非晶硅太阳能电池Zn0AI A1复合背电极增反工艺优化.docx

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非晶硅太阳能电池Zn0AIA1复合背电极增反工艺优化

非晶硅太阳能电池Zn0（AI）A1复合背电极增反工艺优化.txt9母爱是一滴甘露，亲吻干涸的泥土，它用细雨的温情，用钻石的坚毅，期待着闪着碎光的泥土的肥沃；母爱不是人生中的一个凝固点，而是一条流动的河，这条河造就了我们生命中美丽的情感之景。

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．２ｆ｝＊一一－１　＃ＬＣＶ　｝ｌｄＥ｝

Ｉ晶硅太阳能电池Ｚ０：

Ｉ１ＶｎＡ／复合背电极Ａ

增反工艺优化

王稚欣，薛俊明２李养贤‘周祯华２任慧志“王凯杰“耿新华２

Ｉ河北Ｉ业大学，　　－天津，０３３１００

２南开大学光电子所，，００１天津３０７

摘要：

在硅基薄膜太阳能电池中，常使用透明导电氛化物（Ｃ）ＴＯ与金属组成的复合背反射电极，以增加对太阳光的收集效率，从而提高太阳能电池的转化效率。

实验发现，透明导电膜自身性能、厚度大小及其与ｎ层界面匹配情况是影响背反射电极性能的重要因素，所以本文将着眼点放在优化ＴＯ的制备工艺以得到性能良Ｃ好的ＴＯ膜，Ｃ同时选择合适的膜厚并改善界面匹配以提高背反射效果。

通过实验和理论计葬，得到最合适的膜厚１０　左右。

与ｎ－ｉ０ｒａｎ－Ｓ相ａ比，－－Ｓ与ＴＯ匹配更好。

ｎＷｃｉＣ－

关词透导膜背射极膜梦反界ｘ键，明电反电Ｉ透壁面‘己

ＡｓａｔＰｏｌｏｔｎ　ｐｙ　ｕｔｌｅｂｃｒｆｃｒｉｃｄｎｔｎｐｒｎｃｎｕｔｇｂｔｃ：

　ｐｅ　ｅａｌｍｌ－ｙｒ　ｋ　ｌｔｓ　ｌｉｇ　ｓａｅｔ　ｄｃｎｒｅｆｐｉａａｅｅｏｎｕｒａｏｉ

ｏｉｓ　ｍｔｔａｉ　ｒ　ｓｗｉｈｌｉｃｌｃｎｍｒｓｎｇｔ　ｉｒｓｇｘｅａｄ　ａｏ　ｓｌｃｌｈｈ　ｐｎ　ｌｔｇ　ｅ　ｌｈａｄ　ｅｉｄｎｅｌ　－ｏｅ，　ｃｅｓ　ｏｅｉｏｕｉｎｎａｎＳａｌｃｔｅ　ｎｅｓｎ　ｆｉｃｏｔｅ　ｌｃｌ．　ｏｓｍｅｐｒｅｔ，　ｆｕｄ　ｍｈｃｖｒｏｅｉｅｙ　ｈｓａｅｓｒｍ　ｅ　ｅｉｎｓｗｏｎｓｅｏｉｆｃｎｆ　ｏｒ　ｌ　Ｆｏｘｍｅ　ｏｉｐｒｎｔｉｓ　ｉｅｅｔ　ｂｃｒｌｔｒｓｃａｔｅ　ｐｒｅｏＴＯ，　ｃｎｓｍｏｔｔ　ｇｗｃｆｃｔｅ　ｋ　ｅｏ，　ｈ　ｈｐｏｅｔｓ　Ｃｔｉｅｓａｈｎｈｈ　ｆｈａｅｃｆｕｓ　ｒｉｆ　ｈｋａｄ　ｅａｅ　ｔｉ．　ｗｐｔ　ｈｓｏｏｔｉｎｐｅａｔｎ　ｈｏｇ，　ｃｎｎｉｒｃｍｃｎＳｅ　ｅｐａｓ　ｐｍｚｇ　ｐｒｉｔｎｌｙｓｅｉｎｆｔａｈｇｏ　ｕｍｉｎ　ｉｉｒａｏｅｃｏｅｔｇｌｓｉｂｔｉｎｓａｄ　ｐｏｉｉｅｆｅ　ｔｉ．　ｄａｔｅ　ｃｓｎ　ｔ　ｐｏｅｕａｌｈｋｅｓ　ｉｒｖｇ　ｒｃｍｃｎＷｅ　ｗ　ｃｎｌｉｔａｔｅ　ｐｒｔｅ　ｃｎｍｎｎａａｈｇｔｒｈｏｕｏｈｈｒＴＯ　ｉｎｓｉａｏｔ　ｎａｄ　ｃｉ　ｏｅ　ｔｌｆｒ　ｔｉ．Ｃｔｃｅｓ　ｂｕ１０　ｎｎ－ｉｍｒｓｉｂｏｍｃｎｈｋｓ　０ｍ　－Ｓｓ　ｕａｅ　ａｈｇｐＫｙｏｄ：

