RH真空精炼炉设备连锁条件.docx
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RH真空精炼炉设备连锁条件
RH设备运行连锁条件
一、钢包台车走行系统
1、中央操作钢包台车走行连锁条件:
钢包台车操作场所中央
液压油缸下限位置
保温剂投入切断阀全关
喂丝机升降平台上限位置
画面钢包车左行BAK或浸渍管台车待机位
中央应急操作台钢包台车走行没有紧急停止
钢包台车没有限位故障
钢包台车没有现场紧急停止
没有总紧急停止
钢包车没有故障
2、现场自动方式下钢包台车走行连锁条件:
钢包台车操作场所现场
钢包台车走行自动方式选择
钢包台车走行没有手动方式选择
钢包台车没有限位故障
钢包台车没有现场紧急停止
没有总紧急停止
钢包车没有故障
3、现场手动方式下钢包台车走行连锁条件:
钢包台车操作场所现场
钢包台车走行手动方式选择
钢包台车没有现场紧急停止
没有总紧急停止
钢包车没有故障
二、钢包台车升降系统
1、3个液压主泵运行的公共条件
控制泵1运行或者控制泵2运行
没有液压油箱液位低
没有液压油箱液位极低
温度不<=20不需要加热
油箱温度不>=55没有高报警
没有总紧急停止
2、1号液压主泵溢流阀通电允许连锁
液压主泵1运行
1号液压主泵溢流阀没有通电允许并延时5秒钟
1#液压主泵没有停止
3、2号液压主泵溢流阀通电允许连锁
液压主泵2运行
2号液压主泵溢流阀没有通电允许并延时5秒钟
2#液压主泵没有停止
4、3号液压主泵溢流阀通电允许连锁
液压主泵3运行
3号液压主泵溢流阀没有通电允许并延时5秒钟
3#液压主泵没有停止
5、钢包台车上升允许连锁
钢包台车RH处理工位停止开关或者钢包台车钢水承接调离位置1停止位置开关
3台液压主泵至少有1台在运行
没有总紧急停止
液压油缸没有到上限位置
液压油缸没有到上限极限位置
浸渍管台车待机位
6、钢包台车下降允许连锁
3台液压主泵至少有1台在运行
没有总紧急停止
液压油缸没有到下限位置
三、热井回水泵控制系统
1、热井液位连锁
热井液位>1.9m,1台泵起动条件
热井液位>3.6m,2台泵起动条件
热井液位>5m,3台泵起动条件
热井液位<2.1m,关闭第2台泵条件
热井液位<3.1m,关闭第3台泵条件
2、1号回水泵自动运行条件(4种情况)
(1)热井液位>3.6m,2台泵起动条件
1#没有选为优先泵
1#没有选为备用泵
热井回水泵自动模式
(2)热井液位>5m,3台泵起动条件
1#选为备用泵
热井回水泵自动模式
(3)热井液位>1.9m,1台泵起动条件
1#选为优先泵
热井回水泵自动模式
(4)C1冷凝器水位高
热井回水泵自动模式
3、1号回水泵自动停止条件(2种情况)
(1)热井液位<3.1m,关闭第3台泵条件
1#选为备用泵
热井回水泵自动模式
(2)热井液位<2.1m,关闭第2台泵条件
1#没有选为优先泵
1#没有选为备用泵
热井回水泵自动模式
4、2号回水泵自动运行条件(4种情况)
(1)热井液位>3.6m,2台泵起动条件
2#没有选为优先泵
2#没有选为备用泵
热井回水泵自动模式
(2)热井液位>5m,3台泵起动条件
2#选为备用泵
热井回水泵自动模式
(3)热井液位>1.9m,1台泵起动条件
2#选为优先泵
热井回水泵自动模式
(4)C1冷凝器水位高
热井回水泵自动模式
5、2号回水泵自动停止条件(2种情况)
(1)热井液位<3.1m,关闭第3台泵条件
2#选为备用泵
热井回水泵自动模式
(2)热井液位<2.1m,关闭第2台泵条件
2#没有选为优先泵
2#没有选为备用泵
热井回水泵自动模式
6、3号回水泵自动运行条件(4种情况)
(1)热井液位>3.6m,2台泵起动条件
3#没有选为优先泵
