洁净厂房二次配管实施要领胡云云.docx
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洁净厂房二次配管实施要领胡云云
洁净厂房二次配管
实施要领
胡云云2011年01月
版权所有,违者必究
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前言
做好二次配管要协调掌握好多方面的要领,来自于技术、生产、品控、
洁净、安全、文控等各个方面,本文就前三个要领与大家一起探讨。
针对大规模洁净厂房二次配管的实施,从我在合肥京东方六代线二次配
项目中得到的体会来看,就技术、生产、品控这三者的关系而言,一定要
坚定不移的贯彻这样一个思路:
技术指导生产,品控强化生产
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内容提要
一、技术要领
(一)对工艺及工艺设备的理解
(二)对重要工序的指导
(三)对作业空间的规划
二、生产要领
(一)行之有效的生产制度
(二)符合要求的生产计划
(三)快速反应的生产体系
三、品控要领
(一)树立品控思想
(二)严格品控过程
(三)保证品控结果
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一、技术要领
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一、技术要领
(一)对工艺及工艺设备的理解
理由:
1、二次配接触的都是工艺设备;
2、二次配的顺序往往跟着工艺走。
作为管理者,应对二次配项目有全盘的理解,以便在技术指导、生产安
排、品控重点三个方面上做出部署。
以合肥京东方六代线为例进行说明。
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一、技术要领
1、对工艺的理解
合肥京东方六代线项目背景:
工作量大、工期紧,业主需要在二十天内做出CF的两
条产线以供试产,分别是BML、RED这两条产线。
首先对ColorFilter厂房内的工艺及设备情况进行分析.
其中BML为直线型布置,RED为回转型布置。
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一、技术要领
1、对工艺的理解
六代线的ColorFilter洁净室面积约为23000m2,根据其功能可大致分为五个部分,
见下表:
主要区域占地面积(m2)设备台数(台)主要作用
PhotoArea15000235光刻(涂胶、曝光、显影等)
SputterArea250030溅射
RepairArea230048维修
StockerArea10004运输通道
OthersArea220035其他辅助功能
Sub-total23000352
从表中可以看出,PhotoArea和SputterArea占去了洁净室大部分面积,这就是
六代线ColorFilter厂房的两大核心工艺¡¡Photo(光刻)和Sputter(溅射)。
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一、技术要领
1、对工艺的理解
要清楚两个工艺流程:
从大方向上来看,CF工艺流程为:
玻璃基板→BM→RGB→ITO→PS→CF玻璃→CELL工艺
而BM、RGB、PS的工艺流程如下:
Loader→Cleaner→DistributionConveyor→Coater→Prebake→
ChromaticityMeasurementC/V→ExposureConveyor→Exposure→
OverheadConveyor→Developer→Buffer→AllSheetInspection→
InspectionDistributionC/V→Review→VisualInspection→PostBake→
Unloader
同时把握住关键设备。
这些设备往往调试时间最长、调试难度最大,因此要尽量
做到提前提供条件。
像上面这个工艺过程比较清晰,主要是围绕着涂胶Coater、曝
光Exposure、显影Developer三大核心步骤进行。
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一、技术要领
1、对工艺的理解
Coater(TOK)
Exposure(NSK)
Developer
(Shibaura)
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*TFT-LCD工艺流程(BOEG6)
玻璃基板
TFT玻璃
(1500mm*1800mm)
Array工艺流程
玻璃基板
(1500mm*1800mm)
CF玻璃
ColorFilter工艺流程
TFT玻璃
TFT玻璃→清洗→PI取向膜涂布→取向→涂封框胶
Cell玻璃
真空贴盒→切割→检查
(32¡Pannle)
(710mm*400mm)
CF玻璃
Cell工艺流程
偏光片、PCB板、驱动IC、B/LUnit、金属边框、
光学膜、灯管、导光板
模组成品
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一、技术要领
2、对工艺设备的理解
在TFT厂房里,很多设备不是独立存在,还涉及到很多关联设备,比如需要进行抽真
空的工艺设备,像PECVD、Sputter、DryEtch、Coater,它们可能的关联设备会有
VacuumPump、Scrubber等。
其中PECVD和DryEtch两种设备抽出的气体含有部分危险气体,通常需要经过
Scrubber燃烧处理后再接入排风管道,其真空排气连接管路的流程可简单表示为:
MainEquipment→VaccumPump→LocalScrubber→ExhaustAirDuct。
而Sputter和Coater在真空泵出口后可直接接入相应的排风系统,其真空排气连接管
路的流程可表示为:
MainEquipment→VaccumPump→ExhaustAirDuct。
流程可形象的描述为:
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一、技术要领
2、对工艺设备的理解
主要的真空排气管路分为两部分:
一部分是真空管路,即机台Hookup至PumpInlet;一部分是排气管路,即Pump
Outlet至LocalScrubber、LocalScrubber至ExhaustAirDuct。
