监测面积和深度可变的柔性近红外成像器件及其制备方法.pdf
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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(43)申请公布日(21)申请号202210649332.7(22)申请日2022.06.10(71)申请人天津大学地址300072天津市南开区卫津路92号(72)发明人黄显夏祉强(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021专利代理师吴梦圆(51)Int.Cl.A61B5/00(2006.01)H01L27/146(2006.01)(54)发明名称监测面积和深度可变的柔性近红外成像器件及其制备方法(57)摘要本发明提供了一种监测面积和深度可变的柔性近红外成像器件及其制备方法,适用于贴附在人体皮肤外部以监测人体组织中的肿瘤组织,柔性近红外成像器件包括:
导电部,包括:
多个绝缘层;以及多个金属层,每个金属层设置在相邻的两层绝缘层之间,并包括多根由绝缘层包覆的弯曲金属丝以及分别与弯曲金属丝串联并暴露在绝缘层之外的多组焊盘;多个发光部,与焊盘电连接,被配置为向肿瘤组织发射第一光束;多个光电检测部,与焊盘电连接,被配置为接收经肿瘤组织吸收后反射回来的第二光束;以及封装层,由形状记忆聚合物制成,并支撑导电部,以使在封装层发生变形的情况下拉动弯曲金属丝延伸或收缩,使得发光部和光电检测部之间的距离变大或变小。
权利要求书2页说明书8页附图9页CN114711728A2022.07.08CN114711728A1.一种监测面积和深度可变的柔性近红外成像器件,其特征在于,适用于贴附在人体皮肤外部以监测人体组织中的肿瘤组织,所述柔性近红外成像器件包括:
导电部,包括:
多个绝缘层;以及多个金属层,每个所述金属层设置在相邻的两层绝缘层之间,并包括多根由所述绝缘层包覆的弯曲金属丝以及分别与所述弯曲金属丝串联并暴露在所述绝缘层之外的多组焊盘;多个发光部,与所述焊盘电连接,被配置为向所述肿瘤组织发射第一光束;多个光电检测部,与所述焊盘电连接,被配置为接收经所述肿瘤组织吸收后反射回来的第二光束;以及封装层,由形状记忆聚合物制成,并支撑所述导电部,以使在所述封装层发生变形的情况下拉动所述弯曲金属丝延伸或收缩,使得所述发光部和所述光电检测部之间的距离变大或变小。
2.根据权利要求1所述的柔性近红外成像器件,其特征在于,每根与所述焊盘连接的所述弯曲金属丝包括在行方向上延伸的第一部分和在列方向上延伸的第二部分,包覆多根所述弯曲金属丝的第一部分和第二部分的绝缘层在行方向上布置成至少一行并在列方向上布置成至少一列,以在所述封装层发生变形的情况下产生平衡地抵抗拉伸的应力。
3.根据权利要求2所述的柔性近红外成像器件,其特征在于,多个所述绝缘层包覆每个所述弯曲金属丝的第一部分和第二部分所在的行和列。
4.根据权利要求1所述的柔性近红外成像器件,其特征在于,多个所述发光部包括:
多个红外光二极管,多个所述红外光二极管并联;以及多个红光二极管,多个所述红光二极管并联并与多个所述红外光二极管并联。
5.根据权利要求4所述的柔性近红外成像器件,其特征在于,多个所述红外光二极管和多个所述红光二极管与所述导电部反向连接,以使多个所述红外光二极管和多个所述红光二极管交替发射光束。
6.根据权利要求5所述的柔性近红外成像器件,其特征在于,多个所述发光部与多个所述光电检测部布置成具有多行和多列的矩阵;其中,在所述矩阵的奇数行方向上,所述红光二极管与所述光电检测部交替设置,在所述矩阵的偶数行方向上,所述红外光二极管与所述光电检测部交替设置;在所述矩阵的奇数列方向上,所述红外光二极管与所述光电检测部交替设置,在所述矩阵的偶数列方向上,所述红光二极管与所述光电检测部交替设置。
7.根据权利要求1所述的柔性近红外成像器件,其特征在于,所述光电检测部包括多个硅光电二极管,多个所述硅光电二极管并联。
