维修和保养.docx
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维修和保养
莁一、坩埚轴驱动部件的维修:
螁坩埚轴驱动部件是设备的核心部件,要求各种精度都比较高,要加强维护,坩埚轴是多晶硅料的支撑轴,其精度高,工艺复杂,应重点维护。
莆1、要经常检查其冷却水的情况,以免因冷却水不充分而被烧坏,拆下后需垂吊放置;
蒇2、坩埚轴驱动装置的导柱及直线运动轴承是关键的导向元件,应妥善维护,导柱须保持清洁,严禁灰尘、杂物附着,定期涂抹油脂,以防绣蚀。
直线轴承出厂时已作充分润滑,必要时每隔一年加注锂基润滑脂一次,加油时,松开油盖,提起油封,推出轴承,认真清洗后方可注入新油(见附图9),发现导柱与轴承间有研损时,应将轴承微转一角度,使滚珠避开研损痕迹,以确保平衡运行。
导柱与轴承是配套装配的,请勿装错;
螂3、滚珠丝杆精密杆付、涡轮、齿轮等传动部件,应经常保持清洁、润滑,严禁灰尘等脏物污染,以免零件损坏和失灵;
艿4、坩埚轴快速升降传动涡轮,每两个月打开润滑孔在涡轮齿面上润锂基润滑脂一次,请定时清除波纹管中的杂物;
葿二、谐波减速器的维修(见附图M11)
薇谐波减速器是由波发生器所产生的机械波,通过柔性齿轮变形,从而产生齿间相对位移而达到传动目的的一种大减速比减速机构,使用中一般不加油,不必拆卸,在必要时,拆后装配务必将个零件清洗干净,其轴承内应涂201润滑脂,齿面应加7011特钟脂;
膃三、籽晶提拉部件的维修(见附图M17,M18)
羁1、籽晶提拉部件是单晶炉的关键部件,卷轮箱是核心部分,上面设有观察孔,用来观察内部卷轮及软轴钢丝绳的工作情况,卷轮箱左端联有超限位箱,用来保护卷轮箱不会因其超程而被损坏,卷轮箱的右端由双级减速器传递转知距,减速箱内的涡轮涡杆传动件,每三个月加注适量润滑油;
膈2、不锈钢丝软轴定额承载150Kg,每次开炉后,应检查
承重头部钢丝绳是否烧损,如有烧损应将烧损部分及时去
掉,外层编织层拉紧并打个节扣(有条件的可用氩弧焊封
头),一根钢丝绳可供几次修整使用,但每次修整后,都应
核实所剩钢丝绳长度是否能满足使用要求,否则应更换新的软轴钢丝绳;
蚆3、卷轮箱内的调整螺母(铜螺母)不得随意拆动,以免影响软轴的对中,如果必须要拆卸时,装时一定要认真调整,最终保证软轴读中,软轴钢丝绳在保管、使用、维修安装中不准造成任何死弯现象,否则在运行中会引起抖动;
薄四、水冷系统的维修
荿每次装炉前要检查各水路是否畅通,关键部位的水温巡检传感器安装是否正常,拉单晶时,当水压报警时要及时处理,如有漏水时要及时采取措施,当发现结垢时,应先用醋酸进行除垢,然后用清水冲洗,最后用压缩空气吹尽余物;
羇五、隔离阀的维修
螆每次装炉前都要检查阀口密封圈是否完好,检查隔离阀操作是否轻松、无卡滞,如发现问题应及时排除;
羅六、管道的维修
肁真空管道是联接主机与真空泵的通道,真空管道能否完好
工作直接影响着设备的正常工作,因此,也应重视这方面的维护,除尘器中的过滤网每2-3炉清理一次,抽气管道每1炉清理一次,管道的温升直接影响着泵的寿命、抽气速率及密封圈的寿命,应经常检查管道的冷却水,保证畅通;
肀单晶炉常见故障现象、原因及排除方法
螆
肂故障现象
袃产生原因
蝿排除方法
芀1、真空密封室密封不
袃1、对真空室进行分段检验
良
确定漏点,进行排除;(磁
祎1
蒃真空抽不到
指标
薈2、球阀处密封松动或
损坏
流体密封处加注磁液)
羂2、调整球阀或更换密封圈;
羆3、真空泵有故障
莆3、参阅真空泵说明书;
肆2
莄埚升不稳
蒀1、丝杆、螺母有污物,
润滑不良;
莇1、清洗丝杆丝母,加润滑
油;
荿2、电磁阀离合器工作不良;
膆3、齿轮带松动或齿合
不良;
蒁4、给定电位器接触不
良;
膂5、测速电机有问题;
芀6、电机抖动,放大倍数过大;
羄2、调整电磁离合器,控制间隙至0.4-0.6;
螁3、调整齿行带,使其合理齿合;
聿4、更换电位器;
蒇5、检查测速机刷头或更换电机;
莅3
蒃埚转不稳
肂1、坩埚轴有卡滞现
象;
薇2、楔形带有松动;
螅3、测速机有问题;
蚇1、清理波稳管中的杂物;
膆2、调整楔形带张力;
蚃3、检查测速机刷头或更换
电机;
羁4、坩埚轴定位轴承工作不良;
袀5、同第二项中的第4、
6条
蕿4、清洗润滑轴承或更换轴
承;
螇5、同第二项中的第4、6
条;
莃4
肁籽晶轴升降
不稳,有抖动
现象
莈1、卷丝轮与牵引套联接松动;
螆2、钢丝绳有毛刺或拆
痕;
螄3、减速机润滑不良
袃4、电刷环接触不良
蒁5、同第二项中的第二
步、6条
祎6、计算机控速输出不稳
膅1、紧固
芁2、更换软轴钢丝绳
膀3、清洗润滑
羆4、清理、调整电刷环组件
薆5、同第二项中的第二步、
6条
羃6、更换计算机
罿5
肆籽晶轴转动
不稳
