶液组成的局部电池引起的腐蚀。
特点:
局部形成短路小电池(腐蚀电池)
2016/6/8
按腐蚀形态不同分类
局部腐蚀:
腐蚀主要集中于金属表面某一区域,而表面的其他部分几乎未被破坏
分类:
点蚀氢脆应力腐蚀开裂晶间腐蚀选择性腐蚀电偶腐蚀脱层腐蚀
全面腐蚀:
腐蚀分布在整个金属表面上
按环境不同分类湿蚀干蚀微生物腐蚀
金属电化学腐蚀原理
发生在水溶液中的腐蚀属于电化学腐蚀
依靠腐蚀原电池作用而进行的腐蚀过程叫电化学腐蚀。
电化学腐蚀是腐蚀原电池电极反应的结果。
金属放出自由电子成为阳离子的反应称为阳极反应。
金属发生阳极反应的表面部位称为阳极区。
接受电子的反应称为阴极反应。
发生阴极反应的表面部位称为阴极区。
电极系统:
金属浸于电解质溶液中所组成的系统。
电极反应:
在电极系统金属和溶液界面上发生的化学反应。
电极:
浸入电解质溶液且界面处进行电化学反应的导体称为电极。
电位较负的区域的离子化为阳极,电位较正的区域化为阴极
电化学腐蚀速率:
二、金属表面的极化、钝化及活化
1、金属表面的极化现象
腐蚀电池工作过程由于电流流动而引起电极电位偏离初始值的现象,称为极化现象。
通阳极电流后,阳极电位向正方向偏离,称为阳极极化.
通阴极电流后,阴极电位向负方向偏离,称为阴极极化
产生极化现象的根本原因是阳极或阴极的电极反应与电子迁移(从阳极派出或流入阴极)速度存在差异引起的。
根据极化所产生的原因,可分为浓差极化、电化学极化和电阻极化。
电化学极化(活化极化)
阴极:
去极剂与电子结合的反应速度<消耗阳极送来的电子电子密度增高
电位向负方向移动
阳极:
金属失去电子成为水化离子的反应速度<电子流出阳极的速度
双电层内层电子密度减小电位向正方向移动
金属表面的活化目的:
获得清洁表面或者洁净表面endtwo
第三章:
表面工程技术的预处理工艺与作业环境
表面预处理目的
清除被处理材料表面附着的杂质,使处理后的材料本体表面的原子能和处理介质(气相或液相)的原子相接触,原子直接在材料本体上沉积或向材料内部扩渗,有利于提高涂层与基体材料之间的结合强度。
表面预处理工艺分类
一、机械性清理二、脱脂三、化学浸蚀、抛光和电化学抛光四、脱脂——浸蚀综合处理五、其它表面处理工艺
机械磨光和抛光磨光主要目的是去除金属零件表面的毛刺/砂眼/氧化皮/锈迹/沟纹等,使其具有一定的平整度和粗糙度。
抛光主要目的是消除金属零件表面的微观不平,使其具有镜面外观。
(作用)
化学脱脂:
指在热碱液中加入少量乳化剂(活性剂),依靠溶液的皂化作用和乳化作用去除植物油和动物油的过程
电化学脱脂:
电化学脱脂的速度比化学除油快好几倍,且油污去除得干净
阴极除油快,但可能因氢渗入金属内部而引起氢脆,高强度钢和弹簧不宜采用
三、化学浸蚀、抛光和电化学抛光
1化学浸蚀
指将金属零件浸入酸/酸性盐或碱溶液中,以去除其表面氧化皮及锈蚀产物的过程;在通电条件下进行的浸蚀称电化学浸蚀
对要进行浸蚀的零件必须首先除油,否则达不到效果
防止过腐蚀措施:
加入少量缓蚀剂;酸洗结束后立即用水清洗去掉余酸,再用碱液(一般为Na2CO3溶液)中和余酸,之后用水洗掉碱液
化学浸蚀的一般工艺过程
脱油脂冷水洗2次化学浸蚀水洗中和水洗
电化学抛光指将工件作为阳极,浸于特定的抛光介质中并通以直流电进行抛光
第四章表面淬火和表面形变强化技术
表面淬火(定义)
用特殊的加热方式将钢表面快速加热到Ac3(亚共析钢)或Ac1(过共析钢)以上,随后快速冷却,使钢铁表层发生马氏体相变,生成硬化层
表面淬火与常规淬火的区别:
加热速度越快,奥氏体晶粒越细、硬度越高
提高加热速度将使Ac3与Acm线上移,可以防止过热。
