8215SH Pick and Place Machine维修保养手册.docx
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8215SHPickandPlaceMachine维修保养手册
8215-SHPickandPlaceMachine维修保养手册
目录
第一章、定期維護計畫1
第二章、一般維護說明3
2-1、8215-SH主要模組3
2-2、取放頭4
2-2-1、清潔調整X向平台4
2-2-2、清潔調整Z向工作模組5
2-2-3、清潔調整Y向平台6
2-3、頂針座8
2-3-1、清潔頂針帽、頂針8
2-3-2、清潔調整Z向平台8
2-4、晶圓平台10
2-4-1、潤滑調整X向平台機構10
2-4-2、潤滑調整Y向平台機構11
2-4-3、清潔調整擴片機構12
2-5、放置台機構14
2-5-1、潤滑調整X向平台機構14
2-5-2、潤滑調整Y向平台機構15
2-6、光學機構17
2-6-1、撿取影像對位模組17
第三章、錯誤碼參照與簡易故障排除18
第四章、附件清單20
4-1、潤滑油品20
4-2、定期檢修用工具20
4-3、模組對照表20
4-4、耗材表21
4-5、建議備庫料件21
附录一、机构模块爆炸图
附录二、机台电路图
修订纪录
修订版本
修订说明
修改部分
撰写者
100610
初版
SunnyLo
第1章、定期维护计划
项次
项目说明
频率
方法
日
周
月
季
年
酒精
真空
润滑
特殊工具
索引
A、取放头组件(取放头、光学模块)
1
清洁吸嘴与吸嘴连杆
ˇ
ˇ
2
确认真空来源及检测器数值
ˇ
3
清洁镜头
ˇ
ˇ
ˇ
拭镜纸
4
检查检取及放置位置
ˇ
5
润滑连接Z轴培林
ˇ
ˇ
6
清洁润滑滚珠螺杆
ˇ
ˇ
7
清洁润滑导向滑块
ˇ
ˇ
8
润滑交叉滑轨
ˇ
ˇ
9
润滑T型连接杆
ˇ
ˇ
10
检查取放头放置力度
ˇ
力度计
11
清洁传感器
ˇ
ˇ
ˇ
12
检查各传感器感应位置
ˇ
13
各部螺丝旋紧
ˇ
B、顶针座组件
1
清洁顶针座之Cap平面
ˇ
ˇ
酒精
2
检查顶针损耗
ˇ
显微镜
3
清洁润滑滚珠螺杆
ˇ
ˇ
4
清洁润滑导向滑块
ˇ
ˇ
5
清洁传感器
ˇ
ˇ
ˇ
6
检查各传感器感应位置
ˇ
7
各部螺丝旋紧
ˇ
C、晶圆平台
1
清洁晶圆平台台面
ˇ
ˇ
ˇ
2
清洁润滑各滚珠螺杆
ˇ
ˇ
3
清洁润滑各导向滑块
ˇ
ˇ
4
清洁润滑各汽缸
ˇ
ˇ
5
检查Y轴马达皮带张力
ˇ
6
清洁各部传感器
ˇ
ˇ
ˇ
7
检查各传感器感应位置
ˇ
8
各部螺丝旋紧
ˇ
D、放置台
1
清洁放置台台面
ˇ
ˇ
ˇ
2
清洁润滑各滚珠螺杆
ˇ
ˇ
3
清洁润滑各导向滑块
ˇ
ˇ
4
检查X轴马达皮带张力
ˇ
5
清洁各部传感器
ˇ
ˇ
ˇ
6
检查各传感器感应位置
ˇ
7
各部螺丝旋紧
ˇ
8
调整放置位置
ˇ
第2章、一般维护说明
2-1、8215-SH主要模块
8215-SHPickandPlaceMachine大部介绍如下所述:
包含晶粒取放头(LB15C)、晶圆平台&扩片环(WT&FF)、顶针座(DE07H)、检取影像定位CCD(CCD46C)、放置台机构(BT28A)。
2-2、取放头
取放头为主要由X向平台、Z向平台、Y向平台及BondForce四个组件构成
取放头PM检查清单
项次
项目
注意事项
配合工具
次数
1
润滑滚珠螺杆
关闭马达
注油枪
M
2
润滑滑块
关闭马达
注油枪
M
3
润滑T型连接杆
关闭马达
