电阻真空计使用说明书.docx
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电阻真空计使用说明书.docx
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电阻真空计使用说明书
华瑞电阻式真空计控制系统
使用说明书
INSTRUCTIONS
QQ419129686
简介
HRG-52电阻真空计是以Pirani电阻规在不同真空环境下体现不同热传导特性为原理而研发的一款低真空测量仪器。
它具有测量准确、使用方便、响应迅速、性能稳定等特点,特别适应于从常压到0.1Pa非腐蚀性气体环境的真空度测量。
一、仪器概述
HRG-52电阻真空计(又名皮拉尼真空计)以ZJ-52T电阻规为测量探头,采用新型的32位微处理器和双闭环动态自补偿电路,以Pirani传感器为数学模型,对国产规管的非线性进行实时动态修正,解决了国产电阻规个体差异性大、随温度波动明显等问题,有效减少了测量误差。
仪器具有漂移小、稳定度高、反应速度快和抗干扰能力强等优点,是低真空测量与控制的首选仪器。
产品命名规则
产品配置:
产品型号
HRG-52
HRG-52D
HRG-52T
HRG-52P
测量通道数
1
2
1
1
继电器输出
2
4
2
2
标准RS-232
无
无
有
无
标准RS-485
无
无
无
有
技术参数:
类别
参数
测量范围
1.0×10-1pa~1.0×105Pa
有效范围
1.0×100pa~1.0×104Pa
测量环境
非腐蚀性密封容器
测量路数
1路(可扩展至2路)
测量精度
<±30%
继电器输出路数
1路(可扩展至2路)
继电器输出类型
无源常开常闭,<1.5A
控制方式
点控和区域控制
使用电源
AC220V,50Hz
额定功耗
≤6W
配接规管
ZJ-52T
显示方式
LCD数显
数据电缆长度
3米
环境湿度
0~98%非冷凝
环境温度
-10~75℃
外形尺寸
120mmX100mmX180mm
面板尺寸
150mmX130mm
二、仪器安装说明
1、前面板说明:
①:
通道一测量真空度
②:
通道二测量真空度
③:
继电器开关指示
④:
系统单位(Pa、mbar、Torr)
⑤:
满调按键
⑦:
设置键
⑥:
零调按键
⑧:
加/上翻键
⑨:
减/下翻键
⑩:
OK键
2、后面板说明:
4
1三芯电源插座
2通道二电阻规接口
3通道一电阻规接口
4继电器输出接口
5RS-232通信口
6RS-485通信口
3、电源插座接线图(凤凰端子):
4、继电器插座接线图(凤凰端子):
RS-232/RS-485通信口接线图(凤凰端子):
电阻规接口接线图(凤凰端子):
6、仪器安装步骤:
1.使用KF-16卡箍和密封圈将ZJ-52电阻规接入真空系统;
2.使用随机配送的数据电缆线将规管与真空计连接;
3.插入AC220V电源,打开仪器开关;
4.对真空系统放气至常压,密封后静置3分钟,使用随机配送的调节笔对真空计进行满调;
5.仪器显示正常工作界面后即可开始使用。
三、仪器使用说明
1、仪器显示说明
本仪器以科学计数法的格式显示真空度。
例如:
显示“1.0E5Pa”表示真空度为1.0×105pa
显示“1.0E-1Pa”表示真空度为1.0×10-1pa
2、单位切换
本产品设有Pa、mbar、Torr三种单位供用户进行选择,在设定完成后,仪器将永久保存。
(1)按“Set”键进入主菜单,界面出现“1unit”和“2outs”两个功能菜单,通过“▲”和“▼”键选择“1unit”,按“OK”键进入该菜单。
(2)按“▲”和“▼”键选择所要切换的单位,选定后按“OK”键完成设置并返回主菜单。
再次按“Set”键回到工作界面。
3、满调、零调
(1)满调功能要求在一个标准大气压(1.0x105Pa)下进行,按下“Full”后松开,仪器显示“SCALEup”,通过“▲”和“▼”键选择通道1或通道2。
(2)长按“Full”按钮保持4秒直至所选通道显示为“1.0E5”即完成该通道满调,按相同的方法可完成另一通道的满调。
(3)零调应保证真空度在10-1Pa或以下时进行,按下“Zero”后松开,仪器显示“SCALElo”,通过“▲”和“▼”键选择通道1或通道2。
(4)长按“Zero”按钮并保持4秒直至所选通道显示“1.0E-1”完成该通道零调,按相同的方法可完成另一通道的零调。
★注:
1.当进行满调(零调)时若出现“Err02”表示当前真空环境不适合进行满调(零调)。
2.仪器使用一段时间或更换规管时为了降低测量误差需进行满调和零调。
3.满调或零调时,请务必保证真空环境满足调节要求,否则将会给仪器测量带来极大误差。