3#没有选为备用泵
热井回水泵自动模式
(2)热井液位>5m,3台泵起动条件
3#选为备用泵
热井回水泵自动模式
(3)热井液位>1.9m,1台泵起动条件
3#选为优先泵
热井回水泵自动模式
(4)C1冷凝器水位高
热井回水泵自动模式
7、3号回水泵自动停止条件(2种情况)
(1)热井液位<3.1m,关闭第3台泵条件
3#选为备用泵
热井回水泵自动模式
(2)热井液位<2.1m,关闭第2台泵条件
3#没有选为优先泵
3#没有选为备用泵
热井回水泵自动模式
四、喂丝吹氩系统
1、中央喂丝允许条件
喂丝机没有往复复位
喂丝机没有现场自动方式
喂丝机没有现场手动方式
喂丝机没有马达故障
喂丝机没有压缩空气系统故障
喂丝机没有升降电机故障
喂丝机没有喂丝堵塞
没有总紧急停止
2、钢包底吹氩气条件
钢包吹氩软管不在待机位置
喂丝吹氩总管压力没有低报警
五|、测温、取样、破渣枪控制系统
1、
(1)中央操作时测温、取样枪架移动条件
测温、取样画面显示操作场所选择中央
测温定氧枪升降电机下降启动
取样枪升降电机下降启动
破渣枪升降电机下降启动
取样枪上限位置或取样枪上升禁止或测温、定氧枪高度(0-2500mm)<80
测温定氧枪上限或测温定氧枪上升禁止或取样枪的高度0-2500mm<100
破渣枪上限或破渣枪上升禁止或破渣枪上限极限
没有总紧急停止
(2)现场操作时测温、取样枪架移动条件
测温、取样操作场所选择现场
测温、取样没有紧急停止(测温、取样现场操作箱)
选中的枪没有上升(测温、取样现场操作箱)
选中的枪没有下降(测温、取样现场操作箱)
取样枪上限位置或取样枪上升禁止或测温、定氧枪高度(0-2500mm)<80
测温定氧枪上限或测温定氧枪上升禁止或取样枪的高度0-2500mm<100
破渣枪上限或破渣枪上升禁止或破渣枪上限极限
没有总紧急停止
2、测温定氧枪上升条件(3种情况)
(1)测温定氧枪上升条件
钢水测温定氧完成或钢水测温失败或测温定氧枪在钢水中的延时到
测温定氧枪没有到上限或测温取样倾动框架工作位置
测温、取样紧急停止(测温、取样现场操作箱)
测温、定氧枪高度(0-2500mm)<80或上升不受编码器控制
测温、定氧枪没有禁止上升
测温、定氧枪没有到上限
(2)中央操作时测温定氧枪上升条件
测温、取样画面显示操作场所选择中央
画面测量结束
测温定氧枪没有到上限或测温取样倾动框架工作位置
测温、取样紧急停止(测温、取样现场操作箱)
测温、定氧枪高度(0-2500mm)<80或上升不受编码器控制
测温、定氧枪没有禁止上升
测温、定氧枪没有到上限
(3)现场操作时测温定氧枪上升条件
测温、取样操作场所选择现场/禁止
测温定氧枪没有到上限或测温取样倾动框架工作位置
测温、取样紧急停止(测温、取样现场操作箱)
测温、定氧枪高度(0-2500mm)<80或上升不受编码器控制
测温、定氧枪没有禁止上升
测温、定氧枪没有到上限
3、
(1)中央操作时测温定氧枪下移条件
测温、取样画面显示操作场所选择中央
破渣枪上升禁止或破渣枪上限或破渣枪上限极限
取样枪上限位置或取样枪的高度0-2500mm<100
测温定氧枪编码器没有达到设定值
钢水测温定氧准备好
没有画面测量结束
测温定氧枪没有到下限位置
测温取样倾动框架工作位置
测温、取样紧急停止(测温、取样现场操作箱)
测温定氧枪没有禁止下降
(2)现场操作时测温定氧枪下移条件
测温、取样操作场所选择现场/禁止
测温定氧枪没有到下限位置
测温取样倾动框架工作位置
测温、取样紧急停止(测温、取样现场操作箱)
测温定氧枪没有禁止下降
测温定氧枪编码器没有达到设定值
4、取样枪上升条件(3种情况)
(1)取样枪上升条件
取样枪在钢水中的延时到
