PGDB两种GPP芯片工艺对比docx.docx
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PGDB两种GPP芯片工艺对比docx
PG/刀創制綏简今
Part一
Pail2
par:
1・巻WST片
3•咻巻禍*济海
1.制程简介
1.1:
PG制程
PG制程是一种先进的GPP芯片制造工艺,对PN结采用三层钝化保护(SIPOS/玻璃/LTO)o工艺过程是先在PN结表面沉积一层SIPOS,再通过光刻法上玻璃(光阻剂和玻璃粉的
混合物,称为PhotoGlass),采用光刻的原理,先通过匀胶
机自然旋转的方法在晶片表面均匀覆盖一层光阻玻璃(Phot。
Gbss),然后通过烘烤、曝光.显影去掉切割道及焊接面上的玻璃,只在PN结的表面留下需要钝化保护的光阻玻璃,最后通过低温玻璃的烧结的工艺将光阻玻璃中的光阻剂去掉,最后在高温下将粉状玻璃烧结成致密的固态玻璃体,最后再在
玻璃沉积一层LTO,从而起到非常致密地钝化保护PN结的作
1.制程简介
1.2:
刀刮制程
刀刮制程是一种比较传统的较为简单的GPP芯片工艺,只有一层玻璃钝化保护,即采用手工的方法用刀片将玻璃浆乱涂在晶片表面,再经过低温烧结将玻璃浆中的有机成份去掉,然后用手工擦拭的方法除掉焊接面的玻璃粉,留下沟槽中的
玻璃粉,最后再经过高温烧结,将粉状的玻璃烧结成固态玻璃体,从而起到钝化保护PN结的作用。
制程
PG
刀刮
图示
说明
单面曝光,单面蚀刻
双面曝光,N面会预先蚀刻为后续背
切割做准备
制程
PG
刀刮
说明
1:
晶粒台面有玻璃保护;
2:
沟槽中的玻璃被去除便于后续切割;
3:
钝化用的光阻玻璃是光阻剂与玻璃粉的混合物;
1:
晶粒台面无玻璃保护;
2:
沟槽中填满玻璃,背切割裂片时会对玻璃造成损伤;
3:
钝化用的玻璃浆是乙基纤维素、乙基卡比醇与玻璃粉的混合物;
3.各制程优缺点
制程
PG
刀刮
优点
1:
采用3层钝化保护,高信赖性;
2.台面及玻璃有氧化膜保护,可以阻止焊锡流淌到玻璃;
3.玻璃包覆台面可以完好的保护PN结尖角的地方(尖角是电场最集中的,也通常是应用失效),提高可靠性能;
1•生产工艺简单,成本低;
2:
肉晶粒台面无玻璃,焊接时引线的设计比较简单适用;
缺点
1:
台面有玻璃,其高度Max:
30um,其焊接面积也会比DB制程小2mi咗右,客户需要调整引线钉头的高度和钉头的尺寸;
1.焊接时因玻璃及台面无氣化膜保护,焊锡容易流淌到玻璃上形成锡桥,造成HI-REL及应用失效比例上升;
2.DB制程晶粒玻璃不包覆台面,故PN结尖角处保护就存在缺陷,容易造成铜硅扩散,应用失效;
4.PG产品与DB产品的实际表现
我司普通整流PG制程产品均采用SIPOS(Semi-insulatingpolycrystalline-silicon)为一种半绝缘的氧化膜,所以其会增加芯片的常温
(O.luA左右)及高温漏电。
但是SIPOS本身的漏电流有限,所以到达一定的温度后,SIPOS自身的漏电流不再增加,可以保证材料在高温条件下稳定性。
一般在150°C条件下,仍为uA级别(50mil芯片约为50uA)。
DB的芯片如不采用SIPOS,其PN结表面钝化直接为玻璃,玻璃为绝缘材料,所以其漏电可以做到很小(常温:
O.OluA),150°C条件下,正常材料IR为10uA左右;
分别计算PG和DB制程芯片在150°C高温条件下的功耗:
PG:
P=400V*50uA=0.02W
DB:
P=400V*10uA=0.004W;此功耗其对材料结温的影响非常小
4.PG产品与DB严品的实际表现
统计以往,DB和PG制程产品的内部HTRB评估结果
制程
DieSize
实验批数
每批实验数量
不合格批数
DB
46mil*46mil
97Lots
22pcs
4
50mil*50mil
26Lots
22pcs
1
PG
46mil*46mil
156Lots
22pcs
0
50mil*50mil
231Lots
22pcs
0
备注:
如果实验后材料电性不符合产品规格即为不合格(一般为材料电压衰降或者Short)
从以上对比数据,我们可以发现单独看少数几颗材料的短时间评估结果,并不能反应PG产品和DB产品实际优劣。
PG产品在长时间高温严苛条件下的整体稳定性和可靠性更好。
以上报告,不足之处请指正
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