传感器.docx

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传感器

热敏电阻

工业压力传感器

接近传感器

温度传感器

加速计

霍尔效应传感器

流量传感器

其它传感器

磁阻传感器

电流传感器

光学导航传感器

太阳能电池

PIR传感器

板载压力传感器

恒温器

角度和线性位置传感器

环境光传感器

Gyroscopes

LevelSensor

PhotoelectricSensor

空气质量传感器

图像传感器

MEMS传感器

MEMS即微机电系统（MicroelectroMechanicalSystems），是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。

经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。

它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。

截止到2010年，全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中MEMS传感器占相当大的比例。

MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。

与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。

同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

1.应用于医疗

MEMS传感器应用于无创胎心检测，检测胎儿心率是一项技术性很强的工作，由于胎儿心率很快，在每分钟l20～160次之间，用传统的听诊器甚至只有放大作用的超声多普勒仪，用人工计数很难测量准确。

而具有数字显示功能的超声多普勒胎心监护仪，价格昂贵，仅为少数大医院使用，在中、小型医院及广大的农村地区无法普及。

此外，超声振动波作用于胎儿，会对胎儿产生很大的不利作用尽管检测剂量很低，也属于有损探测范畴，不适于经常性、重复性的检查及家庭使用。

基于VTI公司的MEMS加速度传感器，提出一种无创胎心检测方法，研制出一种简单易学、直观准确的介于胎心听诊器和多普勒胎儿监护仪之间的临床诊断和孕妇自检的医疗辅助仪器。

通过加速度传感器将胎儿心率转换成模拟电压信号，经前置放大用的仪器放大器实现差值放大。

然后进行滤波等一系列中间信号处理，用A/D转换器将模拟电压信号转换成数字信号。

通过光隔离器件输入到单片机进行分析处理，最后输出处理结果。

基于MEMS加速度传感器设计的胎儿心率检测仪在适当改进后能够以此为终端，做一个远程胎心监护系统。

医院端的中央信号采集分析监护主机给出自动分析结果，医生对该结果进行诊断，如果有问题及时通知孕妇到医院来。

该技术有利于孕妇随时检查胎儿的状况，有利于胎儿和孕妇的健康。

[1]

2.应用在汽车电子

MEMS压力传感器主要应用在测量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力。

这种传感器用单晶硅作材料，以采用MEMS技术在材料中间制作成力敏膜片，然后在膜片上扩散杂质形成四只应变电阻，再以惠斯顿电桥应用在汽车中的MEMS传感器

方式将应变电阻连接成电路，来获得高灵敏度。

车用MEMS压力传感器有电容式、压阻式、差动变压器式、声表面波式等几种常见的形式。

而MEMS加速度计的原理是基于牛顿的经典力学定律，通常由悬挂系统和检测质量组成，通过微硅质量块的偏移实现对加速度的检测，主要用于汽车安全气囊系统、防滑系统、汽车导航系统和防盗系统等，除了有电容式、压阻式,以外，MEMS加速度计还有压电式、隧道电流型、谐振式和热电偶式等形式。

其中，电容式MEMS加速度计具有灵敏度高、受温度影响极小等特点，是MEMS微加速度计中的主流产品。

微陀螺仪是一种角速率传感器，主要用于汽车导航的GPS信号补偿和汽车底盘控制系统，主要有振动式、转子式等几种。

应用最多的属于振动陀螺仪，它利用单晶硅或多晶硅的振动质量块在被基座带动旋转时产生的哥氏效应来感测角速度。

例如汽车在转弯时，系统通过陀螺仪测量角速度来指示方向盘的转动是否到位，主动在内侧或者外侧车轮上加上适当的制动以防止汽车脱离车道，通常，它与低加速度计一起构成主动控制系统。

[1]

3.应用于运动追踪系统

在运动员的日常训练中，MEMS传感器可以用来进行3D人体运动测量，对每一个动作进行记录，教练们对结果分析，反复比较，以便提高运动员的成绩。

随着MEMS技术的进一步发展，MEMS传感器的价格也会随着降低，这在大众健身房中也可以广泛应用。

　　在滑雪方面，3D运动追踪中的压力传感器、加速度传感器、陀螺仪以及GPS可以让使用者获得极精确的观察能力，除了可提供滑雪板的移动数据外，还可以记录使用者的位置和距离。