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一、技术要领
2、对工艺设备的理解
在进行真空排气管道施工时,需提前针对每台设备进行管路设计。
管路设计及管路
施工需注意以下几个重点:
1)保证抽真空的速率:
a.真空管路管径一般需大于PUMP抽气口径的1.25-2倍,即进行扩管。
举例如下(见
下页列表):
b.管路尽量直,减少弯头,即施工时90°及45°弯头数量不得超过预估数量,若需现
场实际施工状况因素,则需与设备工程师进行讨论,经工程師同意下才能超过预估弯
头数量。
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一、技术要领
2、对工艺设备的理解
WorkScopeProcessChamberLoadLockX-fer(TC)
EQVendor
AKT/JEL
Project
VaccumPump
Vendor
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一、技术要领
2、对工艺设备的理解
2)避震设计:
需避免PUMP抽气时震动造成管路漏气,一般需在机台及PUMP端加
装波纹软管或PU护套等。
3)测漏设计:
机台端及PUMP端须预留NW25测漏口,以方便将来加装LeakCheck
Valve。
4)拆装设计:
为使管路拆卸方便,须于适当长度管路设计加装Flange。
一般来说,
真空管每段不得超过2.5m,排气管路每段不得超过1.5m(如图)
5)管路接口密封要好,尤其是针对一些有腐蚀性的气体管路,应着重注意垫片的材
料质量及施工质量。
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一、技术要领
2、对工艺设备的理解
6)了解需求表(以某CVD为例)
Proc
ess
机台
型号
Cham
ber
CHAMBER数
量
tacttimeor
Gas
Flow&Pressure
Chamb
er
Volume
vacuum
linesize
使用
gas/chemic
al
预估
Pumping
speed
(L/min)
L/L1
<20sec,ATMto
0.3Torr
(includeSlow
pump5sec
-->500torr)
1100L6"N2/He200000
CVD
AKT
55K
X
T/C125slm@1
torr
26000L4"N230000
P/C5130slm@0.7
Torr
2500L12"
N2/SiH4/NH
3/PH3/H2/N
F3/Ar/N2O
70000
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一、技术要领
2、对工艺设备的理解
7)画出连接管路原理图
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一、技术要领
(二)对重点工序的指导
实施一个大规模厂房的二次配管项目,在施工开始之初,应编制《施工
要领书》,部分工序指导到工人。
以焊接管道为例,应至少涵盖以下内容:
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一、技术要领
(二)对重点工序的指导
对于重点工序的指导,核心在于:
流程标准化。
举例:
不锈钢管的切割
1)切割流程:
根据需要
选择管段
切割划线
固定管道充气保护实施切割
切割检查端面处理管口封堵
2)切割机具:
小口径管道(6.35mm~12.7mm):
不锈钢割刀
大口径管道(大于12.7mm):
GF锯。
切割好的管子应放置于搁架上;
切管时若刀片不利应立即更换以免损坏管子。
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一、技术要领
(二)对重点工序的指导
举例:
不锈钢管的焊接
1)焊接流程:
固定管道
焊口组对
点固焊口3M胶带密
封进行充气
拆除3M胶
带实施焊接
外表面
处理
两端封堵,
保持正压
2)焊接机具:
自动焊:
ARCMACHINESINC207A等。
手工焊:
手工氩弧焊机。
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一、技术要领
(三)对作业空间的规划
在了解整个区域的二次配管主线后,应分区域进行局部空间规划,从而
做到整厂的空间规划。
同时应以工艺设备为单位,针对每台工艺设备,画出单台设备的二次配
管轴测图。
(有的设备需画多张轴测图,有的小设备可以多个合在一起画)
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二、生产要领
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二、生产要领
(一)行之有效的生产制度
1、作业确认表格化管理
制订成套的生产使用表格。
材料整理单、阀门状态改变确认单、送电确认单、停电确
认单、二次配验收报告等。
每一个重要步骤都必须书面签字确认。
作业面的接收确认;
原有管道阀门、电气开关等物件的状态改变确认;
工艺设备试运行前的各环节确认;
单台设备的验收确认;
每天检查执行情况。
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二、生产要领
(一)行之有效的生产制度
2、生产进度动态化管理
以产线、设备为单位,进行动态管理,便于实时了解进度情况。
一般来说工艺设备的动力需求有若干种,遇到紧急设备往往需要先提供配电及压
缩空气。
生产过程中,多台设备多个点同时进行,容易产生混乱。
管道二次配实时状态表-B3100520.xls
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二、生产要领
(二)左右兼顾的生产计划
1、计划的制订
多个计划的配合:
进度计划、人员计划、材料计划。
既要满足来自业主的进度需求,又要符合项目部及公司的资源情况。
比如:
根据要求,4000个点需要在40天内完成,则每天需要完成100个点,从人
员需求上至少要50组(每组2人)。
二次配的时间往往很紧,前期分析要准确。
2、计划的调整
前松后紧。
平均每天完成100个点,但最好前期每天完成120个点,后期进行调整。
设备需求变化带来的调整。
3、计划的完成
机台完成后,应组织业主进行单台设备验收后签字确认.
