空气分离使用说明书.docx

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空气分离使用说明书

空气分离使用说明书

第一章概述

1.1主要技术数据

1.1.1加工空气

进装置原料空气流量68500Nm3/h

进分馏塔流量64050Nm3/h

进分馏塔空气压力及温度：

低压：

~0.48Mpa（G）,25℃

高压：

~5.8Mpa（G）,40℃

1.1.2产品指标

产品

纯度

流量（Nm3/h）

出冷箱压力温度Mpa（G）/

备注

75%工况

主工况

110%工况

氧气

≥99.6%

9450

12600

13800

2.8/40

内压缩

液氧

≥99.6%

300

400

440

折气

氮气

≥10ppmO2

2500

2500

2500

0.6/40

内压缩

液氮

O2≤2ppm

N2≤.ppm

310

450

480

仪表空气

600

（标态下）露点小于—40℃

0.65/40

装置空气

3200

空冷塔后抽出

0.5/（~17）

间断使用

注：

①Nm3/h指0℃，101.3Kpa状态下的体积流量（以下同）

②液氮培植50贮槽，分停车时用。

③仪表空气量不含空分装置用仪表空气。

④产品执行标准：

氧气产品执行JB/T8693—1988一等品：

氮气产品执行GB/T8979—1996一等品：

液氩产品执行GB/T10624—1995合格品

⑤送入买方管网前时，在空分界区出口处测量。

⑥性能表中的液氧、液氮产量，可根据生产需要进行调整。

1.1.3加工空气量68500Nm3/h（正常工况下）

1.1.4加工空气压力0.61Mpa（A）

1.1.5距离声源1米处噪声≤85dB（A）

1.1.6运转周期（两次大加温间隔期）三年以上

1.1.7加温解冻时间24小时以下

1.1.8装置启动时间（从膨胀机启动到氧气纯度达到指标）36小时以下

1.1.9装置操作弹性75%~110%

1.1.10分馏塔系统的操作弹性50%~120%

1.2基本原理

干燥空气的主要成分如下：

名称

化学代号

体积百分比

重量百分比

氧

O2

20.95

23.1

氮

N2

78.08

75.5

氩

Ar

0.932

1.29

空气中其他组成成分，如氢，二氧化碳，碳氢化合物的含量在一定范围内变化，而水蒸气含量则随着温度和湿度而变化。

名称化学符号

标准大气压力的液化温度（℃）

标准大气压里的固化温度（℃）

临界温度（℃）

临界压力Mpa（A）

氧O2

—183

—218.4

—119

5.079

氮N2

—195

—209.86

—147

3.394

氩Ar

—185.7

—189.2

—122

4.862

空气的精馏就是利用空气的各种组分具有不同的挥发性，即在同一温度下各种组分的蒸汽压不同，将液态空气进行多次的部分蒸汽与部分冷凝，从而达到分离的各种组分的目的。

当处于冷凝温度的氧、氮混合气穿过比它温度低的氧、氮混合液体时，气相与液相之间就发生热、质交换，气体中的部分冷凝成液体并放出冷凝潜热，液体则因吸收热量而部分蒸发。

因沸点的差异，氧、氩的蒸发顺序为：

氮＞氩＞氧，冷凝顺序为：

氧＞氩＞氮。

再本系统中，该过程是在塔板上进行的，当气体自上而下地在铸逐块踏板上通过时，低沸点组份。

同理，当液体自上而下地在铸逐块踏板上通过时，高沸点组份的浓度不断增加，通过了一定数量的塔板后，在塔板的底部就可获得高纯度的高沸点的组份。

由于氧、氩、氮沸点的差别，在塔板的中部一定存在着氩的富集区，制取粗氩所需的氩馏分就是从富集区抽取的。

1.3工艺流程简介

本套装置的成套工艺流程详见附图（CF290.00000LC共12页）

1.3.1.空气过滤器及空气压缩系统

该系统由一台自洁式空气过滤器及一台透平空气压缩机组成。

含尘空气入空气过滤器，过滤掉其中机械颗粒、粉尘等。

经过滤的空气再入空气压缩系统，被空气压缩系统压缩到0.61Mpa.A后进入空气预冷系统。

1.3.2.空气预冷系统

本系统主要由空冷塔、水冷塔、冷冻机及四台水泵组成。

空分冷却塔为装有两层填料的填料塔，空气由空分压缩机送如空气冷却塔底部，由下往上穿过填料层，被从上往下的水冷却，并同时洗涤部分NOx，SO2，cl+等有害物质，最后穿越顶部的丝网分离器，进入分子筛纯化系统，出空冷塔空气的温度约为16.5℃.