8.根据权利要求1所述的柔性近红外成像器件,其特征在于,与所述光电检测部连接的所述焊盘和与所述发光部连接的所述焊盘连接在不同金属层的弯曲金属丝上。
9.一种如上述权利要求1至8中任一项所述的柔性近红外成像器件的制备方法,其特征在于,包括:
步骤S1:
制作基底并在所述基底上制作第一绝缘层;步骤S2:
在所述第一绝缘层上形成第一金属层,将所述第一金属层图形化,形成多根第权利要求书1/2页2CN114711728A2一弯曲金属丝和分别与所述第一弯曲金属丝串联的多组第一焊盘;步骤S3:
在所述第一金属层上制作第二绝缘层;步骤S4:
在所述第二绝缘层上形成第二金属层,将所述第二金属层图形化,形成多根第二弯曲金属丝和分别与所述第二弯曲金属丝串联的多组第二焊盘;步骤S5:
在所述第二金属层上制作第三绝缘层,将所述第一绝缘层、所述第二绝缘层和所述第三绝缘层图形化,使得所述第一绝缘层和所述第二绝缘层包覆所述第一弯曲金属丝并敷设在所述第一弯曲金属丝的第一部分和第二部分所在的行和列、所述第二绝缘层和所述第三绝缘层包覆所述第二弯曲金属丝并敷设在所述第二弯曲金属丝的第一部分和第二部分所在的行和列,同时暴露所述第一焊盘和第二焊盘;步骤S6:
去除所述基底后将所述第一绝缘层转印到由形状记忆聚合物制成的第一封装层上;以及步骤S7:
将多个发光部和多个光电检测部焊接到所述第一焊盘和第二焊盘上。
10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,在所述步骤S7之后还包括步骤S8:
在所述第三绝缘层、所述发光部和所述光电检测部封装由形状记忆聚合物制成的第二封装层。
权利要求书2/2页3CN114711728A3监测面积和深度可变的柔性近红外成像器件及其制备方法技术领域0001本发明涉及半导体器件领域,尤其涉及一种监测面积和深度可变的柔性近红外成像器件及其制备方法。
背景技术0002近年来,恶性肿瘤的发病率和致死率呈上升趋势,给人民的生命健康安全带来严重威胁。
目前,在已有的多种可以对人体肿瘤进行检测和诊断的技术中,例如:
X射线技术成像、核磁共振技术成像、超声技术成像等,由于体积大、设备昂贵,不适用于患者自检,也无法满足长期监测的需求。
除此之外,X射线、超声波等成像技术可能会对人体造成不可预测的损伤,日常检测更加难以实现。
因此,对于恶性肿瘤监测器件的研究具有很强的社会意义。
发明内容0003有鉴于此,本发明的主要目的在于提供一种监测面积和深度可变的柔性近红外成像器件及其制备方法,以期至少部分地解决上述提及的技术问题中的至少之一。
0004根据本发明的一个方面,提供了一种监测面积和深度可变的柔性近红外成像器件,适用于贴附在人体皮肤外部以监测人体组织中的肿瘤组织,上述柔性近红外成像器件包括:
导电部,包括:
多个绝缘层;以及多个金属层,每个上述金属层设置在相邻的两层绝缘层之间,并包括多根由上述绝缘层包覆的弯曲金属丝以及分别与上述弯曲金属丝串联并暴露在上述绝缘层之外的多组焊盘;多个发光部,与上述焊盘电连接,被配置为向上述肿瘤组织发射第一光束;多个光电检测部,与上述焊盘电连接,被配置为接收经上述肿瘤组织吸收后反射回来的第二光束;以及封装层,由形状记忆聚合物制成,并支撑上述导电部,以使在上述封装层发生变形的情况下拉动上述弯曲金属丝延伸或收缩,使得上述发光部和上述光电检测部之间的距离变大或变小。
0005在本发明实施例中,每根与上述焊盘连接的上述弯曲金属丝包括在行方向上延伸的第一部分和在列方向上延伸的第二部分,包覆多根上述弯曲金属丝的第一部分和第二部分的绝缘层在行方向上布置成至少一行并在列方向上布置成至少一列,以在上述封装层发生变形的情况下产生平衡地抵抗拉伸的应力。
0006在本发明实施例中,多个上述绝缘层包覆每个上述弯曲金属丝的第一部分和第二部分所在的行和列。
0007在本发明实施例中,多个上述发光部包括:
多个红外光二极管,多个上述红外光二极管并联;以及多个红光二极管,多个上述红光二极管并联并与多个上述红外光二极管并联。
0008在本发明实施例中,多个上述红外光二极管和多个上述红光二极管与导电部反向连接,以使多个上述红外光二极管和多个上述红光二极管交替发射光束。
