三氯氢硅合成工艺.docx
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三氯氢硅合成工艺
三氯氢硅合成工艺
液氯汽化
氯气的性质
氯在元素周期表中属第七主族元素,原子序数17,常压下-35℃即可被液化成黄色透明液体,液氯在0℃时的密度为1468kg/m3,1升液氯可气化成约463升的氯气,1kg液氯可气化成315升氯气。
氯本身虽然不能燃烧,但能助长燃烧。
氯与氢气、氨气、硫代硫酸钠及乙炔、乙烯、有机溶剂等均能发生激烈反应,并放出大量的热。
值得注意是液体氯与有机物接触反应较气体氯剧烈得多。
因此绝对不允许液氯与有机物直接反应,以防发生爆炸事故。
当氯中含氢达到5~87.5%(V/V)时形成二元爆炸性混合气体,氯气中含有三氯化氮的爆炸极限是5%(V/V),液氯中三氯化氮的爆炸极限是18%(V/V)。
液氯汽化工艺
由界区外送来的钢瓶液氯,首先经过箱式气化器与热水充分换热,气化后经氯气缓冲罐,送下道工序使用。
热水由自来水和蒸汽经汽水混合器混合而成。
废氯气经真空泵送废氯气处理池与碱液反应吸收。
操作规程
1.开车前的准备工作
1.1开车前应全面检查本岗位所属各类蒸汽、冷热水、碱液阀门,检查各种管件无泄漏,根据开工需要调节开与关,使其适应开车条件。
1.2检查岗位所属的电器、仪表系统等设备,使其具备开车条件。
1.3配好处理池碱液,当含碱低于10%时应及时补充一定量的碱液。
1.4启动废氯处理泵,将气化系统抽成负压,注意观察真空效果。
1.5向气化器内加水,至溢流口有水溢出时为止。
1.6将重瓶吊到指定台位,接好钢瓶到分配台之间的紫铜管。
1.7与调度联系,已具备开车生产条件。
2.开车及正常操作
2.1接到调度的开车指令后,关闭真空阀,打开瓶阀和气化分配台上的阀门开始汽化液氯,根据用户用量和压力确定需投用的台数;
2.2若缓冲罐出口氯气压力较低,可启动热水循泵,根据缓冲罐压力调节汽水混合器的加汽量;
2.3待系统全部运行正常后即可停氯气处理泵;
2.3注意观察汽化器氯液面管的液位,防止出现超装和干蒸;
2.4注意观察钢瓶液氯气化量,当液氯余量只有5kg时应停止气化,倒换重瓶继续气化;
2.5注意观察气化器热水温度,控制水温不超过85℃;
2.6控制氯气出口压力≤0.17Mpa,不宜超过0.2Mpa;
2.7定时对气化器汇总管的液氯分析三氯化氮的含量,控制氯中NCl3的含量不得超过0.5%(Wt);
3.三氯化氮处理方法
3.1每天对液氯处理池分析烧碱含量在10%~30%之间,若浓度低于10%应及时补充一定量的碱液;
3.2定时对液氯汽化器排三氯化氮一次(根据三氯化氮含量确定排放频率),气氯中三氯化氮含量不得超过0.5%,液氯中三氯化氮含量不得超过1.8%;
3.3打开液氯气化器底部汇总管的排污阀门,将液氯汇总管的液氯全部排入处理池吸收。
4.正常停车操作法
4.1接到值班长调度计划停车通知后,及时和下一道生产工序取得联系,经双方确认后方可执行停车操作;
4.2首先关闭钢瓶瓶阀,停止向系统供应液氯;
4.3待液氯气化完毕,关蒸汽阀,停热水循环泵,即时将剩余的液氯全部排入吸收池吸收;
4.4启动废氯处理泵,将系统抽成负压,注意观察真空效果;
5.突发性的停水、停电、停汽操作法
5.1突然停水:
短时间停水,可用深井水或其它水代替泵冷却水;长时间停水,要停车,并将系统内的物料全部处理干净。
5.2突然停电(热水泵停止运行):
首先关小钢瓶阀,打开(缓冲罐前自控阀)旁通阀;注意观察热水温度和氯气出口压力,根据调度安排,若下工序继续开车,采用自来水和蒸汽混合补充热水进行汽化操作。
联系调度室查明原因,迅速恢复供电。
5.3突然停汽:
短时间停汽,应立即联系下一道生产工序确认后降压运行;长时间停汽应联系调度和下一道生产工序停车。
6.不正常情况及事故处理
不正常情况一览表10-1
序号
不正常现象
原因
处理方法
1
气化速度太慢,压力太低
1.钢瓶内液氯太少;
2.气化温度太低;
3.气化管道堵塞。
1.当液氯余量≤5kg时需倒换钢瓶;
2.提高汽化温度;
3.气化管道堵塞。
2
气化速度太快,压力太高
1.钢瓶供液氯太多;
2.气化温度太高;
3.用户用量太小。
1.控制钢瓶阀开度;
2.控制热水温度;
3.联系用户,必要时减量运行。
3
真空抽不起来
1.碱池液位太低,泵抽不起来;
2.喷射泵故障;
3.处理泵故障。
1.根据浓度补充碱或水;
2.检修或更换喷射泵;
3.检修或更换处理泵。
7.安全生产基本原则
7.1生产安全控制要求
,严格遵守劳动纪律、工艺纪律和安全纪律。
,确保生产的安全运行。
,即氯纯度≥99.6%,含水≤0.04%。
,最大称重值应为常用称重值的1.5~3.0倍。
使用前应检查、校准计量衡器,误差小于10/00,发现问题及时通知有关部门。
,并记录钢瓶号,作为使用周期中的档案跟踪。
,漆色、字样脱落、不易识别气体类别的;
;
;
;
,试验压力约为操作压力的1.5倍。
,应及时更换,认真填写好记录。
,要坚持先拆低、后拆高,先拆下、后拆上,先拆易后拆难的拆卸方法,以达到安全检修的目的。
,交叉作业时在高处的人员要注意下面的作业人员,不准随意向下乱扔杂物。
,无论是否参加检修都必须戴好安全帽,登高作业人员必须系好安全带。
;3米以上的检修作业面,必须搭脚手架,所铺跳板要用铁丝固定,跳板并排不得少于两块,还要加搭护栏,确保检修安全。
,发现问题及时维修,冬季要做好防滑工作,确保员工生命安全。
,防护设施不完整的设备不能随便起用。
7.2机电设备安全技术规定
,防护设施要安全可靠,否则不能启用。
,使其在较好的环境下运行,确保设备的正常运行。
,必须切断电源,并标上正在检修的牌子,以防误启动传动设备造成安全事故。
,严禁用水冲洗电器设备。
,未经彻底检查不准随意启用。
,特别是易燃易爆的气体或液体,配电房要配好一定数量的干粉灭火器。
7.3行车作业安全技术规定
,严禁无证人员上岗操作。
,应先将重物吊离地面1米后放下,试验制动装置及吊具的可靠性,再正常作业。
,以免发生意外。
,禁止在吊物上站人。
,检修时必须拉下电源闸刀,并专人监护至检修结束,行车操作工不得随意离开现场,作业时不得与他人闲聊。
8.劳动保护和工业卫生
8.1劳动保护
,所有当班人员必须自觉做到上岗持证,下岗收证,妥善保管。
,如工作服、工作鞋、安全帽、防护眼罩等要穿戴齐全,否则不准进入岗位操作。
,必要时还须专人监护。
8.2工业卫生
;
,排入地沟进公司污水处理系统。
,以免污染操作环境。
9.应急措施
9.1氯气
当班人员应及时向调度汇报,并采取一切办法控制危险源,防止泄露的进一步扩大。
,戴好氧气呼吸器或防毒面具,首先查明现场有无中毒人员,同时查明泄露部位和泄露原因。
,应通过水力喷射泵进行抽空处理,然后再进行检修。
,可通处理池进行处理,操作人员应采取自救互救措施,并报告调度,具体参照公司“氯气事故应急救援预案”执行。
9.2烧碱、次氯酸钠
,应首先查明泄露部位,戴好防护眼镜、胶皮手套,用清水冲洗泄露处,然后再进行检修。
,应立即脱下被污染的衣物,迅速用清水在现场冲洗5~10分钟,碱溅入眼睛应立即用0.2%的硼酸进行缓缓冲洗,情况严重的送医务部门处理。
10.主要设备一览表
表10-1设备一览表
设备
位号
设备
名称
规格
型号
台数
材料
质量kg
工作温度(℃)
工作压力MPa
介质
备注
01-01
磅称
3
组合件
常温
常压
01-02
液氯分配台
φ89×4.5×600