进入空冷塔的水分为两段。

下段为由用户凉水塔来的冷却水，经循环水泵加压进空冷塔中部自上而下出空冷塔回凉水塔。

上段为由用户凉水塔来的冷却水，经水冷塔与由水冷塔来的多余的氮气、污氮气热质交换冷却后由冷冻水泵加压，送如空气冷却塔顶部，自上而下出空气冷却塔回凉水塔。

1.3.3.空气纯化系统

该系统主要由两台吸附器、一台蒸汽加热器组成。

分子筛吸附器为卧式双层床结构，下层为活性氧化铝，上层为分子筛，两只吸附器切换工作。

由空气冷却塔来的空气，经吸附器除去其中得水分、CO2及其它一些CnHm后，除一部分进入增压压缩机及用作装置空气之外，其余均全部进入分馏塔。

当一台吸附器工作时，另一台吸附器则进行再生、冷吹备用。

由分馏塔来的污氮气，经蒸汽加热器加热至170℃后，入吸附器加热再生，脱附掉其中的水分及CO2，再生结束由分馏塔来的污氮气吹冷，然后排入大气。

高温再生时，再生气经蒸汽加热器加热至260℃后，入吸附器加热再生。

经吸附器纯化后的空气水含量在-60℃露点以下，CO2≤1PPm。

1.3.4.增压压缩机系统

由分子筛吸附器来的洁净空气进入增压压缩机增压使空气的压力得以提高，增压空气分为三股，一股从增压压缩机一级（流量600Nm3/h，压力1.26MpaA）抽出经冷却后节流送至用户仪表系统；一股从增压机二级（流量12550Nm3/h，压力2.7MpaA）抽出经冷却后进入由膨胀机驱动的增压机；另一股从增压压缩机末级引出，经冷却后进入主换热器。

1.3.5.增压膨胀机系统

该系统主要由两台增压透平膨胀机，两台增压机后冷却器，两台供油装置组成。

从增压压缩机中抽并经冷却后的加压空气，进入由膨胀机驱动的增压机，消耗掉由膨胀机输出的能量，使空气的压力得以进一步提高，增压后的空气进入增压机后冷却器，冷却到所需温度后进入主换热器，被返流的液氧、氮气及污氮冷却到一定温度后进入透平膨胀机膨胀，膨胀空气进入下塔参与精馏。

1.3.6.氧、氮精馏

该系统主要由下塔、主冷凝蒸发器、上塔、过冷器及液氧泵组成。

由纯化系统来的进入主换热器冷却到接近露点的空气、膨胀空气以及来自增压压缩机末级冷却器的高压空气经主换热器液化后的液空进入下塔，经下塔的精馏，在顶部获得氮气，除一部分作为热源到纯氩塔及产品经主换热器复热送用户外，其余经冷凝蒸发器冷凝，冷凝的液体一部分做为下塔的回流液，其余部分过冷气过冷后，一小部分作为纯氩冷凝器冷源，令一部分节流后作为上塔回流液送至上塔顶部，在下塔下部得到污液氮，经过冷器过冷后，节流至上塔上部参与精馏，在下塔底部得到富氧液空，经过冷器过冷后，一部分作为粗氩冷凝器冷源，另一部分节流至上塔中部参与精馏。

经上塔的精馏，在顶部得到产品氧气，在上部得到污氮气，氮气及污氮气经过冷器、主换热器复热后，氮气除一部分送往用户管网外，其余均入水冷塔制冷；而污氮气除一部分用作再生用气外，其余也入水冷塔制冷。