在冲浪方面也是如此，安装在冲浪板上的3D运动追踪，可以记录海浪高度、速度、冲浪时间、浆板距离、水温以及消耗的热量等信息

研究现状

1、微机械压力传感器

微机械压力传感器是最早开始研制的微机械产品，也是微机械技术中最成熟、最早开始产业化的产品。

从信号检测方式来看，微机械压力传感器分为压阻式和电容式两类，分别以体微机械加工技术和牺牲层技术为基础制造。

从敏感膜结构来看，有圆形、方形、矩形、E形等多种结构。

压阻式压力传感器的精度可达0.05%～0.01%,年稳定性达0.1%/F.S,温度误差为0.0002%,耐压可达几百兆帕,过压保护范围可达传感器量程的20倍以上,并能进行大范围下的全温补偿。

现阶段微机械压力传感器的主要发展方向有以下几个方面。

（1）将敏感元件与信号处理、校准、补偿、微控制器等进行单片集成，研制智能化的压力传感器。

（2）进一步提高压力传感器的灵敏度，实现低量程的微压传感器。

　　（3）提高工作温度，研制高低温压力传感器。

　　（4）开发谐振式压力传感器。

2、微加速度传感器

硅微加速度传感器是继微压力传感器之后第二个进入市场的微机械传感器。

其主要类型有压阻式、电容式、力平衡式和谐振式。

其中最具有吸引力的是力平衡加速度计，其典型产品是Kuehnel等人在1994年报道的AGXL50型。

　　国内在微加速度传感器的研制方面也作了大量的工作，如西安电子科技大学研制的压阻式微加速度传感器和清华大学微电子所开发的谐振式微加速度传感器。

后者采用电阻热激励、压阻电桥检测的方式，其敏感结构为高度对称的4角支撑质量块形式，在质量块4边与支撑框架之间制作了4个谐振梁用于信号检测。

3、微机械陀螺

角速度一般是用陀螺仪来进行测量的。

传统的陀螺仪是利用高速转动的物体具有保持其角动量的特性来测量角速度的。

这种陀螺仪的精度很高，但它的结构复杂，使用寿命短，成本高，一般仅用于导航方面，而难以在一般的运动控制系统中应用。

实际上，如果不是受成本限制，角速度传感器可在诸如汽车牵引控制系统、摄象机的稳定系统、医用仪器、军事仪器、运动机械、计算机惯性鼠标、军事等领域有广泛的应用前景。

常见的微机械角速度传感器有双平衡环结构，悬臂梁结构、音叉结构、振动环结构等。

但是，实现的微机械陀螺的精度还不到10°/h，离惯性导航系统所需的0.1°/h相差尚远。

4、微流量传感器

　　微流量传感器不仅外形尺寸小，能达到很低的测量量级，而且死区容量小，响应时间短，适合于微流体的精密测量和控制。

目前国内外研究的微流量传感器依据工作原理可分为热式（包括热传导式和热飞行时间式）、机械式和谐振式3种。

清华大学精密仪器系设计的阀片式微流量传感器通过阀片将流量转换为梁表面弯曲应力，再由集成在阀片上的压敏电桥检测出流量信号。

该传感器的芯片尺寸为3.5mm×3.5mm,在10ml～200ml/min的气体流量下,线性度优于5%。

5、微气体传感器

根据制作材料的不同，微气敏传感器分为硅基气敏传感器和硅微气敏传感器。

其中前者以硅为衬底，敏感层为非硅材料，是当前微气敏传感器的主流。

微气体传感器可满足人们对气敏传感器集成化、智能化、多功能化等要求。

例如许多气敏传感器的敏感性能和工作温度密切相关，因而要同时制作加热元件和温度探测元件，以监测和控制温度。

MEMS技术很容易将气敏元件和温度探测元件制作在一起，保证气体传感器优良性能的发挥。

谐振式气敏传感器不需要对器件进行加热，且输出信号为频率量，是硅微气敏传感器发展的重要方向之一。