取样枪的高度0-2500mm<100或上升不受编码器控制
测温、取样紧急停止(测温、取样现场操作箱)
取样枪升降没有电机故障
取样枪没有到上限位置
测温取样倾动框架工作位置
取样枪没有上升禁止
(2)中央操作时取样枪上升条件
测温、取样画面显示操作场所选择中央
画面测量结束
取样枪的高度0-2500mm<100或上升不受编码器控制
测温、取样紧急停止(测温、取样现场操作箱)
取样枪升降没有电机故障
取样枪没有到上限位置
测温取样倾动框架工作位置
取样枪没有上升禁止
(3)现场操作时取样枪上升条件
测温、取样操作场所选择现场/禁止
取样枪的高度0-2500mm<100或上升不受编码器控制
测温、取样紧急停止(测温、取样现场操作箱)
取样枪升降没有电机故障
取样枪没有到上限位置
测温取样倾动框架工作位置
取样枪没有上升禁止
5、
(1)中央操作时取样枪下移条件
测温、取样画面显示操作场所选择中央
破渣枪上升禁止
测温定氧枪上限或测温、定氧枪高度(0-2500mm)<80
测温取样倾动框架工作位置
测温、取样紧急停止(测温、取样现场操作箱)
取样枪升降没有电机故障
取样枪编码器没有达到设定值
取样枪没有下降禁止
没有画面测量结束
(2)现场操作时取样枪下移条件
测温、取样操作场所选择现场/禁止
测温取样倾动框架工作位置
测温、取样紧急停止(测温、取样现场操作箱)
取样枪升降没有电机故障
取样枪编码器没有达到设定值
取样枪没有下降禁止
没有画面测量结束
6、
(1)中央操作时破渣枪半自动或测试方式下的上升条件
测温、取样画面显示操作场所选择中央
破渣枪没有上升禁止
破渣枪升降没有电机故障
测温、取样紧急停止(测温、取样现场操作箱)
(2)现场操作时破渣枪半自动或测试方式下的上升条件
测温、取样操作场所选择现场/禁止
破渣枪没有上升禁止
破渣枪升降没有电机故障
测温、取样紧急停止(测温、取样现场操作箱)
7、
(1)中央操作时破渣枪下移条件
测温、取样画面显示操作场所选择中央
测温、定氧枪高度(0-2500mm)<80或测温定氧枪禁止上升或测温定氧枪没有到上限
取样枪的高度0-2500mm<100或取样枪上升禁止或取样枪没有到上限位置
测温取样倾动框架工作位置
测温、取样紧急停止(测温、取样现场操作箱)
破渣枪升降没有电机故障
破渣枪没有下降禁止
(2)现场操作时破渣枪下移条件
测温、取样操作场所选择现场
测温取样倾动框架工作位置
测温、取样紧急停止(测温、取样现场操作箱)
破渣枪升降没有电机故障
破渣枪没有下降禁止
六、真空槽台车走行系统
1、真空槽台车移动的公共条件(两种情况)
(1)顶枪操作准备(1号或2号真空槽走行操作箱)
伸缩接头支撑电动缸缩回
(1)
伸缩接头支撑电动缸缩回
(2)
液压油缸下限位置
破渣枪上升禁止或破渣枪上限极限或破渣枪上限
取样枪上升禁止或取样枪上限位置或取样枪的高度0-2500mm<100
测温定氧枪禁止上升或测温定氧枪上限或测温、定氧枪高度(0-2500mm)<80
没有总紧急停止
(2)合金伸缩接头脱离1
合金伸缩接头脱离2
合金伸缩接头脱离3
3各伸缩接头气缸有2个分离
合金伸缩接头没有连接1
合金伸缩接头没有连接2
合金伸缩接头没有连接3
KTB顶枪上限位
伸缩接头支撑电动缸缩回
(1)
伸缩接头支撑电动缸缩回
(2)
液压油缸下限位置
破渣枪上升禁止或破渣枪上限极限或破渣枪上限
取样枪上升禁止或取样枪上限位置或取样枪的高度0-2500mm<100
测温定氧枪禁止上升或测温定氧枪上限或测温、定氧枪高度(0-2500mm)<80
没有总紧急停止
2、1号真空槽台车向工作位移动条件
真空槽台车移动的公共条件
1号真空槽台车没有到处理停止位置
1号真空槽台车没有到处理极限停止位置
