RGES003扩散炉作业指导书.docx
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RGES003扩散炉作业指导书
扩散作业指导书
编制:
审核:
批准:
文件批号:
高平市融高太阳能开发有限公司
作业指导书
一、目的
本程序为扩散工序的生产作业提供文件化的标准作业指导。
二、适用范围
本程序规定适用于扩散工序所有操作人员(包括班组长等)的作业流程。
三、职责
1、让使用本台机器的所有操作人员都熟悉操作,尽量减少操作失误。
2、清洗工序的相关操作人员要严格按照该程序操作。
工艺人员和班组长管理人员对该工序的生产操作行使管理和监督职能。
四、作业程序
1.用户操作
1.1数据录入
图1
由于扩散炉的计算机的输入采用触摸屏的操作方式,因此在监控程序的运行期间,所有的数据输入操作均通过触摸屏进行输入。
监控程序的数据输入操作除“工艺编辑”窗体中的工艺参数的输入外,均使用如图1所示的“数据录入”窗体来进行数据输入。
在用户选中一个输入对象后,“数据录入”窗体就会自动弹出,只需在该窗体中点击相应的字母、数字和功能按钮就可输入相应的数据,输入完成后再单击“确定”按钮,则输入完毕。
系统会自动检查用户的输入是否正确,如果不正确则给出相应的提示,例如出现图2所示的信息。
图2
1.2登录/注销
点击运行监控程序后,即出现登录界面。
用户必须正确登录才可使用该监控程序。
在用户名输入框中选择已存在的用户名,并在密码输入框中输入该用户的密码后,单击“确定”按钮,如果没有出现任何提示,即登录成功,否则系统将给出相应的提示。
图3
在程序运行期间,单击工具栏的“注销”按钮,即可注销本次的登录。
在注销后,用户不能进行任何其它操作,必须点击工具栏的“登录”按钮进行重新登录后,才可继续操作。
注销期间,工艺的自动运行等不受影响。
在正确登录或重新登录后,在程序的状态栏中将显示用户登录或重新登录的时间、当前的用户名和操作权限等信息。
1.3主窗体
在出现“用户登录”窗体时,即可看到包含“用户登录”窗体的“主窗体”,“主窗体”如图4所示。
最上方的为标题栏,显示监控程序的名称。
标题栏的下方即为“主窗体”的工具栏,其中有“登录”、“注销”、“状态设置”、“工艺编辑”、“工艺运行”、“断点信息”、“报警状态”、“实时记录”、“历史记录”、“事件记录”、“用户设置”、“系统设置”、“关于”、“退出”等按钮,分别用来进入不同的子窗体或注销和退出监控程序。
在“主窗体”的左侧,分别由“炉管名称”、“设备状态”、“工艺运行信息”和“未查看事件”共四个信息框,用来显示一些设备的基本数据和主要运行状态。
“主窗体”的下方为它的状态栏,用来显示最新的登陆信息和当前时间等信息。
图4
1.4状态设置
在“状态设置”窗口中可手动设置系统中的各个控制对象的参数、进行工艺自动运行和工艺断点运行的各项操作。
在用户正确登录或注销后出现“状态设置”窗体,另外在已经登录的情况下,点击“主窗体”工具栏中的“状态设置”按钮或关闭其它的窗体后也会出现“状态设置”窗体。
有关工艺自动运行的操作详见“1.6工艺运行”部分,有关工艺断点运行的操作详见“1.7断点运行”部分。
进行控制对象的参数设置时,先单击相应的设置框,然后在弹出的“数据输入”窗体输入相应的设定值即可,更改将立即生效。
如果设置的参数不合理,系统将给出提示信息,并自动恢复原有的参数设置。
如果当前正在自动运行工艺,并且当前登录的用户的等级为“操作员级”,则不允许手动修改控制对象的参数,并且此时的流量的设定值、流量的检测值、温区的PB值、工艺的已运行总时间和当前步设定时间均用“X”来表示。
另外在未运行工艺的情况下,“操作员级”用户不能设置温区的PB值。
在未运行工艺的情况下,当前登录用户为“管理员级”或“工艺员级”时,可对全部的控制对象的参数进行设定。
如果系统设置中的“运行工艺时可修改控制参数”未选择,则“管理员级”和“工艺员级”的用户在工艺运行时也不可修改控制对象的参数,反之则可以修改。
计算机重新启动后,“炉内舟状态”为“未知”,该状态下推舟不能水平运动!
