第五代低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件LTPSTFTLCD.docx

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第五代低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件LTPSTFTLCD

国环评证

甲字第2806号

第五代低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件（LTPSTFT-LCD）工程

环境影响报告书

〔简本〕

评价单位：

深圳市环境科学研究院

二O一一年十月·深圳

第一章总论

平板显示〔FPD〕技术是信息社会的支柱产业之一，具有十分广阔的开展前景。

近年来新型显示器件特别是以薄膜晶体管液晶显示器〔TFT-LCD〕为代表的各种新型平板显示器件，随着生产技术的不断提高已进入到加速开展的时期，二十一世纪将是新型平板显示技术快速开展与应用的新时代。

平板显示器中占主导地位的是薄膜晶体管液晶显示器〔TFT-LCD〕。

近年来，TFT-LCD产品性能已日臻完美，TFT-LCD大规模生产技术也已经成熟，同时产品良品率和生产自动化程度也已到达较高水平。

随着市场的成长，目前世界各主要生产国〔主要为我国大陆及台湾地区，与日、韩等国〕厂家皆大力投入各项资源抢占市场份额，市场竞争早已进入白热化阶段，如何在剧烈竞争中取得优势，各厂家无不竭力抢占先机，深超光电〔深圳〕投资的第五代低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件工程〔以下简称“LTPSTFT-LCD〞〕即为其中最有效的一项利器。

目前LTPSTFT-LCD显示技术产品主要应用于平板电脑、掌上电脑、移动、PDA、数码相机〔DSC〕、车用电子、数字摄影录像机及携带式DVD等中小尺寸电子产品，因其拥有比传统TFT-LCD更佳的性能表现及视觉效果，已成为下一个世代电子信息终端产品首选的平板显示器件。

深超光电〔深圳〕2004年12月成立于深圳市宝安区龙华街道（企业营业执照见附件1），主要从事第五代〔或以上〕之TFT-LCD产品全工序〔包含阵列、彩色滤光片、成盒和模块〕的生产制造与销售。

根据深圳市政府人民办公厅“关于协调深超光电低温多晶硅液晶面板工程有关的会议纪要〞〔附件2〕和深圳市企业技术改造工程的备案证明〔附件3〕，深超光电〔深圳〕拟投资9800万美元对传统TFT-LCD进行改造，建设第五代低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件（LTPSTFTLCD）工程。

工程依托科技园已建设的TFT-LCD工程配套厂房、动力厂房进行建设，不新增土建内容。

工程技改后年产液晶显示面板〔代表产品规格为〕4860万块。

受深超光电〔深圳〕的委托，深圳市环境科学研究院承当了第五代低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件（LTPSTFTLCD）工程的环境影响评价工作。

根据?

环境影响评价技术导那么?

〔HJ/T2.1～2.3-93、HJ/T2.4-1995〕等技术标准，进行环评工作。

2011年9月26日通过深圳市人居环境技术审查中心组织?

第五代低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件（LTPSTFT-LCD）工程环境影响报告书?

专家评审，并形成了专家意见。

依据该工程评审专家意见修改完成了?

第五代低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件（LTPSTFT-LCD）工程环境影响报告书?

〔报批稿〕。

工程所在区域的环境功能属性见表1.2-1。

表1.2-1工程所在区域环境功能属性一览表

编号

环境功能区名称

评价区域所属类别

1

是否在“根本生态控制线〞内

否

2

是否在“饮用水源保护区〞内

是，观澜河二级水源保护区

3

地表水环境功能区

观澜河，地表水Ⅲ类功能区

4

地下水环境功能区

Ⅲ类，东江深圳地下水水源修养区

5

环境空气功能区

二类区，执行二类区的相关规定

6

环境噪声功能区

3类区，执行3类区的相关规定

7

根本农田保护区

否

8

自然保护区

否

9

风景名胜保护区

否

10

文物保护单位

否

11

市政污水处理厂的集水范围

是，龙华污水处理厂

环境质量标准

〔1〕水环境质量标准

根据深府[1996]352号文件?

