ESD防静电管理规范1.docx

ESD防静电管理规范1.docx

《ESD防静电管理规范1.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《ESD防静电管理规范1.docx（33页珍藏版）》请在冰豆网上搜索。

ESD防静电管理规范1

ESD防静电管理规范-1

防静电管理规范

目录：

1.目的

2.适用范围

3.引用标准

4.名词术语

5.防静电工作区系统

6.人体防静电系统

7.职责

8.培训

9.采购

10.记录

11.附录

1.目的

为避免静电敏感元器件在生产、运输、储存、检测等过程中受到静电释放的影响，从而产生短路、电阻漂移、开路、工作性能退化等不良现象。

特建立《电子产品制造静电防护技术要求》，以保证产品品质，增加可靠性，减低不良率，节省产品工时成本，降低维修费用。

基于《电子产品制造静电防护技术要求》文件的颁布，提高员工对ESD的认识，加强员工自觉防止ESD现象之观念，促进生产管理水平之提高。

2.适用范围

本文适用于所有车间中生产制程及电子元器件的采购、运输、储存、检测过程中的静电防护。

3.引用标准

SJ/T10694-1996《电子产品制造防静电系统测试方法》

GB/T15463-1995《静电安全名词术语》

GJB3007-97《防静电工作区技术要求》

I级

0~1999V

II级

2000~3999V

III级

4000~15999V

根据该项标准的规定，所要求的ESD控制大纲一般只包含对I和II级敏感产品的防护。

现按照元器件静电敏感度和生产线实际情况如下：

5.1.1.1LED芯片的静电敏感度相对较高，生产环境相对干燥,凡是直接操作的半成品、成品生产线均定为I级；

5.1.1.2仅仅是器件的存储和运输，也不需要严格的防静电措施，理由是产品在这个时候没有被加工。

把这些区域或车间定为II级；

5.1.1.3按照上述理由，现规定敏感级别为：

级别

区域

I级

固焊车间、灌胶车间、模压车间、外观、分光、包装等

II级

成品包装区域、货仓区域，生产仓，收料仓等

5.1.1公司内部由黄、黑双色斑马线围起的区域或门口挂有静电标示牌的车间为防静电工作区。

5.1.2元器件敏感度分级由QC1ESD工程师按后附录1——《ESDS元器件分类》酌情分级，并确定。

5.2防静电工作区基本环境要求

5.2.1防静电工作区应保持洁净，避免有灰尘堆积或漂浮的状态发生

5.2.2车间内温湿度的控制结合车间的实际情况定为：

区域

温度

湿度

万级洁净室

21±2︒C

%~%

10万级洁净室

21±2︒C

%~%

普通车间

23±3︒C

%~%

5.2.3在不对产品造成有害影响的前提下，允许使用增湿设备喷洒制剂或水，以增加环境湿度。

5.2.4防静电工作区应清楚标明区域界限以及警示标志，见附录14。

5.2.5要求使用防静电地板或在普通地面上铺设防静电地垫，并保证有效接地。

禁止直接使用木制地板或铺设毛、麻、化纤地毯及普通地板革。

5.2.6天花板及墙壁建议使用防静电材料制品，一般情况下允许使用石膏制品或石灰涂料，禁止使用普通塑料制品。

5.3防静电工作区接地系统

5.3.1应有独立可靠的接地装置，接地电阻一般应小于10欧姆，为保证人员安全，在与人员直接接触的地方应加装1兆欧姆限流电阻。

接地线的要求如下：

接地线

截面积

接地电阻

要求

接地总线

不小于100mm2的铜制导线

小于10欧姆

ESD线不得直接接在电源零线上。

ESD线不得与防雷地线共用。

使用三相五线制供电，其大地线可以作为ESD地线，但需保证电源地线与零线不能搭接。

接地支干线

不小于6mm2的铜制导线

小于10欧姆

设备和工作台的接地线

不小于1.25mm2的多股或单股的铜制绝缘套导线

