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TFC图文教程
利用TFC求膜层的N与K图文教程
1. 首先利用晶控控制沉积单层膜,厚度约4-7个1/4个中心波长,,这里假设在K9基底上沉积单层ZnS薄膜,晶控显示厚度390nm;3 2. 然后利用分光光度计测量单层膜的反射率或透射率,测量范围最好宽些,这里测量400-1500nm,利用list选项导出所测量数据,并保存为TXT格式,这里命名ZnS.TXT,如图所示: 3.打开TFC,选择modify-materials 4.继续选择AddMaterial,填写材料名称,选择合适的N与K的拟合公式,这里选择Cauchy与Sellmeier公式,如果不合适,可试选别的公式,点OK结束。 5.试填写A0与B1等各系数,以后熟练可凭经验填写,点击FitData选项结束此步。 6.根据实际情况填写各选项,点击SetConstraints结束此步。 7.填写薄膜厚度与是否优化,点OK离开。 8.回到上界面,点击Computer进行计算 9.下面为计算结果图,如果感觉结果可接受点击Accept选项,如不接受,点击Reject选项返回重选拟合公式,修改拟合公式系数或膜厚等参数继续计算。 10.结果处理: 感觉结果可接受点击Accept选项,出现下面界面,点击convert选项,填写材料名称,点击OK,即可保存所计算的N与K值,如下图所示。 完工。 怎么在Plot窗口中显示两条以上的曲线? 一个截至率光片的设计实例TFC的设计步骤 1.File-Newcoating 2.填写中心波长,入射角,基底参数: 2. 3.点击AnalysisParameters,填写计算波长范围: 3. 4.Modify-Stackformula填写膜系材料与公式: 5.点击GenerateLayers,退出窗口。 6.计算: 7.显示结果: 8.完工。 ! ;t\lgMl 附录: 4 a-JC" 如显示反射率曲线,可设置SetplotParameters: TFC优化过程图文说明 400nm-900nm T≥99% 1.先进行基本设置xh,};TS(K 2. USv: +. 3.然后设置膜系,这里材料选择通用的TiO2与Sio2._Bejh 4. 5.3.设置优化目标,大家看明白,在那里设置。 discrete为离散的优化目标continuous为连续的优化目标,一般选择离散目标优化D6fry\ 6. 7.4.选择优化方法-{n2^vvF 8. 9. 10.5.优化计算Z]OXitt7 11. 12. 13. 14.6.显示结果xgeDfpF' 15. 16. 问: 我听说层数多的膜要用透射监控,层数少的膜要用反射监控,不知道为什么? ii: hE= 我该如何把计算出来的透射光控曲线运用到实际生产当中去? 就是说如何让镀膜机按照这个曲线进行光控镀膜,我这边用北仪机(镀不了很多层的膜),optorun1300镀膜机(可以镀比较复杂的膜)~CB6+t> 还有一个就是如何找到机台的光控Tooling,我是这样理解的,不知道对不对: kFG>Km(y} 根据计算出来的理论光控曲线进行镀膜,镀出来陪镀片拿去测出的光谱曲线,把光谱曲线代入TFC,与设计出来的理论指标曲线放在一起看看,看看差异在哪里,设置膜料TIO2和SIO2分别为组1和组2,再分别优化组1和组2,$LF 这样就可以判定是哪几层多镀了还是少镀了,再把两个物理厚度相除一下,就得出了该机台的光控Tooling,再怎么把光控Tooling代入,来修正光控曲线呢? 17.答: 反射与透射监控与层数关系不是很大吧,只要你机器比较片足够多,这个我不太懂,计算Tooling值有很多方法,可以利用光谱曲线计算实际膜厚,或着直接测量膜厚,如椭偏仪,与理论厚度相比即是Tooling值, 18. 根据结果我算出透射光控曲线 19. 20.透射光控曲线参数设置 21. 22. 23. 24.反射光控曲线怎么会这样呢? 25. 26. 27. 28. 29.怎样才能把多个设计曲线画在一张图上? 30. 31. 32. 在TFC设计中,不显示颜色,啥回事? 比如基底是K9,当我优化出物理厚度,还有反射曲线时,我想看一下颜色,我在镀制中是否一样。 但看不到,讲必须中心波长在780以上。 33. 跟中心波长无关,只要在显示的波长中包含可见光波段(380-780)就行。 34.TFC添加材料步骤 35.在这里以添加ZnS为例: =k`Cr0aPF 首先你有ZnS参数,为TXT格式,如下图所示: 'K{Z{[s{ 添加步骤如下所示。 36. 37. 38. 39. 40. 41. 五氧化二钽折射率怎么來? 你可以通过光谱仪测量计算,也可以由椭偏仪直接测量,然后保存为TXT格式, 怎样把光学厚度复制其它文档 可以保存TXT文档 怎样把由tfc设计的制程的膜厚转变成光量? 要善于利用tfc自带帮助功能rEj[XK 为什么有时候,TFC的图形输出是角度与反射或透射率的形式呢.怎样才能把它转化为波长与反射率或透射率的形式? /'1 y`j<
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