关于公布深圳市地面水环境功能区划的通知?

和深府[2006]227号文件?

关于调整深圳市生活饮用水地表水源保护区的通知?

，本工程所在区域属观澜河二级水源保护区，水域范围属于地表水Ⅲ类功能区，执行?

地表水环境质量标准?

〔GB3838-2002〕Ⅲ类标准，见表1.3-1。

表1.3-1地表水环境质量标准〔GB3838-2002〕〔单位：

mg/L〕

污

污染物

执行标准

pH

COD

DO

BOD5

总磷

氨氮

石油类

挥发酚

氟化物

总氮

III类标准值

6~9

≤20

≥5

≤4

〔2〕大气环境质量标准

根据深府[2021]98号文件?

关于调整深圳市环境空气质量功能区划分的通知?

，本工程所在区域属于二类环境空气质量功能区，执行国家?

环境空气质量标准?

（GB3095-96）及“修改单通知单〞（环发[2001]1号）中的二级标准。

氯化氢〔HCl〕、氯〔Cl2〕、氨〔NH3〕参照中华人民共和国国家职业卫生标准?

工业企业设计卫生标准?

〔TJ36-79〕中“居住区大气中有害物质的最高容许浓度〞的规定，详见表1.3-2。

表1.3-2环境空气质量评价执行标准单位：

mg/m3

标准名称

污染物名称

浓度限值

取值时间

二级标准

?

环境空气质量标准?

〔GB3095-96〕

二氧化氮NO2

日平均

1小时平均

二氧化硫SO2

日平均

1小时平均

悬浮物微粒TSP

日平均

可吸入颗粒物PM10

年平均

日平均

氟化物

日平均

7µg/m3

1小时平均

20µg/m3

工业企业设计卫生标准

〔TJ36-79〕

氯化氢

一次①

日平均②

氯

一次①

日平均②

氨

一次①

注：

①一次最高允许浓度，指任何一次测定结果的最大容许值；

〔3〕声环境质量标准

根据深府[2021]99号文件?

关于调整深圳市城市环境噪声标准适用区域划分的通知?

，本工程所在区域属于3类噪声标准适用区，执行?

声环境质量标准?

（GB3096-2021）中的3类标准。

表1.3-3声环境质量标准〔GB3096-2021〕（等效声级：

LAeq:

dB）

类别

适用区域

昼间

夜间

3类标准

工业生产、仓储物流为主要功能，需要防止工业噪声对周围环境产生严重影响的区域

65

55

〔4〕地下水环境质量标准

。

表1.3-4地下水环境质量标准〔GB/T14148-93〕

序号

类别

标准值

工程

Ⅲ类

1

pH

2

总硬度（mg/L）

≤450

3

硫酸盐（mg/L）

≤250

4

氯化物（mg/L）

≤250

5

铁（Fe）（mg/L）

6

锰（Mn）（mg/L）

7

锌（Zn）（mg/L）

8

高锰酸盐指数（mg/L）

9

硝酸盐（以N计）（mg/L）

≤20

10

亚硝酸盐（mg/L）

11

氨氮（NH4）（mg/L）

12

氟化物（mg/L）

13

总大肠菌群（个/L）

污染物排放标准

〔1〕水污染物排放标准

本工程废水属于龙华污水处理厂的效劳范围〔主要是龙华、大浪和民治街道〕，运行期间的生产废水包括酸碱废水、含氟废水和有机废水。

生产废水和厂区生活污水经过厂内处理后接入市政污水管网排往龙华污水处理厂处理。

排放标准参照?

关于深超光电〔深圳〕液晶显示面板〔TFT-LCD〕工程环境影响报告书的批复?

〔环审【2006】337号〕的要求，即工程污废水执行广东省?

水污染物排放限值?