在上塔底部得到液氧，一部分液氧经液氧泵加压并经主换热器复热后作为氧气产品入用户管网，一部分作为液氧产品经主冷凝蒸发器底部抽出进入用户贮槽。

为方便调氩，还设置了气氧的旁通阀（至污氮气）。

1.3.7.氩的精馏

该系统主要由粗氩塔I、粗氩塔II、粗氩冷凝器，纯氩塔及其冷凝、蒸发器，工艺液氩泵等组成。

由上塔中部抽出的氩馏分气，进入粗氩塔I进行精馏，使氧的含量降低。

粗氩塔I的回流液是由粗氩塔II底部引出经工艺液压泵输送来的液态粗氩，粗氩塔I底部的液体再返回上塔参与精馏。

由粗氩塔I顶部引出的气体进入粗氩塔II底部并在其中进行更进一步的氩、氧分离。

结果在其顶部得到O2≤2PPm的粗氩气。

粗氩气经粗氩冷凝器冷凝成液体后作为回流液返回粗氩塔II。

粗氩冷凝器的冷源是过冷器后引出的液空，液空与粗氩气换热（蒸发）后返回上塔适当部位参与上塔精馏。

从粗氩冷凝器板式单元引出适量的含O2≤2PPm的粗氩气进入纯氩塔中部，经纯氩塔的精馏，在其底部得到合格的液氩，除一部分作为产品经调节阀送出冷箱进入液氩贮存系统外，其余与来自下塔的中压氮气换热，使其蒸发作为上升气参与纯氩塔的精馏。

而液化后的液氮返回上塔顶部参与上塔的精馏。

纯氩塔顶部设有冷凝器，使上升气氩冷凝成液体作为纯氩塔的回流液，该冷凝器的冷源为来自过冷器后的液氮，液氮蒸发后返回污氮出上塔管线。

第二章KDONDAr-13000/2500/450型空气分离设备的启动及操作说明

为了确保本系统及全套空分设备的安全、可靠及高质量地运行，要求操作人员熟知整套空分设备中的各个系统、各个机器与设备的性能与操作方法，熟悉整套空分设备的工艺流程，掌握本装置的运转规律与操作特点，在保证产品纯度的前提下，尽可能地提高产品产量，以降低能耗及成本。

欲实现上述目的，必须将整套空分设备中的各个系统联系起来，全盘考虑。

整套空分设备的运行操作由两部分组成：

1）空分设备的试车，即成套设备联动运行前的试验、调整、吹除等，以确保各部机、各系统及其相互间的联系正确无误；

2）空分设备的起动和投入正常操作。

空分设备的试车就是空分设备安装或大修完毕后，在正式投入生产以前，对各单机部机、设备及成套空分设备进行全面的试压、检漏、调整、吹刷和低温裸冷检验等，其目的就是为了检验空分设备的安装和大修质量，检验空分设备在低温状态下的冷变形后的密封性能和补偿性能，检验设备和管道流路可能存在的弊病和安装缺陷，以便能及时进行检修。

本套装置的起动及操作说明，还包括自洁式空气过滤器、空气压缩机组、增压压缩机组、水泵、冷水机组、增压透平膨胀机组、工艺液氧泵、工艺液氩泵、液体贮存系统及仪、电控系统，这些机组及系统的起动操作详见相关资料。

2.1.预冷系统的使用及维护

2.1.1.预冷系统主要技术参数

2.1.1.1.空气冷却塔

型式双层填料塔

处理气量685000Nm3/h

工作压力0.61MPa.A

空气进口温度≤105oC

空气出口温度≤16.5oC

冷却水总耗流量183m3/h

2.1.1.2水冷塔

型式填料塔

工作压力常压

冷冻水出塔温度≤15.3oC

污氮流量30000Nm3/h

2.1.2.工作原理及流程说明

本系统的目的是将由空压机来的高温空气降至~16.5oC，脱去其中的游离水后送入分子筛纯化系统。

冷却原理是使空气与水在填料中充分混合换热后使空气温度下降，而其中的冷却水由凉水塔来经P-0501A或P-0501B加压后送入空冷塔中部，冷冻水是利用由分馏塔来的干燥污氮气吸收水分的潜热，由凉水塔来的循环冷却水冷却，经P-0502A或P-0502B加压后进入空冷塔上部。

具体流程详见CF290.00000LC.