快速加热使奥氏体成分不均匀,易形成贫碳的奥氏体,合金元素也难实现成分均匀化。
表面淬火层的组织和硬度分布:
表面淬火层分为:
(1)淬硬区Ⅰ(完全相变区)
(2)过渡区Ⅱ(部分相变区)(3)心部区Ⅲ(无相变区)
45钢的淬硬区组织为马氏体;过渡区组织为马氏体+铁素体;心部组织为珠光体+铁素体。
表面淬火层的性能:
(1)表面硬度:
经高频加热淬火的工件其表面硬度比普通淬火高2~5个HRC。
这是由于表面淬火晶粒细化和高的残余压应力。
(2)耐磨性:
高频淬火件的耐磨性比普通淬火要高。
这是由于淬硬层中马氏体晶粒极为细小,碳化物高度弥散,淬硬层硬度和强度都比较高。
(3)疲劳强度:
高频淬火可显著提高零件的疲劳强度。
这是由于表面产生的压应力可以抑制裂纹的萌生和扩展,使其缺口敏感性下降。
第二节感应加热淬火技术
感应加热频率越高,淬硬层越浅,但加热速度越快。
感应加热表面淬火工艺流程(重点)
以齿轮加工为例
锻打毛坯→正火处理(~220HB)→粗加工→调质处理(~250HB)→精加工(滚齿)→感应加热淬火→回火(~55HRC)→磨削
火焰加热表面淬火的优缺点
硬化层较厚,硬度梯度较平缓,耐磨性好;投资少,简单易行,处理费用低;
大小零件均可处理,能实现自动化操作;
温度均匀性差,难以控温,质量波动大。
因有软带的问题,只能进行局部淬火。
第四节激光淬火与电子束淬火技术
激光淬火组织相变硬化区:
极细的马氏体;过渡区:
为复杂的多相组织;基体:
原始的基体组织
(1)与基体力学性能有关的热处理:
被处理金属的原始组织对激光淬硬层的硬度和深度都有影响。
材料表面预处理
(2)提高零件表面激光吸收率的黑化处理:
~80%的激光被平整金属表面反射,黑化处理可以增加激光吸收率。
黑化处理的方法有:
涂碳素墨汁、磷化处理、氧化处理或激光专用黑色涂料。
激光表面熔凝技术工件横截面沿深度方向的组织依次为:
熔凝层、相变硬化层、热影响区和基材。
熔凝层为铸态组织(也可能出现非晶态组织)。
第五章热扩渗
将工件放在特殊介质中加热,使介质中某一种或几种元素渗入工件表面,形成合金层(或掺杂层)的工艺,就称为热扩渗技术,或化学热处理技术。
所形成的合金层称为热扩渗层,简称渗层。
特点是:
渗层与基本金属之间是冶金结合,结合强度很高,渗层不易脱落或者剥落。
热扩渗层形成的基本条件
渗入元素的原子存在于扩渗层的形式为二种:
固溶体和金属化合物
1、渗入元素必须能够与基体金属形成固溶体或金属间化合物。
原子直径,结构,电负性等必须满足要求。
2、欲渗元素与基材之间必须有直接接触;
3、被渗元素在基体金属中要有一定的渗入速度;
4、对靠化学反应提供活性原子的热扩渗工艺而言,反应必须满足热力学条件。
渗层形成机理:
3个过程:
①产生渗剂元素的活性原子并提供给基体金属表面。
②渗剂元素的活性原子吸附在基体金属表面上,随后被基体金属所吸收.形成最初的表面固溶体或金属间化合物.建立热扩渗所必须的浓度梯度;
③渗剂元素原子向基体金属内部扩散,基体金属原子也同时向渗层中扩散,使渗层增厚
三、热扩渗速度的影响因素
1.热扩渗层的形成速度总是由上述三个过程中最慢的一个来制约。
初始阶段:
受供给渗剂活性原子的化学反应速度控制;反应物浓度;反应温度;活化剂
形成渗层后:
主要取决于扩散速度:
温度;时间;晶体结构;晶体缺陷等
四、扩渗层的组织特征
1.纯扩散:
溶质元素在基体金属中形成单相固溶体,如渗碳层中的α铁素体相等。
2.反应扩散:
随表面溶质浓度的增加而有新相形成的化合物,如渗氮层中的ε相(F2-3N),渗硼层中F2B等。
化学热处理后,一般可同时存在固溶体、化合物的多相渗层。
渗剂B向金属A渗入形成的二元合金平衡组织