北京大学微电子所提出的1种微结构气体传感器，由硅梁、激振元件、测振元件和气体敏感膜组成。

硅梁被置于被测气体中后，表面的敏感膜吸附气体分子而使梁的质量增加，使梁的谐振频率减小。

这样通过测量硅梁的谐振频率可得到气体的浓度值。

对NO2气体浓度的检测实验表明，在0×10～1×10的范围内有较好的线性，浓度检测极限达到1×10，当工作频率是19kHz时，灵敏度是1.3Hz/10。

德国的M.Maute等人在SiNx悬臂梁表面涂敷聚合物PDMS来检测己烷气体，得到－0.099Hz/10的灵敏度。

6、微机械温度传感器

微机械传感器与传统的传感器相比，具有体积小、重量轻的特点，其固有热容量仅为10J/K～10J/K，使其在温度测量方面具有传统温度传感器不可比拟的优势。

我所开发了1种硅/二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器。

基于硅和二氧化硅两种材料热膨胀系数的差异，不同温度下梁的挠度不同，其形变可通过位于梁根部的压敏电桥来检测。

其非线性误差为0.9%，迟滞误差为0.45%，重复性误差为1.63%，精度为1.9%。

7、其他微机械传感器

利用微机械加工技术还可以实现其他多种传感器，例如瑞士Chalmers大学的PeterE等人设计的谐振式流体密度传感器，浙江大学研制的力平衡微机械真空传感器，中科院合肥智能所研制的振梁式微机械力敏传感器等。

分类

1.MEMS气体流量传感器：

高精度，检测流量范围广，适用于各种需求的流量计测。

2.MEMS压力传感器：

性能偏差小的MEMS压力传感器。

3.MEMS非接触温度传感器：

对静止人体也能检测，高灵敏度的人体感应传感器。

4.MEMS开关：

高频，小型，长寿命的MEMS开关。

MEMS传感器已经在我们每天使用的各类设备上数以百万计地使用着。

在智能手机上，MEMS传感器提供在声音性能、场景切换、手势识别、方向定位、以及温度/压力/湿度传感器等广泛的应用；在汽车上，MEMS传感器借助气囊碰撞传感器、胎压监测系统（TPMS）和车辆稳定性控制增强车辆的性能。

医疗领域，通过MEMS传感器研成功制出微型胰岛素注射泵，并使心脏搭桥移植和人工细胞组织成为现实中可实际使用的治疗方式；在可穿戴应用中，MEMS传感器可实现运动追踪、心跳速率测量等。

在城市建设领域，MEMS传感器可以协助监测基础设施建设的稳定性，营造充满活力的反馈系统……MEMS传感器已经被广泛地集成到汽车电子、智能家居、智能电网等物联网应用领域。

近日全球MEMS供应链及物联网峰会暨MEMSIndustryGroup（MIG）全球MEMS产业联盟峰会在上海召开。

这是全球最大MEMS行业组织MIG第一次来到中国上海，携手中国科学院上海微系统与信息技术研究所（SIMIT）和上海微技术工业研究院（SITRI）举办以“MEMS供应链及物联网”为主题的MIG上海会议，会议汇集全球MEMS业界精英，聚焦全球MEMS供应链及物联网行业，展现最新国际MEMS技术，探讨中国物联网产业的发展趋势。

MIG首席战略官StephenWhalley在开幕致辞中指出，作为智能感知时代的重要硬件基础，MEMS传感器产品需求近年增势迅猛，“消费类应用成为MEMS传感器市场的主要推动力。

2014年MEMS传感器市场规模达到130亿美元，最大的消费类应用规模达到59亿美元，到2019年预计将超过100亿美元，年复合增长率约11.2%。

而成长最快的是医疗市场，将从今年的24.5亿美元增长至2019年的72亿美元左右，年复合增长率近30%！

”