画面1号真空槽台车没有到处理停止位置
2号真空槽台车没有到处理极限停止位置
1号真空槽台车松开
(1)
1号真空槽台车松开
(2)
1号真空槽烟道小车分离位置
1号变频器没有综合故障报警(1号真空槽)
2号真空槽待机极限位置或2号真空槽待机位置
1号预热枪上限位
没有紧急停止(1号真空槽走行操作箱)
没有1号真空槽限位故障
3、号真空槽台车向待机位移动条件
真空槽台车移动的公共条件
1号真空槽烟道小车分离位置
1号预热枪上限位
1号真空槽台车松开
(1)
1号真空槽台车松开
(2)
1号真空槽不在待机位置
1号真空槽不在待机极限位置
没有1号变频器综合故障报警(1号真空槽)
没有紧急停止(1号真空槽走行操作箱)
没有1号真空槽限位故障
没有1号真空槽台车故障
没有氮幕帘打开(1号真空槽走行操作箱)
4、2号真空槽台车向工作位移动条件
真空槽台车移动的公共条件
2号真空槽台车没有到处理停止位置
2号真空槽台车没有到处理极限停止位置
画面2号真空槽台车没有到处理停止位置
1号真空槽台车没有到处理极限停止位置
2号真空槽台车松开
(1)
2号真空槽台车松开
(2)
2号真空槽烟道小车分离位置
2号变频器没有综合故障报警(2号真空槽)
1号真空槽待机极限位置或1号真空槽待机位置
2号预热枪上限位
没有紧急停止(2号真空槽走行操作箱)
没有2号真空槽限位故障
5、2号真空槽台车向待机位移动条件
真空槽台车移动的公共条件
2号真空槽烟道小车分离位置
2号预热枪上限位
2号真空槽台车松开
(1)
2号真空槽台车松开
(2)
2号真空槽不在待机位置
2号真空槽不在待机极限位置
没有2号变频器综合故障报警(2号真空槽)
没有紧急停止(2号真空槽走行操作箱)
没有2号真空槽限位故障
没有2号真空槽台车故障
没有氮幕帘打开(2号真空槽走行操作箱)
6、1号真空槽台车处理停止位置时气体膨胀接头连接控制连锁条件
伸缩接头支撑电动缸缩回
(1)
伸缩接头支撑电动缸缩回
(2)
画面1号真空槽台车处理停止位置
伸缩接头支撑电动缸伸出位置(1A)
伸缩接头支撑电动缸伸出位置(1B)
没有紧急停止(1号真空槽走行操作箱)
没有1号真空槽台车处理停止位置故障
没有1号真空槽限位故障
7、2号真空槽台车处理停止位置时气体膨胀接头连接控制连锁条件
伸缩接头支撑电动缸缩回
(1)
伸缩接头支撑电动缸缩回
(2)
画面2号真空槽台车处理停止位置
伸缩接头支撑电动缸伸出位置(2A)
伸缩接头支撑电动缸伸出位置(2B)
没有紧急停止(2号真空槽走行操作箱)
没有2号真空槽台车处理停止位置故障
没有2号真空槽限位故障
8、气体膨胀接头分离控制连锁条件
伸缩接头气缸没有分离
(1)或伸缩接头气缸没有分离
(2)或伸缩接头气缸没有分离(3)
真空阀没有全开
没有紧急停止(1号真空槽走行操作箱)
没有紧急停止(2号真空槽走行操作箱)
9、合金溜槽连接连锁
合金伸缩接头脱离1
合金伸缩接头脱离2
合金伸缩接头脱离3
10、合金溜槽脱离连锁
脱气停止
合金伸缩接头连接1
合金伸缩接头连接2
合金伸缩接头连接3
11、1号支撑装置支撑伸出连锁(两种情况)
(1)画面2号真空槽台车处理停止位置
画面1号真空槽台车没有到处理停止位置
没有2号真空槽限位故障
没有2号真空槽台车处理停止位置故障
没有紧急停止(2号真空槽走行操作箱)
没有伸缩接头支撑电动缸限位故障
伸缩接头支撑电动缸不在伸出位置(1A)
伸缩接头支撑电动缸不在伸出位置(2A)
没有伸缩接头支撑电动缸电机
(1)故障
1号负荷支撑电机伸出过力矩
(2)画面2号真空槽台车没有到处理停止位置
画面1号真空槽台车处理停止位置
没有1号真空槽限位故障
没有1号真空槽台车处理停止位置故障
没有紧急停止(1号真空槽走行操作箱)