〔DB44/26-2001〕的第二时段一级标准。

见表1.3-5。

表1.3-5水污染物排放限值〔单位：

mg/L，pH无量纲〕

污

染

物

排

放

污染物

排放标准

pH

COD

BOD5

SS

氟化物

氨氮

磷酸盐

石油类

动植物油

LAS

〔DB44/26-2001〕一级标准

〔第二时段〕

6~9

90

20

60

10

10

10

〔2〕大气污染物排放标准

本工程选址位于大气环境二类功能区，工艺废气排放应执行广东省地方标准?

大气污染物排放限值?

（DB44/27-2001）中的第二时段二级标准，锅炉废气执行广东省地方标准?

锅炉大气污染物排放标准?

〔DB44/765-2021〕；氨的排放应执行?

恶臭污染物排放标准?

（GB14554-93）；VOC执行国家环境保护部环审[2006]337号?

关于深超光电〔深圳〕液晶显示面板〔TFT-LCD〕工程环境影响报告书的批复?

要求；其它特征污染物执行?

荷兰排放导那么?

。

见表1.3-6和表1.3-7。

表1.3-6大气污染物排放限值

标准名称

污染物名称

浓度限值

标准

排气筒高度

?

大气污染物排放限值?

〔DB44/27-2001〕

二级标准

〔第二时段〕

氟化物

9.0mg/m3

31m

0.52kg/h

氯气

65mg/m3

31m

/h

氯化氢

100mg/m3

31m

/h

硫酸雾

35mg/m3

31m

7.6kg/h

氮氧化物

120mg/m3

31m

3.86kg/h

?

锅炉大气污染物排放标准?

〔DB44/765-2021〕

氮氧化物

200mg/m3

28m

SO2

50mg/m3

烟尘

30mg/m3

烟气黑度〔林格曼黑度，级〕

环审[2006]337号

VOC

100mg/m3

处理效率≥90%

31m

?

恶臭污染物排放标准?

〔GB14554-93〕

氨

/h

31m

氨

/h

15m

表1.3-7特征污染物排放控制限值

污染物

分类

浓度限值〔mg/m3〕

排放速率〔kg/h〕

本工程拟采用的控制限值

本工程拟采用排放速率

磷化氢PH3

gA,1类

②

②

硅烷SiH4

gA,2类

②

②

磷酸H3PO4

①

②

总有机挥发物T-VOC③

<50

说明：

①荷兰排放导那么；

②其它以技术引进方面同类液晶显示器生产线的各种废气特征污染物实际运行的排放数据为根底，拟制定排放限值；

33小于3mg/m33的划分为gA.3类。

/h，排放浓度小于1.0mg/m33/h，排放浓度小于30.0mg/m3。

〔3〕噪声控制标准

本工程场界噪声执行?

工业企业厂界环境噪声排放标准?

〔GB12348-2021〕中的3类标准要求，即昼间65dB（A），夜间55dB（A）。

表1.3-8工业企业厂界噪声限值，Leq（dB（A））〔GB12348-2021〕

时段

厂界外声环境功能区类别

昼间

夜间

3

65

55

等级

本工程的评价级别见表1.4-1。

表1.4-1各项评价专题的等级及依据

专题

依据

评价工作等级

水环境

工程技改后，工程废水排放总量不变，仍为8273m3/d。

本工程生产废水和厂区生活污水经过处理到达DB44/26-2001一级排放标准后接入市政污水管网排往龙华污水处理厂处理。

三

环境空气

本工程主要污染物氟化物、氯气、氯化氢和氮氧化物的最大地面浓度占标率来自于来有害废气排气筒排放的氟化物，为2.07％，低于10％，

三

声环境

工程技改后，噪声级增加较少，受影响人口的变化不大

三

地下水环境

工程场地包气带的防污性能中等；含水层的易污染的特征不易；地下水非饮用功能，地下水的敏感程度为不敏感；污水排放量介于1000~10000m3/d之间，污水排放强度中等且进入城市污水管网；水质复杂程度为中等。

三

环境风险

本工程涉及到的危险品和有毒物质数量均未超过重大危险源临界量

二

〔1〕环境空气

根据HJ2.2-2021，评价范围的直径或边长一般不应小于5km，据此确定本工程大气评价范围为边长为5km的矩形区域。

评价范围见图1.7-1。

〔2〕水环境

本工程污水进入龙华污水处理厂后排入观澜河，因此地表水评价范围为龙华污水处理厂排放口上游500m至下游5000m的河段。

评价范围见图5.3-1。

〔3〕地下水

根据?