(1)热扩渗初始阶段,B溶入A形成α固溶体,固溶度C0(曲线1);
(2)当B在A中的浓度达到饱和浓度Cα时,开始析出α相(曲线2);
(3)当表面B的浓度达到C1至C2,表面开始形成化合物AnBm(曲线3);
(4)表面B的浓度再升高则开始出现β相(曲线4)。
因此,B在金属A中的组织由外向内
依次顺序为β—AnBm—α—A。
第三节气体热扩渗工艺(看看)
一、气体热扩渗技术的基本工艺特点
气体热扩渗是把工件置于含有渗剂原子的气体介质中加热到渗剂原子能在基体中产生显著扩散的温度,使工件表面获得该渗剂元素的工艺过程。
常规气体法、低压气体法和流态床法。
气体渗碳工艺特点:
1.产生活性原子气体的渗剂可以是气体、液体、固体,但在扩渗炉内都成为气体;
2.在气体热扩渗过程中,渗剂可以不断补充更新,使活性原子的供给、吸收和向内部扩散的过程持续维持;
3.可以渗碳层的碳含量从外向内逐渐降低
渗层组织由表到心部依次为:
过共析区→共析区→亚共析区→心部原始姐织。
低碳钢渗碳淬火组织由表到心部依次为:
马氏体+少量碳化物→马氏体→低碳马氏体→心部原始组织。
随时调整炉内气氛,实现可控热扩渗。
第四节液体热扩渗:
液体热扩渗根据工艺特点可分为盐浴法、热浸法、熔烧法三种。
热浸渗工艺方法:
干法:
用于钢丝及钢制零部件的热浸渗
脱脂除锈~溶剂处理~干燥~热浸渗~水冷
热浸Al工艺:
第六节等离子体热扩渗
气体放电方式及伏安特性曲线
被激放电区(Oabc)、自激放电区(cd)、正常辉光放电区(de)、异常辉光放电区(ef)、弧光放电区(fg);
(1)被激放电区(OC段):
气体放电是靠外电离源维持,电流极弱,电流与电压成线性关系。
(2)自激放电区(CE段):
电压达到C点后,碰撞产生的二次电子可以维持自持放电(雪崩现象)。
C点为起辉电压,与气体压强P和极间距离d的乘积有关并有极小值Vmin
(3)正常辉光放电区(EF段):
辉光覆盖面积逐渐增大,但极间电压不变(电流密度保持不变)。
(4)异常辉光放电区(FG段):
随着极间电压升高,阴极电流密度增大。
(5)弧光放电区(GK段):
当极间电压达到或超过G时,电流突然增大,极间电压陡低,形成电弧放电。
第六章热喷涂。
喷焊与堆焊技术
热喷涂技术的原理与特点:
(重点)
热喷涂原理:
利用热能将喷涂材料熔化,再借助高速气流将其雾化,并在高速气流的带动下粒子撞击基材表面,冷凝后形成具有某种功能的涂层。
热喷涂技术的特点:
涂层及基体材质广泛基体温度低操作灵活喷涂效率高涂层厚度范围宽
(不足)热效率低、材料利用率低、涂层与基体结合强度较低。
(三低)
涂层形成过程
涂层材料经加热熔化和加速→撞击基体→冷却凝固→形成涂层
涂层成分及结构:
涂层是变形粒子的层状组织结构涂层的性能具有方向性
组成:
大小不一的扁平颗粒、未熔化的球形颗粒、氧化物夹杂、孔洞。
涂层经适当处理后,结构会发生变化。
例:
重熔,层状结构→均质结构
孔隙的影响:
(不利)将损坏涂层的耐腐蚀性能,增加涂层表面加工后的粗糙度,降低涂层的结合强度、硬度、耐磨性。
(有利)孔隙可以储存润滑剂,提高涂层的隔热性能,减小内应力并因此增加涂层厚度,以及提高涂层抗热震性能。
此外,孔隙还有助于提高涂层的可磨耗性能,特别适用于可磨耗封严涂层中。
热喷涂中的相变(看看)高冷速→亚稳相→使用时相变或分解→相变应力
涂层应力:
1.喷涂完成后,在涂层内部会产生残余拉应力而在基体表面产生压应力。
其大小与涂层厚度成正比。
2.薄涂层一般比厚涂层更加经久耐用。
3.涂层结构和喷涂方法影响涂层的应力水平。
残余应力限制了涂层的厚度。
减少涂层残余应力措施:
(1)调整喷涂工艺参数;
