《传感器实验指导书》.docx
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《传感器实验指导书》
《传感器原理及其应用》
实验讲义
张树成编
绍兴文理学院元培学院
信息与电子系
实验须知
实验的基本态度
进行任何科学实验,实验人员均应具备一种最基本的态度——实事求是的态度。
我们这里所说的“实事求是”,就是说要把实验中所得到的现象、数据及其规律性忠实地记录下来,记录下来的是实际观测的情况,而不能以任何理由进行编造、修改或歪曲。
实验中直接观察到的现象和数字,也可能不够准确,或是错误的,此时就需要反复多次测量,并加以核对,或通过数据处理,或改进实验方法来改善其准确性。
只有遵循“实事求是”的态度,才能从实验中获得知识,并提高科学实验的能力。
实验的基本知识
1.实验准备
(1)实验前必须认真预习实验内容,明确实验的目的和要求。
(2)根据实验的要求,拟定实验方案并熟悉实验线路及其原理。
(3)熟悉实验中所使用的仪器、设备的基本原理及使用方法。
(4)根据实验的具体任务及理论根据,研究实验的方法,并估计实验数据的变化规律。
2.实验组织
一般实验可能由几个人合作进行,因此实验时必须做好组织工作,实验方案的拟定应在组内讨论,实验时应明确分工,并且做到既分工又合作,这样既能保证实验质量,又能使实验人员受到全面训练。
3.实验数据的记录
(1)事先拟好实验数据记录表格,在表格中应记下有关物理量的名称、符号和单位,并要保证数据完整。
实验数据位数的取值是以实验仪器所能达到的精度为依据的,同一条件下至少读取两次数据(研究不稳定过程或动态过程的实验除外),而且只有当两次读数比较接近时,才能改变操作条件,在另一条件下进行观测。
(2)记录实验中使用的仪器、设备等的型号、规格及使用的条件等。
(3)凡影响实验效果或数据整理过程中必须的数据都需测取并记录。
如天气条件、环境温度、湿度等。
(4)实验中的记录数据应以实际读数为准,但因客观条件的原因,如由于测量条件的意外改变(如电源电压及环境温度的突然变化、机械冲击、外界振动等),数据出现不正常的情况或有粗大误差时,应在备注栏中加以说明。
4.实验过程的注意事项
(1)在进行实验线路的接线、改接线或拆线之前,必须断开电源,严禁带电操作,避免在接线或拆线过程中,造成电源设备或部分实验线路短路,进而损坏设备或实验线路中的元器件。
(2)密切注意整个实验系统的变化,应使整个操作过程均在规定条件下进行。
(3)实验过程中应观察现象,特别是发现不正常现象时更应抓紧时机进行处理,并分析、研究产生不正常现象的原因。
5.整理实验数据
(1)同一条件下测得一组数据时,应舍去含有粗大误差的数据,然后进行数据处理。
(2)整理数据时应根据有效数字的运算法则,确定测量结果的数据位数。
(3)数据整理时可采用列表法、图解法,这视其具体情况而定,以尽可能准确描述实验结果或实验结论为最终目的。
6.实验报告的内容及要求
一份好的实验报告,必须写得简单、明了,数据完整,交待清楚,结论明确,有讨论,有分析,得出的公式或图线有明确的使用条件。
实验报告的格式虽不必强求一致,但一般应包括下列各项:
(1)实验题目,实验者及共同实验人员、班级、日期;
(2)实验目的及要求;
(3)实验设备及环境条件;
(4)实验的基本原理、实验线路、接线图或流程图;
(5)实验内容及主要操作简述;
(6)整理原始实验数据,作出便于处理和分析的表格、曲线或波形;
(7)根据实验数据,对传感器的原理、性能特性、技术指标、实验现象等进行分析,对实验中发现的问题进行讨论,提出新的设想及研究的方法。
实验一电阻应变片单臂电桥性能实验
一、实验目的:
了解电阻应变片的工作原理与应用并掌握应变片测量电路。
二、基本原理:
电阻应变式传感器是在弹性元件上通过特定工艺粘贴电阻应变片来组成。
一种利用电阻材料的应变效应将工程结构件的内部变形转换为电阻变化的传感器。
此类传感器主要是通过一定的机械装置将被测量转化成弹性元件的变形,然后由电阻应变片将弹性元件的变形转换成电阻的变化,再通过测量电路将电阻的变化转换成电压或电流变化信号输出。
它可用于能转化成变形的各种非电物理量的检测,如力、压力、加速度、力矩、重量等,在机械加工、计量、建筑测量等行业应用十分广泛。
1、应变片的电阻应变效应
所谓电阻应变效应是指具有规则外形的金属导体或半导体材料在外力作用下产生应变而其电阻值也会产生相应地改变,这一物理现象称为“电阻应变效应”。
以圆柱形导体为例:
设其长为:
L、半径为r、材料的电阻率为ρ时,根据电阻的定义式得
(1—1)
当导体因某种原因产生应变时,其长度L、截面积A和电阻率ρ的变化为dL、dA、dρ相应的电阻变化为dR。
对式(1—1)全微分得电阻变化率dR/R为:
(1—2)
式中:
dL/L为导体的轴向应变量εL;dr/r为导体的横向应变量εr
由材料力学得:
εL=-μεr (1—3)
式中:
μ为材料的泊松比,大多数金属材料的泊松比为0.3~0.5左右;负号表示两者的变化方向相反。
将式(1—3)代入式(1—2)得:
(1—4)
式(1—4)说明电阻应变效应主要取决于它的几何应变(几何效应)和本身特有的导电性能(压阻效应)。
2、应变灵敏度
它是指电阻应变片在单位应变作用下所产生的电阻的相对变化量。
(1)、金属导体的应变灵敏度K:
主要取决于其几何效应;可取
(1—5)
其灵敏度系数为:
K=
金属导体在受到应变作用时将产生电阻的变化,拉伸时电阻增大,压缩时电阻减小,且与其轴向应变成正比。
金属导体的电阻应变灵敏度一般在2左右。
(2)、半导体的应变灵敏度:
主要取决于其压阻效应;dR/R<≈dρ⁄ρ。
半导体材料之所以具有较大的电阻变化率,是因为它有远比金属导体显著得多的压阻效应。
在半导体受力变形时会暂时改变晶体结构的对称性,因而改变了半导体的导电机理,使得它的电阻率发生变化,这种物理现象称之为半导体的压阻效应。
不同材质的半导体材料在不同受力条件下产生的压阻效应不同,可以是正(使电阻增大)的或负(使电阻减小)的压阻效应。
也就是说,同样是拉伸变形,不同材质的半导体将得到完全相反的电阻变化效果。
半导体材料的电阻应变效应主要体现为压阻效应,其灵敏度系数较大,一般在100到200左右。
3、贴片式应变片应用
在贴片式工艺的传感器上普遍应用金属箔式应变片,贴片式半导体应变片(温漂、稳定性、线性度不好而且易损坏)很少应用。
一般半导体应变采用N型单晶硅为传感器的弹性元件,在它上面直接蒸镀扩散出半导体电阻应变薄膜(扩散出敏感栅),制成扩散型压阻式(压阻效应)传感器。
*本实验以金属箔式应变片为研究对象。
4、箔式应变片的基本结构
金属箔式应变片是在用苯酚、环氧树脂等绝缘材料的基板上,粘贴直径为0.025mm左右
的金属丝或金属箔制成,如图1—1所示。
(a)丝式应变片 (b)箔式应变片
图1—1应变片结构图
金属箔式应变片就是通过光刻、腐蚀等工艺制成的应变敏感元件,与丝式应变片工作原理相同。
电阻丝在外力作用下发生机械变形时,其电阻值发生变化,这就是电阻应变效应,描述电阻应变效应的关系式为:
ΔR/R=Kε式中:
ΔR/R为电阻丝电阻相对变化,K为应变灵敏系数,ε=ΔL/L为电阻丝长度相对变化。
5、测量电路
为了将电阻应变式传感器的电阻变化转换成电压或电流信号,在应用中一般采用电桥电路作为其测量电路。
电桥电路具有结构简单、灵敏度高、测量范围宽、线性度好且易实现温度补偿等优点。
能较好地满足各种应变测量要求,因此在应变测量中得到了广泛的应用。