环境影响评价技术导那么地下水环境?

，本工程地下水的评价范围为工程周边4km2范围。

〔4〕声环境

根据?

环境影响评价技术导那么〔声环境〕?

〔HJ/T2.4-2021〕及工程的实际情况，本工程声环境评价范围为建设工程厂区边界外1m以内的范围。

〔5〕风险评价

根据?

建设工程环境风险技术导那么?

，本工程环境风险的评价范围为工程周边3km范围。

经现场查勘和资料调研，本工程环境影响评价区内无自然保护区、风景名胜区和文物古迹，且未发现国家重点保护的动植物。

本工程环境敏感点以及环境保护目标详见表1.6-1，工程与周边环境关系见图1.6-1。

表1.6-1环境敏感点以及环境保护目标一览表

环境要素

名称

方位

受体性质

受体规模

与本工程边界的距离m

功能区划以及保护目标

水环境

观澜河

工程西侧

河流

3/s,小河

140

GB3838-2002中Ш类水质标准

大气环境、环境风险

伍屋村

工程南侧

34栋7-8层民居

196户686人

30

环境空气符合GB3095-96中二级标准、TJ36-79、国外大气质量标准〔参照〕

瓦窑排

工程南侧

16栋6-7层民居

192户672人

480

共和村

工程西南

32栋5~8层民居

384户1344人

970

新华中学

工程西南

中学

师生约900人

1100

龙华人民医院

工程西南

医院

病床600张

1280

世纪华庭

工程西侧

18栋10层民居

360户720人

1000

东和花园

工程西侧

16栋10层民居

320户1120人

1200

美丽365花园

工程西侧

32栋10-12层民居

704户2464人

1200

弓村

工程西侧

80栋6-10层民居

1200户4200人

2300

油松村

工程北侧

50栋6-10层民居

920户3220人

2000

金桥花园

工程西侧

34栋10-12层民居

700户2450人

1900

清湖小学、幼儿园

工程北侧

小学和幼儿园

师生700人

980

清湖村

工程北侧

40栋6-10层民居

640户2240人

510

岗头村

工程东面

22栋6-10层民居

352户1232人

950

声环境

伍屋村

工程南侧

34栋7-8层民居

196户686人

30

（与污水处理站距离为100m）

GB3096-20213类功能区

图1.6-1工程周边环境敏感点及评价范围图

第二章现有工程回忆性影响评价

深超光电〔深圳〕位于深圳市宝安区龙华街道民清路伍屋村北侧深超科技园内。

园内现拥有第五代薄膜晶体管液晶显示面板〔TFT-LCD〕生产线工程。

该工程于2006年7月18日获得了原国家环境保护局的环境影响评价批复〔“环审〔2006〕337号〞，见附件6〕，批复中生产规模为：

玻璃基板加工能力为6万张/月，彩色滤光片玻璃基板加工能力为7.2万张/月〔内制配套〕，液晶面板产量为794.88万块/年〔以19英寸计。

折合，产能为19440万块/年〕。

工程开工时间为2007年7月，2021年9月建成，因市场原因，公司将该工程分两期验收。

一期工程于2021年9月试运行，国家环境保护部于2021年4月以“环验〔2021〕85号〔附件7〕〞验收一期工程。

一期工程达产后生产规模为：

玻璃基板加工能力3万张/月，液晶面板产量397.44万块/年。

二期工程于2021年10月试生产，现阶段未达产，国家环境保护部尚未进行验收。

二期工程达产后的生产规模到达：

玻璃基板加工能力为6万张/月，彩色滤光片玻璃基板加工能力为7.2万张/月〔内制配套〕，液晶面板产量为794.88万块/年。

目前公司产能到达52.7k/月，所以本报告对企业技改前的回忆评价以现有工程现状监测数据为依据进行评价。

现有工程名称：

液晶显示面板〔TFT-LCD〕生产线工程

建设地址：

工程位于深圳市宝安区龙华街道民清路伍屋村北侧的深超科技园内。

占地约万m2，总建筑面积约29.74万m2，公司南侧为伍屋村，东面、西面和北面均为富士康集团〔深圳〕厂房，具体见图2.3-1。

建设规模：

工程分两期验收，一期工程玻璃基板加工能力为3万张/月，液晶面板产量为397.44万块/年，二期工程完成后工程的玻璃基板加工能力为6万张/月，彩色滤光片玻璃基板加工能力为7.2万张/月〔内制配套〕，液晶面板产量为794.88万块/年〔，19440万块/年〕。