MEMS和传感器的爆发为智能物联网铺平了道路。

StephenWhalley如是说。

“智能制造、智能电网、智能城市、智能生活……无一不需MEMS传感器、传感器融合、无线互连、更好的节能/能量获取等技术。

我们已经来到真实世界与智能物联世界的边界，而强大的MEMS/传感器的供应链是促进这一切的关键。

5到10年内MEMS主要应用仍是手机平板

IHSMEMS及传感器业务总监JérémieBouchaud

HISMEMS及传感器业务总监JérémieBouchaud指出，在今后5到10年内，智能手机以及平板电脑仍然是MEMS主要应用领域。

今后MEMS的应用领域将逐渐扩大，包括正在兴起的可穿戴设备、可拥有百余个MEMS传感器的汽车电子，和人们生活息息相关的智能家居和智能城市都是需要大力挖掘的市场。

“我们认为会有可穿戴设备的应用，但是它的比例还比较小，目前还不到10%，在这段时间内还是不会超过智能手机应用。

在汽车应用方面会继续看到MEMS传感器的应用，因为高端的汽车中发现会有一百多个MEMS传感器，所以汽车是今后可以发展应用的领域。

还有关于物联网，我认为要等待5到10年以后才会有很好的发展，目前完全取决于量的问题。

5到10年以后，如果智能家居、智能城市有了很好的发展，物联网在MEMS传感器应用方面会有很好的发展，但是在这之前不会看到在物联网方面MEMS传感器的发展。

”他表示在手持终端应用领域，Jérémie指出将会出现一些新兴传感器，包括指纹传感器，环境（湿度、气体、紫外线）传感器，健康（脉搏、血氧）传感器，热成像传感器等。

此外MEMS麦克风、运动传感器包括加速计、磁力计、陀螺仪、压力传感器以及不同类别的运动传感器组合等市场均有较好的成长表现。

一些主要MEMS厂商动态

在整个半导体生态体系中，MEMS正扮演着越来越重要的角色，其应用范围包含了消费电子、汽车工业、工业控制乃至生物医学、航空航天等领域，且仍在迅速扩大。

MEMS在即将到来的物联网时代中将起到的核心作用，为新科技产品提供更智能、更敏锐的感观能力。

国内外各大MEMS企业都将扩大对MEMS传感器研发的投入。

例如Honeywell的两条MEMS生产线正火热运行中；中芯国际正逐渐成为MEMS传感器领域的制造厂商，把业务从CMOS扩展到MEMS；美新半导体以自家设计的三轴加速度计为例，介绍了目前在传感器设计中遇到的难点和重大突破。

Honeywell电子传感业务总监MichaelYoung

Honeywell电子传感业务总监MichaelYoung点出了Honeywell目前关注的四个主要领域：

“我们主要是关注一些工业方面的引用，包括：

一，随着人口老龄化会有更多医疗方面的应用；

二，随着劳动力成本不断上升我们会关注自动化方面的应用，包括和OEM方面的一些合作；

三，环境监控监测，水的质量，空气质量的一些监控；

四，随着城市化进程不断加深，很多城市居民小区需要对电进行监控，能源管理，还有安全方面我们也会关注。

”

中芯国际技术研究发展资深总监黄河

中芯国际技术研究发展资深总监黄河指出，技术的发展持续推动着MEMS传感器成本下降——这已经是不可逆的趋势。

“MEMS芯片的成本降低速度远远超过了CMOS芯片，而竞争进一步加强了对更紧凑的系统封装的需求。

”由于MEMS工艺的复杂度远超过CMOS工艺，在现有CMOS晶圆厂的特定产线上预先引入特别的MEMS器件工艺，黄河认为这一途径具有巨大的潜力，而中芯国际也正在通过此方法将代工业务从CMOS扩展到MEMS领域。

例如中芯与SiliconLabs合作开发的CMEMS技术，把MEMS架构直接构建于标准CMOS晶圆上，从而获完全集成的高可靠“CMOS+MEMS”单晶片解决方案，以此工艺打造的Si50x系列振荡器，“这是业界首个0.13微米单片集成的CMOS-MEMS量产工艺。

”黄河强调。

此后中芯又将TSV技术引入到CMOS后端制程，发布了另一项业界首个基于0.18微米e-TSV平台的3DMEMSSiP商用工艺。

“我们应该用全新的视角，以系统的方法来设计、制造、组装和测试MEMS芯片。

技术进步和改进在加速，我们将同时面临前所未有的挑战和与机遇。

”