　Ｏ　ｂｃｒｌｔｓ　ｉｔｉｎｓｔｎｍｔｎｅ　ｅｅｔｃｉｅｆｅｅｗｒｓＴ　　ｋ　ｅｏ　ｆｍ　ｃｅｓ　ｒｓｉａｃｒｆｃｎｅ　ｎｒｃＣａｅｃｒｆｌｈｋ　　ａｔ　　ｌａ　　ｔａ

ｍａｃｉｇｔｈｎ

池性能。

１引言

对非晶硅太阳电池来说，　　　　目前的关键问题是进

ＺＯ薄膜是一种宽禁带（，．ｅ）型半　　　　ｎＥ＝３３Ｖ的ｎ导体材料，在氧化锌中掺人铝、氟川等杂可有锢、质，效地提商薄膜的电导率，改善薄膜性能。

ＺＯ　　ｎ：

ｌＡ

在可见光区具有高的透射率和低电阻率，其光学带隙可由铝掺杂的比例进行控制，作为一种重要光电子信息材料，ｎ：

　ＺＯ　ＩＡ膜近年来得到广泛的研究。

制备ＺＯ　ｌ　　　　：

　ｎＡ透明导电膜的方法主要有：

溅射

一步提高光电转换效率和改善稳定性。

其中氧化物透明导电膜ＴＯ　ｔｌＣ／ａ复合背反射电极不但可以Ｍｅ使Ｉ层的光吸收增强，从而增大短路电流，提高电池的转化效率［７而且可以进一步减薄Ｉ改善电ｐ，．２层，

池的稳定性。

早期的背反射电极的ＴＯ膜多采用ＩＯ膜，　　　　ＣＴ

但由于ＩＯ中的锢原子容易向硅材料中扩散，Ｔ而且ＩＯ膜对太阳光谱近红外区又有较强的吸收作用，Ｔ因此近年来多用廉价的ＺＯ　　代替ＩＯ作为背ｎ，ＩＡＴ反射电极的ＴＯ层；Ｃ此外，ｎＺＯ可以阻挡金属背电极元素如Ａ或Ａ向ｎ层的扩散，ｇｌ｀改善界面及电

