洁净室测试方案.docx

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洁净室测试方案

IVOA11CLEANROOMPACKAGE

CLEANROOMPERFORMANCETESTS

CONTENT

1.CLEANROOMLAYOUTANDREQUIREMENT

2.CLEANROOMPERFORMANCETESTITEM

3.CERTIFICATIONOFCLEANROOMPERFORMANCE

A.AIRFLOWVELOCITY&VOLUMETEST

B.FILTERLEAKAGETEST

C.AIRBORNEPARTICLECOUNTTEST

D.ILLUMINATIONTEST

E.NOISELEVELTEST

F.ROOMPRESSURIZATIONTEST

G.TEMPERATUREANDHUMIDITYTEST

4.REFERENCE

2.

CertificationofCleanroomPerformanceTestItem

No.

TestItem

ISO1.5

Class10

at0.1μm

ISO5

Class100

at0.5μm

ISO6

Class1K

at0.5μm

1

2

3

1

2

3

1

2

3

A

AirFlowVelocityTest

○

╳

╳

○

╳

╳

○

╳

╳

B

FilterLeakageTest

○

╳

╳

○

╳

╳

○

╳

╳

C

AirBorneParticleCountTest

○

╳

╳

○

╳

╳

○

╳

╳

D

IlluminationTest

○

╳

╳

○

╳

╳

○

╳

╳

E

NoiseLevelTest

○

╳

╳

○

╳

╳

○

╳

╳

F

RoomPressurizationTest

○

╳

╳

○

╳

╳

○

╳

╳

G

TemperatureAndHumidityTest

○

╳

╳

○

╳

╳

○

╳

╳

REMARKS:

1.1.AsBuilt;

2:

At-Rest;

3:

Operating

2.○:

L&KGuarantee.

△:

ForReferenceOnly.

╳:

NoInclude.

3.

CERTIFICATIONOFCLEANROOMPERFORMANCE

（A）.AIRFLOWVELOCITYTEST

A.测试仪器：

1.测量风速及压力组

MAKER:

SHORTRIDGEINSTRUMENTINC.

MODEL:

ADM-870C

ACCURACY：

±3﹪

2.测量风量组

MAKER:

SHORTRIDGEINSTRUMENTINC.

MODEL:

FLOWHOOD

B.测试步骤：

（1）每块Filter测试9点风速。

（2）测试点置于Filter下方不约6吋（15cm）处量测。

（3）计算每片Filter量测值之平均风速。

C.测试点：

每一Filter之出风表面均需测试。

D.记录：

记录于表格。

E.验收标准：

每一FILTER之风速需符合下列条件：

每只Filter平均风速：

0.35m/s±20%（0.28-0.42m/s）

90%单点量测值：

0.35m/s±20%（0.28-0.42m/s）

1.1200mm×1200mm风量为0.432CMM。

2.1200mm×900mm风量为0.324CMM。

3.1200mm×600mm风量为0.216CMM。

（B）.

FILTERLEAKAGETEST

A.测试仪器:

1.PARTICLECOUNTER

MAKER：

PMS

MODELNO：

LASAIR-110

SPECIFICATION：

SAMPLINGFLOWRATE：

1CFM

PARTICLESIZE：

0.1,0.15,0.2,0.25,0.3,0.5,0.7,1.0μm

2.PARTICLECOUNTER

MAKER：

PMS

MODELNO：

LASAIRⅡ-310A

SPECIFICATION：

SAMPLINGFLOWRATE：

1CFM

PARTICLESIZE：

0.3,0.5,1.0,5.0,10,25μm

3.AEROSOLGENERATOR

MAKER：

PALAS

MODELNO：

AGF2.0IP

4.AEROSOLDILUTER

MAKER：

PALAS

MODELNO：

VKL-100S

B.测试步骤：

（1）启动被测漏之FFU，利用ParticleCounter之采样器置于Filter下约2.5-3.0公分左右，以不超过10FPM（0.05M/S）之速率沿着ULPA之表面做有规律扫描。