没有伸缩接头支撑电动缸限位故障
伸缩接头支撑电动缸不在伸出位置(1A)
伸缩接头支撑电动缸不在伸出位置(2A)
没有伸缩接头支撑电动缸电机
(1)故障
1号负荷支撑电机伸出过力矩
12、2号支撑装置支撑伸出连锁(两种情况)
(1)画面2号真空槽台车处理停止位置
画面1号真空槽台车没有到处理停止位置
没有2号真空槽限位故障
没有2号真空槽台车处理停止位置故障
没有紧急停止(2号真空槽走行操作箱)
没有伸缩接头支撑电动缸限位故障
伸缩接头支撑电动缸不在伸出位置(1B)
伸缩接头支撑电动缸不在伸出位置(2B)
没有伸缩接头支撑电动缸电机
(2)故障
2号负荷支撑电机伸出过力矩
(2)画面2号真空槽台车没有到处理停止位置
画面1号真空槽台车处理停止位置
没有1号真空槽限位故障
没有1号真空槽台车处理停止位置故障
没有紧急停止(1号真空槽走行操作箱)
没有伸缩接头支撑电动缸限位故障
伸缩接头支撑电动缸不在伸出位置(1B)
伸缩接头支撑电动缸不在伸出位置(2B)
没有伸缩接头支撑电动缸电机
(2)故障
2号负荷支撑电机伸出过力矩
七、真空排气系统
1、1号真空槽台车在处理位置时处理就绪条件
画面1号真空槽台车处理停止位置
1号真空槽台车固定
(1)
1号真空槽台车固定
(2)
伸缩接头支撑电动缸伸出位置(1A)
伸缩接头支撑电动缸伸出位置(1B)
气体冷却器卸灰翻板全关
钢包台车RH处理工位停止开关
液压油缸不在下限位置
伸缩接头气缸连接
(1)
伸缩接头气缸连接
(2)
伸缩接头气缸连接(3)
C1冷凝器水位不高
没有总紧急停止
没有中央应急操作台紧急复压
合金伸缩接头连接1
合金伸缩接头连接2
合金伸缩接头连接3
顶枪在槽内待机位或以下或顶枪孔盖关闭
2、2号真空槽台车在处理位置时处理就绪条件
画面2号真空槽台车处理停止位置
2号真空槽台车固定
(1)
2号真空槽台车固定
(2)
伸缩接头支撑电动缸伸出位置(2A)
伸缩接头支撑电动缸伸出位置(2B)
气体冷却器卸灰翻板全关
钢包台车RH处理工位停止开关
液压油缸不在下限位置
伸缩接头气缸连接
(1)
伸缩接头气缸连接
(2)
伸缩接头气缸连接(3)
C1冷凝器水位不高
没有总紧急停止
没有中央应急操作台紧急复压
合金伸缩接头连接1
合金伸缩接头连接2
合金伸缩接头连接3
顶枪在槽内待机位或以下或顶枪孔盖关闭
3、空排气自动处理开始条件
真空主阀自动模式或真空主阀开
真空排气系统自动或排气方式CPU自动
画面1号真空槽台车处理停止位置或画面2号真空槽台车处理停止位置
C1冷凝器水位不高
合金伸缩接头没有连接
顶枪在槽内待机位或以下或顶枪孔盖关闭
1号或2号真空槽台车在处理位置时处理就绪条件
4、处理自动停止条件
脱气停止或中央应急操作台紧急复压或中央应急操作台顶枪紧急提升或总紧急停止
5、复压阀开条件
处理自动停止条件或排气紧急停止
复压自动
真空阀全关
6、真空开始允许
真空排气系统自动或排气方式CPU自动
冷凝器水压力正常
7、各级真空泵启动允许条件
(1)5A5B允许条件
真空泵真空压力实际值>=开启S5AS5B时所需气压(在画面真空排气模式表上设定)
(2)4A4B允许开启
真空泵真空压力实际值<开启S4AS4B时的气压(在画面真空排气模式表上设定)
(3)S3允许开启
真空泵真空压力实际值<开启S3时的气压(在画面真空排气模式表上设定)
(4)S2允许开启
真空泵真空压力实际值<开启S2时的气压(在画面真空排气模式表上设定)
(5)S1允许开启
真空泵真空压力实际值<开启S1时的气压(在画面真空排气模式表上设定)
8、蒸汽分配器放散断阀的开条件(三种情况)
(1)处理自动停止条件
蒸汽分配器入口切断阀全关
(2)排气紧急停止
蒸汽分配器入口切断阀全关