法Ｃ３蒸发法、属有机化学汽相沉积法４　．５金（ＯＶ）反应离子镀法、ＭＣＤ，溶胶一凝胶法等，其中磁

控溅射法是目前制备ＺＯ　　透明导电膜采用较ｎ：

ＩＡ多的一种方法。

目前，　　　　国内关于复合背反射电极的研究很少，本文就非晶硅太阳能电池的复合背反射电极中ＴＯＣ

膜厚度Ｃ、ｓ不同ｎ材料及其厚度对复合背电极增反

科

非晶硅太阳能电池ＺＯ　　Ａ复合背电极增反工艺优化ｎ，ＩｌＡ／

效果的影响进行了实验研究及理论分析。

３实验结果讨论与理论计算实验方法和增反原理

２．ｌ

实验方法

本文首先采用ＰＣＤ设备在玻璃衬底上制备ＥＶｎ材料。

制备ｎａｉ－Ｓ材料时，－衬底温度为１５压７＇Ｃ，

力６Ｐ，３／．；ｎｕｃｉ０　功率９１２制备－－Ｓ材料，ａ－衬底温度在１５压力９Ｐ，７０Ｃ，０　功率４／．，ａ１１０通过改变沉积时间，得到不同厚度的ｎ材料。

然后采用直流磁控溅射方法，在载玻片和ｎ材料上戮射不同厚度的ＺＯ　ｎｔＡ膜。

溅射时的溅射气压为０５　，ｌ．　ａ溅射功率为Ｐ１０　Ｗ（）／Ａ）．　８４Ｗ，ＯａＷ（ｔ＝１８１。

为了便于比较，／实验时要保证同厚度的ＺＯ　Ａ薄膜的溅射条件ｎｅ　ｌ是一致的，然后通过调节小车运行速度来完成一系列厚度不同的ＺＯ　　薄膜的制备。

ｎｅｌＡ用椭偏仪来测量ｎ　　　　材料和ＺＯ，ｌｎＡ薄膜厚度，使用ＯＭＡ和分光光度计来测定ＺＯ　Ａ及ｎｎｔ　ｌ／ＺＯ　　Ａ的透过率和反射率，ｎｅｌｌＡ／同时测定其方块电阻大小。

２２增反原理．一　　　　非晶硅太阳能电池的复合背电极增反原理是依

据薄膜干涉理论。

３１　ｎ，　透明导电膜厚度对透过率的影响．　ＺＯ　Ｉ　Ａ利用直流磁控溅射法制备不同厚度的ＺＯ　　　　　ｎ０Ａ透明导电膜，１在分光光度计上侧定其不同波长的透过率，制成曲线如图２所示，可以看到，随着厚度的增加薄膜在短波区的透射率下降很快，厚度为２１　的薄膜由于干涉作用其透射率在Ａ．Ｗ９ｎｍ镇０５ｍ时开始下降，而厚度较小的薄膜，其透射率在入（

０４　．Ｆ时才开始下降。

ｍ在该波长范围内、厚度越大的薄膜，由于薄膜干涉的影响，其透射曲线出现的波

峰波谷越多，其平均透过率较小。

卯

芝　哥划　喇　

８０７０仍５０４０３０

０４　０　　　．．　　　．６　０８　１　　　　乃１．２

波长／ｍ　　　　　　　　　　　　　　ｕ

图２不同厚度ＺＯ，Ｉ　　　　　　ｎＡ透明导电膜发射率

随波长变化曲线　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

Ｆｇ２　Ｏ，ｌ　ｍｉｒｙ　Ｔｗｈ　ｉｓ　　　　ｎＡｔｎｔｉｏＩＯ　ｔｖｒｕｉ　Ｚ．　ｒａｉｔｆ　ｉａｏｄｐｈ　ａ　ｃｏｏｗｖｌｇｔ　　　　　　　　　　　　ｎｈ．ｅｔａｆｒｉｆ　ｅｓ　ｕｔｎ　ａｅ