（2）采样器扫描进行中，需同时观察ParticleCounter之仪表显示值，当侦测到瞬间有4个以上之Particle时，则改以1FPM之速率重新探测，以确定是否有泄漏及泄漏之正确位置。

（3）ULPA是否有泄漏是以ParticleCount所侦测到之数据，经三次重新扫描均超过规范时为研判之依据，停在一定点测时不可有连续泄漏之发生。

（4）如Filter上方之环境条件低于要求浓度时，则以AerosolGenerator增加其浓度，DEHS与纯IPA以1:

9混合产生之Particle使用于Filter。

C.测试点：

每一Filter之出风表面均需测试。

1.尺寸为1200mm×1200mm测试时间为4分50秒。

2.尺寸为1200mm×900mm测试时间为3分45秒。

3.尺寸为1200mm×600mm测试时间为2分30秒。

4.尺寸为600mm×600mm测试时间为1分15秒。

D.记录：

记录于表格，需记录泄漏之正确位置。

E.验收标准：

（1）每一片Filter均不得有泄漏，有泄漏应更新或修补后重新量测。

（2）每一片Filter之单点修补尺寸不得大于Filter表面积之3%。

（3）每一片Filter之修补面积不得大于Filter表面积之5%。

（4）每一片Filter之修补不得超过2点。

（5）每一片Filter之量测数据，

1.尺寸为1200mm×1200mm总和不得大于45颗。

2.尺寸为1200mm×900mm总和不得大于45颗。

3.尺寸为1200mm×600mm总和不得大于30颗。

（C）.

AIRBORNEPARTICLECOUNTTEST

A.测试仪器：

1.PARTICLECOUNTER

MAKER：

PMS

MODELNO：

LASAIR-110

SPECIFICATION：

SAMPLINGFLOWRATE：

1CFM

PARTICLESIZE：

0.1,0.15,0.2,0.25,0.3,0.5,0.7,1.0μm

2.PARTICLECOUNTER

MAKER：

PMS

MODELNO：

LASAIRⅡ-310A

SPECIFICATION：

SAMPLINGFLOWRATE：

1CFM

PARTICLESIZE：

0.3,0.5,1.0,5.0,10,25μm

B.测试步骤：

（1）确认洁净室内所有相关之工程

（通风系统、照明系统、过滤系统、天花板、地板、墙板）

均已完成，且已正常运转。

（2）确认测试点之数量及位置。

1.Class10:

每2.3m2取一测量点测量。

2.Class100：

每4m2取一测量点测量。

3.Class1000:

每9m2取一测量点测量。

4.Class10000:

每16m2取一测量点测量。

（3）每点测试时间2×1分钟。

（4）每一房间至少量测二点。

（5）测量点距离高架地板或地板1.2M-1.5M高处。

C.测试点：

测试点依测点位置布置图。

D.

记录：

记录于表格。

E.验收标准：

（1）各单点测试平均值需在规格之内。

（2）CLEANLIESSREQUIREMENT

CleanlinessRequirement

Class10（at0.12μm）≦5#/ft3（≧0.12μm）

Class100（at0.3μm）≦50#/ft3（≧0.3μm）

Class1000（at0.3μm）≦500#/ft3（≧0.3μm）

Class10000（at0.3μm）≦5000#/ft3（≧0.3μm）

（D）.

ILLUMINATIONTEST

A.测试仪器

1.精密照度计

MAKER：

LAIKOCO.,LTD

MODEL：

LX-12

B.测试步骤：

（1）确认测试点之数量及位置：

所有洁净室区域每20m2测试1点。

房间面积≦20m2，至少取两点测量点测量。

（2）日光灯系统连续运转100小时后。

（3）无尘室相关系统至少运转时2小时及温湿度已达稳定状态后。

（4）所有测量点需离高架地板或地板1.2m处测量。

C.测试点：

测试点依测试点位置布置图。

D.记录：

记录于表格。

E.

