湿氧系统中英对照操作手册基本操作.docx
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湿氧系统中英对照操作手册基本操作
操作手册
目录
Preface.序言..............................................................................III
Tempressdocumentationset.文件设置.................................................III
UserDefinition.用户定义........................................................................IV
Notes,CautionsandWarnings..注意,小心,警告..................................V
Contentsdescription.............................................................................VI
RevisionHistory....................................................................................VI
1.Introduction.......................................................................1-1
1.1General.....................................................................................1-1
1.2Operatorareadescription.........................................................1-2
2.Safety.................................................................................2-2
2.1EmergencyOff(EMO)..............................................................2-2
2.2AlarmSignals............................................................................2-2
2.2.1Buzzer/LED.............................................................2-2
2.2.2Touchscreen..............................................................2-2
2.2.3Lighttower.................................................................2-3
2.2.4TSCAlarmmenu.......................................................2-3
2.3Lighttowersignaldescription(optional)....................................2-3
2.4ToxicMaterial...........................................................................2-5
2.5Safetymeasures.......................................................................2-5
3.OperatorInstructions.....................................................2.5-1
3.1LoadorUnloadprocesswafers.............................................3.1-1
3.1.1Loadprocesswafers...............................................3.1-1
3.1.2Unloadwafers.........................................................3.1-1
3.2Selectinganewprocessrecipe.............................................3.2-1
3.2.1Touchscreen...........................................................3.2-1
3.2.2TSC-2.....................................................................3.2-3
3.3Start/Continueanewprocessrecipe.....................................3.3-1
3.3.1Touchscreen...........................................................3.3-1
3.3.2TSC-2.....................................................................3.3-2
3.4Stoparunningprocessrecipe...............................................3.4-1
3.4.1Touchscreen...........................................................3.4-1
3.4.2TSC-2.....................................................................3.4-2
3.5Abortarunningprocessrecipe..............................................3.5-1
3.5.1Touchscreen...........................................................3.5-1
3.5.2TSC-2.....................................................................3.5-2
3.6ClearAlarms..........................................................................3.6-1
3.6.1Requiredaction.......................................................3.6-1
3.6.2Touchscreen...........................................................3.6-1
3.6.3TSC-2.....................................................................3.6-2
Preface序言
ThissetofmanualsexplainshowtooperateaHorizontalDiffusion/LPCVDfurnace.
这套手册是操作水平扩散炉/LPCVD的说明。
RefertotheTouchscreenreferencemanual(M440.01)ortheTSC-2referencemanual(M450.03)forafulldescriptionofalloperatingscreens.
触摸屏参考手册(M440.01)和TSC-2参考手册是操作触摸屏的说明。
ForinformationaboutprocessingrefertotheProcessManual(M220.xxx.02).
工艺手册(M220.xxx.02)是工艺过程的信息。
TheTempressHorizontalDiffusionFurnacesarefullydescribedinthereferencemanuals(M300series).
参考手册(M300series).是描述Tempress水平扩散炉的。
Tempressdocumentationset文件设置
ThecompleteTempressdocumentationsetincludes:
全部的文件包括
•Safetymanual安全手册
•Operatormanual操作手册
•Referencemanuals参考手册
1.Loadstation装载区
2.Furnace炉子
3.Gascabinet气柜
4.MainPowercabinet电源柜
5.DPC
6.DTC
7.Touchscreen触摸屏
8.TSC-2(+optionalSECS/GEM)
•Vendordocumentation卖主文件
Delivery’sonrequest:
按要求交付
•Desiredvendordocumentation
•SicandQuartzdrawingsSic和石英器件的图纸
•RS422protocol(DPC/DTC)
UserDefinition用户定义
Itisstronglyrecommendedthatallusersfirstreadthismanualbeforestartinganyprocedure.Toproduceanaccessiblemanualsuitingonvariousresponsibilities,Tempressdefinesthefollowingusers:
特别建议开始所有程序之前,先看这本手册。
为不同职责的人编写一本易懂的操作手册,Tempress定义了以下用户:
Operator操作人员
Theoperatorishandlingtheprocessfromloadinguntilunloadingofthewafers.Thereforetheoperatorneedstoselectarecipe,putthewafersontheboat,fillinLotID,Starttheprocess,monitortheprogressandunloadwafers.
操作人员的操作过程是从装载硅片到卸载硅片。
但是操作人员需要选择工艺菜单,装载硅片,填写产品批号,启动工艺和监控运行过程及卸载硅片
Processengineer工艺工程师
Theprocessengineerisaqualifiedchemicalengineer,whoisresponsiblefortheprocessrecipesandtheirresults.Theprocessengineerwrites,testsandreleasesnewprocessrecipes.
工艺工程师是有资格的化学工程师,他负责工艺菜单和结果,需要编写、测试和投放新的工艺菜单。
ServiceorMaintenanceengineer维修工程师
Themaintenanceengineerisaqualifiedelectricianormechanic,whoisresponsibleforaproperfunctioningsysteminaccordancetoitsdesignatedpurpose.ATempressqualifiedserviceengineerwillperformthefirstinstallation.
维修工程师是有资格的电工或技工,他要负责设备按设定的目的正常运行。
Tempress的维修工程师会完成初始的安装。
Notes,CautionsandWarnings注意,小心,警告
Notes,CautionsandWarningsappearthroughoutthismanual,whereextraattentionisrequiredtoaparticular(safety)item.Threelevelscanbedistinguished:
特别注意的地方会有特别提醒,注意,小心,警告要贯穿整个手册,并分为三个等级:
NOTE注意
Notesalerttopayattentiontoitemsorproceduresofspecialimportance.