目前一期已完成，二期工程产能到达52.7k/月，预计2021年年底达产。

建设时间：

2007年7月。

开始运行时间：

一期工程于2021年9月运行，二期工程于2021年10月试运行；

投资：

现有工程总投资124.117亿元，其中环保投资3.9亿元，占工程总投资的3.14%。

工程的产品包括玻璃基板、彩色滤光片玻璃基板以及液晶玻璃面板，产品定位于笔记本计算机、PC显示器及液晶电视用TFT-LCD液晶显示模块。

工程的产品方案见表2.2-1，工程组成见表2.2-2。

表2.2-1产品的生产方案

序号

工程名称

产品名称及规格

工程现有产量

1

阵列工程

阵列玻璃（规格1200×1300mm）

2

彩膜工程

彩膜玻璃（规格1200×1300mm）

3

成盒工程

液晶面板屏

698.17万块/年

〔19英寸〕

4

模块工程

液晶电视用显示模块

698.17万块/年

〔19英寸〕

表2.2-2工程组成一览表

类别

序号

工程工程

工程建设内容以及建设规模

主

体

工

程

1

生产厂房

TFT-LCD生产厂房〔K1a（FAB）建筑〕

地下一层、地面三层的钢筋混凝土、钢屋架混合结构厂房，占地面积2，建筑面积13892。

由阵列生产、制屏〔成盒〕生产、彩色滤光片生产及支持局部等组成。

模块生产厂房

地面5层,RC结构,占地面积2,建筑面积2

2

生产线

阵列工程生产线

现有工程：

阵列玻璃生产能力5.27万张/月〔规格1200×1300mm〕

成盒工程生产线

现有工程：

液晶面板屏生产能力17074.8万块/年〔〕

模块工程生产线

现有工程：

液晶模块17074.8万块/年〔〕

彩色滤光片生产线

现有工程

类别

序号

工程工程

工程建设内容以及建设规模

辅

助

工

程

3

辅助厂房

支持厂房〔K1b〕

生产支持与库房区，共5层，占地面积7012.16m2，建筑面积30094.69m2，高度为31.42m，位于K1a西面。

支持厂房〔K1c〕

化学品供给站与特殊气体供给区，占地面积2，建筑面积2。

地面3层、地下1层，位于K1a东偏北面

支持厂房〔K1d〕

化学品供给站及配电间，占地面积2，建筑面积2。

地面4层、地下1层，位于K1a东偏南面

公

用

工

程

4

公用厂房

动力配套厂房〔CUB〕K2〔K2a、K2b建筑〕

钢筋混凝土结构厂房，K2a区地面3层地下1层，K2b区地面2层地下1层，占地面积8366m2，建筑面积2。

K2a设置热交换站、冷冻站、应急发电机房、配电室、压缩空气站及水泵房，地下设置有水泵房及蓄水池、过滤池。

K2b设置有废水处理站、纯水站

气体供给站1

占地面积396.95m2，建筑面积2。

2栋建筑，1栋地面2层，1栋地面1层，存放甲类物质，由专业气体公司建设

110KV变电站

〔K9号建筑〕

二层结构专业变电站，占地面积，建筑面积2。

材料暂存间

〔k3建筑〕

气体、化学品储存，地面2层。

占地面积2，

建筑面积2。

气体供给站2