0009在本发明实施例中,多个上述发光部与多个上述光电检测部布置成具有多行和多说明书1/8页4CN114711728A4列的矩阵;其中,在上述矩阵的奇数行方向上,上述红光二极管与上述光电检测部交替设置,在上述矩阵的偶数行方向上,上述红外光二极管与上述光电检测部交替设置;在上述矩阵的奇数列方向上,上述红外光二极管与上述光电检测部交替设置,在上述矩阵的偶数列方向上,上述红光二极管与上述光电检测部交替设置。
0010在本发明实施例中,上述光电检测部包括多个硅光电二极管,多个上述硅光电二极管并联。
0011在本发明实施例中,与上述光电检测部连接的焊盘和与上述发光部连接的焊盘连接在不同金属层的弯曲金属丝上。
0012本发明的实施例还提出了一种如上述的柔性近红外成像器件的制备方法,包括:
步骤S1:
制作基底并在上述基底上制作第一绝缘层;步骤S2:
在上述第一绝缘层上形成第一金属层,将上述第一金属层图形化,形成多根第一弯曲金属丝和分别与上述第一弯曲金属丝串联的多组第一焊盘;步骤S3:
在上述第一金属层上制作第二绝缘层;步骤S4:
在上述第二绝缘层上形成第二金属层,将上述第二金属层图形化,形成多根第二弯曲金属丝和分别与上述第二弯曲金属丝串联的多组第二焊盘;步骤S5:
在上述第二金属层上制作第三绝缘层,将上述第一绝缘层、上述第二绝缘层和上述第三绝缘层图形化,使得上述第一绝缘层和第二绝缘层包覆上述第一弯曲金属丝并敷设在上述第一弯曲金属丝的第一部分和第二部分所在的行和列、上述第二绝缘层和第三绝缘层包覆上述第二弯曲金属丝并敷设在上述第二弯曲金属丝的第一部分和第二部分所在的行和列,同时暴露上述第一焊盘和第二焊盘;步骤S6:
去除上述基底后将上述第一绝缘层转印到由形状记忆聚合物制成的第一封装层上;以及步骤S7:
将多个发光部和多个光电检测部焊接到上述第一焊盘和第二焊盘上。
0013在本发明实施例中,在上述步骤S7之后还包括步骤S8:
在上述第三绝缘层、上述发光部和上述光电检测部封装由形状记忆聚合物制成的第二封装层。
0014根据本发明上述实施例的监测面积和深度可变的柔性近红外成像器件及其制备方法,由形状记忆聚合物制作器件的封装层,可以通过改变器件所处的环境使封装层发生变形,如提高温度、施加拉伸压力等。
在封装层发生变形的同时封装层拉动弯曲金属丝延伸或收缩,使得与弯曲金属丝串联的多组焊盘之间的距离变大或变小,与焊盘电连接的发光部和上述光电检测部之间的距离也变大或变小,使器件可以获得更大的探测面积并且可以接收到更深层次的光信息,即获得更深的探测深度,实现对监测区域的精确监测。
附图说明0015图1是根据本发明示意性实施例的监测面积和深度可变的柔性近红外成像器件的立体示意图;图2是根据本发明示意性实施例的导电部的局部剖视图;图3是根据本发明示意性实施例的对第一金属层图形化后的俯视图;图4是根据本发明示意性实施例的对第二金属层图形化后的俯视图;图5是根据本发明示意性实施例的对第一绝缘层、第二绝缘层和第三绝缘层图形化后的俯视图;图6是根据本发明示意性实施例的红光二极管、红外光二极管、硅光电二极管的电路连接示意图;说明书2/8页5CN114711728A5图7是根据本发明示意性实施例的红光二极管、红外光二极管、硅光电二极管布配方式的简单示意图;图8a是根据本发明示意性实施例的在弯曲金属丝收缩情况下,红外光二极管和红光二极管与硅光电二极管之间距离的简易示意图;以及图8b是根据本发明示意性实施例的在弯曲金属丝延伸情况下,红外光二极管和红光二极管与硅光电二极管之间距离的简易示意图。
0016【附图标记说明】1:
导电部;11:
第一绝缘层;12:
第一金属层;13:
第二绝缘层;14:
第二金属层;15:
第三绝缘层;2:
发光部;21:
红光二极管;22:
红外光二极管;3:
光电检测部;31:
硅光电二极管;4:
封装层;5:
焊盘;6:
弯曲金属丝;61:
第一部分;62:
第二部分。
具体实施方式0017为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白,以下结合具体实施例,并参照附图,对本发明作进一步的详细说明。