4、继电器输出设定
(1)工作界面下按“Set”键进入主菜单,通过“▲”和“▼”键选择“2outs”子菜单,按“OK”键进入继电器输出设定菜单。
此时界面显示如下:
(2)在当前工作界面下通过“▲”和“▼”键对继电器上限(“up”)进行开(“on”)或关(“OFF”)切换。
若在设置为“on”时按下“OK”键,则进入继电器上限点设置,否则将进入继电器下限设置菜单。
界面如下图所示:
(3)继电器上限点设置菜单下,通过“Set”键在整数、小数、幂之间调整设置位置,通过“▲”和“▼”键设置真空度。
(4)设置完成后按下“OK”键进入继电器下限设定,界面显示如下:
(5)反复按下“OK”键,菜单将会依次从继电器1向继电器4切换,若当前继电器的上限/下限为“OFF”,将直接进入下级菜单,而不会进入设定点菜单。
(6)当达到最后一级菜单时,按下“OK”键将返回主菜单,若设置正确,仪器将永久保存设定参数,并按照新设定的参数对继电器进行控制,否则将报警“Err01”。
继电器设置菜单流程如下图所示:
根据继电器上限与下限的设置情况,继电器工作方式分为上点控制、下点控制、区域控制和关闭模式四种。
上点控制:
继电器的上限(up)设为“on”,下限(Lo)设为“OFF”即为上点控制模式,其动作类型如下图所示:
下点控制:
继电器的上限(up)设为“OFF”,下限(Lo)设为“on”即为下点控制模式,其动作类型如下图所示:
区域控制:
继电器的上限(up)设为“on”,下限(Lo)设为“on”即为区域控制模式,其动作类型如下图所示:
关闭模式:
继电器的上限(up)设为“OFF”,下限(Lo)设为“OFF”即为关闭模式,此时该路继电器将一直处于关闭状态。
★注:
1、本仪器以真空度的高低来表示继电器的上下限,故上限点的压力值应小于下限点的压力值。
(真空度越高,压力越小。
)
2、当用户设定的上限点压力值高于下限点压力值时,仪器将报警“Err01”,且自动忽略本次设定。
3、为避免继电器频繁动作损坏负载,本仪器设定继电器动作的最快响应速度为1S。
5、通信接口协议
(1)、简述
DGR-52电阻真空计采用主/从结构的MODBUS协议进行数据通信,真空计为从机。
用户可以根据实际需要选择使用MODBUS-ASCII或MODBUS-RTU方式与主机通信,亦可自由设定通信的数据格式和通信速度。
MODBUS-ASCII协议的数据帧格式为:
1Byte
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
……
2Bytes
2Bytes
2Bytes
起始符
从机地址
功能码
数据1
数据2
……
数据n
校验码
结束符
其中:
起始符——冒号’:
’
从机地址——真空计站号,初始值为’0’‘1’(30H31H)
功能码——数据帧的功能
校验码——LRC纵向冗余错误校验
结束符——’CR’‘LF’(十六进制0DH0AH)
MODBUS-RTU协议的数据帧格式为:
-
1Byte
1Byte
1Byte
1Byte
……
1Byte
2Bytes
-
起始
从机地址
功能码
数据1
数据2
……
数据n
校验码
结束
其中:
起始——3.5个字符的静止时间,即保持3.5个字符时间无信号
从机地址——真空计站号,初始值为01H
功能码——数据帧的功能
校验码——CRC16校验
结束——3.5个字符的静止时间,即保持3.5个字符时间无信号
用户未更改通信设置时,真空计的通信格式如下:
项目
默认值
说明
通信协议
MODBUS-ASCII
支持MODBUS-ASCII和MODBUS-RTU
从机地址(站号)
01H
支持01H~F7H
波特率
19200bps
支持2400/4800/9600/19200/38400
数据位宽度
8位
支持7位/8位/9位
校验位方式
无校验
支持无校验/奇校验/偶校验
停止位宽度
1位
支持1位/2位
数据格式
高字节在前,低字节在后
可选择高低字节互换
(2)、通信协议
DGR-52电阻真空计支持的功能码:
功能码
名称
说明
类型
01H
读取线圈状态
读取一个或多个离散量状态
读
03H
读取保持寄存器
读取保持寄存器当前值
读
06H
预置单寄存器
把数值写入一个保持寄存器
写
08H
通信回路侦测
测试通信回路
读
读取保持寄存器:
MODBUS-ASCII格式
主机发送:
1Byte
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
:
从机地址
03
寄存器地址
字节1
寄存器地址字节2
00
01
校验码
CRLF
真空计应答:
1Byte