电桥电路按其工作方式分有单臂、双臂和全桥三种,单臂工作输出信号最小、线性、稳定性较差;双臂输出是单臂的两倍,性能比单臂有所改善;全桥工作时的输出是单臂时的四倍,性能最好。
因此,为了得到较大的输出电压信号一般都采用双臂或全桥工作。
基本电路如图1—2(a)、(b)、(c)所示。
(a)单臂(b)半桥(c)全桥
图1—2应变片测量电路
(a)、单臂
Uo=U①-U③
=〔(R1+△R1)/(R1+△R1+R5)-R7/(R7+R6)〕E
={〔(R7+R6)(R1+△R1)-R7(R5+R1+△R1)〕/〔(R5+R1+△R1)(R7+R6)〕}E
设R1=R5=R6=R7,且△R1/R1=ΔR/R<<1,ΔR/R=Kε,K为灵敏度系数。
则Uo≈(1/4)(△R1/R1)E=(1/4)(△R/R)E=(1/4)KεE
(b)、双臂(半桥)
同理:
Uo≈(1/2)(△R/R)E=(1/2)KεE
(C)、全桥
同理:
Uo≈(△R/R)E=KεE
6、箔式应变片单臂电桥实验原理图
图1—3应变片单臂电桥性能实验原理图
图中R5、R6、R7为350Ω固定电阻,R1为应变片;RW1和R8组成电桥调平衡网络,E为供桥电源±4V。
桥路输出电压Uo≈(1/4)(△R4/R4)E=(1/4)(△R/R)E=(1/4)KεE。
差动放大器输出为Vo。
三、需用器件与单元:
主机箱中的±2V~±10V(步进可调)直流稳压电源、±15V直流稳压电源、电压表;应变式传感器实验模板、托盘、砝码;4
位数显万用表(自备)。
四、实验步骤:
应变传感器实验模板说明:
应变传感器实验模板由应变式双孔悬臂梁载荷传感器(称重传感器)、加热器+5V电源输入口、多芯插头、应变片测量电路、差动放大器组成。
实验模板中的R1(传感器的左下)、R2(传感器的右下)、R3(传感器的右上)、R4(传感器的左上)为称重传感器上的应变片输出口;没有文字标记的5个电阻符号是空的无实体,其中4个电阻符号组成电桥模型是为电路初学者组成电桥接线方便而设;R5、R6、R7是350Ω固定电阻,是为应变片组成单臂电桥、双臂电桥(半桥)而设的其它桥臂电阻。
加热器+5V是传感器上的加热器的电源输入口,做应变片温度影响实验时用。
多芯插头是振动源的振动梁上的应变片输入口,做应变片测量振动实验时用。
1、将托盘安装到传感器上,如图1—4所示。
图1—4传感器托盘安装示意图
2、测量应变片的阻值:
当传感器的托盘上无重物时,分别测量应变片R1、R2、R3、R4
的阻值。
在传感器的托盘上放置10只砝码后再分别测量R1、R2、R3、R4的阻值变化,分析应变片的受力情况(受拉的应变片:
阻值变大,受压的应变片:
阻值变小。
)。
图1—5测量应变片的阻值示意图
3、实验模板中的差动放大器调零:
按图1—6示意接线,将主机箱上的电压表量程切换
开关切换到2V档,检查接线无误后合上主机箱电源开关;调节放大器的增益电位器RW3合适位置(先顺时针轻轻转到底,再逆时针回转1圈)后,再调节实验模板放大器的调零电位器RW4,使电压表显示为零。
图1—6差动放在器调零接线示意图
4、应变片单臂电桥实验:
关闭主机箱电源,按图1—7示意图接线,将±2V~±10V可调电源调节到±4V档。
检查接线无误后合上主机箱电源开关,调节实验模板上的桥路平衡电位器RW1,使主机箱电压表显示为零;在传感器的托盘上依次增加放置一只20g砝码(尽量靠近托盘的中心点放置),读取相应的数显表电压值,记下实验数据填入表1。
图1—7应变片单臂电桥实验接线示意图
表1应变片单臂电桥性能实验数据
重量(g)
0
电压(mV)
0
5、根据表1数据作出曲线并计算系统灵敏度S=ΔV/ΔW(ΔV输出电压变化量,ΔW重量变化量)和非线性误差δ,δ=Δm/yFS×100%式中Δm为输出值(多次测量时为平均值)与拟合直线的最大偏差:
yFS满量程输出平均值,此处为200g。
实验完毕,关闭电源。
6、电阻应变片全桥性能实验:
实验原理如图1—8所示。
应变片全桥测量电路中,将应力方向相同的两应变片接入电桥对边,相反的应变片接入电桥邻边。
当应变片初始阻值:
R1=R2=R3=R4,其变化值ΔR1=ΔR2=ΔR3=ΔR4时,其桥路输出电压Uo≈(△R/R)E=KεE。
其输出灵敏度比单臂桥提高了四倍,非线性得到改善。
图1—8应变片全桥特性实验接线示意图
关闭主机箱电源,按图1—9示意图接线,将±2V~±10V可调电源调节到±4V档。
检查接线无误后合上主机箱电源开关,调节实验模板上的桥路平衡电位器RW1,使主机箱电压表显示为零;在传感器的托盘上依次增加放置一只20g砝码(尽量靠近托盘的中心点放置),读取相应的数显表电压值,记下实验数据填入表2。
图1—9应变片全桥性能实验接线示意图
表2全桥性能实验数据
重量(g)
电压(mV)
7、将10只砝码全部置于传感器的托盘上,调节电位器RW3(增益即满量程调节)使数显表显示为0.200V(2V档测量)。
8、拿去托盘上的所有砝码,调节电位器RW4(零位调节)使数显表显示为0.000V。
9、重复7、8步骤的标定过程,一直到精确为止,把电压量纲V改为重量纲g,将砝码依次放在托盘上称重;放上笔、钥匙之类的小东西称一下重量(注意重量不要>200g)。
实验完毕,关闭电源。
五、思考题:
测量中,当两组对边(R1、R3为对边)电阻值R相同时,即R1=R3,R2=R4,而R1≠R2时,是否可以组成全桥:
(1)可以
(2)不可以。
实验二电容式传感器的位移实验
一、实验目的:
了解电容式传感器结构及其特点。
二、基本原理:
1、原理简述:
电容传感器是以各种类型的电容器为传感元件,将被测物理量转换成电容量的变化来实现测量的。
电容传感器的输出是电容的变化量。
利用电容C=εA/d关系式通过相应的结构和测量电路可以选择ε、A、d中三个参数中,保持二个参数不变,而只改变其中一个参数,则可以有测干燥度(ε变)、测位移(d变)和测液位(A变)等多种电容传感器。
电容传感器极板形状分成平板、圆板形和圆柱(圆筒)形,虽还有球面形和锯齿形等其它的形状,但一般很少用。
本实验采用的传感器为圆筒式变面积差动结构的电容式位移传感器,差动式一般优于单组(单边)式的传感器。
它灵敏度高、线性范围宽、稳定性高。
如图2—1所示:
它是有二个圆筒和一个圆柱组成的。
设圆筒的半径为R;圆柱的半径为r;圆柱的长为x,则电容量为C=ε2x/ln(R/r)。
图中C1、C2是差动连接,当图中的圆柱产生∆X位移时,电容量的变化量为∆C=C1-C2=ε22∆X/ln(R/r),式中ε2、ln(R/r)为常数,说明∆C与∆X位移成正比,配上配套测量电路就能测量位移。
图2—1实验电容传感器结构
1、测量电路(电容变换器):
测量电路画在实验模板的面板上。
其电路的核心部分是图
2—2的二极管环路充放电电路。
图2—2二极管环形充放电电路
在图2—2中,环形充放电电路由D3、D4、D5、D6二极管、C4电容、L1电感和CX1、CX2(实验差动电容位移传感器)组成。
当高频激励电压(f>100kHz)输入到a点,由低电平E1跃到高电平E2时,电容CX1和
CX2两端电压均由E1充到E2。
充电电荷一路由a点经D3到b点,再对CX1充电到O点(地);另一路由由a点经C4到c点,再经D5到d点对CX2充电到O点。
此时,D4和D6由于反偏置而截止。
在t1充电时间内,由a到c点的电荷量为:
Q1=CX2(E2-E1)(2—1)
当高频激励电压由高电平E2返回到低电平E1时,电容CX1和CX2均放电。
CX1经b点、D4、c点、C4、a点、L1放电到O点;CX2经d点、D6、L1放电到O点。