2.1.3.空冷塔及水冷塔及内建的装填

空冷塔及水冷塔填料及内件的装填，必须是在系统吹扫及试压合格后进行，具体装填方法详见设备图纸及HGJ11-1985《化工塔类设备施工及验收规范》。

2.1.4.系统的操作

该系统起动应先起动冷却水泵，再起动冷冻水泵。

用空压机对空冷塔缓慢充压，待PIAS-302达到0.4Mpa（G）后尽快启动冷却水泵，冷却水量（FICS-301）应控制在≤150t/h内。

待冷却水泵调试正常后，依次打开V344和V343阀，通过V343阀调节进水冷踏的空气量，然后启动冷冻水泵，起动冷冻水泵之前应先开启LCV-302阀，待LICV-303水位达到设定值后，LCV-302投自动，冷冻水流量（FICA-302）应控制在≤33t/h内。

当分馏塔能提供适量的污氮气给水冷塔后，关闭V343阀。

2.1.5.工矿调整

1）出空冷塔空气温度的调节

空冷塔出口温度应控制在16.5oC以下，主要应控制TIA-304低于15.3oC以及FICA-302保持在33t/h左右，当温度过高，就应设法增大水冷塔来降低出空冷塔空气温度。

2）进空冷塔水流量的调节

进空冷塔的水流量应随加工空气量的变化而作相应变化，对循环水主要通过FCV301阀调节。

2.1.6.故障处理

1）空冷塔或水冷塔还热效果降低

应检查分布器是否有堵塞或填料结垢，严重者应停车拆除后清洗、疏通。

2）冷却水、冷冻水流量异常降低

应参照水泵制造厂家使用说明书，检查水泵是否有故障，检查水泵前过滤器是否堵塞。

2.2.纯化系统的使用及维护

2.2.1.纯化系统主要技术参数

2.2.1.1.分子筛吸附器

型试卧式

切换周期4h

处理气量68500m3/h

工作压力0.61Mpa.A

空气进口温度17oC

空气出口温度24oC

空气出口质量CO2≤1PPm、H2O≤-60℃露点

再生气量15000Nm3/h

再生温度170oC

2.2.1.2.蒸汽加热器

加热气量15000Nm3/h

还热面积210m2

蒸汽耗量1600Kg/h（1.2Mpa.G）

2.2.2.工作原理及工艺流程

本系统是采用变温吸附法连续分离空气中水分和二氧化碳，在常温下吸附剂对水分、二氧化碳的吸附容量大，高温下吸附容量小，通过周期性改变床层温度，达到连续分离水分和二氧化碳的目的。

本系统是由纯化器、真气加热器、切换阀及仪电控等部机组成，详见CF290.00000LC。

原料空气经预冷系统冷却到17oC后，从纯化器下部导入，原料气流经吸附器床层时，其中所含水分和二氧化碳被吸附，纯化空气从纯化器流出进入分馏塔。

吸附过程持续四小时后，两只纯化器切换。

压缩空气进入另一只纯化器进行吸附。

吸附过程结束的纯化器逆向放压，使纯化器压力降至大气压，然后用分馏塔排出的污氮气，经蒸汽加热器加热对纯化器进行再生。

之后，用分馏塔出来的冷污氮气将再生结束的纯化器吹冷，以备下次切换用。

具体操作程序见表2.2.1及仪控相关文件。

表2.2.1正常工况操作程序

时间（min）V0501AV0501B

0～12吸附逆向放压

12～96吸附加热再生

96～216吸附吹冷

216～240吸附充压

2.2.3.吸附剂填装

吸附剂的装填是在吸附器试压及吹扫合格后进行。

吸附剂装填应选择在晴朗天气进行，装填前应尽量做好准备工作，装填时间越短越好，集中力量装完一只纯化器后再装另一只，装完后的纯化器应迅速密封，避免于大气长时间接触。

吸附剂填装时，按顺序先装活性氧化铝，之后铺上丝网，用压板压牢，再装分子筛，吸附剂按计量装填，使其装填紧实、均匀。

2.2.4.调试

2.2.4.1.切换系统调试

在仪空系统调试后并确任无误的情况下，将仪空系统于切换系统联合调试。

切换系统调试最好在吸附剂填装分子筛之前进行。

调试前，检查电磁阀、气动切换阀、仪控系统的接线是否正确无误，，逐个检查气动切换阀是否切换灵活及线位开关是否到位。

在上述工作完成后，向切换系统供仪表气，要求仪表空气压力0.4～0.6Mpa，露点-40℃，切换系统空载运行48小时，检查运转与阀门切换动作是否准确，可靠灵活，随时发现问题及时解决。