HY
4
清洁传感器
关闭马达
棉花棒、酒精
S
5
清洁取放头吸嘴管路
W
2-2-1、清洁调整X向平台
2-2-1-1、-滚珠螺杆滑块润滑
目的:
为保持作动模块高效率与良好性能,因为本身属于滚动接触,所以滚动的滚珠螺杆需要的润滑油需量较少。
步骤:
1.关闭取放头模块的马达电源
2.使用清洁纸(无棉絮的布),将残留在螺杆上的废旧油渣去除
3.定位珠螺杆的注油孔,用注油枪打进NSK-PS2润滑油加以润滑
4.以手动转动马达方式驱动螺杆,使轴从一端移动至另一端来回3~4次,并确认来回过程中作动滑顺无顿点
5.除去螺杆与螺母交接处多余的油
6.开启取放头模块的马达电源
2-2-1-2、清洁传感器
目的:
使传感器作动正常,不会因感应错误造成偏移误差
步骤:
1.关闭取放头模块的马达电源
2.在不拆除其它部件的状态下进行清洁
3.以真空清洁器吸取清洁或清洁纸(无棉絮的布)沾拭酒精(不可用具有腐蚀性的化学药品,如IPA)将传感器擦拭干净,无灰尘批覆
4.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损
5.以手动转动马达方式驱动螺杆,来回3~4次测试传感器是否作动正常
6.开启取放头模块的马达电源
2-2-2、清洁调整Z向工作模块
2-2-2-1、滚珠螺杆润滑
目的:
为保持作动模块高效率与良好性能,因为本身属于滚动接触,所以滚动的滚珠螺杆需要的润滑油需量较少。
步骤:
1.关闭取放头模块的马达电源
2.使用清洁纸(无棉絮的布),将残留在螺杆上的废旧油渣去除
3.以NSK-PS2润滑油加以螺杆上润滑
4.以手动转动马达方式驱动螺杆,使轴从一端移动至另一端来回3~
4次,并确认来回过程中作动滑顺无顿点
5.除去螺杆与螺母交接处多余的油
6.开启取放头模块的马达电源
2-2-2-2、滑块润滑
目的:
为保持作动模块高效率与良好性能,因为本身属于滚动接触,所以滚
动的滑块滚珠需要有润滑油加以润滑。
步骤:
1.关闭取放头模块的马达电源
2.使用清洁纸(无棉絮的布),将残留在螺杆上的废旧油渣去除
3.定位珠螺杆的注油孔,用注油枪打进NSK-PS2润滑油加以润滑
4.以手动转动马达方式驱动螺杆,使轴从一端移动至另一端来回3~
4次,并确认来回过程中作动滑顺无顿点
5.除去螺杆与螺母交接处多余的油
6.开启取放头模块的马达电源
2-2-2-3、润滑清洁调整T型连接件
目的:
为保证连接处的滑顺度与平行度,因为连接处上下为两个培林夹持固
定亦属于滚动接触,故只需上一层薄油
步骤:
1.关闭取放头模块的马达电源
2.使用清洁纸(无棉絮的布),将残留在导杆及培林上的废旧油渣去除
3.以低黏稠度的润滑油施加于导杆及培林上加以润滑
4.以手动转动Y轴马达方式驱动T型连接板,使培林从导杆一端移动
至另一端来回3~4次,除去培林及连接处多余的润滑油
5.调整确认上下两个挟持培林的紧度与平行度(先将下方培林固定后
再调整上方的固定培林)
6.开启取放头模块的马达电源,注意Z轴检取、设定、放置高度的改
变以免发生撞机
2-2-2-4、清洁传感器
目的:
使传感器作动正常,回归原点时不会造成偏移误差
步骤:
1.关闭取放头模块的马达电源
2.在不拆除其它部件的状态下进行清洁
3.以真空清洁器吸取清洁或清洁纸(无棉絮的布)沾拭酒精(不可用具
有腐蚀性的化学药品,如IPA)将传感器擦拭干净,无灰尘批覆
4.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损