＼＼／

丫

ＺＯ　ｎｎ　　２

Ａｌ

图Ｉ背反射原理　　　　　　　　　　

３２　ｎＡ透明导电膜厚度对反射率的影响．　ＺＯ，Ｉ利用分光光度计来测定不同厚度的ＺＯ　　　　　　ｎｅｌＡ膜对ＧａｓｎＳ／ｎ／ｌｌ／　ｉＯＡ结构反射率的影响。

图３ｓ－Ｚ为在２ｎ２　。

Ｃｉｍ的Ｐ－上溅射不同厚度ＺＯ　　Ｓｎ１ｌＡ时，反射率随波长的变化。

可以看到，ｎＡ厚度为１２　在短　　　　当ＺＯ，ｌ０ｎｍ时，波区、可见光区和近红外光区其反射率都保持较高水平。

当薄膜厚度逐渐增加时，在该波长范围内，由

于干涉作用，反射率曲线的波峰波谷逐渐增多，反射

Ｆ．　ｈｐｉｉｅ　ｂｃｒｌｔｃｉ１　ｅ　ｃｌｏａｋ　ｅａｅｇ　ｔｒｐｆ　ｅｃｎｎｆ

妙料州协６０

假设太阳光垂直人射，ｉ０忽略ｎ层影响，　　　　即＝０，主要考虑ＴＯ层对反射影响。

Ｃ当膜厚满足条件（　　　　考虑半波损失）：

２ｄ（ｋ）　／时干涉增强　　　　＋１ＸＡ２ｎ＝　２２ｄｋ　　　　时ｎ＝２习２干涉减弱‘　　　　＝０士１士２．）公式中的ｋ，，，．．根据公式算出理论最佳值，　　　　并与试验结果相比

寥￣　赞　盆　以　　　　　　

＇－．ｅ．

５０４０３０２０１０００

３　．０５　．　０７　０８　．１１１　１０４　．０６　．　．０９　．０　．　．２

波长／ｍｕ

较。

肠１ｔＷＲｔｆＡ＊２

９０８０７０

进　哥　裸　叼　　　　

６０５０４０３０２０１００

如果将ｎｃ的厚度由上面的２ｎ　　　　ｐ－ｉ－Ｓ２　ｍ增加到３ｎ３　ｍ时，ｎｏ　膜的厚度较大时，当ＺＯ　ｔＡ其反射率的变化趋势与前面相仿，此时，ｐＳ的厚度变化对反ｒｉ射率影响不大。

随着ＺＯ，ｌｎＡ膜厚减小（　ｎ）（２　，７　ｍ０其近红外光区反射效果比前面有所改善当ＺＯｎＡ膜厚继续减小并接近ｔｐ－ｉ４ｔｃ的厚度时．－Ｓ两反射：

；；率曲线相差很多，此时ｎｐ－ｉ－ｃ的厚度变化对反射率Ｓ００４　．００７　．０９　．１１　．３．０５　石．　０８　．１０　．１　２有一定影响。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　波长／ｍｕ３３　ｎｅ　与ｎ．　ＺＯ　Ｉ层界面的匹配Ａ（）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　：

　与ｎｂ为了优化ｎＡ　　　　ＺＯ　ｔ层界面的匹配，将同厚度的ＺＯ　　与不同厚度、ｎ：

ｌＡ不同类型的ｎ材料相匹　　　　　　　　　　图３　ｐ－（２ｒ上戮射不同厚度　　ｃｉｍ．ｎＳ２）－Ｚ０　　反射率变化曲线　　　　　　　　　　　　．，ｔＡ膜，配，比较其反射率变化曲线如图５所示：

Ｆｇ３　ｅｅｔｎ　ｆｉｔ　ｎＡ　　　　　　　　ｏｆｃｎｏＺＯ，Ｉｉ　　　ｃｉｃｅｉｅｆ　，　ｒｆｏｌ

ｆｗｔａｏｓ　ｔｄｐｓｅｉ－ｉｎ）　　　　ｖｒｕｄｐｈ　ｏｉｄ　ｎ－Ｓ（２ｍｉｉｌｍ　ｈ　ｉｅｅｔｎ　ｐ２ａａ　ｃｏｏｗｖｌｇ　　　　　　　　　　　　　　ｓ　ｎｔｎ　ａｅｎｔｆｉｆ　ｅｈｕ

ｌｏ即

芝哥每喇４０　　印

护脚恻争

效果较差。

而当ＺＯ，ｔｎＡ厚度小于１２　０ｎｍ时。

其反射率不仅在短波区骤减，而且在近红外光区，甚至

在可见光区其反射效果也较差。

９０８０

次　￣得　翻　喇　　

Ａ耳皮往）Ｌ团

一Ｊａ

７０６０５０４０３０２０切

趁铃

０４０石０名１　　　２．０　１

０４　．　　　　．０６　　　　　　０８　．　　　　　１力

波长／ｍ　　　　　　　　　　　　　　Ｎ

１０加８０８０７０

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（）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ａ万