小于10欧姆或0.8兆欧~1.2兆欧

ESD地线应用绿色绝缘套标识。

台垫等物品的接地配件按照来料的颜色使用。

5.3.2厂房接地总线的接地电阻小于10欧姆，由行政部负责定期检查，周期为一个月一次。

并填写《厂房接地电阻测试记录表》。

5.3.3车间内部的设备和工作台的接地线的接地状况由PE负责定期检查，周期为3个月一次。

并填写《工作台地线接地电阻测试记录表》。

5.3.4测试台的防静电设备，工器具的接地由TE负责定期检查，周期为3个月一次。

并填写《工作台地线接地电阻测试记录表》。

5.4防静电区域设备及辅料要求

I级区域

II级区域

防静电安全工作台

防静电安全工作台

防静电容器、运输工具（料盒、料箱、运输车）

防静电容器、运输工具（料盒、料箱、运输车）

防静电腕带

防静电腕带

防静电工衣（帽）

防静电工衣（帽）

防静电工鞋

防静电工鞋

防静电测试架

离子风机（离子棒/离子风枪）（视工序而定）

防静电烙铁（如需使用烙铁）

5.5防静电工作区的ESD技术要求

5.5.1防静电地板

5.5.1.1用防静电PVC地板专用清洁剂或中性清洁用品定期进行清洁，严禁使用强酸、强碱或能溶解PVC材料的化学溶剂进行清洗，如果属于更严重的污渍，可以使用异丙烯基乙醇清洁。

5.5.1.2严禁带有尖刺、粗糙的重物在地板表面擦划、拖拉。

5.5.1.3不能将硫化物、丙酮、酒精等物品撒落在ESD地板上，如发生以上情况，应立即清洁。

5.5.1.4使用防静电地板蜡水进行定期涂敷、养护，一般6个月一次。

5.5.1.5地板蜡的电阻小于1E9欧姆。

5.5.1.6地板安装时应满足的ESD技术指标包括：

表面电阻值和系统电阻值均在1E4~1E9欧姆范围以内。

5.5.1.7生产部应及时向行政部要求对防静电地板进行打蜡维护，行政部做好地板打蜡后应及时通知QC1部ESD工程师。

5.5.1.8对于K4洁净室的地板，经IE评估且经过ESD工程师的认可，可以不做地板打蜡。

5.5.1.9QC1部ESD工程师应在行政部对防静电地板打蜡后做一次防静电地板表面电阻、系统电阻测试，测试方法见附录2，并填写《防静电地板电阻测试记录表》。

5.5.2防静电安全工作台（含测试台）

5.5.2.1各区域的防静电安全工作台由负责该区域的PE或TE确定范围。

例如：

回流焊后的检查台、QC1检查台、修理台和测试台等。

5.5.2.2防静电安全工作台基本要求和禁止项目

要求

禁止

工作台表面铺设防静电台垫，同时台垫必须接地。

特殊情况可以没有台垫，但需经ESD工程师认可。

工作台上放置普通塑料盒（片）、橡皮、玻璃、普通泡沫等容易产生静电的杂物.

配备腕带接头、ESD地线、离子风机（可选）、防静电工具（可选）和防静电测试架

距离ESDS元器件30厘米以内有摩擦电压高于200V的物件

5.5.2.3在防静电区内使用不符合防静电要求的物料且必须时，必须得到QC1ESD工程师的评估和认可。

5.5.2.4防静电台台面应满足ESD技术指标。

表面电阻值和系统电阻值均在1E4~1E9欧姆范围以内。

5.5.2.5防静电台椅子应满足ESD技术指标。

表面电阻值和系统电阻值均小于1E9欧姆范围。

5.5.2.6防静电胶帘的表面电阻应在1E4~1E11欧姆内。

5.5.2.7PE应每6个月做一次相应的工作区域内的防静电台垫和防静电工椅电阻测试，防静电台垫测试方法见附录3，填写《防静电台垫电阻测试记录表》。

防静电工椅测试方法见附录8，填写《防静电工椅测试记录表》，如果有不合格的，须及时更换。

5.5.3防静电辅料/工具

5.5.3.1防静电溶剂瓶：

系统电阻在1E4~1E11欧姆范围。

5.5.3.2防静电烙铁/焊接工具：

从热的端头到地的电阻应小于10欧姆。

5.5.3.3防静电文件袋（夹）:

表面电阻在1E4~1E11欧姆范围。

5.5.3.4PE应每6个月做一次防静电辅料电阻测试，测试方法见附录7，填写《防静电辅料电阻测试记录表》。

5.5.4防静电包装及容器

5.5.4.1防静电容器包括——ESDS原料包装袋（盒/盘）、装板的料盒、等一切包装、储存ESDS的容器。

5.5.4.2允许使用局部抗静电涂料对容器表面进行处理，但使用效果必须由相关PE定期检查。

5.5.4.3防静电容器应满足ESD技术指标：

表面电阻（包括内外表面）在1E4~1E11欧姆范围，系统电阻在1E4~1E10欧姆范围。

如果产品或产品的金属部分不直接与防静电容器接触，则允许防静电容器的电阻小于1E4欧姆。

PE应每6个月做一次防静电容器（包括吸塑、托盘、料箱等）表面电阻和体积电阻测试，测试方法见附录4。

填写《防静电周转容器电阻测试记录表》，测试结果由PE保存半年，并在符合标准的容器上做标记。

QC2应按SEF对来料的包装袋和容器进行测试，并填写《防静电包装袋容器电阻测试记录表》。

5.5.5防静电运输工具及存放架等

5.5.5.1防静电运输工具包括—ESD运输车、ESD小推车等

5.5.5.2为保护ESDS不受到外部强静电场的影响，运送ESDS的防静电运输工具应由高导电性材料（建议使用不锈钢）制作，车子经常固定时要求硬接地。

其对地电阻应小于10欧姆。

5.5.5.3当运输车由不锈钢组成时，且经常移动时，其对地电阻应小于1E9欧姆。

5.5.5.4存放架的表面电阻和对地电阻应小于1E9欧姆。

5.5.5.5防静电运输工具应满足ESD技术指标：

表面电阻和对地电阻小于1E9欧姆。

PE应每6个月做一次防静电运输车、ESD小推车之台面对轮脚系统电阻测试，测试方法见附录5。

填写《防静电运输工具/存放架电阻测试记录表》，测试结果由PE保存半年，并在符合标准的运输工具上做标记。

5.5.6除静电离子风机/离子棒

5.5.6.1当防静电区域内不可避免的需要使用会产生高静电的材料时，且该材料要求被放置在离ESDS30厘米内时，必须使用离子风机或离子棒。

5.5.6.2对于不能接地又直接接触ESDS元件的物体，必须保证其保持在零电位状态，必要时，可以使用离子风机消除在这个过程中产生的静电。

5.5.6.3离子风机在使用的过程中会产生较大功率的RF信号，因此进行通信产品测试的车间不适用离子风机。

如果要用，则需要通过QC1ESD工程师的评估。

5.5.6.4悬挂式离子风机应悬挂在离工作台面60厘米的高度，（特殊工位可例外，但须经ESD工程师认可）离子风机的出风口不能有异物阻挡。

离子风机的平衡电压保持在±50V以内，消电时间（从1000V中和到100V）应小于10秒（高风速）。

5.5.6.5台式离子风机应放置在工作台上且离工作区域30~45厘米左右，以保证有足够的覆盖范围和快速的静电消除。

离子风机的出风口不能有异物阻挡。

离子风机的平衡电压保持在±50V以内，消电时间（从1000V中和到100V）应小于3秒（高风速）。

5.5.6.6离子棒应悬挂在合适的工作高度以保证除静电效果，离子棒的平衡电压应保持在±50V以内，消电时间（从1000V中和到100V）应小于60秒。

5.5.6.7QC1ESD工程师应每6个月做一次离子风机平衡电压和消电时间测试，填写《除静电离子发生器测试记录表》，对不符合要求的离子风机，应及时处理。

5.5.7其它防静电物料及相关要求

5.5.7.1不在上面列出来的物料则按一般防静电要求，表面电阻在1E4~1E11欧姆内，系统电阻在1E4~1E11欧姆内。

5.5.7.2特殊情况下，如果找不到合适的供应商，又经过ESD专员的评估，确认不会对产品构成ESD隐患的情况下，可以引入表面电阻或体积电阻小于1E11欧姆的物料。