停车后，逐个检查阀门是否到位，抽查一只气动切换阀作气密性试验。

2.2.4.2.试车

起动

1起动前全面检查设备是否正常，阀门是否全部处于关闭状态。

2打开HV401或HV404对纯化器缓慢充压。

3打开V421、V428、V427、426阀；然后再依次打开V422及V423阀控制PI-453压力不超过15kPa。

4起动控制系统，压缩空气减量进入纯化器，起动初期进入空气量不大于加工空气量的三分之二，部小于加工空气量的三分之一，床层压力在0.48Mpa以上，再生气压力和流量通过V423调节。

5通过TCV401调节蒸汽加热器出口温度，蒸汽加热器出口温度要求在～170℃，再生流量要求在15000Nm3/h。

6再生时出纯化器冷吹峰值温度要求100℃以上。

7连续分析分馏塔污氮总管含水量，污氮露点达到-70℃后，将污氮气送入纯化器作再生气，同时关闭V423阀。

工矿调整

1本设备工况调整的原则时确保进纯化器再生气温度和流量，再生是否彻底，以吸附床吹冷期排气温度来判断，保证吸附床能‘完全’再生的排气温度为≥100℃，当吸附床吹冷期间排气温度小于上述值时，应调高再生气出蒸汽加热器温度，以提高进纯化器再生气温度。

也可以在保证再生气温度的前提下增大FIC-401设定值，满足再生要求。

2纯化空气含水量和二氧化碳达不到设计指标，首先应检查再生气温度是否达到设计值，如有偏差及时纠正。

其次应检查压缩空气中是否带有游离水，压缩空气进纯化器是否温度过高。

如果上述检查一切正常，可先采取适当提高再生温度的办法，如情况继续恶化，应对纯化器进行一次高温再生。

2.2.5.操作和使用

2.2.5.1.正常操作

设备进入正常运行工况后，操作人员要经常观察系统的操作压力和温度，发现异常及时解决。

操作人员要经常通过仪表系统观察各气动切换阀的动作情况，如果出现异常，再观察吸附床及系统操作压力，如果系统工况正常稳定，说明气动切换阀限位开关故障，此时，应维持正常操作。

如果系统操作压力偏离正常工况，应停机检查。

操作人员应定期打开V403阀对压缩空气总管进行吹除，如果发现吹除水份过多，应及时检查空气冷却塔出口的压缩空气是否带有大量游离水，含水量过大时，应停车检查。

V404宜常保持一定开度。

2.2.5.2.停车

正常停车

正常停车宜在吸附器吹冷结束时进行，停车后另一只吸附器泄压结束关闭控制系统后，关闭所有手动阀。

故障停车

无论系统故障或系统外故障引起的紧急停车，其操作顺序如下：

关闭控制系统。

故障停车停车后的起动

1故障停车时间比较短，起动后污氮气量和露点满足要求，按控制系统停车后保持的工况进行。

2故障停车时间比较长，也按控制系统停车后保持的工况进行，起动顺序按2.2.4.2中试车进行。

2.2.6.维修、保养及故障排除

2.2.6.1.经常检查油雾器，防止无油而损坏气动切换阀。

2.2.6.2.经常检查绝热层情况，防止受潮和脱落。

2.2.6.3.气动切换阀故障

气动切换阀经长期运行后，密封性能可能下降，甚至会严重泄漏，一般情况下应停车对密封圈进行调整或更换，并对修理后的阀们做气密性实验。

气动切换阀可能由于阀瓣定位螺旋松动，使得阀瓣不到位，这种情况泄漏严重，需停机修理。

2.2.7.电磁阀故障

电磁阀是容易引起故障的设备，由于电压波动，引起磁头过热过载或损坏，仪表空气不干净造成阀芯卡死；经过长期运行后，易损件磨损严重或失效，都是引起故障的原因，电磁阀故障应停车更换。

2.2.8.故障排除

两个纯化器操作工况不一致，说明气动切换阀漏气，停车修理。

纯化空气中水份和二氧化碳含量波动大，而且波动的规律性不强，说明气动切换阀漏气。

纯化器操作压力突然变化，可判断为电磁阀或气动切换阀故障，先检查电磁阀有无电信号，电信号有则为电磁阀或气动切换阀故障，无电信号则是控制系统故障。

在排出电磁阀故障可能后，可能是气动切换阀故障。

2.3分馏塔系统的使用和维护

2.3.1分馏塔系统主要技术参数

（1）分馏塔

型号FONAr—13000/2500/450

进分馏塔流量64050Nm3/h

（2）增压透平膨胀机组（详见膨胀机组相关文件）

（3）增压机后冷却器（详见增压机后冷却器相关文件）

2.3.2起动操作前的准备工作

分馏塔的起动操作是整个操作的关键，因为在起动操作过程中，系统中的物流、温度和压力等发生着巨大变化，能否掌握这种变化，关系到装置能否进行正常的生产，关系到起动时间的长短及运转周期，因此，在设备起动操作以前必须完成下述工作：