在t2放电时间内由c点到a点的电荷量为:
Q2=CX1(E2-E1)(2—2)
当然,(2—1)式和(2—2)式是在C4电容值远远大于传感器的CX1和CX2电容值的前提下得到的结果。
电容C4的充放电回路由图2—2中实线、虚线箭头所示。
在一个充放电周期内(T=t1+t2),由c点到a点的电荷量为:
Q=Q2-Q1=(CX1-CX2)(E2-E1)=△CX△E(2—3)
式中:
CX1与CX2的变化趋势是相反的(传感器的结构决定的,是差动式)。
设激励电压频率f=1/T,则流过ac支路输出的平均电流i为:
i=fQ=f△CX△E(2—4)
式中:
△E—激励电压幅值;△CX—传感器的电容变化量。
由(2—4)式可看出:
f、△E一定时,输出平均电流i与△CX成正比,此输出平均电流i经电路中的电感L2、电容C5滤波变为直流I输出,再经Rw转换成电压输出Vo1=IRw。
由传感器原理已知∆C与∆X位移成正比,所以通过测量电路的输出电压Vo1就可知∆X位移。
2、电容式位移传感器实验原理方块图如图2—3
图2—3电容式位移传感器实验方块图
三、需用器件与单元:
主机箱±15V直流稳压电源、电压表;电容传感器、电容传感器实验模板、测微头。
四、实验步骤:
1、按图2—4示意安装、接线。
图2—4电容传感器位移实验安装、接线示意图
2、将实验模板上的Rw调节到中间位置(方法:
逆时针转到底再顺时传3圈)。
3、将主机箱上的电压表量程切换开关打到2V档,检查接线无误后合上主机箱电源开关,旋转测微头改变电容传感器的动极板位置使电压表显示0V,再转动测微头(同一个方向)6圈,记录此时的测微头读数和电压表显示值为实验起点值。
以后,反方向每转动测微头1圈即△X=0.5mm位移读取电压表读数(这样转12圈读取相应的电压表读数),将数据填入表3(这样单行程位移方向做实验可以消除测微头的回差)。
表3电容传感器位移实验数据
X(mm)
V(mV)
4、根据表3数据作出△X—V实验曲线并截取线性比较好的线段计算灵敏度S=△V/△X和非线性误差δ及测量范围。
实验完毕关闭电源开关。
实验三差动变压器测位移实验
一、实验目的:
了解差动变压器测位移时的应用方法
二、基本原理:
差动变压器的工作原理参阅实验十一(差动变压器性能实验)。
差动变压器在应用时要想法消除零点残余电动势和死区,选用合适的测量电路,如采用相敏检波电路,既可判别衔铁移动(位移)方向又可改善输出特性,消除测量范围内的死区。
图3—1是差动变压器测位移原理框图。
图3—1差动变压器测位移原理框图
三、需用器件与单元:
主机箱中的±2V~±10V(步进可调)直流稳压电源、±15V直流稳压电源、音频振荡器、电压表;差动变压器、差动变压器实验模板、移相器/相敏检波器/低通滤波器实验模板;测微头、双踪示波器。
四、实验步骤:
1、相敏检波器电路调试:
将主机箱的音频振荡器的幅度调到最小(幅度旋钮逆时针轻轻转到底),将±2V~±10V可调电源调节到±2V档,再按图3—2示意接线,检查接线无误后合上主机箱电源开关,调节音频振荡器频率f=5kHz,峰峰值Vp-p=5V(用示波器测量。
提示:
正确选择双踪示波器的“触发”方式及其它设置,触发源选择内触发CH1、水平扫描速度TIME/DIV在0.1mS~10µS范围内选择、触发方式选择AUTO;垂直显示方式为双踪显示DUAL、垂直输入耦合方式选择直流耦合DC、灵敏度VOLTS/DIV在1V~5V范围内选择。
当CH1、CH2输入对地短接时移动光迹线居中后再去测量波形。
)。
调节相敏检波器的电位器钮使示波器显示幅值相等、相位相反的两个波形。
到此,相敏检波器电路已调试完毕,以后不要触碰这个电位器钮。
关闭电源。
图3—2相敏检波器电路调试接线示意图