硅甲烷储存与供给，占地面积180m2，建筑面积180m2。

5

动力设施

包括给水排水、采暖通风空调净化、气体动力、电气工程设施

给水系统

最大18000m3/d〔包括生产、生活、消防、中水、纯水系统〕

纯水系统

系统能力763m3/h

循环冷却水系统

系统能力16000m3/h〔8组组合式冷却塔，2000m3/h，7用1备〕

化学药品输送系统

剥离液、NMP、显影液、ITORework、RGBRework、稀释液、Al刻蚀液、ITO刻蚀液、KOH显影液、PGMEA共计10种

空气处理系统

空调、净化

冷冻水系统

总的中低温冷负荷为50982KW〔14500USRT〕；总冷冻机能力为68563KW。

蒸气系统

天然气锅炉3台，包括2台蒸发量为2.56t/h和1台蒸发量5t/h。

大宗气体系统

高纯氦气〔He〕、高纯氧气〔O2〕、高纯氢气〔H2〕、高纯氩气〔Ar〕；N2、普通氧气〔O2〕

类别

序号

工程工程

工程建设内容以及建设规模

公

用

工

程

特气系统

易燃气体NH3、1%PH3/H2；硅烷SiH4；腐蚀/毒性气体NF3、Cl2、HCl；不燃气体SF6、CF4、CO2等共计9种

工艺压缩空气系统

5台空压机，用量为41500Nm3/h〔11000Nm3/h空压机3台，6000Nm3/h空压机1台，2500Nm3/h空压机1台〕

工艺真空系统

用量为8496Nm3/h〔2124Nm3/h真空泵5台，4用1备〕

天然气系统

用量为600Nm3/h，取自市政天然气管网

供电系统

全厂用电总装设容量126843kVA，双路专用线路110kv变电站一座

应急供电系统

1300kWUPS不间断电源系统5台，1760kw应急柴油发电机5台

6

职业平安卫生和劳动保护设施

有害气体和废热排除系统、新风补给系统、防静电设施、平安接地系统、防噪声设施、化学品防护措施〔紧急喷淋及冲眼器〕、氢气管道泄漏探测和报警、特殊气体泄漏探测和报警、防雷接地系统、应急照明和疏散指示、事故排风、盥洗和饮水、妇女卫生和职工医疗

7

消防设施

建筑物防火措施、室内消火栓灭火系统、室内自动喷水灭火消防系统、室外消火栓灭火系统、洁净室内防排烟系统、火灾报警系统、声光应急疏散指示、消防系统等。

8

室外工程

厂区道路、照明、围墙大门、室外管线、绿化等

环保工程

废水处理系统

1套处理能力为35m3/h含氟废水处理系统

总处理能力为105m3/h酸碱废水处理系统

1套5m3/hFeCl3废水处理单元

1套60m3/h酸碱废水处理单元

1套40m3/h杂排水处理单元

总处理能力为259m3/h有机废水处理系统

1套27m3/hAl刻蚀废水处理单元

1套50m3/h剥离废水处理单元

1套182m3/h有机废水处理单元

废气处理系统

一般排风

27m排气筒9个，6用3备，系统设计风量为6*108000m3/h

蚀刻废气

3套碱液喷淋塔吸收装置，2用1备；

31m高排气筒3个

类别

序号

工程工程

工程建设内容以及建设规模

环保工程

废气处理系统

碱性废气

3套酸液喷淋塔吸收装置，1用1