5.以手动转动马达方式驱动螺杆,来回3~4次测试传感器是否作动正常
6.开启取放头模块的马达电源
2-2-3、清洁调整Y向平台
2-2-3-1、滑块润滑
目的:
为保持作动模块高效率与良好性能,因为本身属于滚动接触,所以滚
动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。
步骤:
1.关闭取放头模块的马达电源
2.使用清洁纸(无棉絮的布),将残留在滑块导块上的废旧油渣去除
3.以NSK-PS2润滑油施加于导块上加以润滑
4.以手动转动马达方式驱动滑块,使滑块从导块一端移动至另一端来
回3~4次,并确认来回过程中作动滑顺无顿点
5.除去滑块与导块交接处多余的油
6.开启取放头模块的马达电源
2-2-3-2、清洁取放头吸嘴管路
目的:
确保吸嘴真空气压管路顺畅,使检放晶粒位置正确且判定是否有捡放
晶粒的真空值保持稳定,不会造成误判
步骤:
1.松开侧边的固定止付螺丝卸下吸嘴栓
2.至显微镜下检查吸嘴是否完整,若破损请立即更换新品
3.将吸嘴栓以IPA清洗,确认无锡膏或异物残留
4.点击[设定]=>[取放头]将取放头吸嘴吹气打开,以IPA清洁吸嘴栓
固定座,若气管内有锡膏异物残留请更换气管
5.清洁完成将所有零组件装回后,重新设定真空感知器的数值(其设定
值为介于未吸取晶粒及吸取晶粒的数值中间)
2-3、顶针座
顶针座为主要由Z向平台、XY交叉滑轨二个组件构成
顶针座PM检查清单
项次
项目
注意事项
配合工具
次数
1
清洁顶针帽
酒精
D
2
润滑滚珠螺杆
关闭马达
注油枪
M
3
润滑滑块
关闭马达
注油枪
M
4
清洁传感器
关闭马达
棉花棒、酒精
S
2-3-1、清洁顶针帽、顶针
2-3-1-1、顶针帽清洁
目的:
为保持顶针帽上的清洁,将蓝膜残留下来的残屑给予清除干净,确保真空作动的稳定。
步骤:
1.使用清洁纸(无棉絮的布),沾上酒精或IPA以擦拭方式加以清洁
2-3-2、清洁调整Z向平台
2-3-2-1、-滚珠螺杆滑块润滑
目的:
为保持作动模块高效率与良好性能,因为本身属于滚动接触,所以滚动的滚珠螺杆需要的润滑油需量较少。
步骤:
1.关闭机台的马达电源
2.小心地将顶针座拆下自晶圆平台中取出机台
3.使用清洁纸(无棉絮的布),将残留在螺杆上的废旧油渣去除
4.将NSK-PS2润滑油涂于螺杆之螺牙上加以润滑
5.以手动转动马达方式驱动螺杆,使轴从一端移动至另一端来回3~4次,并确认来回过程中作动滑顺无顿点
6.除去螺杆与螺母交接处多余的油
7.小心地将顶针座装回机台上的晶圆平台中
8.开启机台的马达电源
9.校正三点同心(确保镜头中心轴与晶圆平台面为相互垂直,顶针座与晶圆平台与CCD的中心点必须在同一垂直线上)
2-3-2-1、滑块润滑
目的:
为保持作动模块高效率与良好性能,因为本身属于滚动接触,所以滚
动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。
步骤:
1.关闭机台的马达电源
2.小心地将顶针座拆下自晶圆平台中取出机台
3.使用清洁纸(无棉絮的布),将残留在滑块导块上的废旧油渣去除
4.以NSK-PS2润滑油施加于导块上加以润滑
5.以手动转动马达方式驱动滑块,使滑块从导块一端移动至另一端来
回3~4次,并确认来回过程中作动滑顺无顿点
6.除去滑块与导块交接处多余的油
7.小心地将顶针座装回机台上的晶圆平台中
8.开启机台的马达电源
9.校正三点同心(确保镜头中心轴与晶圆平台面为相互垂直,顶针座与晶圆平台与CCD的中心点必须在同一垂直线上)