但是,本发明能够以不同形式实施,而不应当解释为局限于这里提出的实施例。
相反地,提供这些实施例将使公开彻底和完全,并且将本发明的范围完全地传递给本领域技术人员。
在附图中,为了清楚,层和区的尺寸以及相对尺寸可能被夸大,自始至终相同附图标记表示相同元件。
0018以下,将参照附图来描述本发明的实施例。
但是应该理解,这些描述只是示例性的,而并非要限制本发明的范围。
在下面的详细描述中,为便于解释,阐述了许多具体的细节以提供对本发明实施例的全面理解。
然而,明显地,一个或多个实施例在没有这些具体细节的情况下也可以被实施。
此外,在以下说明中,省略了对公知结构和技术的描述,以避免不必要地混淆本发明的概念。
0019在此使用的术语仅仅是为了描述具体实施例,而并非意在限制本发明。
在此使用的术语“包括”、“包含”等表明了所述特征、步骤、操作和/或部件的存在,但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、步骤、操作或部件。
0020在此使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有本领域技术人员通常所理解的说明书3/8页6CN114711728A6含义,除非另外定义。
应注意,这里使用的术语应解释为具有与本说明书的上下文相一致的含义,而不应以理想化或过于刻板的方式来解释。
0021为便于本领域技术人员理解本发明技术方案,现对如下技术术语进行解释说明。
0022在使用类似于“A、B和C等中至少一个”这样的表述的情况下,一般来说应该按照本领域技术人员通常理解该表述的含义来予以解释(例如,“具有A、B和C中至少一个的系统”应包括但不限于单独具有A、单独具有B、单独具有C、具有A和B、具有A和C、具有B和C、和/或具有A、B、C的系统等)。
在使用类似于“A、B或C等中至少一个”这样的表述的情况下,一般来说应该按照本领域技术人员通常理解该表述的含义来予以解释(例如,“具有A、B或C中至少一个的系统”应包括但不限于单独具有A、单独具有B、单独具有C、具有A和B、具有A和C、具有B和C、和/或具有A、B、C的系统等)。
0023图1是根据本发明示意性实施例的监测面积和深度可变的柔性近红外成像器件的立体示意图;图2是根据本发明示意性实施例的导电部的局部剖视图;图3是根据本发明示意性实施例的对第一金属层图形化后的俯视图;图4是根据本发明示意性实施例的对第二金属层图形化后的俯视图;图5是根据本发明示意性实施例的对第一绝缘层、第二绝缘层和第三绝缘层图形化后的俯视图。
0024本发明的实施例提供一种柔性近红外成像器件,适用于贴附在人体皮肤外部以监测人体组织中的肿瘤组织,如图1所示,该柔性近红外成像器件包括导电部1、多个发光部2、多个光电检测部3和封装层4。
0025在一些实施例中,如图15所示,导电部1包括多个绝缘层和多个金属层。
每个金属层设置在相邻的两层绝缘层之间,并包括多根由绝缘层包覆的弯曲金属丝6以及分别与弯曲金属丝6串联并暴露在绝缘层之外的多组焊盘5。
多个发光部2与焊盘5电连接,被配置为向肿瘤组织发射第一光束;多个光电检测部3与焊盘5电连接,被配置为接收经肿瘤组织吸收后反射回来的第二光束;封装层4由形状记忆聚合物制成,并支撑导电部1,以使在封装层4发生变形的情况下拉动弯曲金属丝6延伸或收缩,使得发光部2和光电检测部3之间的距离变大或变小,光电检测部3可以选择使用硅光电二极管。
0026详细地,弯曲金属丝6可以采用金、银、铜等金属材料或导电高分子材料中的一种或多种。
由形状记忆聚合物制作器件的封装层4,可以通过改变器件所处的环境使封装层4发生变形,如提高温度、施加拉伸压力等同时可以使器件与皮肤紧密贴合,以减弱了长期佩戴的不适感,并且可以降低器件监测时的干扰。
柔性形状记忆聚合物可以选择激励型形状记忆聚合物,可以通过改变所处环境温度的方式,实现封装层4的变形和恢复,如加热以激励型形状记忆聚合物为材料制作成的封装层4并施加外力使封装层4的面积被拉大,然后冷却封装层4可以进行形状固定。
