TR6020实用手册1.docx
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TR6020实用手册1.docx
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TR6020实用手册1
1.前言
2.测试波形格式
3.测试功能说明
4.测试信道动作说明
5.IC测试程序制作
6.连接Prober或Handler量产测试
7.测试统计报表分析
8.测试问题与讨论
1.
前言
非常感谢您采用TR-6020IC测试机,本IC测试机随货附有”TR-6020硬件使用手册”及”TR-6020软件使用手册”,但为了让您加快对TR-6020IC测试机的学习及应用脚步,特别编写了”TR-6020实用手册”,本手册将会针对1.测试波形2.测试机测试原理3.测试机测试信道4.测试程序的编写及除错5.测试相关问题的讨论等内容,由浅入深的介绍给您。
本手册的内容将会陆续增加,我们会将有关IC测试的一些测试原理、技巧及经验加入本手册,同时也欢迎IC测试界的先进们,也能提供您宝贵的测试经验加入本手册,让我们相互分享IC测试的乐趣。
本手册的内容将会放进本公司的网站内,欢迎Download。
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德律科技股份有限公司
2.
测试波形格式
2.1.TR-6020IC测试机提供NF(No-Format),RTZ(ReturntoZero),RTO(ReturntoOne),SBC(SurroundByComplement)4种波形格式,其详细波形格式如图
(一)所示:
Vih
Vil
Vih
Vil
Vih
Vil
Vih
Vil
2.2.一个实际的测试波形,除了NF,RTZ,RTO,SBC波形格式的设定,还需要设定该波形TestPeriod值,TimingGenerator的Start及Stop值,Vih值及Vil值。
2.2.1.TestPeriod:
即是测试周期(TestCycle/DataRate)。
例如:
SETTP(1000)表示是每一个周期时间为1000ns。
2.2.2.Start:
在使用RTO,RTZ,SBC波形格式时,当Start设定时间满足时,测试波形的电位会依照测试Pattern的PatternSymbol有所改变。
当测试PatternSymbol为”1”时,测试波形的电位将变成Vih设定值,当测试PatternSymbol为”0”时,测试波形的电位将变成Vil设定值。
例如:
SETTSTART(“1”,200)表示在一个周期时间内,当周期时间至200ns时,测试波形的高低电位将会依照测试Pattern的Symbol及Vih/Vil设定值内容而变化。
2.2.3.Stop:
在使用RTO,RTZ,SBC波形格式时,当Stop设定时间满足时,测试波形电位的变化将会依照RTO,RTZ,SBC的设定值而改变。
2.3.TR-6020IC测试机的TimingGenerator的Resolution是5ns,故Start,Stop及Strobe的最小设定时间单位为5ns,TestPeriod最小设定时间单位为10ns。
请注意:
当Start设定值为0ns~15ns,Strobe设定值为(TestPeriod值-10ns)到TestPeriod值范围时,IC测试机将无法保证可以在此设定时间值做Start,Stop,Strobe的正常动作,故使用者在设定Start,Stop及Strobe值时,请避免使用该设定值。
3.测试功能说明:
3.1.