请在计算机启动后或设备异常时手动更改“炉内舟状态”,以保持“炉内舟状态”与实际一致(正常运行时计算机会自动跟踪舟状态),否则可能损坏石英舟!
图5
1.5工艺编辑
因监控程序中没有预先设置工艺,因此要自动运行工艺必须先编辑工艺。
进行工艺编辑须先进入“工艺编辑”窗体,点击“主窗体”工具栏中的“工艺编辑”按钮即可进入“工艺编辑”窗体,“工艺编辑”窗体如图6所示。
“工艺编辑”窗体的最上面为它的工具栏,包含“新建”、“打开”、“保存”、“另存为”、“复制”、“粘贴”、“删除”、“插入”、“打印”、“到Excel”和“退出”共11个按钮,用于工艺编辑的各种操作。
单击“新建”按钮后,在“工艺编辑”窗体将出现如图7所示的“新建工艺”界面,在相应的输入框中输入工艺文件名和工艺名后就可建立新的工艺文件,并自动进入到该工艺的编辑界面中。
工艺文件名可由字母、数字和下划线组成,不用输入后缀名,工艺文件名长度应大于0,小于等于30。
工艺名可由字母、数字、符号和空格组成,长度也应大于0,小于等于30。
图6
图7图8
单击“打开”按钮,在“工艺编辑”窗体将出现如图9所示的“打开工艺”界面,该界面用于打开或删除已有的工艺文件,首先须在“工艺列表”中选中工艺,然后单击“确定”或“删除”按钮,来打开或删除工艺。
选中工艺后,在该界面的右侧将显示诸如该工艺文件的建立时间等信息。
另外程序提供了“以文件名方式”和“以工艺名方式”两种显示工艺列表的功能。
图9
单击“另存为”按钮,在“工艺编辑”窗体将出现如图8所示的“工艺另存为”界面,用来将当前打开的工艺进行另存。
工具栏中的“复制”、“粘贴”、“删除”和“插入”按钮的操作均是针对工艺步来进行。
要复制某步的工艺时,先点击要复制的工艺步的“步号”,再点击“复制”按钮,然后再点击目标步的“步号”,最后点击“粘贴”按钮即可。
要删除某步时,先点击该步的“步号”,再点击“删除”按钮即可。
要进行插入步操作,首先点击欲在其前插入一个工艺步的该步的“步号”,然后再点击“插入”按钮即可。
单击“到Excel”按钮,在“工艺编辑”窗体将出现如图10所示的“保存到Excel”界面,用来将当前编辑的工艺文件转换成Excel文件。
首先在“Excel文件名”输入框中输入一个文件名(不需后缀),然后点击“确定”按钮,即可完成工艺文件的Excel转换。
图10
监控程序的每个工艺都由100个工艺步组成,工艺步的步号从1到100,每个工艺步均由“步号”、“步名称”、“时间”、5个温区温度设定值、各个流量设定值、“推舟状态”、“推舟速度”、“净化风机”、“温度能否修改”等设置项组成。
其中“温度能否修改项”是指该步的温度设定值能否由“操作员级”用户来修改。
设置工艺的具体参数时,先要在工艺参数列表中单击要设置的设置项,此时该设置项的背景色将变成绿色(例如图6中的第2步的温区二的设置项),然后单击工艺参数列表下发的相应设置按钮进行设置。
在选择某个设置项后,将在“工艺编辑”窗体的下方给出相应的提示信息(例如图6中的“第2步的温区二的设定值为:
400”)。
在“工艺编辑”窗体中的四个方向按钮用来工艺参数表格,包括左移、右移、上移和下移。
在“工艺编辑”窗体中的“窗体缩放”按钮用来缩放窗体的大小,“显示选择”框中的几个选项用来关闭和显示工艺参数表格中的相应列,以方便工艺的编辑和查看。
“工艺编辑”窗体没有提示保存工艺的功能,因此在编辑工艺时请及时存盘。
“工艺编辑”窗体同时也是进行工艺在线编辑的界面,进行在线编辑时操作相同,只是在进行保存工艺的操作时,会出现“您现在编辑的工艺是正在运行的工艺,如果保存将立即作用于现在的工艺运行,确定保存?