2-3-2-3、清洁传感器
目的:
使传感器作动正常,不会因感应错误造成偏移误差
步骤:
1.关闭机台的马达电源
2.在不拆除其它部件的状态下进行清洁
3.以真空清洁器吸取清洁或清洁纸(无棉絮的布)沾拭酒精(不可用具有腐蚀性的化学药品,如IPA)将传感器擦拭干净,无灰尘批覆
4.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损
5.以手动转动马达方式驱动螺杆,来回3~4次测试传感器是否作动正常
6.开启机台的马达电源
2-4、晶圆平台
晶圆平台主要由X向平台机构、Y向平台机构及扩片机构三大部分所组成
项次
项目
注意事项
配合工具
次数
1
滚珠螺杆润滑
关闭马达
M
2
滑块润滑
关闭马达
M
3
调整皮带张紧度
关闭马达
S
4
润滑汽缸
关闭主气源
M
5
清洁传感器
关闭马达
棉花棒、酒精
S
2-4-1、润滑调整X向平台机构
2-4-1-1、滚珠螺杆润滑
目的:
为保持作动模块高效率与良好性能,因为本身属于滚动接触,所以滚动的滚珠螺杆需要的润滑油需量较少。
步骤:
1.关闭该模块的马达电源
2.使用清洁纸(无棉絮的布),将残留在螺杆上的废旧油渣去除
3.以NSK-PS2润滑油加以螺杆上润滑
4.以手动转动马达方式驱动螺杆,使轴从一端移动至另一端来回3~4次,并确认来回过程中作动滑顺无顿点
5.除去螺杆与螺母交接处多余的油
6.开启该模块的马达电源
2-4-1-2、滑块润滑
目的:
为保持作动模块高效率与良好性能,因为本身属于滚动接触,所以滚动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。
步骤:
1.关闭该模块的马达电源
2.使用清洁纸(无棉絮的布)将残留在滑块导块上的废旧油渣去除
3.以NSK-PS2润滑油施加于导块上加以润滑
4.以手动转动马达方式驱动滑块,使滑块从导块一端移动至另一端来回3~4次,并确认来回过程中作动滑顺无顿点
5.除去滑块与导块交接处多余的油
6.开启该模块的马达电源
2-4-1-3、调整皮带张紧度
目的:
为保证马达带动螺杆转动正常,能精准快速到位
步骤:
1.关闭该模块电源
2.检查皮带齿痕是否完整无破损
3.调整皮带张紧度,用手压缩皮带两侧检查其允许压缩空间范围为1~2mm
4.用手动方式转动马达,检视带动是否顺畅无顿点
5.开启该模块马达
2-4-1-4、清洁传感器
目的:
使传感器作动正常,回归原点时不会造成偏移误差
步骤:
1.关闭该模块的马达电源
2.在不拆除其它部件的状态下进行清洁
3.以真空清洁器吸取清洁或清洁纸(无棉絮的布)沾拭酒精(不可用具
有腐蚀性的化学药品,如IPA)将传感器擦拭干净,无灰尘批覆
4.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损
5.以手动转动马达方式驱动螺杆,来回3~4次测试传感器是否作动正常
6.开启该模块的马达电源
2-4-2、润滑调整Y向平台机构
2-4-2-1、滚珠螺杆润滑
目的:
为保持作动模块高效率与良好性能,因为本身属于滚动接触,所以滚动的滚珠螺杆需要的润滑油需量较少。
步骤:
1.关闭该模块的马达电源
2.使用清洁纸(无棉絮的布),将残留在螺杆上的废旧油渣去除
3.以NSK-PS2润滑油加以螺杆上润滑
4.以手动转动马达方式驱动螺杆,使轴从一端移动至另一端来回3~4次,并确认来回过程中作动滑顺无顿点
5.除去螺杆与螺母交接处多余的油