(2)致密涂层的残余应力要比疏松涂层大;
(3)采用梯度过渡层缓和涂层内应力。
涂层的结合强度:
结合强度较差。
结合机理:
机械结合(抛锚作用):
机械咬合;微冶金结合:
局部扩散和焊合
工艺流程:
基体表面预处理、热喷涂、后处理、精加工等过程。
粗化处理可提高涂层结合强度的理由是:
1)提供表面压应力;
2)提供与涂层颗粒互锁机会;
3)增大结合面积;
4)净化表面。
第七章电镀和化学镀
电镀:
在含有欲镀金属的盐类溶液里,被镀金属接阴极,欲镀金属或其它惰性导体做阳极,在电解作用下,被镀金属表面沉积一层结合牢固的金属膜。
按镀层和基体金属的相对电极电位:
(1)阳极性镀层:
镀层的电极电位比基体金属低。
镀层金属可以起到电化学保护作用。
如镀锌。
(2)阴极性镀层:
镀层的电极电位比基体金属高。
镀层仅起到机械保护作用。
如镀铬。
电镀层须满足以下基本要求:
1.镀层与基体金属结合牢固,附着力好;
2.镀层结晶细致紧密,镀层完整,孔隙率小;
3.具有良好的物理、化学和机械性能;
4.具有符合要求的镀层厚度,而且均匀。
一、电镀的基本原理
电镀反应(电化学反应):
在直流电流作用下,镀液中的阴极与阳极发生如下反应
阴极:
金属阳离子Mn+在阴极表面得到n个电子而被还原成金属,并沉积在基体表面:
Mn++ne→M还有副反应:
2H++2e→H2
(2)阳极:
在阳极界面上,金属M被溶解,并释放出n个电子生成金属离子:
M→Mn++ne还有副反应:
4OH-→2H2O+O2↑+4e
金属的电沉积过程
电沉积过程必须经过以下三个步骤:
(1)液相传质:
镀液中的水合金属离子或络合离子向阴极以电迁移、扩散和对流方式移动到阴极表面。
(2)电化学还原反应:
水合金属离子或络合离子在电极表面去掉周围水合分子后发生得电子的电化学反应,生成金属原子。
(3)电结晶:
金属原子被吸附和迁移到阴极表面上的活性部分(能量较低的位置),形核长大成一定晶格的金属晶体。
电镀时,速度最慢的一个被称为整个沉积过程的控制步骤。
电镀液的组成(看看)
(1)主盐:
能在阴极上沉积出欲镀金属的盐,如酸性镀镍用的NiSO4。
(2)络合剂:
将主盐中的简单金属离子转变成一种由简单化合物相互作用组成的“分子化合物”(络合物)。
络合剂能增大阴极极化,使镀层结晶细致,并促进阳极溶解,但降低阴极电流效率。
(3)附加盐:
提高镀液的导电性、深镀能力、分散能力和细化晶粒的成分。
(4)缓冲剂:
在弱酸或弱碱性镀液中,用缓冲剂调节pH值,以保持施镀过程中镀液pH值稳定,如镀镍中的H3BO3。
(5)阳极活化剂:
使阳极金属的溶解量与阴极析出量相等,保持镀液成分平衡。
(6)特殊添加剂:
改善镀层性能,如光亮剂、整平剂、润湿剂和抑雾剂等。
电镀的实施方式:
挂镀:
单件周期电镀滚镀:
适合处理批量大的小型零件。
挂镀:
滚镀:
影响镀层质量的因素:
1.镀液的影响2.电镀规范的影响3.析氢的影响4.基体的影响
第二节常用单金属电镀
一、电镀锌(看看)
锌在大气中能形成一层致密的氧化膜,阻止锌进一步氧化。
镀锌属于阳极性镀层,不仅有机械保护作用,而且还有电化学保护功能。
镀锌的后处理
(1)除氢处理:
氢导致镀锌层晶格畸变,内应力增大,产生氢脆。
对高强度钢、弹簧钢等必须除氢。
除氢温度200~250℃,时间2h。
(2)钝化处理:
镀锌层在铬酸盐溶液中进行钝化处理,使镀锌层表面形成致密美观的钝化膜,进一步提高镀锌层的耐蚀性和装饰性。
第三节合金电镀
定义:
在一种溶液中,两种或两种以上金属离子在阴极上共沉积,形成均匀细致镀层的过程
合金电镀的基本原理(重点)
实现合金电镀的必要条件:
1、两种金属中至少有一种金属能单独从其盐的水溶液中沉积出来;
2、两种金属共沉积时,它们的析出电位要十分接近或相等:
措施:
(1)选择金属离子合适的价态;
(2)改变金属离子的浓度;
(3)加入适当的络合剂
(4)加入添加剂
第四节化学镀
一、化学镀的原理与特点
1.化学镀是一个在催化条件下发生的氧化一还原反应过程。
(有别于普通化学沉积)
2.化学镀溶液组成:
金属离子、络合剂、还原剂、稳定剂、缓冲剂等组成。
3.实现化学镀的必要条件:
金属的沉积反应只发生在具有催化作用的工件表面;溶液本身相对稳定;自发发生氧化-还原反应速度较慢
还原剂是化学镀溶液中的主要成分之一。
还原剂对镀层的性能有着显著的影响
非金属电镀过程(abs塑料)
(1)脱脂:
清除制品表面附着的脱模剂和油污。
可在50~70℃的钢铁化学脱脂槽中进行。
(2)粗化:
提高零件表面的亲水性和形成适当的粗糙度,增加镀层与基体间接触面积。
(3)敏化:
使零件表面吸附一层有还原性的两价锡离子,以便在活化处理时将银或钯离子还原成有催化作用的银或钯原子。
(4)活化:
使零件表面形成一层有催化活性的贵金属层,使化学镀能自发进行。
(5)还原:
提高零件表面的催化活性,加快化学镀沉积速度。
(6)化学镀:
在塑料表面化学镀铜或化学镀镍。
(必须要有)
(7)电镀:
通过电解使金属电沉积在铸模上制造或复制金属制品。
第八章转化膜与着色技术
钢铁磷化工艺流程(估计没用)
一般钢铁工件的磷化工艺流程为:
预处理→磷化→后处理,具体为:
化学脱脂→热水洗→冷水洗→酸洗→冷水洗→磷化→冷水洗→磷化后处理→冷水洗→去离子水洗→干燥
电化学氧化:
阳极氧化(电化学氧化处理)
特点:
厚度5~20μm,有较高硬度、耐蚀性、耐热和绝缘性,多孔,有很好的吸附能力
定义:
将铝或铝合金制件浸沉于酸性电解液中,在外电流作用下作为阳极,在制件表面上形成与基体牢固结合的氧化膜层。
过程:
将铝制件作为阳极,其他材料作为阴极置于电解池中,通上直流电,这时可以观察到在阳极和阴极上都有气体析出。
阳极析出氧气,阴极析出氢气。
而阳极上析出的氧气大部分与铝作用生成了氧化膜。
整个阳极氧化电压—时间曲线大致分三段
第一段ab(A段):
无孔层形成,连续、绝缘,0.01~0.1μm
第二段bc(B段):
多孔层形成,溶解作用开始,最薄处空穴,电压下降10~15%
第三段cd(C段):
多孔层增厚,并在根部形成新的无孔膜,厚度达到
稳定。
阳极氧化工艺
1、预处理(先脱脂,再碱蚀除锈)
2、氧化
3、阳极氧化膜的封闭
(最后必须封孔)
第九章涂装技术
涂料的组成主要由成膜物质、颜料、溶剂、助剂四部分组成
电泳涂装工艺流程
上件→预脱脂→脱脂(浸蚀)→水洗→水洗→表面调整→磷化→水洗→去离子水洗→(热风烘干)→电泳沉积+超滤循环水洗→烘烤固化+冷却→涂装面漆
涂装工艺:
表面预处理、涂料涂覆、涂膜干燥等。
涂装预处理预处理的目的:
1.除去材料表面油污、氧化皮等,增强涂膜的附着力;
2.塑料制品要进行改变表面极性处理,增加涂膜附着力;
3.磷化或钝化处理可增强涂层与金属结合力;
4.消除被处理物品表面缺陷,增加表面平整度
涂膜干燥:
(1)自然干燥:
在常温下靠溶剂挥发,自行聚合及催化聚合,由液态转化为固态漆膜。
(2)人工干燥:
分为加热干燥和照射固化两种:
第十章气相沉积技术
实际的蒸镀过程包括如下步骤:
基材表面清洁——蒸发源加热镀膜材料——镀膜材料蒸发(或升华)——真空室内形成饱和蒸气——蒸汽在基材表面凝聚.沉积成膜(重点)
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