６０５０４０３０２０１０

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波长／ｍ　　　　　　　　　　　　Ａ

（）　　　　　　　　　　　　　　　　ａ

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０４　．　　　　　０６．０８　　　　．

１０　．　　　　　２１

９０８０

鉴　膝　翎　以　　

波长／ｍｕ

７０６０５０４０３０２０

０４　０．　　　石０８　１．　　　　刀１．２

（）　　ｂ

图５　ｎＡ膜与不同厚度、　　　　：

　　ＺＯ　ｔ不同类型的ｎ材料

相匹配时，　　　　　　　　　　　　　　反射率变化曲线

Ｆｇ５　ｅｌｉｃｆｃｎｏｎＡｆｍ　　　　　　ｔｎ　ｅｆｉｔ　ＺＯ，ｔ　ｉ　ｒｆｃｏｏｉｅｆ　．　ｅｉｌ

ｂｓｄ　ｔｐｍｔｉｗｔｄｅｎｄｐｈ　　　　　　　　ｒｌ　ｈ　ｆｅｔ　ｔａｅｏｙｅ　ｅａｉｉｒｎ　ａｆｅ

波钧　ｍ　　　　　　　　　　　　ｕ

（）　　　　　　　　　　　　　　　　ｂ

ａｄ　ｆｅｔ　ｅ　ｆｎｔｎ　ａｅｎｔ　　　　　　ｐａａ　ｃｏｏｗｖｌｇｎｄｅｎｔｓ　ｉｆ　ｅｈｉｒｙｆｕ

图５ａ中，ｎＡ的厚度为１７　　　　　当ＺＯ，ｔ（）１ｎｍ时，比

图４　ｐｉｎ）　　　　Ｓ（３ｍ上溅射不同厚度　ｎｃ３－

ＺＯ’ｔ反射率变化曲线　　　　　　　　ｎＡ膜，

Ｆｇ４　ｅｅｔｎ　ｆｃｎｏＺＯ，ｔ　ｉ．　ｒｆｃｏｃｅｉｅｔ　ｎＡｆｍｌｉｏｆｉｆ　ｉｌｗｔｖｒｕｄｐｈ　ｐｓｅｉｎｐ－ｉ３　ｉａｉｓ　ｔｄｏｉｄ　－ｃ（ｎｈ　ｏｅｅｔｎ　Ｓ３ｍ）

ａａ　ｃｏｏｗｖｌｇｈ　　　　　　　　　　ｎｔｓ　ｕｔｎ　ａｅｆｎｉｆ　ｅ

较厚度相近的ｎｅｉ３　）ｎ－ｉ１　）－－（ｎ和－Ｓ３ｎ的反ｐＳ３ｍａ（ｍ射率曲线（忽略厚度影响）可知当。

６ｍ簇，．　ｐ１　．　时，ｐ－ｉｎ：

　Ａ的反射率略大Ｇｌ２　ｎｅ／Ｏ　ｌｔｐｍ－ＳＺＡ／　于ｎａｉｎｅ　Ａ的反射率，－ＳＺＯ　ｌｔ－／Ａ／　在短波区ｎａｉ－Ｓ／－ＺＯ，ｌＡ的反射率也下降较快＜簇０６　）　ｎＡ／　ｔｉ．　ｏｐｍ