Function测试功能说明
3.1.1.测试Pattern输出至IC的动作:
当IC测试机将测试Pattern输出至ICInputPin时,IC测试机首先会至LocalMemory读取测试Pattern的资料,由于贮放LocalMemory的测试Pattern资料是一些0与1的资料,故IC测试机会使用TestPeriod设定值,TimingGenerator的Start及Stop设定值,Formator的NF(NoFormater),RTO(ReturnToOne),RTZ(ReturnToZero)及SBC(SurroundByComplement)其中之一的设定值,及Driver的Vih或Vil的设定值将讯号产生出来,最后IC测试机会再依照测试Pattern的Symbol设定值决定是否要将此讯号输出至ICInputPin上,当测试Pattern的Symbol设定值为0,1时,IC测试机会输出测试Pattern到ICInputPin,若不是时,则IC测试机不会输出测试Pattern。
3.1.2.IC输出讯号的测试比较:
当被测试IC的OutputPin有讯号输出时,IC测试机将依照Voh或Vol的设定值将IC的输出讯号变换成0或1的数字讯号,同时再从LocalMemory读取测试Pattern,再依照测试Pattern的Symbol设定值决定是否要做测试比较。
当测试Pattern的Symbol为L,H,Z设定值时,IC测试机则会做测试比较(Comparison)动作,若不是时,则IC测试机不会做测试比较动作。
当要测试比较时,IC测试机会依照TimingGenerator的Strobe设定值,IC的输出讯号将在Strobe时间点和测试Pattern做”XOR”逻辑运算,若运算结果全部为”0”,则测试结果为”Pass”,Comparator会输出一个”Pass”讯号给Sequencer,若运算结果有出现”1”,则测试结果为”Fail”,Comparator会输出一个”Fail”讯号给Sequencer。
3.1.3.TR-6020IC测试机每一个测试信道都具有输入或输出测试(Bi-Direction)设定功能,至于该测试信道何时是输入或输出测试则依照测试Pattern的设定值而定。
请注意:
有关测试Pattern详细说明,请参阅”TR-6020ICTester软件使用手册的附录二”。
3.2.PMU测试功能说明:
PMU是一个可提供电流源及电压源的电源供应器,同时也是一个具有可量测电压值及电流值的量测设备。
PMU具有电流及电压限制值(Clamping)功能,让PMU所施予(Force)电流及电压限值不会超过该电流及电压限制值的设定值。
PMU使用方式有2种:
一种为施予(Force)电压,量测(Measure)电流值。
另一种为施予电流,量测电压值。
有关PMU量测详细规格,请参考”TR-6020硬件使用手册的系统规格”说明。
3.3.HVPMU测试功能说明:
其测试功能说明和PMU相同。
有关HVPMU量测详细规格,请参考”TR-6020硬件使用手册的系统规格”说明。
4.测试信道动作说明:
4.1.TR-6020IC测试机的测试信道提供多种切换组合,可让使用者依照IC测试实际需要而做最适当的设定,进而提高IC测试效率。
TR-6020IC测试机有关PEB32板及HVPMU板的测试信道,如图(三)所示
I
TR-6020IC测试机Relay的切换动作,将依照系统操作指令的设定值做切入(Close)或打开(Open)动作,有关Relay的操作设定及状态,如表
(一)所示:
4.1.1.PEB32板:
Relay
操作设定
状态
PMUTOANARelay
1.刚开机
2.执行RESET()指令
3.执行PMUTOANA(1,0)指令
1-2导通
执行PMUTOANA(1,1)指令
1-3导通
PMUTODUTRelay
1.刚开机
2.执行RESET()指令
3.执行PMUTODUT(1,0)指令
打开
执行PMUTODUT(1,1)指令
切入
ANATOABUS1Relay
.
.
.
ANATOABUS8Relay
1.刚开机
2.执行RESET()指令
3.执行ANATOABUS1(1,0)指令
打开
执行ANATOABUS1(1,1)指令
切入
ANATOAXRelay
1.刚开机
2.执行RESET()指令
3.执行ANATOAX(1,0)指令
打开
执行ANATOAX(1,1)指令
切入
PMUR1-32Relay
1.刚开机
2.执行RESET()指令
3.执行SETPMUR(0,”1-32”)指令
打开
执行SETPMUR(1,”1-32”)指令
切入
DUT1-32Relay
1.刚开机
2.执行RESET()指令
3.执行SETDUTR(0,”1-32”)指令
打开
执行SETDUTR(1,”1-32”)指令