3
20
常温
0.25
液氯
01-03
液氯气化器
F=10.8m2
1
组合件
60
0.25
液氯
01-04
氯气缓冲罐
φ1200×1600
1
碳钢
60
0.2
氯气
01-05
汽水混合器
JQS-6
1
碳钢
150/60
0.30
汽、水
01-06
水力喷射泵
RPPSJ-120
1
塑料
60
0.30/
-0.1
碱、水
01-07
管道水泵
1
碳钢
60
0.30
水
01-08
氯处理泵
FSB65-32
1
氟塑料
-
0.30
碱
01-09
氯气处理池
2000×2500×1600
1
防腐
常温
常
次钠
01-10
单梁行车
(3吨)
1
组合件
常
常
二、氯化氢合成工艺
氯化氢的性质
氯化氢是无色有刺激性气体,熔点为-114.2℃,沸点为85℃,比热容为812.24J\kg℃,临界温度为51.28℃,临界压力为8266kPa。
干燥的氯化氢气体不具有酸的性质,化学性质不活泼,只有在高温下才发生反应。
氯化氢极易溶于水。
在标准情况下1体积水可溶解500体积氯化氢,溶于水后即得盐酸。
氯化氢合成条件
氯化氢的合成是在特制的合成炉中进行的。
未了确保产品中不含有游离氯,氢气要较氯气过量5%~10%。
实际生产的炉中火焰温度在200℃左右。
由于反应是一个放热反应,为了不使反应温度过高,工业生产通过控制氯气和氢气的流量和在壁炉外夹套间通冷却水的办法控制氯化氢出炉温度小于350℃。
在生产中为确保安全生产,要求氢气纯度不小于98%和含氧不大于0.4%;氯气纯度不小于65%和含氢不大于3%。
氯化氢合成工艺:
氯化氢合成方程式:
Cl2+H2→2HCl
氯气(氯气含量80%,压力为0.17MPa)经流量计计量进入氯气缓冲罐。
氢气(含量98%,压力为0.25MPa)经流量计计量氢气经分水罐脱水进入氢气缓冲。
经过计量的氯气和氢气进行流量调节,调节氯气和氢气的比值为1:
1.05~1.10(体积比),送入二合一氯化氢石墨合成炉进行反应,反应生成的热量通过合成炉夹套中的循环水带走,反应生成氯化氢气体,通过石墨套管冷却器,氯化氢气体温度降到100℃以下,送入石墨冷却器用循环水冷却,冷却后氯化氢气体温度降至45℃左右,通入深冷器经冷冻水进一步冷却到-5℃~-8℃脱水。
操作规程
1.1开车前准备:
1)检查确认各设备、阀门、仪表安装完好,数据显示正常。
2)检查确认各运转设备运转正常。
3)通知调度室向本界区正常供交流电、循环水、一次水、仪表风、氮气、氢气、蒸汽、-35℃冷冻液等。
4)按工艺要求检查各阀门开关状态是否正确。
5)取样分析氯气纯度≥65%,氢气纯度≥99.0%。
6)拆开合成炉氢气进口连接软管,开启淋洗池循环水泵,启动水力喷射泵造真空系统,打开有关阀门置换氯化氢合成系统,至合成炉出口处含氢<0.02%。
7)打开氯化氢合成炉、石墨水冷却器循环水进出口阀门,开启合成炉循环水回水泵;打开-35℃冷却器冷却液进出口阀门。
1.2点炉操作
1)打开氯化氢分配台抽空阀,关闭至其它工序氯化氢阀门。
开水力喷射泵、使合成炉呈微负压。
2)将H2、CL2切断阀置于开车状态,H2、CL2流量调节阀开度在10%。
3)缓缓开启供H2阀(10m3/h)、用火把点燃H2胶管后,迅速将其插入合成炉H2进口短节,保持火焰不熄灭,并用铁丝将H2胶管固定好。
(注:
若炉内火焰熄灭要立即关闭进炉氢气阀,拔掉氢气连接软管)。
4)同时开Cl2流量表后的截止阀按比例供Cl2,关闭炉门,使炉内火颜呈青白色。
5)开启氢气、氯气流量比值调节控制,完全打开氢气、氯气流量表后的截止阀。
6)取样分析合成炉出口氯化氢纯度,纯度≥90.0%时,关闭氯化氢分配台抽真空阀,打开至水冷却器氯化氢阀。
1.3正常操作