6.开启该模块的马达电源
2-4-2-2、滑块润滑
目的:
为保持作动模块高效率与良好性能,因为本身属于滚动接触,所以滚动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。
步骤:
1.关闭该模块的马达电源
2.使用清洁纸(无棉絮的布)将残留在滑块导块上的废旧油渣去除
3.以NSK-PS2润滑油施加于导块上加以润滑
4.以手动转动马达方式驱动滑块,使滑块从导块一端移动至另一端来回3~4次,并确认来回过程中作动滑顺无顿点
5.除去滑块与导块交接处多余的油
6.开启该模块的马达电源
2-4-2-3、清洁传感器
目的:
使传感器作动正常,回归原点时不会造成偏移误差
步骤:
1.关闭该模块的马达电源
2.在不拆除其它部件的状态下进行清洁
3.以真空清洁器吸取清洁或清洁纸(无棉絮的布)沾拭酒精(不可用具
有腐蚀性的化学药品,如IPA)将传感器擦拭干净,无灰尘批覆
4.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损
5.以手动转动马达方式驱动螺杆,来回3~4次测试传感器是否作动正常
6.开启该模块的马达电源
2-4-3、清洁调整扩片机构
2-4-3-1、调整皮带
目的:
为保持θ轴模块转动正常,能精准快速到位
步骤:
1.关闭该模块电源
2.检查皮带齿痕是否完整无破损
3.使用调整螺来调整皮带张紧度,用手压缩皮带两侧检查其允许压缩空间范围为1~2mm
4.用手动方式转动马达,检视带动是否顺畅无顿点
5.开启该模块马达
2-4-3-2、汽缸润滑
目的:
为保持扩片机构功能正常
步骤:
1.将主气压源关闭
2.适用清洁纸(或无棉絮之清洁的布)将汽缸上的旧润滑油清除
3.用低黏稠度的润滑油(无腐蚀性)涂抹在汽缸上
4.用手动方式左右移动使润滑油均匀附着在导柱上
5.清除在导柱与汽缸相接触残留的润滑油
6.将主气压源开启至规范内
2-4-3-3、清洁传感器
目的:
使传感器作动正常,回归原点时不会造成偏移误差
步骤:
1.关闭该模块的马达电源
2.在不拆除其它部件的状态下进行清洁
3.以真空清洁器吸取清洁或清洁纸(无棉絮的布)沾拭酒精(不可用具
有腐蚀性的化学药品,如IPA)将传感器擦拭干净,无灰尘批覆
4.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损
5.以手动转动马达方式驱动螺杆,来回3~4次测试传感器是否作动正常
6.开启该模块的马达电源
2-5、放置台机构
放置台主要由X向平台机构、Y向平台机构及石墨盘放置台三大部分所组成
项次
项目
注意事项
配合工具
次数
1
滚珠螺杆润滑
关闭马达
M
2
滑块润滑
关闭马达
M
3
调整皮带张紧度
关闭马达
S
4
清洁传感器
关闭马达
棉花棒、酒精
S
2-5-1、润滑调整X向平台机构
2-5-1-1、滚珠螺杆润滑
目的:
为保持作动模块高效率与良好性能,因为本身属于滚动接触,所以滚动的滚珠螺杆需要的润滑油需量较少。
步骤:
1.关闭该模块的马达电源
2.使用清洁纸(无棉絮的布),将残留在螺杆上的废旧油渣去除
3.以NSK-PS2润滑油加以螺杆上润滑
4.以手动转动马达方式驱动螺杆,使轴从一端移动至另一端来回3~4次,并确认来回过程中作动滑顺无顿点
5.除去螺杆与螺母交接处多余的油
6.开启该模块的马达电源
2-5-1-2、滑块润滑
目的:
为保持作动模块高效率与良好性能,因为本身属于滚动接触,所以滚动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。