在封装层4发生变形的同时封装层4拉动弯曲金属丝6延伸或收缩,使得与弯曲金属丝6串联的多组焊盘5之间的距离变大或变小,与焊盘5电连接的发光部2和光电检测部3之间的距离也变大或变小,使器件可以获得更大的探测面积并且可以接收到更深层次的光信息,即获得更深的探测深度,实现对监测区域的精确监测。
进一步地,设置金属丝为弯曲金属丝6,如设置为蛇形结构,在封装层4发生变形拉动弯曲金属丝6时,弯曲金属丝6逐级展开,可以有效的消除拉伸产生的应力并使电路可以维持良好的电性连接,并且由于各弯曲金属丝6被绝缘层包覆,在拉伸的过程中可以有效防止各弯曲金属丝6之间的电性误通。
说明书4/8页7CN114711728A70027本发明通过利用肿瘤组织和正常组织不同的光学特性来确定肿瘤的大小和位置,可以实现非侵入式监测、可变面积监测、可变深度监测和柔性无感佩戴等效果,可以实现弱感知、全天候、低成本监护,可以实现患者长期自行监测身体肿瘤情况的需求,可以为人体生理健康监测、疾病预防和防治提供帮助,在个性化医疗和生理健康实时监测方面具有广阔的应用前景。
0028在一些实施例中,参见图15,每根与焊盘5连接的弯曲金属丝6包括在行方向上延伸的第一部分61和在列方向上延伸的的第二部分62,包覆多根弯曲金属丝6的第一部分61和第二部分62的绝缘层在行方向上布置成至少一行并在列方向上布置成至少一列,以在封装层4发生变形的情况下产生平衡地抵抗拉伸的应力。
0029详细地,如图14所示,每根与焊盘5连接的弯曲金属丝6均具有在行方向上延伸的第一部分61和在列方向上延伸的第二部分62,且无论是第一金属层12还是第二金属层14,行方向上的第一部分61在空间列方向上平移后,均可以组成没有空缺的至少一行,同样地在列方向上的第二部分62在空间行方向上平移后,可以组成没有空缺的至少一列。
通过这种设计,可以实现双轴拉伸的互连电路,即行方向和列方向上的双轴拉伸,可以平衡封装层4在拉动弯曲金属丝6延伸或收缩时的应力。
0030在一些实施例中,多个绝缘层包覆弯曲金属丝6并敷设在弯曲金属丝6所在的行和列,同时暴露第一焊盘5和第二焊盘5。
0031进一步地,参见图15,由第一金属层12形成的弯曲金属丝6由第一绝缘层11和第二绝缘层13包覆,由第二金属层14形成的弯曲金属丝6由第二绝缘层13和第三绝缘层15包覆。
而且,第一绝缘层11、第二绝缘层13和第三绝缘层15都形成为包覆弯曲金属丝6的条形形状。
这样,由3层绝缘层形成的多个条形形状的绝缘层形成具有多行和多列(图5中示出了7行、9列)的阵列,并且围成多个可以拉伸的网孔。
图5中上部白色的部分为与第一金属层的9条弯曲金属丝6(8条连接第一焊盘的金属丝和一条连接地线的金属丝)、与第二金属层14的9条弯曲金属丝6(8条连接第二焊盘的金属丝和一条连接地线的金属丝)连接的引脚,以与外部电源线或者检测线电连接。
0032换句话说,在绝缘层包覆弯曲金属丝6并敷设在弯曲金属丝6的第一部分61和第二部分62所在的行和列后,绝缘层近似于整齐的棋形结构,由于绝缘层包覆着弯曲金属丝6,因此,在封装层4变形时,封装层4拉动绝缘层延伸或收缩进而拉动弯曲金属丝6延伸或收缩,绝缘层近似于整齐的棋形结构,在绝缘层延伸或收缩时可以平衡掉拉伸应力。
0033图6是根据本发明示意性实施例的红光二极管、红外光二极管、硅光电二极管的电路连接示意图。
0034在一些实施例中,多个发光部2包括:
多个红外光二极管22和多个红光二极管21。
多个红外光二极管22并联;多个红光二极管21并联并与多个红外光二极管并联。
0035在一些实施例中,多个红外光二极管22和多个红光二极管21与导电部1反向连接,以使多个红外光二极管22和多个红光二极管21交替发射光束。
0036详细地,发光部2可以选择波长为660nm的红光二极管21和波长为960nm的红外光二极管22,在近红外光穿透人体组织时,存在一个波长6001300nm的光学窗口,在这个波长的近红外光对人体组织有较强的穿透力,最深可以穿透到8cm的深度。