”的确认提示,选择“是”则完成在线编辑,选择“否”则不进行在线编辑。
1.6工艺运行
自动运行工艺时,首先要进入到“工艺运行登陆”窗体,在“状态设置”窗体中点击“自动运行登录”按钮或在“主窗体”的工具栏中点击“工艺运行”按钮均可进入到如图11所示的“工艺运行登陆”窗体。
图11
在“工艺运行登陆”窗体中,首先要在工艺列表中选择需运行的工艺,然后输入“产品批次”、“产品数量”、“员工姓名”和“工艺起始步”等信息,在确定输入无误后单击“确定”按钮即可。
系统将检查用户选择的工艺是否合理,如果合理,则立即运行工艺;不合理则给出提示,退出工艺运行。
工艺的结束步由程序自动分析出来,即从起始步开始,一步步往下分析,如果遇到的第一个工艺步时间为零的工艺步的步号为N,则工艺结束步为N-1,如果工艺步的步时间均不为零,则工艺结束步为第100步。
自动运行工艺时,在“状态设置”窗体中实时显示工艺运行信息,显示的工艺运行信息有“工艺运行状”、“工艺名”、“工艺文件名”和“当前步倒计时”等信息。
自动运行工艺时可进行以下的一些操作。
(1)工艺暂停:
在工艺自动运行时,单击“状态设置”窗口的“工艺暂停”按钮,则立即停止工艺的倒计时,使工艺处于暂停状态,各种设置量保持不变。
(2)工艺继续:
单击“状态设置”窗口的“工艺继续”按钮则立即结束工艺暂停状态,工艺继续进行倒计时。
(3)运行下一步:
单击“状态设置”窗口的“运行下一步”按钮,则程序立即结束本步的工艺运行,进入下一步的运行。
如果当前步为工艺的最后一步,则工艺立即结束。
(4)强制结束工艺:
单击“状态设置”窗口的“强制结束工艺”按钮,则程序立即结束本次工艺运行。
(5)在线编辑:
单击“状态设置”窗口的“在线编辑”按钮,则立即显示“工艺编辑”窗体,用户可在“工艺编辑”窗体实时编辑工艺,编辑完成后,单击“工艺编辑”窗体的工具栏的“保存”按钮,系统将询问用户是否使刚才修改的工艺立即作用于当前运行的工艺,如果选择“是”,则程序自动按修改后的工艺继续运行(详见1.4工艺编辑)
(6)解除强制暂停:
监控程序在自动运行工艺时,如果遇到以下情况中的一种,工艺运行将进入“强制暂停”状态:
●本步剩余时间小于5秒,推舟没有前进到位,且下一步工艺有扩散小氮流量。
●本步剩余时间小于5秒,推舟没有前进到位,且下一步工艺有清洗小氮流量。
当工艺运行处于“强制暂停”状态时,如果造成工艺运行进入“强制暂停”的因素已经解除,则工艺自动进入运行状态,继续运行剩余的工艺。
另外,“管理员级”和“工艺员”用户均可手动解除工艺的“强制暂停”状态,方法为点击“状态设置”窗体中的“解除强制暂停”按钮。
在使用该功能时应特别注意,因为解除了工艺的“强制暂停”状态,并未解除造成工艺强制暂停的原因。
在自动运行工艺时,根据工艺的设置,程序可自动实现斜率升降温。
除工艺起始步外,其它工艺步根据温度值的设置,程序自动判断本步的温度是升降温,还是恒温过程。
即本步的温度设定值如果和上一步的温度设定值相同,则本步为恒温过程,否则为斜率升降温过程。
例如本步的步时间设置为10分钟,温度设置为1000摄氏度,上一步的温度设置为900摄氏度,则本步为斜率升温过程,升温斜率为10摄氏度/分钟。
1.7断点运行
断点发生有以下两种情况:
●在工艺进行的过程中,手动点击“状态设置”窗口的“强制结束工艺”按钮来结束本次的工艺运行,此种情况的断点称为“继续运行”类型。
●在工艺进行的过程中,电脑死机或系统突然断点造成工艺不能按预期完成,此种情况的断点成为“程序非正常退出”类型。
图12
发生断点后,程序自动记录断点发生时的工艺运行状况,在系统恢复正常后,可点击“状态设置”窗体中的“断点运行登录”按钮或“主窗体”工具栏中的“断点信息”按钮来打开如图12所示的“断点运行”窗体。
在该窗口中详细记录了发生断点时的工艺运行信息。
点击“断点运行登录”窗口的“启动断点运行”按钮就可让程序继续运行因发生断点而未完成的剩余工艺。
1.8实时记录和历史记录