(3)画面预真空停止
没有画面真空排气系统设备单试
没有真空排气系统手动
没有脱气开始
蒸汽分配器入口切断阀全关
9、真空主阀的关闭条件(三种情况)
(1)处理自动停止条件
(2)排气紧急停止
(3)画面预真空停止
没有画面真空排气系统设备单试
没有真空排气系统手动
没有脱气开始
10、S5A的关闭条件
真空主阀的关闭条件满足
S4a喷射泵蒸汽切断阀全关
真空阀全关
11、辅泵与入口阀关闭条件
真空主阀的关闭条件满足或S3允许开启或S3喷射泵蒸汽切断阀全开
12、S4A的关闭条件
处理自动停止条件或排气紧急停止
S3喷射泵蒸汽切断阀全关
真空阀全关
13、S3的关闭条件
(1)S2喷射泵蒸汽切断阀全关
真空阀全关
处理自动停止条件
(2)S2喷射泵蒸汽切断阀全关
真空阀全关
排气紧急停止
(3)S2喷射泵蒸汽切断阀全关
真空阀全关
排气启动过程结束标志
真空槽压力PV值远小于SV值,调节阀不能满足
S3喷射泵蒸汽切断阀全开
14、S2的关闭条件
(1)S1喷射泵蒸汽切断阀全关
真空阀全关
处理自动停止条件
(2)S1喷射泵蒸汽切断阀全关
真空阀全关
排气紧急停止
(3)S1喷射泵蒸汽切断阀全关
真空阀全关
排气启动过程结束标志
真空槽压力PV值远小于SV值,调节阀不能满足
S2喷射泵蒸汽切断阀全开
15、S1的关闭条件
(1)蒸汽分配器入口切断阀全关
真空阀全关
处理自动停止条件
(2)蒸汽分配器入口切断阀全关
真空阀全关
排气紧急停止
(3)蒸汽分配器入口切断阀全关
真空阀全关
排气启动过程结束标志
真空槽压力PV值远小于SV值,调节阀不能满足
16、真空泵侧复压阀开条件(三种情况)
(1)处理自动停止条件
真空阀全关
蒸汽分配器入口切断阀全关
(2)排气紧急停止
真空阀全关
蒸汽分配器入口切断阀全关
(3)画面预真空停止
没有画面真空排气系统设备单试
没有真空排气系统手动
真空阀全关
蒸汽分配器入口切断阀全关
八、真空环流系统
1、1号真空槽的环流自动模式启动联锁条件:
液压油缸不在下限位
钢包台车在RH处理位置
1号真空槽在处理位置
2、2号真空槽的环流自动模式启动联锁条件:
液压油缸不在下限位
钢包台车在RH处理位置
2号真空槽在处理位置
九、KTB顶枪系统
1、选择中央模式的条件(两种情况)
(1)顶枪在槽内
顶枪位置大于低限位
没有正在现场燃烧操作
(2)H0点编码器和机械限位组合(表示在槽内)
没有正在现场燃烧操作
2、选择KTB操作的条件
1号(或2号)真空槽台车处理停止位置
1号(或2号)真空槽没有膨胀密封总故障
KTB吹扫当前选择氩气并没有顶枪Ar总管压力低报警或KTB吹扫当前没有选择氩气
KTBO2切断阀全关
KTBO2输送管道吹扫O2切断阀全关
加热燃烧O2切断阀全关
加热燃烧O2管道吹扫O2切断阀全关
天然气切断阀全关
H0点编码器和机械限位组合(表示在槽内)
没有顶枪升降马达故障
没有顶枪编码器故障
没有顶枪O2总管压力低(ANN)
没有顶枪N2总管压力低(ANN)
没有顶枪仪表空气总管压力低(ANN)
没有顶枪冷却水异常
3、KTB计算机自动操作条件
中央模式状态
选择KTB操作的条件满足
当前为KTB模式
KTBPATTERN数据有效(L2下达的KTBPATTERN)
真空度低于200torr
真空处理中
没有正在KTB操作
4、KTB中央自动操作条件
中央模式状态
选择KTB操作的条件满足
当前为KTB模式
KTBPATTERN数据有效(HMI上的设定值)
真空度低于200torr
真空处理中
没有正在KTB操作
5、KTB中央手动操作条件
中央模式状态
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