（1）按照《KDONAr-13000/2500/450型空分设备安装技术条件》（CF290.00000AT）的要求进行安装，试验并经检验合格。

（2）本套空分设备所属个配套机组，系统按单机或系统的技术要求进行施工试车且已完成，并经检验合格。

（3）空气纯化系统切换机构动作正确，纯化器再生完毕待用。

（4）按本套空分设备的成套工艺流程图及各子、各部机的工艺流程图及设备供货图作进一步的检查核实，确认各流路的连接正确无误。

（5）按照仪控系统、电控系统说明书和仪表、电器设备制造厂的说明书检验各电器设备、仪表及系统线路，确认安装、调整无误，仪控、电器线路畅通，并已处于工作状态。

（6）冷箱内所有的容器、设备、阀门、管路（包括记管路）已经彻底吹扫、加温，并确认已完全达到清洁、干燥、无杂质、无油。

（尤其是低温工作下的各个部机、管路、绝不允许有液态水份存在；与氧接触的容器、管路，更要注意严格脱脂与吹扫）。

（7）切换阀、安全阀、减压阀、节流阀等阀门检验调整无误，动作灵活可靠，并已处于工作状态。

（8）冷箱、管道等需绝热部位的绝热材料已充填或包扎固定完毕。

（9）冷却水、润滑油系统的管路畅通无阻，无漏水、漏油现象，并已处于工作状态。

（10）仪表空气系统已处于工作状态，并已可向仪表系统提供规定压力的无尘、无油和干燥的仪表空气。

（11）记录纸，必要的工具、备品已准备齐全。

2.3.3.起动准备

（1）分馏塔的起动，需在上游各系统即空气透平压缩机组、增压压缩机、空气预冷系统、空气纯化系统工作正常后进行。

（以上各系统的操作要求按照各自的技术文件进行）。

（2）分馏塔系统起动前，除已经起动的部分外，装置所属其余各系统所属的机器、设备、阀门均应处于安全状态；所有气封点（包括透平膨胀机的喷嘴）都必须关闭；除分析仪表和计量仪表外，所有通向指示仪表的阀门必须开启，温度记录仪和温度测量仪表全部接通。

（3）分馏塔起动前的操作步骤可按以下顺序进行；

（a）起动冷却水系统

（b）起动仪表空气系统

（c）起动空气透平压缩机组及增压压缩机组（按压缩机说明书进行）

（d）起动空气预冷系统

（e）起动分子筛纯化系统

（f）吹刷冷箱内管道

2.3.4.吹刷阶段

吹刷阶段的工作目的就是去除管内残存的水份、杂质和灰尘。

吹刷用气采用出分子筛纯化系统的常温干燥空气。

在吹刷过程中，应经常检查各吹除口气量大小并经常调节，以保证每一条管线均应吹刷，直到吹除气中不含水份和灰尘为止。

吹刷工作可分区域、分阶段，按压力高低逐步进行，可先设备，后管道，按工艺流程走向，由里向外开展，具体应注意以下事项：

（1）吹除时的空气压力，高压系统应保持在1.962～2.452Mpa，中压系统应保持在0.25～0.4Mpa，低压系统应保持在0.04～0.05Mpa，任何时候都不允许超压吹扫，当压力不足时，应待升压后逐只设备、逐条管线进行吹扫。

（2）为防止塔外管道中的杂质带入分馏塔内，应首先对塔外空气、污氮管道及增压空气管道等进行吹扫，待吹除干净后，再于出冷箱管道连接后对塔内设备管道进行吹扫。

（3）增压透平膨胀机进出口端及工艺LAr泵、工艺液氧泵和工艺液氮泵进出口端在吹除阶段应断开且用盲板闷住，待吹除完毕后再拆除盲板。

（4