由于肿瘤组织细胞的增生速度极快,新陈代谢也异常旺盛,会导致肿瘤组织附近局部供血量和耗氧量增加,使说明书5/8页8CN114711728A8得波长在780nm附近的近红外光的被吸收量较周围组织大。
因此,可以将近红外光作为探针,利用正常组织与异常组织(如肿瘤)对近红外光吸收量的差异等光学差异,得到组织的二维或三维图像,进而可以对异常组织进行判断。
0037进一步地,如图1和6所示,各红外光二极管22之间并联,各红光二极管21之间并联,并且红外光二极管22和红光二极管21与导电部1的连接方向相反,可以实现多个红外光二极管22和多个红光二极管21交替发射光束,进而可以交替得到不同的组织图像,进行对比分析。
0038图7是根据本发明示意性实施例的红光二极管、红外光二极管、硅光电二极管布配方式的简单示意图;图8a是根据本发明示意性实施例的在弯曲金属丝收缩情况下,红外光二极管和红光二极管与硅光电二极管之间距离的简易示意图;图8b是根据本发明示意性实施例的在弯曲金属丝延伸情况下,红外光二极管和红光二极管与硅光电二极管之间距离的简易示意图。
0039在一些实施例中,多个发光部2与多个光电检测部3布置成具有多行和多列的矩阵;其中,在矩阵的奇数行方向上,红光二极管21与光电检测部3交替设置,在矩阵的偶数行方向上,红外光二极管22与光电检测部3交替设置;在矩阵的奇数列方向上,红外光二极管22与光电检测部3交替设置;在矩阵的偶数列方向上,红光二极管与光电检测部3交替设置。
0040在一些实施例中,光电检测部3包括多个硅光电二极管31,多个硅光电二极管31并联。
0041在一些实施例中,与光电检测部3连接的焊盘5和与发光部2连接的焊盘5连接在不同金属层的弯曲金属丝6上。
0042如图67所示,可以设置为4个红光二极管21、4个红外光二极管22和8个硅光电二极管31,4个红光二极管21和4个红外光二极管22并联,8个硅光电二极管31并联。
在第一行和第三行上,红光二极管21与硅光电二极管31交替设置;在第二行和第四行上,红外光二极管22与硅光电二极管31交替设置;在第一列和第三列上,红外光二极管22与硅光电二极管31交替设置;在第2列和第4列上,红光二极管与硅光电二极管31交替设置。
0043进一步地,结合图7、图14所示,光电检测部3即硅光电二极管31可以设置与第一金属层12的焊盘5连接,发光部2即红外光二极管22和红光二极管21可以设置与第二金属层14的焊盘5连接,可以实现分别控制光电检测部3和发光部2,并且利于器件的检测与维修。
如图8a8b所示,在弯曲金属丝延伸的情况下红外光二极管22和红光二极管21与硅光电二极管31的距离比在弯曲金属丝收缩的情况下红外光二极管22和红光二极管21与硅光电二极管31的距离大,以使在导线延伸情况下比在导线收缩情况下的监测面积大、监测深度深。
0044本发明的实施例还提供了一种如上述的柔性近红外成像器件的制备方法,包括:
步骤S1:
制作基底并在基底上制作第一绝缘层11;步骤S2:
在第一绝缘层11上形成第一金属层12,将第一金属层12图形化,形成多根第一弯曲金属丝和分别与第一弯曲金属丝串联的多组第一焊盘;步骤S3:
在第一金属层12上制作第二绝缘层13;步骤S4:
在第二绝缘层13上形成第二金属层14,将第二金属层14图形化,形成多根第二弯曲金属丝和分别与第二弯曲金属丝串联的多组第二焊盘;步骤S5:
在第二金属层14上制作第三绝缘层15,将第一绝缘层11、第二绝缘层13和说明书6/8页9CN114711728A9第三绝缘层15图形化,使得第一绝缘层11和第二绝缘层13包覆第一弯曲金属丝并敷设在第一弯曲金属丝的第一部分61和第二部分62所在的行和列、第二绝缘层13和第三绝缘层15包覆第二弯曲金属丝并敷设在第二弯曲金属丝的第一部分61和第二部分62所在的行和列,同时暴露第一焊盘和第二焊盘;步骤S6:
去除基底后将第一绝缘层11转印到由形状记忆聚合物制成的第一封装层上;以及步骤S7:
将多个发光部2和多个光电检测部3焊接到第一焊盘和
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- 监测 面积 深度 可变 柔性 红外 成像 器件 及其 制备 方法