1)通知公司调度,氯化氢合成炉准备提升流量。
得到批准后进行再提量操作。
2)确认氢气、氯气流量比值调节控制开启,氢气、氯气流量表后的截止阀全开。
3)缓慢调节H2,CL2流量调节阀至规定值。
4)通知调度提量操作完毕。
5)控制-35℃冷冻液循环量,确保-35℃冷却器氯化氢出口温度在-5~-8℃范围内。
6)氯化氢炉需要降量时,先通知公司调度,得到批准后再进行操作。
(紧急情况除外)
注意:
a、冬季氯化氢炉、水冷却器的循环水必须保持循环,否则放净其内部水。
b、调节氯气、氢气流量操作必须缓慢,避免炉压波动大。
c、注意观察合成炉、冷却器、除雾器下面集酸罐液位,及时将酸排至酸贮罐。
1.4停炉操作
1)通知公司调度准备停氯化氢合成炉,得到批准后,通知界区内、外各相关岗位。
2)开启淋洗池循环水泵,启动水力喷射泵造真空系统。
3)将H2流量降至30m3/h、关闭氯化氢分配台至冷却器阀门,打开至真空系统阀。
4)将DCS开停车按纽置于停车位置(同时关Cl2、H2切断阀)。
5)同时迅速关闭Cl2、H2流量调节阀、及氯气、氢气手动切断阀,待炉内火焰确任熄灭后,拔掉氢气胶管,开大抽真阀。
1.5故障处理:
1)一次点炉不成功:
迅速关闭现场Cl2、H2截止阀,通知控制室将开停车按纽置于停止位,抽空、置换、重新分析炉内含氢合格后点炉。
2)炉内火焰发黄:
氯气过量(减少氯气量或增加氢气量)。
3)炉内火焰发白:
氢气过量(减少氢气量或增加氯气量)。
4)炉内火焰发红:
原料氢气、氯气纯度低(迅速查找原因,必要时采取紧急停车)。
5)氯气、氢气压力之一突然下降,无法操作时,迅速灭炉,并立即切断HCL进SiHCl3合成炉控制阀,SiHCl3合成系统保压。
盐酸解析工艺原理及流程
工艺原理
利用氯化氢在水中的溶解度随温度的升高而降低,从浓盐酸中将氯化氢气体解析出来供合成三氯氢硅使用
工艺流程叙述
浓盐酸(31%)首先经浓酸预热器预热到60-70℃左右,打至石墨制填料解吸塔,从塔顶经分布器喷淋而下,在塔中和来自再沸器的稀盐酸气液混合物相遇,进行传热和传质,解析出HCL气体。
含水蒸汽的HCL气体从塔顶出来经石墨制氯化氢一级冷凝器,用冷却水将HCL气体冷却,然后再经石墨制氯化氢二级冷凝器用低温水(0℃)冷冻脱水后进入气水分离器进一步将氯化氢气体中的水分离出来。
分离后的干燥的HCL气体送至混合脱水工序。
分离出的浓酸进入气酸分离器,用浓酸泵打至解吸塔顶做为回流液与塔底上升的蒸汽进行传热和传质。
有塔底得到的稀酸,一部分流入再沸器以产生稀酸混合物,一部分进入石墨制盐酸预热器给进塔的浓盐酸预热,再经石墨稀酸冷却器冷却至常温后回到稀酸储槽。
装置开停车即正常操作
开车前的准备工作
1)检查输入原料管道是否畅通,输出产品管道是否有漏冒现象。
2)检查浓酸贮罐的液面。
3)检查电机仪表阀门是否灵活好用,调节流量阀门必须保证不漏气。
4)检查压力计是否在“0”位。
5)检查所有工具是否齐全好用。
6)分析盐酸浓度是否在控制点范围内。
7)检查冷却器冷却系统水是否已经循环。
8)检查蒸汽总阀是否打开。
9)以上工作检查完毕并合格后,和合成三氯氢硅工段进行联系,准备开车。
开车
1)打开再沸器上的蒸汽分配台上的冷凝水排放阀,将冷凝水排净后关闭阀门。
2)打开浓酸泵出口阀门,开启酸泵上酸。
3)等到解吸塔内酸液面达到70%时,全部打开循环酸阀门,再根据解吸塔所需上酸量调整阀门。
4)打开再沸器蒸汽阀门,使之慢慢升温至80℃,约需20分钟。
再根据需要适当增加蒸汽量,使温度升至110℃。
切记升温速度一定要慢,同时调节冷凝水排放阀,避免再沸器存冷凝水过多,影响生产。
5)调节进酸量、蒸汽压力,以保证合成所需要的压力。
6)操作时,一定要严格按照技术控制点进行,按时巡回检查。