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
:
从机地址
03
00
02
寄存器数据
字节1
寄存器数据
字节2
校验码
CRLF
MODBUS-RTU格式
主机发送:
-
1Byte
1Byte
1Byte
1Byte
1Byte
1Byte
2Bytes
-
3.5字符时间
从机地址
03H
寄存器地址
字节1
寄存器地址字节2
00H
01H
校验码
3.5字符时间
真空计应答:
-
1Byte
1Byte
1Byte
1Byte
1Byte
1Byte
2Bytes
-
3.5字符时间
从机地址
03H
00H
02H
寄存器数据
字节1
寄存器数据
字节2
校验码
3.5字符时间
例如:
用户需利用MODBUS-ASCII方式读取通道1的当前真空度,当前真空度为3.0X102Pa,真空计站号为01H,数据格式为高字节在前,低字节在后,则:
主机发送:
010300030003B6\CR\LF
即:
3AH30H31H30H33H30H30H30H33H30H30H30H33H42H36H0DH0AH
真空计应答:
010300021E02A2\CR\LF
即:
3AH30H31H30H33H30H30H30H32H31H45H30H32H41H32H0DH0AH
写入保持寄存器
MODBUS-ASCII格式
主机发送:
1Byte
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
:
从机地址
06
寄存器地址字节1
寄存器地址字节2
写入数据
字节1
写入数据字节2
校验码
CRLF
真空计应答:
1Byte
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
:
从机地址
06
寄存器地址字节1
寄存器地址字节2
写入数据
字节1
写入数据字节2
校验码
CRLF
MODBUS-RTU格式
主机发送:
-
1Byte
1Byte
1Byte
1Byte
1Byte
1Byte
2Bytes
-
3.5字符时间
从机地址
06H
寄存器地址
字节1
寄存器地址字节2
写入数据
字节1
写入数据字节2
校验码
3.5字符时间
真空计应答:
-
1Byte
1Byte
1Byte
1Byte
1Byte
1Byte
2Bytes
-
3.5字符时间
从机地址
06H
寄存器地址
字节1
寄存器地址字节2
写入数据
字节1
写入数据字节2
校验码
3.5字符时间
例如:
用户需利用MODBUS-ASCII方式设置继电器1的上限点为3.0X102Pa,真空计站号为01H,数据格式为高字节在前,低字节在后,则:
主机发送:
010600281E0297\CR\LF
即:
3AH30H31H30H36H30H30H32H38H3145H30H32H39H37H0DH0AH
真空计应答:
010600281E0297\CR\LF
即:
3AH30H31H30H36H30H30H32H38H3145H30H32H39H37H0DH0AH
通信回路侦测
MODBUS-ASCII格式
主机发送:
1Byte
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
:
从机地址
08
01
02
03
04
校验码
CRLF
真空计应答:
1Byte
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
:
从机地址
08
01
02
03
04
校验码
CRLF
MODBUS-RTU格式
主机发送:
-
1Byte
1Byte
1Byte
1Byte
1Byte
1Byte
2Bytes
-
3.5字符时间
从机地址
08H
01H
02H
03H
04H
校验码
3.5字符时间
真空计应答:
-
1Byte
1Byte
1Byte
1Byte
1Byte
1Byte
2Bytes
-
3.5字符时间
从机地址
08H
01H
02H
03H
04H
校验码
3.5字符时间
异常状态处理
当真空计接收到的数据校验错误时,本次通信将直接丢弃,且不会应答主机。
主机写入或请求的地址、数据非法或功能码无效时,真空计将应答故障码,故障码格式为:
MODBUS-ASCII
1Byte
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
:
从机地址
8F
故障码
校验码
CRLF
MODBUS-RTU
-
1Byte
1Byte
1Byte
2Bytes
-
3.5字符
时间
从机地址
8FH
故障码
校验码
3.5字符
时间