羇1、测速电机有问题
蒀2、楔形带松动
羂3、支轴承工作不良
膆4、同第二项中的第二
步、6
肄1、检查测速机电刷头,或更换电机
膂2、调整楔形带张力
螀3、清洗润滑轴承或更换轴承
芆4、同第二项中的第二步、
6
蒄6
袄飞车
蕿1、测速机电压开路
莆1、查电刷环及线路
腿7
薆偷转
薂1、12A8控制器零点
偏正;
蚀2、计算机控速有输
出;
薀1、调控制器零点
莈2、将计算机控速输出0P
回零
薅8
蝿不转
蚇1、给定无输出;
螆2、计算机有负信号输
衿1、检查给定电源(印刷板)
肇2、将计算机0P回零
出(晶升)
莄3、滑环开路;
蒈3、维修滑环组件
膃9
膃重锤左右摆
动
葿1、软轴对中性差;
羆2、籽晶提拉部件动平衡差;
膆3、阻尼套松动或损
坏;
芃4、外界振动影响;
袀5、与限位杆干涉;
蚈1、调整对中;
羅2、调整配重使之达到平衡;
莃3、调整更换阻尼套;
芁4、排除外界振动影响;
肅5、调整限位杆;
蚄
10
蒃液面抖动
蒇1、按第9项各条检查调整;
袇2、按第2、3、4项中
各条调整3热系统(托
杆、埚托等)与坩埚杆
肂1、按相关方法处理;
蕿2、按相关方法处理;
蝿3、调整各联接使之紧固;
联接松动;
蒂4、两抽气口抽气不
匀;
薃5、外界震动影响;
袇4、检查清理抽气管道;
蒃5、排除外界振动的影响;
-++-芁
11
薈等径过程中出现晶体扭曲现象
1、按第9项各条检查调整
2、主机水平偏差过大;
3、液面温度偏低,拉速过快;
1、按相关方法处理;
2、调整主机水平;
3、加大温校量;
12
计长显示不
准
1、电刷环组件接触不
良;
2、计算机有问题;
1、清理、调整电刷环组件;
2、换计算机;
13
拉晶过程中
速度记录曲
线出现尖刺
1、测速电机接触不良产生暂时飞车现象(尖刺向上);
2、力矩机电刷接触不良,产生暂时停车现象;
检修调整刷头使之接触良好
14
欧陆显示断
欧
1、计算机控温输出
(OP)较大;
1、将计算机0P输出降至
800字;
2、側取光断路;
3、温度记录仪接口板
故障;
2、检查接通侧取光;
3、查接口板;
15
非故障报警
传感器有问题
检查传感器
16
加热过程中电流突然下降
同步少一相
1、交流接触器头接触
不良;
2、同步变压器断头;
1、换交流接触器;
2、换同步变压器;
17
加热电压加
至30V突然
回零
1、可控硅断路;
2、脉宽电容特性差;
1、换可控硅;
2、换电容;
18
过流
1、加热器打火;
2、氩气不纯拉弧;
3、加热电极与炉体间绝缘性差;
4、咼温加热后,杂质挥发过多,拉晶过程中打火
1、清理炉內个处;
2、换相应绝缘件
单晶炉部件拆装
一、坩埚轴的拆装(参阅附图M10)
拆卸坩埚轴时,应先松开水套与水套固定座的联接螺
钉,去掉轴挡圈,卸下水套固定座,然后松开圆螺母,卸下带轮,将磁流体密封部件整体取下,最后将坩埚轴上面整体抽出,装入时逆操作,只要注意轴承的润滑采用真空脂润滑,水套座内的润滑可用一般润滑即可;
二、电极的拆装(见附图M12)
由于电极材料为无氧铜,因此装时应特别小心,切勿重击,拆装电极时,首先卸掉水冷电缆及铜夹子,然后拆下水嘴座,松开压紧螺母,移去上部石英护套,将电极从上部抽出即可,装配时,可进行逆操作即可;
三、卷丝轮的拆装卷丝轮轴的旋转密封采用的是磁流体密封,拆装卷丝轮时应尽可能不要拆开磁流密封组件,
1、拆去电机及减速箱(拆时做上相对位置记号,复位时按记号找正);
2、拆下软轴网丝绳压轮;
3、卸下重锤及软轴钢丝绳;
4、拆下卷轮箱左端限位箱;
5、拆下左端盖及限位杆;
6、拆下拖动限位杆的拖动圆盘;
7、松开右端盖与卷轮箱的联接螺钉;
8、将右端盖与卷丝轮一起从右端旋出;装配时逆操作;
四、隔离阀的拆装
拆卸隔离阀及转轴(勿伤阀盖密封面)
1、拆开联接阀盖与转轴间的水管;
2、拆下连接杆与转轴间的连接板;(拆换转轴间的密封圈时,可不必进行以上两步)
3、松开左边轴端螺钉,并拆下支撑弯板;
4、松开左边压紧螺母;
5、拆去右端水嘴座及转臂;
6、松开右端盖压紧螺钉;
7、将转轴从右端抽出即可;装配时逆操作;
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Forpersonaluseonlyinstudyandresearch;notforcommercialuse.
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nlichenfudierStForschung,zukommerziellenZweckenverwendetwerden.
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- 维修 保养