7)适当调节盐水进口阀,使HCL送出温度不超过5℃。
正常操作
1)经常检查各控制点,严格控制在范围之内。
2)经常检查压力计是否灵敏准确。
3)检查各个阀门是否灵活好用,有无失灵现象。
4)检查各个设备有无损坏之处。
停车操作
正常停车顺序
1)在停车前和相关岗位取得联系。
2)停再沸器蒸汽,注意降温要慢。
3)等到再沸器温度冷却到常温,方可停止进酸(如短时间停车,可不停泵,打循环)。
4)全部打开解吸塔溢流酸阀门,观察解吸塔没有液面时,再关溢流阀。
5)不停酸泵时,调节好浓酸回流管上的阀门,以防酸从中溢出,腐蚀平台。
6)如长期停车,等到再沸器温度冷却到常温后,把再沸器、气水分离器里的酸排净。
7)当温度冷却至常温,再关闭各冷却水阀门。
紧急停车
停车顺序与正常停车顺序相同,本工序如有下列情况,不能取得联系时,可按紧急停车处理:
1)酸浓度太低,不能维持正常开车时。
2)设备管道突发故障,不能保证正常开车时。
3)供电系统发生故障,断绝电源的。
4)供水系统突然断水,供汽系统突然断汽,泵坏突然断酸时。
5)如发现问题和故障,需要停车时,必须经调度同意,如遇到特殊情况来不及请示时,可妥善进行处理。
生产异常情况及处理方法
序号
异常现象
产生原因
处理方法
1
解吸塔塔顶温度偏高
1、加热蒸汽量太大
2、浓酸进量小
3、进酸浓度低
1、减少蒸汽量
2、增加浓酸进量
3、提高进酸浓度
2
解吸塔塔顶温度突然升高,而系统压力突然下降。
产生液泛(淹塔)
1、减少蒸汽加入量
2、减少浓酸加入量及调节溢酸量至正常
3
再沸器顶温度偏高
加热蒸汽量太大
同时调节进酸量和蒸汽量至正常
4
解吸塔塔釜液面上涨
1、进酸和溢酸不平衡
2、浓酸浓度低
3、稀酸冷却器堵塞
1、调至平衡
2、提高进酸浓度
3、清理稀酸冷却器
5
解吸塔塔釜液面下降
1、进酸和溢酸不平衡
2、浓酸浓度高
1、调至平衡
2、适当调整进酸浓度
6
出解吸塔稀酸浓度高
1、加热蒸汽压力低
2、浓酸进量大
1、提高蒸汽压力
2、调整进酸量
7
解吸塔塔顶冷凝酸量大
1、解吸塔塔顶温度高
2、塔顶HCL冷凝器漏
1、降低塔顶温度
2、检修设备
8
再沸器内有水锤音
1、再沸器内冷凝水太多(易损坏再沸器)
2、疏水阀不畅通
1、做好再沸器和蒸汽管道的保温,减少冷凝水量
2、检修疏水阀
9
再沸器进蒸汽压力超值,但解吸塔压力和温度上不来
再沸器壳层有空气
打开再沸器顶部排气阀放净空气
10
再沸器或冷却器冷却水含酸
块孔串漏
检修设备
11
氯化氢压力波动
1、输送管道中冷凝酸多
2、进塔酸量不稳
3、加热蒸汽压力波动大
1、放冷凝酸
2、检查酸泵
3、调稳上酸量
4、调整蒸汽压力至稳定
控制指标
序号
操作控制内容及指标
备注
1
解吸塔塔顶温度:
85℃
2
浓酸预热温度:
60-70℃
3
HCL输送温度:
≤8℃
4
再沸器顶部温度:
110-120℃
5
浓酸浓度:
≥31%
6
稀酸浓度:
22-24%
可调
7
干基HCL纯度:
≥99、5%
vol
8
HCL中游离氯:
无
9
HCL(g)输送压力:
≥0.1MPa
10
返回装置的稀盐酸温度:
≤45℃
11
气水分离器液位:
70%
设备一览表
序号
设备名称
技术规格
材料
数量
备注
1
稀盐酸泵
Q=20m3/hH=80m
CS+F46
4
2
浓盐酸泵
Q=20m3/hH=60m
CS+F46
4
3
稀酸冷却器
F=60m2
石墨
2
4
浓酸预热器
F=60m2
石墨
2
5
解吸塔
F=60m2
石墨
2
6
再沸器
F=120m2
石墨
2
7
氯化氢一级冷却器
F=60m2
石墨
2
8
氯化氢二级冷却器
F=60m2
石墨
2
三氯氢硅合成