注意是提醒特别重要的项目或程序
CAUTION小心
Cautionsalertforapotentiallyhazardoussituationthatmayresultinminorormoderateinjuries.
Cautionscanalsoalertforpotentialequipmentand/orproductdamage.
小心是提醒有潜在的危险境况,会导致小的或中度的工伤。
提醒有设备或产品的潜在损害。
WARNING警告
Warningsalertforconditionsthatmayresultinpermanentand/orlethalinjuries.
警告是提醒有永久或致命的伤害。
Contentsdescription内容简介
Thismanualisdividedintothefollowingsectionsandappendices:
手册分为下面几个部分和附录
Section1Introduction简介
ProvidesanoverviewoftheTempressSystemsInc.Horizontalfurnace.
Tempress公司水平炉子的简介
Section2Safety安全
Describesthesafetycomponentsandfunctions.Itdescribesallmeasuresthatarerequiredtoprovideasafewayofworking.
描述安全组分和作用。
它描述为提供一个安全工作的所有措施。
Section3OperatorInstructions操作说明
Describesallproceduresthatarerequiredfortheoperator.
描述为操作员需要的所有规程
RevisionHistory版本的历史
Thismanualisrevision1oftheOperatorManualandisintendedtoexplaintherequiredoperatorprocedures.Thefunctionandscreensitdescribesarebasedonthefollowingsoftwarereleases:
说明操作程序的操作手册是第一个版本,其中功能和屏幕的描述是基于以下软件版本:
•TSC2version6.3(17-02-2003)
•DPC2.I.03(17-02-2003)
•DTC2.F.02(17-02-2003)
•Touchscreen2.I.05(17-02-2003)
Forminorsoftwareandhardwarechanges,addendumtothismanualwillbeavailable.Formajorchanges,anewrevisionwillbeavailable.ForinformationorotherquestionspleasecontactTempressSystemsInc.
一些小的软件和硬件的变化会加在附录里。
大的变化就会有一个新的版本。
其他问题请联系厂家。
1.Introduction简介
1.1General概要
ThehorizontalfurnacesofTempressSystemsInc.aredevelopedaccordingtotheEuropeandirectivesforMachinery(98/37/EC),LowVoltage(73/23/EC)andEMC(89/336/EEC).
TheTempressDiffusionsystemisamodularhorizontalfurnacedesignedtoprocess(silicon)wafersaspartofthemanufacturingtechnologyofsemiconductor,optical,MEMSandsolardevices.
公司的水平炉子是依照Machinery(98/37/EC),LowVoltage(73/23/EC)andEMC(89/336/EEC)的欧洲标准发展的。
该公司的扩散炉是为半导体、光学、MEMS和太阳能器件中的硅片处理工艺设计的有标准组件的水平炉子。
Figure1-1showsanexampleofastandardL-shapediffusionsystemwith4processtubesshownwithoutthepartitionofacleanroomwall.Itisaright-handedsystem,definedaccordingtothepositionofthefurnacerelativetoanoperator.Usuallythesystemcontainsmorethan1tube.Basedonthenumberandsizeoftubes,thesystemisreferredtoasa2,3or4stack.
Figure1-1isanexampleofa4-stacksystem,allowingupto4differentprocessesatanytime.Thetubesarenumberedfrom1to4,withtubenumber1atthetopandtube4atthebottom.Alltubesoperatefullyindependently.
图1-1是一个标准的L型四管扩散炉,没有超净间的隔离墙。
对于操作人员来说是右手操作。
一般系统不止一个炉管,基于炉管的数量,系统分为2、3或4管炉。
图1-1是个四管炉,容许4个不同的工艺同时进行。
四个管的编号是1在顶部,4在底部,所有的管是完全独立的。
Figure1-1Schematicviewofaright-handed4-stackDiffusionSystem
1.2Operatorareadescription操作区介绍
Theoperatorareaislimitedtotheloadstationonly.Figure1-2showstherelevantitems.
TheLoadstationpartofaTempressSystemshouldbeplacedinthecleanroom.TheFurnaceandGascabinetcanoptionallybeplacedinthegreyroom.
操作区只限于装载区,如图1-2所示。
装载区必须置于千级间,炉体和气柜置于万级间。
Figure1-2Loadstation
Toloadwafers,severalloadertypescanbeimplemented,includingthe(default)inlineloader,theAmtechAtmoscan®,andthebackmountedsoftlander.Topreventparticlesonthewafersduringtheloadingprocess,aconstanthorizontallaminarflowiscreatedfromtheloadstationintothecleanroom.
装载硅片有几种装载类型,如联机式、AmtechAtmoscan®和backmountedsoftlander类型,在装片过程中为防止微粒落入硅片,千级间的装载区要开启水平的气流吹扫。
Theloadstationispoweredby220VandhasanilluminatedOn/Offswitchforthefansandthelights.
TheremotecontrolcabinetintheloadstationcontainsTFT-Touchscreens,oneforeachtube.ThesesupplytheuserinterfaceforcommunicationwiththeDigitalSystemControllers
(DigitalProcessController,DigitalTemperatureControllerandDigitalMotionController).
装载区要有220v的电源,以及风扇和灯的照明开关。
装载区的
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- 系统 中英对照 操作手册 基本 操作