图５ｂ中，ｎＡ的厚度为１２　与１７　　　　　ＺＯ：

ｔ（）０ｎｍ，１ｎｍ

卜　

公

对ａｉ－太阳电他的长期稳定性数学模型参数的初步研究Ｓ

相比，反射效果在短波区有所改善当。

４ｐ＜　．ｍ１　５　＜１０ｍ时，ｐ－ｉｎ：

　Ａ的反射率略大于．ｐｎｃ／Ｏ　ＩＩ－ＳＺＡ／　ｎ－／ｎ，　Ａ的反射率。

－ＳＺＯ　ｌｌａｉＡ／　

０９０８０７０

鉴舞布侧

—

ｎ３ｏ１ｎ（９－）ｌ（３Ｚｏ２１／Ａ

当ｎ的厚度增加时，　　　　在可见光、近红外光区反射率会增加，在短波区反射率会变差（下降很快）。

３４理论计算结果．取ｄ＝２ｎ　　　　１　ｎ．　出。

４　９ｍ，　２算＝２，．ｐｍ毛Ａ＜

６０５０４０３０２０１００

１０　．　　　１２．０４１４．６

１２　，．　对应的波峰、ｐｍ波谷值。

当ｋ，　　　　Ａ５．　谷值Ａ２．　ｍ＝１峰值＝８３６　ｎｍ，＝１８０ｎ４　当ｋ２峰值ａ５２１ｎ谷值Ａ４．　　　　　＝，＝１．　ｍ，６　＝６０２　ｎｍ当ｋ，　　　　＝３峰值Ａ６．　谷值１２．　二３５８　ｎｍ，＝４６８　ｎｍ将理论计算与实验结果（　　　　如图６相比较，）可以

看出，大体趋势相近，由此验证了实验结果的正确

，险

０８０

芝赞鹅叼

图７实验测得ｎＺ０１２　）Ａ／ｎ（０ｎ／Ｌ反射率ｍ

曲线峰谷值　　　　　　　　　　　　　　　　

Ｆ．　ｔｅｐｒｎａｅｏ　ｋ　ｉ７　ｅ　ｅｅｔ　ｄｐａｉｇ　ｈｘｉｌｂｅｎ

ｎＺ０（０ｎ／　　　　　　　　ＡＬ／ｎ１２ｍ）

－ｎ３０Ｚ仪２１／Ｉ　　　　　　　　　　　　　　（３）ｎ９０Ａ／

０５０　　　．４２．９３　０８０

佳厚度在３ｎ０　ｍ左右。

６０利２００

０５８．０８０４　．　　　　．０６

本文得到国家重点基础研究发展规划项目低　　　　“价、长寿命、新型光伏电池的基础研究”编号（Ｇ００２２２Ｇ００２２３的支持，２００８０，　００８０）２在此表示衷心

感谢。

参考文献　　　　　　　　　　　　　　　　

１陈治明．非晶半导体材料与器件〔．北京：

Ｍ］科学出版社，９１２５　　　　１９．　２

２　ａｓｙ　　ｂｃｉＷｉｏＷｅａ，　ａａｉ　　ｔｕａ　ａｕｈ，　ｌｎ　ｎｓＭｓｂｒＫＴｓｏ

图６　　实验测得ｎＺ０２１ｍ／Ｉ／ｎ（９ｎ）Ａ反射率曲线峰谷值

Ｆ．　ｈｅｐｒｅｔ　ｏ　ｋ　　　　　　　　　　　ｌｄｐａｉｉ６　ｅ　ｅｍｎａｅｅｎｇ　ｔｘｉｂ

ｎＺ０（９ｎ／１　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　／ｎ２１ｍ）Ａ

根据实验结果我们知道背反射效果最佳时　　　　Ｚｏ　　的厚度为１０　ｎ，ｌＡ０ｎｍ左右，ｄ０ｎｎ取＝１０　＝ｍ，

Ｙｓｉ，　ｌｐｉｚｉｏｎＦｍｆ　　　　ｅａＯｔｉｔｎ　ＺＯ　ｌｓ　ｏｈｎｔ　ｏ．　ｍａｏｆ　ｉｏｒＡｏｐｏｓ　ｉＳａｅＥ．　ｎｕｌ　．　　　　ｕＳｌｎ　ｌＣｌｚＡｎａＲｓｍｒｈｉｏｏｒ　ｌ３ｅＲｐｒ，ｋｏ　．　ｅ．　２８　　　　ｏｙＩｓＯＴｃ１９，８ｅｏｔＴｎｆ　９３　ｈｐａ　Ｌ，　ｏＳＰｎｙＤ　Ｔａｓａｅｔ　　ｏｒＫ　Ｍａｒ　ａｄａ　ＫｒｎｐｒｎＣｊ，　．　