真空计应答的故障码为:
故障码
说明
01H
功能码无法识别
02H
寄存器地址溢出或不存在
03H
寄存器地址不可读
04H
寄存器地址不可写
05H
写入数据非法或超限
06H
命令无法执行
(3)、保持寄存器地址
地址
作用
内容说明
权限
0003H
通道1真空度
WORD型,高字节:
系数,低字节:
有符号指数。
如:
1EFFH表示真空度为3.0X10-1
只读
0006H
通道2真空度
只读
000DH
真空度单位
WORD型,0001H:
Pa,0002H:
mBar,0003H:
Torr
读/写
0010H
继电器1状态
Bit型
1:
ON
0:
OFF
只读
0011H
继电器2状态
只读
0012H
继电器3状态
只读
0013H
继电器4状态
只读
0014H
继电器5状态
只读
0015H
继电器6状态
只读
0016H
继电器7状态
只读
0017H
继电器8状态
只读
0020H
继电器1工作模式
WORD型
0000H:
关闭模式0001H:
下点控制
0002H:
上点控制0003H:
区域控制
读/写
0021H
继电器2工作模式
读/写
0022H
继电器3工作模式
读/写
0023H
继电器4工作模式
读/写
0024H
继电器5工作模式
读/写
0025H
继电器6工作模式
读/写
0026H
继电器7工作模式
读/写
0027H
继电器8工作模式
读/写
0028H
继电器1上点数值
WORD型
高字节:
系数,低字节:
有符号指数。
如:
1EFFH表示真空度为3.0X10-1
读/写
0029H
继电器2上点数值
读/写
续上表
地址
作用
内容说明
权限
002AH
继电器3上点数值
WORD型
高字节:
系数,低字节:
有符号指数。
如:
1EFFH表示真空度为3.0X10-1
读/写
002BH
继电器4上点数值
读/写
002CH
继电器5上点数值
读/写
002DH
继电器6上点数值
读/写
002EH
继电器7上点数值
读/写
002FH
继电器8上点数值
读/写
0030H
继电器1下点数值
读/写
0031H
继电器2下点数值
读/写
0032H
继电器3下点数值
读/写
0033H
继电器4下点数值
读/写
0034H
继电器5下点数值
读/写
0035H
继电器6下点数值
读/写
0036H
继电器7下点数值
读/写
0037H
继电器8下点数值
读/写
0100H
真空计站号
范围0001H~00F7H
只写
0112H
串口通信波特率
支持2400/4800/9600/19200/38400
只写
0114H
串口通信数据宽度
0007H:
7位,0008H:
8位,0009H:
9位
只写
0115H
串口通信校验位
0000H:
无校验,0001H:
奇校验,0002H:
偶校验
只写
0116H
串口通信停止位
0001H:
停止位1位,0002H:
停止位2位
只写
0117H
串口协议选择
0001H:
MODBUS-ASCII协议
0002H:
MODBUS-RTU协议
读/写
01118H
数据格式选择
0001H:
高字节在前,低字节在后
0002H:
低字节在前,高字节在后
读/写
四、常见故障排除
如果您的仪器不能正常工作,下面的方法可以帮助您快速解决一般问题。
如果排除不了,请与维修中心联系。
故障现象
可能原因
仪器没有显示
电源未接通
电源开关没有打开
保险丝损坏
仪器显示“--E--”
数据电缆线脱落
规管损坏
满调/零调时显示“Err02”
当前真空环境不适合满调/零调
设置继电器上限/下限
后显示“Err01”
继电器参数设置错误
内部存储模块损坏
测量误差较大
未进行满调/零调
满调/零调点错误
规管灯丝被污染或损坏
真空系统有较大漏气
当前气体成分与空气差异过大
继电器一直不动作
继电器上下限设置错误
内部继电器损坏
仪器显示“Err04”
要求功能当前型号不支持
仪器显示“Err03”
内部错误,请联系报修
五、注意事项
为提高测量精度,建议规管垂直安装。
ZJ-52电阻规不适合用于腐蚀性气体环境,请勿将本仪器接入含有腐蚀性气体的真空系统中。
较大波动的气体流速会影响规管灯丝的特性,进而影响仪器的测量精度,建议在稳定、密封的真空环境中使用本仪器。
常压(105Pa)下长时间的通电会缩短规管的使用寿命,若真空系统长期处于常压下,建议关闭仪器电源。
操作人员切不要随意打开仪器。
请使用随机配送的电缆线连接设备。
操作前请先阅读此说明书,按说明书要求进行操作。
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- 关 键 词:
- 电阻 真空计 使用 说明书