6人体防静电系统

6.1防静电腕带

6.1.1直接接触ESDS的任何人员都应按规定佩带防静电腕带（俗称静电带），禁止使用无线防静电腕带。

6.1.2防静电腕带的接触线应内置一个1兆欧姆电阻，以保证人体安全以及快速泻放静电，防静电腕带的腕带应是导电性的，表面电阻应小于1E3欧姆。

同时应保证防静电腕带与人体皮肤有良好的接触，系统电阻应小于35兆欧姆，且使用鳄鱼夹或插头座可靠的连接在ESD线上。

6.1.3应每天一次测量防静电腕带的系统电阻，由拉长填写《静电带检查记录表》，检查不合格时应交由修理检修，不能修复时，应及时更换。

6.2防静电鞋/防静电鞋套

6.2.1所有进入防静电区域的人员都应穿用防静电鞋/鞋套，防静电鞋/鞋套的使用要保证鞋的系统电阻在1E5~3.5E7欧姆范围内。

应每天一次测量防静电鞋/鞋套的系统电阻，由拉长填写《防静电鞋/鞋套检查记录表》，检查不合格时应及时更换。

6.3防静电工作服

6.3.1防静电工作服包括——防静电连体衣、防静电大褂、防静电工鞋（鞋套）和工帽，防静电工作服要求使用导电网格防静电绸制作，制造要求应符合GB12014之规定，其各部分之间应存在电气连续性。

工作服的设计应能保持在穿着状态下与人体皮肤直接或间接地接触。

6.3.2进入防静电区域时，防静电工作服、工鞋和工帽要求穿着整齐，全部纽扣（拉链）要系好（拉完全），头发必须包在工帽内，不能有外露。

6.3.3不同使用人员之防静电工作服按颜色区分：

人员

普通工作区域及10万级洁净室

万级洁净室

生产部作业员工

白色的防静电服（帽）

黄色防静电连体服帽

品质部员工

粉红色的防静电服（帽）

粉红色防静电连体服帽

工程人员

蓝色的防静电服（帽）

蓝色防静电连体服帽

生产管理人员

白色的防静电服（帽）

白色防静电连体服帽

外来人员

白色的防静电服（帽）

白色防静电连体服帽

6.3.4购买防静电工衣时应满足ESD技术指标：

表面电阻值（1E5欧姆~1E10欧姆）。

6.3.5生产部应每半年做一次防静电工衣表面电阻测试，测试方法见附录6，并填写《防静电工衣表面电阻测试记录表》，对于不符合指标要求的防静电工衣，予以更换。

6.4防静电手套/指套

6.4.1由消散性材料制成，人体穿戴对地电阻在1E5~1E11欧姆范围，摩擦电压小于50V。

6.5人体综合接地测试系统

要求

手腕带-人体

工鞋-人体

指示灯

电阻下限

7.5E5欧姆

1E5欧姆

电阻上限

3.5E7欧姆

3.5E7欧姆

电阻在范围以内

绿灯

电阻不在范围以内

红灯

6.5.1每个进入防静电区域的人员须进行人体综合接地效果测试，如果亮红灯，则表明测试失败，应更换工鞋/鞋套或手腕带重新进行测试并通知相关人员。

6.6人员防静电一般要求

6.6.1要求进入防静电区的人员尽量穿着棉质衣物，尽量避免穿着尼龙等合成纤维制品，以免产生强电场导致静电感应放电现象。

6.6.2在防静电工作区内不得大声喧哗，坐立姿势端正，避免不必要的走动，以及不必要的大幅度身体运动，如弯腰、晃动手臂等，在防静电工作区内如有必要走动，应缓步行走，禁止奔跑。

6.6.3接触静电敏感器件及组件之前应戴好防静电腕带，防静电腕带再接入防静电地线系统，要保证腕带与皮肤接触良好，在戴腕带处皮肤上不得涂护肤油、防冻油等绝缘物质。

6.6.4手持静电敏感器件及组件时应避免接触其导电（金属管脚）部分，操作过程中应尽量减少对静电敏感器件及组件的接触次数。

按需要逐一取用，不得一次倒出一堆散乱地放在工作台面上，确需暂时叠放时必须用防静电材料隔离开。

6.6.5外来人员参观，必须有本公司人员全程陪同，按参观路线行进，不得随意走动，不得进入机器外围的斑马线地标，更不得随意触摸产品。

7职责

7.1生产经理、课长、组长等管理人员，职责包括：

7.1.1负责做好物料、作业员、及其他进出防静电工作区人员及物品的出入管理，确保其按ESD要求正确着装，

7.1.2确保作业员及在防静电工作区内的人员正确使用ESD设备，包括防静电工衣、防静电工帽、防静电工鞋、防静电腕带、防静电台垫、离子风机、ESD料盒和ESD地板等；