1999年赵阳博士凭借自主发明的热对流加速度传感器技术在美国创建了美新公司（MEMSIC），同年11月在中国无锡成立公司，并开始研发生产MEMS传感器。

MEMSIC（MEMS+IC）开发了独一无二的MEMS传感器组件和系统集成技术，专注于制造多种小型化和成本更低的产品，为消费电子、工业自动化以及航空等领域提供市场需要的多样产品。

现在，美新已在传感器部件及系统集成方面积累了深厚的技术和经验。

美新半导体总裁赵阳介绍了美新开发的世界首款3DWLP封装单芯片热加速度计。

美新半导体总裁赵阳

传统的加速度计是基于电容或压电技术，用于测量微机械质量结构运动。

这种技术在许多方面具有一定的局限性，如表面粘附（称为黏附）、滞后、机械振荡、电磁干扰、昂贵的制造过程，也面临一些与微机械运动结构相关问题的挑战。

为了解决这些问题，美新开发出一种独特的技术，该技术解决了与传统基于MEMS的加速度计相关的问题。

独有专利的热对流技术，是全球第一家使用标准CMOS工艺的单芯片集成混合信号处理电路的热对流MEMS惯性传感器。

独特的单芯片硅片设计方法从根本上降低了成本和增强了芯片性能、功能和质量，“美新的这款热加速度计芯片尺寸仅1.2mmx1.7mm，检测范围包括2g、4g、8g，具有12位精度，零偏移迟滞，售价仅0.19美元起。

”他强调。

“手机仍然是我们会关注的领域。

在今后五年我们会看到中国手机出货量将占全球一半的数量，数量上已经超过三星以及苹果。

中国手机消费也仍然将是全球第一，今后还将继续增长，这些消费者他们不会消失。

”赵阳补充说，“海外市场我们主要关注工业应用，不会关注海外消费者应用。

”

物联网发展的挑战：

传感器和驱动

意法半导体执行副总裁兼模拟器件、MEMS及传感器产品事业部总经理BenedettoVigna

意法半导体执行副总裁兼模拟器件、MEMS及传感器产品事业部总经理BenedettoVigna强调，在过去十年，运动传感器技术彻底改变了人类与电子设备的互动方式。

通过研发和推广运动传感器到各种智能型消费性电子应用，意法半导体在这一技术革命中扮演了相当重要的角色。

据他介绍，目前意法半导体已销售近50亿颗MEMS传感器及35亿颗MEMS执行器。

完整的研发设计和制造产业链，让意法半导体成为厂商首选的一站式MEMS供应商，其丰富的产品组合涵盖微加工加速度计、陀螺仪、压力传感器、磁强传感器和麦克风，拥有整合多个传感器模块、板载信号处理器、控制功能、传感器融合算法和无线接口的能力。

作为MEMS市场的重量级制造商，意法半导体的MEMS技术研发同样处于业界最前沿，拥有近1000项与MEMS相关的专利。

意法半导体引领传感器技术向智能化和独立化发展，并将会在消费电子、医疗保健、环境科学等诸多领域开创新局面。

德国弗劳恩霍夫电子纳米系统研究所所长ThomasGessner博士

近几年MEMS市场发展迅猛，逐渐出现了多元化发展的局面。

例如单位出货量增长，但平均售价也迅速下跌；传统制造厂商与新兴无晶圆MEMS厂商的竞争；新兴MEMS制造工艺和技术；多起行业并购等等。

对此意法半导体也提出了“3+1”的多元化策略即多元化的产品、客户、应用以及市场。

“通过不断的技术创新以及多元化发展，辅以稳健可靠的批量生产供应链和强大的合作关系，MEMS器件及传感器厂商将推动物联网市场的增长。

在亚太等地区市场上，地区经济特点必须加以考虑，这样才能研发适合的产品，提供适合的支持模式。

”BenedettoVigna指出，“意法半导体将继续引领MEMS工业发展，因为我们拥有先进的技术产品组合，覆盖物联网应用所需的全部关键要素，例如MEMS传感器和执行器，以及嵌入式处理器、电源器件和接口芯片等等。

”