切入
AR1-32Relay
1.刚开机
2.执行RESET()指令
3.执行SETAR(0,”1-32”)指令
打开
执行SETAR(1,”1-32”)指令
切入
UR1-8ControlSignal
1.刚开机
2.执行RESET()指令
3.执行SETUR(0,”1-8”)指令
Sequencer送出一个ActiveHigh的控制讯号
执行SETUR(1,”1-8”)指令
Sequencer送出一个ActiveLow的控制讯号
4.1.2.HVPMU板:
Relay
操作设定
状态
HVPMUTOPMURelay
ForHVPMU1
1.刚开机
2.执行HVPMURESET()指令
3.执行HVPMUTODUT(1,0)指令
打开
执行HVPMUTODUT(1,1)指令
切入
HVPMUTOPMURelay
ForHVPMU2
1.刚开机
2.执行HVPMURESET()指令
3.执行HVPMUTODUT(2,0)指令
打开
执行HVPMUTODUT(2,1)指令
切入
HVPMUTOABUS1~8RelayForHVPMU1
1.刚开机
2.执行HVPMURESET()指令
3.执行HVPMUTOABUS1~8(1,0)指令
打开
执行HVPMUTOABUS1~8(1,1)指令
切入
HVPMUTOABUS1~8RelayForHVPMU2
1.刚开机
2.执行HVPMURESET()指令
3.执行HVPMUTOABUS1~8(2,0)指令
打开
执行HVPMUTOABUS1~8(2,1)指令
切入
HVUR1-8ControlSignal
1.刚开机
2.执行HVPMURESET()指令
3.执行HVSETUR(0,”1-8”)指令
Controller送出一个ActiveHigh的控制讯号
执行HVSETUR(1,”1-8”)指令
Controller送出一个ActiveLow的控制讯号
表
(一)
4.2.PEB32板测试信道动作说明:
4.2.1.Function测试信道动作说明
4.2.1.1.TR-6020IC测试机每一片PEB板提供32个测试信道(T1~T32),将测试Pattern“1”,”0”输出至ICInputPin,同时也将读取ICOutputPin的讯号和测试Pattern”L”,”H”做测试比较。
其测试信道的导通与否是由DUTRelay来控制。
4.2.1.2.测试Pattern输出至ICInputPin:
LocalMemory贮放IC测试所需要的测试Pattern,当IC测试机要将测试Pattern送至ICInputPin时,首先IC测试机会至LocalMemory读取0或1的测试Pattern资料,同时再经由TimingGenerator,Formator及Driver产生实际讯号输出至DUTBoard的ICInputPin上。
4.2.1.3.ICOutputPin输出讯号至IC测试机:
IC测试机将从DUTBoard读取ICOutputPin的输出讯号,于TimingGenerator的Strobe时间点与贮存在LocalMemory的测试Pattern作比较。
4.2.1.4.
IC测试机测试Pattern的输出与IC讯号的读取所使用的测试信道是否导通,将由DUTRelay来控制,当IC测试机执行SETDUTR(1,”1”)指令后,DUT1Relay切上(Close),测试信道T1导通。
当刚开机或执行RESET()及SETDUTR(0,”1”)指令后,DUT1Relay打开(Open),测试信道T1打开。
如图(四)所示。
4.2.1.5.有关SETDUTR()指令详细说明,请参阅”TR-6020ICTester软件使用手册”。
4.2.2.PMU量测信道动作说明
TR-6020IC测试机每一片PEB板各提供2组PMU量测,而PMU除了量测本身PEB板测试信道所连接的ICPin外,也可以经由ABUS连接到DUTBoard或其它PEB板测试信道的ICPin做量测。
4.2.2.1.本身PEB32板的PMU量测信道:
可经由三种不同测试信道切换做量测。
请注意:
此三种测试信道同时只能选择其中一种使用。
4.2.2.1.1.PMU经由PMUTODUTRelay测试信道量测:
4.2.2.1.2.当IC测试机执行PMUTODUT(1,1)指令后,PMUTODUTRelay会切入(Close)。
当刚开机或执行RESET()及PMUTODUT(1,0)指令后,PMUTODUTRelay会打开(Open)。
4.2.2.1.3.当PMUTODUTRelay切入时,PMU的ForcePin及SensePin将分别连接到DUTBoard的PMUFPin及PMUSPin上。
4.2.2.1.4.有关PMUTODUT()指令详细说明,请参阅”TR-6020ICTester软件使用手册。