监控程序在运行期间,不管有没有运行工艺都会对各种控制对象的设定值和检测值进行记录,并保存在历史记录文件中。
历史记录文件包含手动运行的历史记录、正常运行工艺时的历史记录和断点运行时的历史记录三个形式。
●未运行工艺时的历史记录文件名称的命名为:
“H11112233_444.hdt”
其中:
“H”为未运行工艺的历史记录数据
“1111”表示工艺运行登录的年份
“22”表示工艺运行登录的月份
“33”表示工艺运行登录的日期
“444”表示当日第几次自动运行工艺
“.hdt”为文件名的后缀
●正常运行工艺时的历史记录数据的文件的命名为:
“11112233_444.hdt”
其中:
“1111”表示工艺运行登录的年份
“22”表示工艺运行登录的月份
“33”表示工艺运行登录的日期
“444”表示当日第几次自动运行工艺
“.hdt”为文件名的后缀
●断点运行时的历史记录数据的文件的命名为:
“11112233_444B55.hdt”
其中:
“11112233_444”表示此次断点运行的工艺在在正常运行时的历史记录文件名的前缀
“B”表示为断点运行时产生的历史记录数据的标志符号
“55”表示此工艺的第几次运行
“.hdt”为文件名的后缀
数据记录的时间间隔为10秒,单个历史记录文件最多记录4000个数据,如果超过4000,则先去掉前100个数据,然后将后面的数据前移100位。
每次运行工艺时,都重新建立一个历史记录,当工艺运行结束后,又重新建立一个历史文件。
当前的历史记录文件的数据和曲线在“实时记录”窗体中查看,其它历史记录文件在“历史记录”窗体中查看。
“实时记录”窗体和“历史记录”窗体基本相同。
主要的区别是:
●“实时记录”窗体实时显示数据和曲线,会随着时间的推移,自动在数据表格内添加数据和在曲线框中重新绘制曲线;
●“历史记录”窗体可以选择历史记录文件,然后显示数据和曲线。
“实时记录”窗体的界面如图13和图14所示。
“历史记录”窗体的“打开历史记录”界面如图15所示。
在“实时记录”窗体和“历史记录”窗体的“数据”界面可以进行“显示选择”,方便对数据的查看,在“曲线”界面中提供了8个对曲线进行移动和缩放的按钮,方便对曲线的查看,工具栏中的“到Excel”按钮的操作同“曲线编辑”窗体的“到Excel”按钮的操作相同,在此就不再赘述。
另外在“历史记录”窗体的“打开历史记录”界面中还有一个“删除”按钮,用于对历史记录文件的删除操作。
图13
图14
图15
1.9事件记录
在监控程序的整个运行期间,系统对于用户的每次工艺操作、登录/注销、系统报警、系统出错都进行记录,并保存于系统的数据库中。
并提供查看和打印、删除事件记录等功能。
单击“主窗体”的工具栏中的“事件记录”按钮就可打开“事件记录”窗体。
在“事件记录”窗体中提供了各种筛选条件,用于查看特定的事件。
在选择好筛选条件后,单击“筛选”按钮就可在事件记录表格中显示出满足条件的事件记录。
“事件记录”窗口提供了打印、删除和转换成Excel等功能。
事件类型分为:
登录、注销、操作、报警和错误共5种。
具体含义如下:
登录:
包括首次登录和重新登录。
主要记录了用户登录的时间。
注销:
包含有注销时的用户名和注销时间。
操作:
记录用户运行工艺和设置其它项时的各种操作,包括手动设置温度值、流量值,以及自动运行登录、暂停、运行下一步等。
报警:
报警主要包括温度超温报警、H2泄漏报警以及在进行氢氧合成过程的流量偏差报警等。
主要记录报警发生时的各项参数,以及报警后系统恢复正常的时间。
错误:
主要记录包括硬件出错信息和软件中未知的错误。
图16
1.10系统设置
单击“主窗口”的工具栏中的“系统设置”按钮就可打开“系统设置”窗体。
在该窗口中可以进行气路设置、流量计量程设置、温度设置、压力传感器设置和系统中其它一些参数的设置,另外还可以进行SiC悬臂浆清洗、石英管清洗和扩散源瓶更换的登记操作。
设置时,在相应项中输入需要的参数,然后单击工具栏中的“保存”按钮即可。