7.1.3确保无关人员不接触产品，不对产品产生静电释放；

7.1.4对怀疑是静电损伤的产品，需要保存样品并报告给相应的部门作失效分析；

7.1.5定期检查防静电工衣、工鞋、腕带的ESD品质，如有品质异常，及时向采购部提出采购申请更换；

7.1.6每天检查ESD设备、台垫等的接地状况（目视），确保接地线正确的连接到ESD总线上；

7.1.7每六个月要求服务组对防静电地板进行打蜡。

7.2ESD工程师/技术员，职责包括：

7.2.1统筹全厂的ESD控制，定期对生产线的静电防护水平做出评估，并给出改善意见，提高其静电防护水平；

7.2.2负责寻找新的防静电用品的供应商，评估新购的防静电用品的性能；

7.2.3协助人力资源部进行ESD培训；

7.2.4监督各个部门的ESD管理情况，及时反映ESD状况；

7.2.5对生产线的静电损伤样品作失效分析，解决工序中的ESD情况；

7.2.6定期检查除静电离子发生器的性能，确保其正常工作；

7.2.7负责对打蜡后的地板进行测量。

7.2.8责成行政部保证车间内的相对空气湿度在各车间规定的范围内；

7.2.9定期检查ESD总线的接地状况，确保其状况良好；

7.2.10定期使用专用的防静电地板蜡水对防静电地板打蜡，打完蜡后进行电阻测试。

7.3人力资源部，职责包括：

7.3.1负责对新进厂的员工进行初步的防静电知识培训；

7.3.2定期对员工进行防静电知识培训，并进行培训的再审核。

7.4开发部，职责包括：

7.4.1开发部在设计新产品时应考虑到器件的静电敏感度，尽量选用具有最大静电抗扰度的元件；

7.4.2在新产品设计阶段应尽量引入防静电网络到电路设计中去，以保护产品里面的静电敏感元件；

7.4.3要求供应商提供元器件静电敏感度的级别。

包括人体模型（HBM）、机器模型（MM）和带电器件模型（CDM）（应列明何种标准）；

7.4.4做好SEF（包括防静电指标，partnumber等）给QC部，供QC部抽测来料。

7.5品质部，职责包括：

7.5.1确定ESDS敏感级别，对成品进行静电放电模拟测试，确认静电敏感度；

7.5.2根据SEF负责抽测、监控静电敏感器件来料和静电敏感器件产品的品质，如发现异常，应及时反馈信息给ESD工程师或相应的部门。

7.6设备工程师/技术员，职责包括：

7.6.1定期检查防静电设备，确保其可以正常使用，包括防静电台垫、地垫、防静电容器、运输工具和其它辅助工具的表面电阻和系统电阻测试等；

7.6.2定期检查台垫和机器的接地状况，确保接地良好。

7.7货仓职责包括：

7.7.1负责货仓防静电措施的维护和管理。

7.7.2定期通知ESD工程师进行检测使用中的防静电用具。

8培训

8.1对所有可能接触或接近ESDS的人员，必须进行相关的ESD知识培训，并加以教育与训练，使之树立有效的ESD防护观念。

培训的有效期为一年。

人力资源部应填写《员工防静电知识培训考核记录表》。

8.2防静电培训的内容包括：

8.2.1静电学基础和静电损害

8.2.2静电性能测试

8.2.3防静电的标示与包装

8.2.4防静电控制

8.2.5防静电设备的使用和检测（相关人员）

9采购

9.1所有防静电用品的采购均须要按照附录16《防静电制品采购流程图》执行

10记录

序号

记录名称

责任部门

测量周期

保存期限

1

防静电地板电阻测试记录表

设备部

6个月抽测

6个月

2

防静电台垫电阻测试记录表

品质部

6个月抽测

6个月

3

静电带检查记录表

生产部

每天

1个月

4

防静电包装袋容器电阻测试记录表

品质部

每一批抽测

6个月

5

防静电周转容器电阻测试纪录表

品质部

6个月抽测

6个月

6

除静电离子发生器测试记录表

品质部

6个月抽测

6个月

7

防静电手套指套电阻测试记录表

品质部

