设备验收报告烧结炉.docx
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设备验收报告烧结炉
设备验收报告
设备名称
型号规格
数量/套
验收范围
烘干烧结一体炉
SJ-1400
.一-台
验收日期:
年月日
技术规格
(祥见附文)
验收项目
验收指标
验收结果
备注
干燥区温控精度
±2C
烧结区温控精度
±2C
温度控制精度
±10C
升温速率
45C/s
冷却速率
—90C/s
网带稳定性
±2%
烧结出口温度
<60C
气流稳定性
±5%
工艺效果验收
单晶50方阻、多晶
55方阻烧结
培训
培训内容
培训对象(签字)
培训时间
备注
网带清洗
设备操作
日常维护/故障排查
资料交付
类型
交接对象(签字)
交接时间
备注
使用说明书
关键部件说明书
备品备件交接
验收结论:
意见和建议:
甲方
名称:
中恒科技
工艺代表:
设备代表:
工厂负责人:
(盖章)
日期:
2010年月日
乙方
名称:
北京中联科伟达技术股份有限公司
设备代表:
现场负责人:
日期:
2010年月日
设备验收报告附文
验收依据
1、
年
月
日,
甲、
乙双方签订的
SJ-1400型烘干烧结
体炉设备购销合
同。
2、
年
月
日,
甲、
乙双方签订的
SJ-1400型烘干烧结
体炉设备验收细
则。
验收项目
1、干燥区温控
2、烧结区温控
3、温度控制精度
4、升温速率
5、冷却速率
6、网带稳定性
7、烧结炉出口温度
&气流稳定性
9、工艺效果验证
三、验收标准、方法
1.干燥区温控
校验方法:
将干燥区的3个温区温度进行设定,设定范围控制在100~400C之间,待温度稳
定(需30min)后,保温持续4小时,根据设定值与温控表测量出的实际值相比较得出该指标。
验收标准:
3个温区温度波动控制在土2C以内
2.烧结区温控
校验方法:
将烧结区的6个温区温度进行设定,设定范围控制在200~1000C之间,待温度稳
定(需30min)后,保温持续4小时,根据设定值与温控表测量出的实际值相比较得出该指标。
验收标准:
6个温区温度波动控制在土2C以内
3.温度控制精度
校验方法:
待正常工艺运行稳定后,使用DataPAQ测温仪进行温度测试,以同一硅片在炉内
的多点温度曲线为检验手段。
验收标准:
温度曲线峰值温度控制在土10C以内
4.升温速率
校验方法:
待正常工艺运行稳定后,使用DataPAQ测温仪进行温度测试,记录硅片在炉内的温度曲线,以温度从500-950C温度上升的速率大小为检验手段。
验收标准:
最大正斜率为45CIs
5.冷却速率
校验方法:
待正常工艺运行稳定后,使用DataPAQ测温仪进行温度测试,记录硅片在炉内的
温度曲线,从930-600C的温度下降速率大小为检验手段。
验收标准:
最大负斜率为—90CIs
6.网带稳定性
校验方法:
对网带速度进行设定,设定范围50-610cm/min,待网带稳定后,根据设定值与
操作界面显示值相比较得出该指标。
验收标准:
w±2%*设定值
7.烧结炉出口温度
校验方法:
外围供水温度为20C,待正常工艺运行稳定后,以操作界面显示值或用温度测试
仪测试生产电池片表面温度得出该指标。
验收标准:
w60C
8.气流稳定性
校验方法:
运行正常工艺配方后,外围供气稳定,以压力表显示为准,检测压缩空气在4个
小时内的变化量得出该指标。
验收标准:
变化量控制在土5%显示值
9.工艺效果验证
校验方法:
执行正确工艺配方,对单晶50方阻(多晶55方阻)电池片进行烧结测试。
以烧结后电池片各电性能为该项指标(其中电池片选取必须是稳定片源)。
验收标准:
测试数据无异常
四、验收结果附表
五、培训内容详细附表
附件1:
烧结炉设备操作培训流程确认
培训时间培训对象
培训内容:
1)设备整体结构介绍
□完成;□未完成,原因
2)界面介绍
□完成;□未完成,原因
3)手动操作培训(是否具备独立手动操作的能力)
□完成;□未完成,原因
4)工艺参数设置培训
□完成;□未完成,原因
签字确认:
附件2:
烧结炉设备安装维护培训流程确认
培训时间培训对象
培训内容:
1)设备整体结构介绍
□完成;□未完成,原因
2)界面介绍
□完成;□未完成,原因
3)手动操作培训(是否具备独立手动操作的能力)
□完成;□未完成,原因
4)工艺参数设置培训
□完成;□未完成,原因
5)电器控制原理培训
□完成;□未完成,原因
6)电器参数设置培训
□完成;□未完成,原因
7)故障处理培训
□完成;□未完成,原因
8)维护、保养培训
□完成;□未完成,原因
签字确认:
六、资料交付清单
文档
内容
数量
接收人
1•技术规格书
1份
2•操作说明
包括设备外购件的说明书;
1套
3•安装说明
1份
4.维修手册
1份
5•安全说明
1份
6.备品备件清单
消耗品、易损件;石英器件清单;
1套
7•机械装配图
装配图;炉体部分装配图纸;
1套
8.气路图
原理图;
1份
9.电气图
电气图(包括电气原理、器件布局、接线图)
1套
- 配套讲稿:
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