4.2.2.2.PMU经由PMUTOANARelay及PMURRelay测试信道量测:
4.2.2.2.1.当IC测试机执行PMUTOANA(1,0)及iSETPMUR(1,”1”)指令后,PMUTOANARelay会将PMU连接到PMUFSBus(即PMUTOANARelay1-2导通),PMUR1Relay会切入(Close)。
当执行PMUTOANA(1,1)及SETPMUR(0,”1”)指令时,PMUTOANARelay会将PMU连接到ANABUS(即PMUTOANARelay1-3导通),且PMUR1Relay会打开(Open)。
4.2.2.2.2.当PMU经由PMUTOANARelay(PMUTOANARelay1-2导通)及PMURRelay测试信道量测时,IC测试机会在PMURRelay的测试信道将PMU的ForcePin及SensePin连接在一起,再经由T1~T16的测试信道连接至DUTBoard上。
4.2.2.2.3.有关PMUTOANA(),SETPMUR()指令详细说明,请参阅”TR-6020ICTester软件使用手册”。
4.2.2.3.PMU经由PMUTOANARelay,ANATOAXRelay及ARRelay测试信道量测:
4.2.2.3.1.当IC测试机执行PMUTOANA(1,1),ANATOAX(1,1)及SETAR(1,”1”)指令后,PMUTOANARelay会将PMU连接至ANABus(即PMUTOANARelay1-3导通),ANATOAXRelay会切入(Close)及ARRelay会切入(Close)。
当刚开机或执行RESET(),PMUTOANA(1,0),ANATOAX(1,0)及SETAR(0,”1”)指令后,PMU将会连接至PMUFSBus(即PMUTOANARelay1-2导通)上,且ANATOAXRelay及ARRelay将会打开(Open)。
4.2.2.3.2.当PMU经由PMUTOANARelay(PMUTOANARelay1-3导通),ANATOAXRelay及ARRelay测试信道量测时,IC测试机会在ARRelay的测试信道将PMU的ForcePin及SensePin连接在一起,再经由T1~T16的测试信道连接到DUTBoard上。
4.2.2.3.3.有关PMUTOANA(),ANATOAX()及SETAR()指令详细说明,请参阅”TR-6020ICTester软件使用手册”。
4.2.3.PMU经由ABUS连接到DUTBoard或其它PEB板的测试信道:
PMU经由PMUTOANARelay及ANATOABUS1..8其中之一Relay测试信道
注:
*表示ABUS1~ABUS8均可
4.2.3.1.当IC测试机执行PMUTOANA(1,1)及ANATOABUS1(1,1)指令后,PMUTOANA会将PMU连接至ANABus(即PMUTOANARelay1-3导通),ANATOABUS1Relay会切入(Close)。
当刚开机或执行RESET(),PMUTOANA(1,0)及ANATOABUS1(1,0)指令后,PMU将会连接至PMUFSBus(即PMUTOANARelay1-2导通)上,ANATOABUS1Relay会打开(Open)。
4.2.3.2.当PMU连接至ANABus(即PMUTOANARelay1-3导通)及ANATOABUS1Relay切入时,PMU将会有二种量测方式可以使用。
第一种方式:
PMU的ForcePin及SensePin可以经由ABUS1Bus直接连接到DUTBoard的ABUSF1Pin及ABUSS1Pin上。
另一种方式:
PMU的ForcePin及SensePin可以经由ABUS1Bus连接到另一片 PEB板的PMU测试信道上,此种连接方式,可以利用此PMU和另一组PMU同时平行量测(ParallelTest)ICDC参数值,提高IC测试机的测试速度。
4.2.3.3.有关ANATOABUS1()指令详细说明,请参阅”TR-6020ICTester软件使用手册”。
4.2.4.UserRelay控制讯号动作说明:
4.2.4.1.TR-6020IC测试机每一片PEB32板各提供8组UserRelay控制讯号,给使用者作为控制触发讯号使用,当IC测试机刚开机或执行RESET()及SETUR(0,”1”)指令后,Sequencer上的URPin号输出电位为5V,当IC测试机执行SETUR(1,”1”)指令后,Sequencer会将UR1Pin的讯号输出电位变为0V,当测试机执行刚开机或SETUR(0,”1”)指令后,Sequencer会将UR1的讯号输出电位恢复为5V。
如图(十一)所示
4.2.4.2.有关SETUR()指令详细说明,请参阅”TR-6020ICTester软件使用手册”。
4.2.5.