3、调节测微头的微分筒,使微分筒的0刻度值与轴套上的10mm刻度值对准。
按图
3—3示意图安装、接线。
将音频振荡器幅度调节到最小(幅度旋钮逆时针轻转到底);电压表的量程切换开关切到20V档。
检查接线无误后合上主机箱电源开关。
图3—3差动变压器测位移组成、接线示意图
3、调节音频振荡器频率f=5KHz、幅值Vp-p=2V(用示波器监测)。
4、松开测微头安装孔上的紧固螺钉。
顺着差动变压器衔铁的位移方向移动测微头的安装套(左、右方向都可以),使差动变压器衔铁明显偏离L1初级线圈的中点位置,再调节移相器的移相电位器使相敏检波器输出为全波整流波形(示波器CH2的灵敏度VOLTS/DIV在1V~50mV范围内选择监测)。
再慢悠悠仔细移动测微头的安装套,使相敏检波器输出波形幅值尽量为最小(尽量使衔铁处在L1初级线圈的中点位置)并拧紧测微头安装孔的紧固螺钉。
5、调节差动变压器实验模板中的RW1、RW2(二者配合交替调节)使相敏检波器输出波形趋于水平线(可相应调节示波器量程档观察)并且电压表显示趋于0V。
6、调节测微头的微分筒,每隔△X=0.2mm从电压表上读取低通滤波器输出的电压值,填入下表4。
表4差动变压器测位移实验数据
X(mm)
-0.8
-0.6
-0.4
-0.2
0
0.2
0.4
0.6
0.8
V(mV)
0
7、根据表4数据作出实验曲线并截取线性比较好的线段计算灵敏度S=△V/△X与线性度及测量范围。
实验完毕关闭电源开关。
五、思考题:
差动变压器输出经相敏检波器检波后是否消除了零点残余电压和死区?
从实验曲线上能理解相敏检波器的鉴相特性吗?
附件:
移相器、相敏检波器
1、移相器工作原理:
图附件—1为移相器电路原理图与实验模板上的面板图。
图中,IC-1、R1、R2、R3、C1
图附件—1移相器原理图与模板上的面板图
构成一阶移相器(超前),在R2=R1的条件下,可证明其幅频特性和相频特性分别表示为:
KF1(jω)=Vi/V1=-(1-jωR3C1)/(1+jωR3C1)
KF1(ω)=1
ΦF1(ω)=-л-2tg-1ωR3C1
其中:
ω=2лf,f为输入信号频率。
同理由IC-2,R4,R5,Rw,C3构成另一个一阶移相器(滞后),在R5=R4条件下的特性为:
KF2(jω)=Vo/V1=-(1-jωRwC3)/(1+jωRwC3)
KF2(ω)=1
ΦF2(ω)=-л-2tg-1ωRwC3
由此可见,根据幅频特性公式,移相前后的信号幅值相等。
根据相频特性公式,相移角度的大小和信号频率f及电路中阻容元件的数值有关。
显然,当移相电位器Rw=0,上式中ΦF2=0,因此ΦF1决定了图附件—1所示的二阶移相器的初始移相角:
即ΦF=ΦF1=-л-2tg-12лfR3C1
若调整移相电位器Rw,则相应的移相范围为:
ΔΦF=ΦF1-ΦF2=-2tg-12лfR3C1+2tg-12лfΔRwC3
已知R3=10kΩ,C1=6800p,△Rw=10kΩ,C3=0.022μF,如果输入信号频率f一旦确定,即
可计算出图附件—1所示二阶移相器的初始移相角和移相范围。
2、相敏检波器工作原理:
图附件—2为相敏检波器(开关式)原理图与实验模板上的面板图。
图中,AC为交流参考电压输入端,DC为直流参考电压输入端,Vi端为检波信号输入端,Vo端为检波输出端。
图附件—2相敏检波器原理图与模板上的面板图
原理图中各元器件的作用:
C5-1交流耦合电容并隔离直流;IC5-1反相过零比较器,将参考电压正弦波转换成矩形波(开关波+14V~-14V);D5-1二极管箝位得到合适的开关波形V7≤0V(
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- 关 键 词:
- 传感器实验指导书 传感器 实验 指导书