三氯氢硅的基本性质
三氯氢硅在常温常压下为具有刺激性恶臭、易流动、易挥发的无色透明液体。
分子量:
135.43,熔点(101.325kPa):
-134℃;沸点(101.325kPa):
31.8℃;液体密度(0℃):
1350kg/m3;相对密度(气体,空气=1):
4.7;蒸气压(-16.4℃):
13.3kPa;(14.5℃):
53.3kPa;燃点:
-27.8℃;自燃点:
104.4℃;闪点:
-14℃;爆炸极限:
6.9~70%;在空气中极易燃烧,在-18℃以下也有着火的危险,遇明火则强烈燃烧,三氯氢硅燃烧时发出红色火焰和白色烟;三氯氢硅的蒸气能与空气形成浓度范围很宽的爆炸性混合气,受热时引起猛烈的爆炸。
它的热稳定性比二氯硅烷好,三氯氢硅在900℃时分解产生氯化物有毒烟雾;遇潮气时发烟,与水激烈反应;在碱液中分解放出氢气;三氯氢硅与氧化性物质接触时产生爆炸性反应。
与乙炔、烃等碳氢化合物反应产生有机氯硅烷;在氢化铝锂、氢化硼锂存在条件下,三氯氢硅可被还原为硅烷。
容器中的液态三氯氢硅当容器受到强烈撞击时会着火。
可溶解于苯、醚等。
无水状态下三氯硅烷对铁和不锈钢不腐蚀,但是在有水分存在时腐蚀大部分金属。
三氯氢硅的用途
用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成,是有机硅偶联剂中最基本的单体,同时也是制备多晶硅的主要原料。
将三氯硅烷与氯乙烯或氯丙烯进行合成反应,再经精馏提纯,得到乙烯基或丙烯基系列硅烷偶联剂产品。
硅烷偶联剂几乎可以与任何一种材料交联,包括热固性材料、热塑性材料、密封剂、橡胶、亲水性聚合物以及无机材料等,在太阳能电池、玻璃纤维、增强树脂、精密陶瓷纤维和光纤保护膜等方面扮演着重要的角色,并在这些行业中发挥着不可或缺的重要作用。
三氯氢硅合成工艺流程简述:
反应方程式为:
Si+3HCl→SiHCl3+H2↑
副反应化学方程式为:
Si+2HCl→SiH2Cl2(T<280℃)
Si+4HCl→SiCl4+2H2↑(T>350℃)
目前三氯氢硅合成工艺分成常压和加压两种:
(1)常压合成工艺
常压合成具有以下特点:
1、安全性好,不易出现泄漏着火等安全事故;
2、投资大(设备多,管道粗,制冷设备多);
3、环保差,产生大量的废水、废气、废渣;
4、自控程度低,几乎未采用自动仪表。
氯化氢先经酸雾捕集器、氯化氢缓冲罐、氯化氢加热器、再分别经流量计、止逆阀进入三氯氢硅合成炉。
外购袋装硅粉倒入硅粉池,用胶管借水环真空泵的抽力吸至硅粉干燥器,干燥后的硅粉经计量罐计量后由给料阀加入三氯氢硅合成炉,与来自氯化氢缓冲罐氯化氢在合成炉反应生成三氯氢硅和四氯化硅。
氯化氢与硅粉在三氯氢硅合成炉内反应生成三氯氢硅、四氯化硅、氢气。
混合气体经旋风除尘器、袋式过滤器、空气冷凝器、水冷器、一级盐冷器、二级盐冷器,大部分三氯硅烷在膜压机前先冷凝下来,进入机前粗品计量罐中,未冷凝的少量三氯硅烷、氯化氢和氢气进入隔膜压缩机加压,再经机后水冷凝器、-35℃盐水冷凝器冷凝,液体经机后粗品计量罐计量后进入中间产品贮罐。
(2)加压合成工艺
加压合成有以下特点:
1、安全性不如常压法,对设备、安装材料要求高,对日常管理要求高;
2、投资小(设备少、管道细、制冷设备少);
3、环保好;
4、自动化程度高,大多采用DCS自控系统。
大大提高了生产自动化程度,产品质量,降低了工人劳动强度。
用管道送来的氯化氢气体,进入硫酸液环泵加压。
加压后的氯化氢先经-35℃石墨冷却器、酸雾捕集器、氯化氢缓冲罐、再分别经流量调节阀、流量计进入氯化氢加热器
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- 三氯氢硅 合成 工艺