他所理解的物联网发展的关键要素，一是技术创新和产品多元化。

这就要求按照新的应用需求改进现有技术并开发新技术，拥有广泛的产品组合。

二是正确的供应链和销售模式。

这需要通过一站式采购方案提供无缝服务，通过经销网络扩大市场覆盖率。

三是合作伙伴与生态系统，需要开发新的设计能力，提高研发实力，缩短产品上市时间。

加州大学戴维斯分校的教授、伯克利传感器和执行器中心联合主任DavidHorsley博士

此外，来自德国弗劳恩霍夫电子纳米系统研究所的所长ThomasGessner博士探讨了物联网发展的挑战：

传感器和驱动。

他重点阐述了将MEMS传感器集成到智能系统中是当今物联网应用的基础。

而来自加州大学戴维斯分校的教授、伯克利传感器和执行器中心联合主任DavidHorsley博士分享了在压电式MEMS传感器的材料、设备及应用中的前沿研究。

DavidHorsley博士的团队主要有两个研究方向：

利用压电式MEMS传感器的特别，实现超声波手势识别和超声波生物识别。

关于可穿戴设备，他们说……

为什么可穿戴设备市场会异军突起？

BenedettoVigna认为，首先可穿戴设备解决了消费者现有的一些需求，它是基于智能手机的个人基础设施，基于现有的连网标准。

“野心勃勃的企业家们发现，物联网入市门槛比复杂的电子产品要低。

而微型装置大规模量产让终端产品的成本和尺寸更趋于合理。

于是可穿戴设备作为物联网的第一波浪潮开始向我们涌来。

”

Jérémie认为，可穿戴设备目前还在它的婴儿阶段。

“我们看到的现阶段的可穿戴设备主要表现为各种手镯或者是手表，谷歌眼镜等等，主要是娱乐型的，仍然停留在可穿戴设备的早期阶段。

我们认为必须要进到下一步，比如除了娱乐，能够检查生命体征、心跳、脉搏以及血压等功能。

”他强调，“尤其重要的是：

你早晨起床去上班，其实你不需要有这样穿戴性设备给你日常生活带来的干扰，我们需要有更多透明，更加简洁方便的穿戴性设备，你不需要把它启动，或者和云联系在一起进行同步，晚上还要给它充电。

如果需要做那么多繁复的工作，我认为这样的穿戴性设备在今后是不会有市场的。

”他指出现在已经有了一些尝试，比如把它和衣服整合在一起，只要穿上这个衣服，穿戴性设备就在上面了，但目前成本还是比较高。

必须要把成本降低下来，否则今后是不会有广泛的应用。

楼氏电子商务拓展总监AngeloAssimakopoulos

赵阳也表示，“可穿戴设备的真正意义在于，我们会把internet穿在我们身上，通过这种方式达到人机结合，就像中国人讲的人和天地之间的融合，是通过我们的传感器连接耳朵和鼻子与世界。

现在通过人机连接和internet连接，等于internet穿在我们身上了，而不是只做一个设备。

”

楼氏电子商务拓展总监AngeloAssimakopoulos表示，穿戴市场估计在2018年时将达到1.2亿部。

“但是我们真正要看可穿戴设备到底给我们带来怎样的价值，如果不能够给我们带来价值，仅仅是时尚潮流，就只是昙花一现，不久就会消失。

现在可以看到一些智能手表，如果能够通过它发短信或者看天气预报，这是很好的应用。

但是现在可穿戴设备没有特别的类别划分出来，也没有相应的指征说明今后到底机遇在哪里。

目前我们发现戴手表的人是25岁或者30岁以上的中年人戴手表，小于25岁的人群没有戴手表的习惯，所以还无法预测今后方向是怎么样的。

我们今后潜在的客户现在还没有工作，所以我们无法预测他们今后是否会产生购买欲望或者购买冲动，所以还是未知数。

”他强调，“对传感器制造商来说会有机遇。

对健康医疗设备业界公司和相关用户界面公司来说会有一些机遇，所以可穿戴设备今后还是有机会的。

”

机遇与竞争齐飞，全球厂商云集中国MEMS市场

中国作为全球最大的电子产品生产基地，消耗了全球四分之一的MEMS器件，吸引了全球的目光。

同时中国MEMS传感器产业的生态环境正逐渐完善，目前正在快速的发展壮大中。

楼氏电子商务拓展总监AngeloAssimakopoulos

中国的手机产能世界第一，同时也是物联网的明确领导者，中国的智能手机、汽车电