每一批抽测

6个月

8

防静电运输工具存放架电阻测试记录表

品质部

6个月抽测

6个月

9

防静电工衣表面电阻测试记录表

生产部

6个月抽测

6个月

10

员工防静电知识培训考核纪录表

人力资源部

一年

一年

11

防静电辅料电阻测试记录表

品质部

6个月抽测

6个月

12

防静电鞋鞋套测试记录表

生产部

每天

6个月

13

厂房接地电阻测试纪录表

设备部

1个月抽测

一年

14

工作台地线接地电阻测试纪录表

品质部

3个月抽测

1个月

15

防静电椅子电阻测试记录表

品质部

6个月抽测

6个月

11附录a

附录1：

《ESDS元器件分类》

I级：

（0V~1999V）

序号

元器件类别

条件及说明

1

微波器件

包括肖特基二极管，点接触二极管，频率大于1GHz的二极管

2

分立MOS场效应管

包括VWOS及VDMOS等等

3

表面声波（SAW）器件

4

结型场效应管

5

电荷耦合器件

6

精密稳压二极管

7

运算放大器

包括双极型工艺及MOS工艺

8

超高速集成电路

包括ECL、HCMOS、FAST等工艺

9

其他集成电路

包括CMOS、PMOS、NMOS、TTL等

10

薄膜电阻器

11

混合电路

使用I级静电敏感元器件组装的混合电路

12

可控硅

TA=100℃TO≤0.175A

II级：

（2000V~3999V）

序号

元器件类别

条件及说明

1

分立MOS场效应管

包括VMOS、VDMOS等

2

结型场效应晶体管

3

运算放大器

包括双极工艺和MOS工艺

4

超高速集成电路

5

其他集成电路

包括CMOS、PMOS、NMOS、TTL等

6

精密电阻网络

包括ECL、HCMOS、FAST等工艺

7

混合电路

使用II级静电敏感元器件组装的混合电路

8

低功率双极工艺晶体管

PT<100mW,IC<100mA

附录2：

《防静电地板表面电阻/系统电阻测试方法》

1.按下图确定防静电地板测试点

每一个方格均代表一块地板，测试用的电极一个放在中间的地板上，另外一个电极依次放在此地板相对角的四块地板上面，测量其表面电阻值。

2.随机抽样测试点不少于20个区域，按下图所示，每点测量地板4点表面电阻值，并记录数据

3.随机抽样测试点不少于5个区域，按下图所示测量地板系统电阻，并记录数据

附录3：

《防静电台垫/地垫电阻测试方法》

1.按下图所示，每张台垫/地垫测量2组表面电阻值，并记录数据

2.按下图所示，每张台垫/地垫测量2组对地电阻值，并记录数据

附录4：

《防静电容器电阻测试方法》

1.按下图所示，测量容器表面电阻值，并记录数据

2.按下图所示，测量容器体积电阻值，并记录数据

附录5：

《防静电运输工具/存放架测试方法》

1.按下图所示，测量运转车/存放架电阻值，并记录数据

附录6：

《防静电工衣表面电阻测试方法》

1.将防静电工衣平坦展开放置在光滑的绝缘电阻大于1E12欧姆的平板表面上

2.测试用两电极应顺着导电丝放置

3.按上图所示，测量3个测试点：

同片测试（裤腰以上一点对裤腰以下一点）；袖对腰下部位测试（袖对裤腰以下一点）（对于连体服，用袖对脚测试取代袖对腰测试）；袖对袖测试。

其中连体服需要加测鞋套的对地电阻。

附录7：

《普通防静电材料电阻测试方法》

1．对于新引入的物料要求随机抽样至少三个样品，每一个样品至少随机测量三次。

材料的测试纪录应包括表面电阻和体积电阻。

2．表面电阻的测试方法：

将材料放置在一个光滑、平整、洁净，且表面绝缘电阻大于1E12欧姆的台面。

在材料表面放置两个测试电极（30cm是建议值，如果材料小于这个尺寸，则电极放在两对角面上），如下图所示:

3．体积电阻的测试方法：

将材料