ｃｎｕｔｓ　ｓａｕｒｉｔ．　ｎ　ｏｉ　　　　ｒＡ　ｔｔｓ　ｖｗ　＇ＴｉＳｌｏｄｃｏｅｅ３ｈｄ

Ｆｌ，　３１２ｌ：

－４　　　　８，０（）１６ｉｍｓ１９

２算出０４ｍ＜１２ｍ对应的波峰、，．　簇Ａ．　，ｐｐ波谷值。

当ｋ，Ａ０ｎ　　　　一１谷值二４０　ｍ当ｋ，１０ｎ　　　　＝０峰值＝８０　ｍ实验结果（　　　　如图７与理论计算值基本相符，）该厚度下，非晶硅太阳能电池复合背电极增反效果最佳。

４　ｏｓｏＬ，　ｅｇ　ＫｔｄｉＩＢｒＳ　　ｎｓｎ　ＮｂｒＴ，　ａｊｖ　ｅｇ　ＪＢｙａｒｅ，　．

Ｆｅｕｎｙ　ｐｎｅ　　ｐｌ　Ｄ　ｒｔｅ　　　　ｒｓｏｓｎ　ｕｓｄ　Ｃ　ｅｃｖｒｑｅｃｅ　ｉｅａｉｓｕｔｒｐｃｓ．　ｎ　ｉｉ　　　　ｇ　ｏｅｓＴｉＳｌＦｌ，　０，ｐｔｉｒｅｎｈｏｄ　ｍｓ２００

３５４＾４　　　　－８６：

３

４结论

本文就非晶硅太阳能电池的复合背反射电极中　　　　ＴＯ膜厚度、Ｃ不同ｎ材料及其厚度对复合背电极｀

增反效果的影响进行了研究。

ＺＯ　Ａ薄膜的厚ｎ：

　ｌ

度影响其光电性能，厚度越厚ＴＯ的平均透过率Ｃ越差；作为复合背电极使用时，ＺＯ　Ａ膜厚为当ｎ：

　ｌ１０　０ｎｍ时，其背反射效果最佳。

与Ｚ０，ｌｎＡ透明导电膜相接触的ｎ层材料，ｎｐ－ｉ以－ｃ为最佳，Ｓ其最

５　ｈｎＪ　Ｗａｇ　ＬＨｎ　ＨＳｕｙｇ　　　ａｇ　，　ｎＨ　ｏＭ　．　ｄｉｏＣＦ，　ｔｎｆｔｎｐｒｔ　ｄｃｖＺ　　　　ｎｃｎｕｔｅ　Ｏ．ｌ　ｎ　ｓ　ｒｓａｅｏａｉｎＡｔｉｆｍｂｈｉｌｙＲｒａｉ　　　　ｖｍａｎｔｎ　ｕｔｒｇＪｕｎｌ　Ｆ　ｔｅ　ｇｅｒｓｔｉ．　ｒａｏｅｏｐｅｎｏｆＣｙｔｌ　ｔ，　０２１９－９　　　　ｒｗｈ２０，　：

　７ｒｓＧｏａ０１３６　Ｏ　ｉ－ｏＭａ　，　Ａ　ｎ－ｉｅａ　　ＨＡＸａｔ，　ＪＭＨｏｇｌ，　ｌｏａｉｎｅｔ　．Ｔｉｎｓｅｅｄｎｅ　ｒｐｒｅｏｎ　　　　ＤｐｎｅｃｏＰｏｅｉｆＺＯ，ｈｋｅｓ　ｃｆ　ｔｓ　ｒ　ＡＴａｓａｅｔ　ｄｃｎＦｌ．　ｉｓ　　　　ｐｒｎＣｎｕｔｇ　ｉｓ