确认后体现在动态管理表里。
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二、生产要领
(三)快速反应的生产体系
二次配的几个特点:
不确定性因素多:
设备位置变化、设备接口变化、施工时间改变等;
工作开展紧急:
随时可能抢工;
接口型式繁杂:
设备来自于多个国家,标准不一;
¡¡
建立快速反应体系。
满足调试需求,必要时24小时施工。
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三、品控要领
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三、品控要领
(一)树立品控思想
二次配管的品控思想:
品质第一。
二次配工作是连接工艺设备的最后一
道工程工序,施工品质将直接影响到
产品的成品率。
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三、品控要领
(二)严格品控过程
过程控制是二次配管品控的重中之重。
二次配管中,过程控制包括:
材料控制、机具控制、人员控制、作业环境控制、
气源控制、切割控制、焊接控制等等。
以人员控制、焊接控制、气源控制为例。
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三、品控要领
(二)严格品控过程
1、人员控制
必须建立严格的培训和考核制度!
所有参与二次配管施工的人员必须经过培训。
对焊工及管工进行考核,考核合格后发上岗证,专人专号,严禁无证操作。
1单元2单元3单元4单元
代号SZ
1111
焊接类型手工焊自动焊
焊工编号
焊接类型
如:
CESEⅡ-BOEB3-Z01
项目简称
公司简称
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三、品控要领
(二)严格品控过程
2、焊接控制
所有焊工必须是经过项目考核通过并发证的人员。
焊接完成后应及时进行外表面处理。
焊接控制的两个重点:
(1)试焊
A.自动焊:
每天正式焊接前,必须进行试焊!
经检验合格后方可正式施焊。
试片需写上日期、系统、焊工证号,同时将焊接数据填写在焊接纪录表上。
发生下列情况之一时需重新做试片:
改变管材的炉号、改变管材的尺寸、焊接机
台断电的时候、焊把更换、焊接途中焊接机数据的更改、钨棒的更换、焊接的吹
扫气中断等。
B.手工焊:
重点是考核及焊口责任制。
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三、品控要领
(二)严格品控过程
(2)焊口责任制
焊口责任制要做到焊接记录表、管段图、现场焊口三者统一。
要能体现出任何一
个管段或管件的管径、长度、编号,任何一个焊口的焊口编号、焊接人员、焊接
方式、焊接日期、焊接状况等。
XXXPROJECTWELDRECORDING
DATE
WELDER
I.D.#
WELD
#
TUBE
SIZE
TUBE
CLASS
WELD
TYPE
WELD
MACHINE
WELD
A/R
LOCATIONSYSTEM
TOTAL
WELDS
REJECT
090309a
m
CESEⅡ-
BOEB3
-Z04
CIT/TARC207A
1/2"EP
COT/TARC207A
FABG4---H4,E6-F6O28
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三、品控要领
(二)严格品控过程
3、气源控制
焊接气:
采用氩气,纯度不低于99.999%
保护气:
采用液氩或氩气(纯度不低于99.999%)
如果气站提供的气体一般不合格,应在气源处加
装纯化器和过滤器。
保护气供给系统图
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三、品控要领
(三)保证品控结果
为更好的保证品控结果,实行定期检查和抽查制度。
定期检查应在前期确定好检查时间,坚定不移的执行下去,由品控负责
人牵头,技术经理、各专业负责人等参加。
如合肥京东方六代线项目定
于每周二、六16:
00pm进行一周两次的定期检查。
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三、品控要领
(三)保证品控结果
抽查之五项测试:
第三方测试
专业的测试仪器
完整的测试记录
压力测试氦测漏(如需要)
微粒子测试水含量测试氧含量测试
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结语
二次配实施的时间段仍属厂房建设期,但已处于向运行期过渡的阶段,
期间打交道的人会很多,比如BOEG6项目,动力技术部、制造部、生产技
术部、设备供应商都是我们每天必须频繁接触的人。
如果项目部没有一个
好的思路、一种清晰的做事方式,很容易陷入被动,而二次配施工往往没
有挽回的时间。
如果掌握了技术、生产、品控这三部分要领,相信二次配的实施已成功
了一半。
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洁净厂房二次配管实施要领
THANKYOU!
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