验收标准：

（1）各单点测试值需在规格之内。

（2）CLEANLIESSREQUIREMENT

测量数据为各无尘室设计照度值±20%

白光区：

400Lux±20%（320Lux-480Lux）

黄光区：

400Lux±20%（320Lux-480Lux）

走道及AirLock区：

400Lux±20%（320Lux-480Lux）

照度均一比例2：

1（average:

minimum）

调光区照度：

0-200Lux

（E）.

NOISELEVELTEST

A.测试仪器

1.积分噪音计

MAKER：

RION

MODEL：

NL-22

SPECIFICATION：

0-130dB

B.测试步骤：

（1）

确认测试点之数量及位置:

所有洁净室每40m2测一点或每一独立房间量测二点（≦40m2）。

（2）启动洁净室所有空调设备，但其它设备均为停止状态。

（3）量测高度为高架地板上1.5m之处，离墙最少1m以上。

（4）每点量时间为一分钟。

C.测试点：

测试点依测试点位置布置图。

D.记录：

记录于表格。

E.验收标准：

CleanroomArea测试值小于NC60。

63Hz77dB

125Hz71dB

250Hz67dB

500Hz63dB

1000Hz61dB

2000Hz59dB

4000Hz58dB

8000Hz57dB

（F）.

ROOMPRESSURIZATIONTEST

A.测量仪器

1.测量风速及压力组

MAKER：

SHORTRIDGEINSTRUMENTSINC.

MODEL：

ADM-870C

ACCURACY：

±2﹪

B.测量步骤：

（1）确认测试点之数量及位置：

每一独立房间与相邻房间测试1点（10min.）。

（2）测试时洁净室内所有门均为关闭状态。

（3）利用测量仪器由最内之房间向外逐一测量。

C.测试点：

测试点依测试点位置布置图。

D.记录：

记录于表格。

E.验收标准：

Fab一般区：

+20Pa

SFab一般区：

+10Pa

（G）.

TEMPERATUREANDHUMIDITYTEST

A.测试仪器：

1.多功能温湿度计

MAKER：

AHLBORN

MODEL：

2290-8

ACCURACY：

±0.1℃DB

±2.0％RH

2.温湿度计

MAKER：

rotronicag

MODEL：

HygroPalm2

ACCURACY：

±0.3℃DB

±1.5％RH

3.温湿度记录器

MAKER：

rotronicag

MODEL：

PA20M-SET-HP-E

ACCURACY：

±0.3℃DB

±1.5％RH

B.测试步骤：

一、瞬时测定记录温、湿度值

（1）确认HVAC系统测试、调整，平衡完成后24小时开始测试。

（2）确认测试点数量及位置：

所有洁净室区域每20m2测试一点。

洁净室区房间面积≦40m2，至少取两点测量。

（3）测试高度距地面高度1.2-1.5m。

C.测试点：

测试点依测试位置布置图。

D.记录：

记录于表格。

E.

验收标准：

各区域测试值皆需符合CleanroomRequirement。

（1）TFTC/R：

依各区域Spec.而定。

二、连续测定记录温、湿度值

A．每独立房间至少测量一点。

B．测量点数量配合无尘室室内显示型温、湿度计数量。

C．测量点高度：

1.5M

D.测量时间：

24hr

E.验收标准：

温度：

±1℃DB

湿度：

±5％RH

4.REFERENCE

A.FEDERALSTANDARD209E:

AIRBORNEPARTICULATECLEANLINESSCLASSESINCLEANROOMSANDCLEANZONES

B.RECOMMENDEDPRACTICEIES-RP-CC-006-84-T:

TESTINGCLEANROOMS

C.RECOMMENDEDPRACTICEIES-RP-006.2:

TESTINGCLEANROOMS

D.NEBB:

PROCEDURALSTANDARDSFORCERTIFIEDTESTINGOFCLEANROOMS