系统会自动检查新的设置值是否合理,如果不合理,则会给出相应的提示,并恢复原有的设置。
单击工具栏的“恢复”按钮则恢复原有的系统设置。
进行SiC悬臂浆清洗、石英管清洗和扩散源瓶更换的登记操作时,先点击“设备保养及更换源瓶登记”表格中的相应单元,然后在弹出的确认对话框中选择“是”即完成了相应的登记操作。
图17
1.11用户登录设置
单击“主窗体”的工具栏中的“用户设置”按钮就可进入“用户设置”窗体,在该窗体中可以进行用户密码的修改。
在监控程序中只预先设置了四个用户,详见表1
用户名
初始密码
操作等级
备注
CETC48
AAAAA
管理员级
可修改其它人员的密码
Operator
AAAAA
操作员级
只能修改自己的密码
SunTech
AAAAA
工艺员
只能修改自己的密码
Technician
AAAAA
管理员级
只能修改自己的密码
表1
要修改密码时,先在“用户名列表”中选中要修改密码的用户名,然后再在“密码”输入框和“确认密码”输入框输入修改后的密码,再点击工具栏中的“修改”按钮即可。
如果要添加用户,请联系该设备的管理人员。
图18
1.12报警
监控程序设置了多种报警功能,以保证设备和工艺的安全运行,具体的报警项信息详见表2。
编号
含义
报警等级
1
无
无
2
扩散小氮压力传感器报警
1
3
清洗小氮压力传感器报警
1
4
温区1热偶短路报警
2
5
温区2热偶短路报警
2
6
温区3热偶短路报警
2
7
温区4热偶短路报警
2
8
温区5热偶短路报警
2
9
温区1热偶断路报警
3
10
温区2热偶断路报警
3
11
温区3热偶断路报警
3
12
温区4热偶断路报警
3
13
温区5热偶断路报警
3
14
水压报警
3
15
极限开关被压
3
16
下一步的扩散小氮大于零,但推舟未前进到位
2
17
下一步的清洗小氮大于零,但推舟未前进到位
2
18
扩散工艺过程中出现炉体加热关,且炉温低于700℃
1
19
清洗工艺过程中出现炉体加热关
1
20
扩散小氮流量偏差报警
1
21
大氮流量偏差报警
3
22
干氧流量偏差报警
3
23
湿氧流量偏差报警
3
24
氢气流量偏差报警
3
25
清洗小氮流量偏差报警
1
26
推舟过载
1
27
石英舟没有完全退出炉管
1
表2
报警等级的含义如下:
●1-------最高级:
报警发生后立即进行保护动作,如果有运行工艺则立即结束工艺运行;
●2-------次高级:
报警发生后立即进行保护动作;
●3-------最低级:
只出现报警信息,无保护动作。
图19
出现报警后,在“主窗体”的“设备状态”栏中的“报警状态”显示框背景色会变成红色并闪烁,同时设备的异常指示灯会闪烁并有声音报警。
出现报警后应点击“主窗体”工具栏中的“报警状态”按钮,将弹出如图19所示的“报警状态”窗体,在“报警状态”窗体中查看报警原因,并进行报警的分析和解决。
解决发生报警的成因后,再在“报警状态”窗体的“报警状态一览表”中点击相应的报警相来解除监控程序的报警状态。
2.其它注意事项
A.由于本程序需要好几种支撑软件才可正确执行,因此严禁删除计算机内已经安装的各种软件,当需要重新安装操作系统或本控制系统时,请由经过我们培训的人员进行或直接联系我们。
B.当需要删除历史记录或事件记录时,请在监控程序中进行,严禁在监控程序的安装目录中进行删除文件的操作。
否则可造成监控程序无法运行或运行出错。
C.历史记录文件应定期进行整理,如果历史文件太多,将影响监控程序的运行速度。
D.事件记录应定期整理或删除,如果事件记录太多,将影响监控程序的运行速度。
E.程序退出后将关闭所有的阀门及流量,温控仪的各个参数将保持,推舟处于停止状态。
F.如设备长时间不运行工艺时,请关掉主机电源以延长计算机和板卡的使用寿命。
G.运行本程序时禁止玩游戏和运行其他程序,不经允许不得进行磁盘操作,防止错删文件或感染计算机病毒。
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