DBUS同步控制讯号动作说明:
4.2.5.1.TR-6020IC测试机于每一片PEB板各提供8组DBUS同步控制讯号输出。
4.2.5.2.当IC测试机刚开机或执行RESET()指令后,Sequencer上的DBUS1~8其输出电位为5V,当IC测试机执行SETLMSYN(2,200,2)指令后,Sequencer执行至LocalMemory地址200时,Sequencer会由DBUS2信道输出一个电位0V的同步控制讯号至DUTBoard的DBUS2Pin上。
此0V的同步控制讯号会一直保持到Sequencer执行至LocalMemory地址201时才会停止输出,此时DBUS2的讯号输出电位又将会恢复至5V。
如图(廿)所示。
4.2.5.3.有关SETLMSYN()指令详细说明,请参阅”TR-6020ICTester软件使用手册”。
4.3.HVPMU4板量测信道动作说明:
TR-6020IC测试机最多可安装八片HVPMU4板(HighVoltagePMU),每一片HVPMU4板提供四组HVPMU,其序号分别为HVPMU1至HVPMU4,及提供8组HVUserRelay控制讯号,给使用者作为控制触发讯号使用。
HVPMU1..HVPMU4可经由ABUS1-8量测信道,HVPMU1经由HVPMU1FS量测信道及HVPMU2经由HVPMU2FS量测信道作为量测使用。
4.3.1.HVPMU1~4经由HVPMUTOABUS*Relay及ABUS*测试信道:
4.3.1.1.当IC测试机执行HVPMUTOABUS*(1,1)指令后,HVPMUTOABUS*Relay会切入(Close)且将HVPMU1~4连接至ABUS*Bus。
当刚开机或执行HVPMURESET(),HVPMUTOABUS*(1,0)指令后,HVPMUTOABUS*Relay会打开(Open)且将HVPMU1离开ABUS*Bus。
4.3.1.2.当HVPMUTOABUS*Relay切入(Close)且将HVPMU1~4连接至ABUS*Bus时,HVPMU1~4将会有二种量测方式可以使用。
第一种方式:
HVPMU1~4的ForcePin及SensePin可以经由ABUS*Bus直接连接到DUTBoard的ABUSF*Pin及ABUSS*Pin上。
另一种方式:
HVPMU1~4的ForcePin及SensePin可以经由ABUS*Bus连接到另一片 PEB32板的PMU测试信道上,此种连接方式,可以利用此HVPMU和PEB板的PMU同时平行量测(ParallelTest)ICDC参数值,提高IC测试机的测试速度。
4.3.1.3.有关HVPMUTOABUS*()指令详细说明,请参阅”TR-6020ICTester软件使用手册”。
注:
*表示ABUS1~ABUS8均可使用
4.3.2.HVPMU1~4经由HVPMUTODUTRelay测试信道量测:
4.3.2.1.当IC测试机执行HVPMUTODUT(1,1)指令后,HVPMUTODUTRelay会切入(Close)。
4.3.2.2.当刚开机或执行HVPMURESET()及HVPMUPMUTODUT(1,0)指令后,HVPMUTODUTRelay会打开(Open)。
4.3.2.3.当HVPMUTODUTRelay切入时,HVPMU1的ForcePin及SensePin将分别连接到DUTBoard的PMUFPin及PMUSPin上。
4.3.2.4.有关HVPMUTODUT()指令详细说明,请参阅”TR-6020ICTester软件使用手册。
4.3.3.HVPMU板UserRelay控制讯号动作说明:
4.3.3.1.TR-6020IC测试机每一片HVPMU板各提供8组UserRelay控制讯号,给使用者作为控制触发讯号使用,当IC测试机刚开机或执行HVPMURESET()及HVSETUR(0,”1”)指令后,HVPMU板Controller上的HVURPin的讯号输出电位为5V,当IC测试机执行HVSETUR(1,”1”)指令后,Controller会将HVUR1Pin的讯号输出电位变为0V,当测试机执行刚开机或HVSETUR(0,”1”)指令后,Controller会将HVU
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