步骤:
1.关闭该模块的马达电源
2.使用清洁纸(无棉絮的布)将残留在滑块导块上的废旧油渣去除
3.以NSK-PS2润滑油施加于导块上加以润滑
4.以手动转动马达方式驱动滑块,使滑块从导块一端移动至另一端来回3~4次,并确认来回过程中作动滑顺无顿点
5.除去滑块与导块交接处多余的油
6.开启该模块的马达电源
2-5-1-3、调整皮带张紧度
目的:
为保证马达带动螺杆转动正常,能精准快速到位
步骤:
1.关闭该模块电源
2.检查皮带齿痕是否完整无破损
3.调整皮带张紧度,用手压缩皮带两侧检查其允许压缩空间范围为1~2mm
4.用手动方式转动马达,检视带动是否顺畅无顿点
5.开启该模块马达
2-5-1-4、清洁传感器
目的:
使传感器作动正常,回归原点时不会造成偏移误差
步骤:
1.关闭该模块的马达电源
2.在不拆除其它部件的状态下进行清洁
3.以真空清洁器吸取清洁或清洁纸(无棉絮的布)沾拭酒精(不可用具
有腐蚀性的化学药品,如IPA)将传感器擦拭干净,无灰尘批覆
4.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损
5.以手动转动马达方式驱动螺杆,来回3~4次测试传感器是否作动正常
6.开启该模块的马达电源
2-5-2、润滑调整Y向平台机构
2-5-2-1、滚珠螺杆润滑
目的:
为保持作动模块高效率与良好性能,因为本身属于滚动接触,所以滚动的滚珠螺杆需要的润滑油需量较少。
步骤:
1.关闭该模块的马达电源
2.使用清洁纸(无棉絮的布),将残留在螺杆上的废旧油渣去除
3.以NSK-PS2润滑油加以螺杆上润滑
4.以手动转动马达方式驱动螺杆,使轴从一端移动至另一端来回3~4次,并确认来回过程中作动滑顺无顿点
5.除去螺杆与螺母交接处多余的油
6.开启该模块的马达电源
2-5-2-2、滑块润滑
目的:
为保持作动模块高效率与良好性能,因为本身属于滚动接触,所以滚动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。
步骤:
1.关闭该模块的马达电源
2.使用清洁纸(无棉絮的布)将残留在滑块导块上的废旧油渣去除
3.以NSK-PS2润滑油施加于导块上加以润滑
4.以手动转动马达方式驱动滑块,使滑块从导块一端移动至另一端来回3~4次,并确认来回过程中作动滑顺无顿点
5.除去滑块与导块交接处多余的油
6.开启该模块的马达电源
2-5-2-3、清洁传感器
目的:
使传感器作动正常,回归原点时不会造成偏移误差
步骤:
1.关闭该模块的马达电源
2.在不拆除其它部件的状态下进行清洁
3.以真空清洁器吸取清洁或清洁纸(无棉絮的布)沾拭酒精(不可用具
有腐蚀性的化学药品,如IPA)将传感器擦拭干净,无灰尘批覆
4.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损
5.以手动转动马达方式驱动螺杆,来回3~4次测试传感器是否作动正常
6.开启该模块的马达电源
2-6、光学机构
光学机构为检取CCD定位影像模块
项次
项目
注意事项
配合工具
次数
1
交叉滑轨润滑
Y
2
镜头清洁
Y
2-6-1、捡取影像对位模块
2-6-1-1、交叉滑轨润滑
目的:
为保持作动模块高效率与良好性能,因为本身属于滚动接触,所以滚动的
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