吸气剂泵.ppt
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吸气剂泵.ppt
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吸气剂泵nn吸气剂泵是一种化学吸附泵。
它能吸气剂泵是一种化学吸附泵。
它能吸收各种活性气体,如氢、氧、氮、吸收各种活性气体,如氢、氧、氮、二氧化碳、一氧化碳等。
吸气剂材二氧化碳、一氧化碳等。
吸气剂材料与活性气体发生化学反应,料与活性气体发生化学反应,生成生成极低蒸气压的固体化合物,从而永极低蒸气压的固体化合物,从而永久性地抽除真空系统中的各种活性久性地抽除真空系统中的各种活性气体。
氢气是通过溶解到吸气剂体气体。
氢气是通过溶解到吸气剂体内形成固溶体而被抽除的,但可以内形成固溶体而被抽除的,但可以再生吸气剂组件,释放出氢气,恢再生吸气剂组件,释放出氢气,恢复抽速和抽气容量。
特别适用于超复抽速和抽气容量。
特别适用于超高真空(高真空(UHVUHV)系统。
)系统。
吸气剂泵的应用获得超高和极高真空的系统可以用NEG和离子泵、低温泵联合抽气达到指标;利用NEG只能抽除活性气体,不能抽除惰性气体的特点,用于惰性气体的纯化;广泛使用于以下领域:
粒子加速器和同步辐射光源、核聚变装置、空间技术、表面科学、材料科学分析、检测和计量设备、原子钟、便携式真空仪器等。
吸气泵特性:
无油、无震动、无电磁场;对活性气体抽速高、抽气容量大,但不能抽除惰性气体和甲烷等气体;抽速和压强无关,和SIP联合抽气极限压强可达到10-10Pa;抽速体积比高,抽速价格比高;激活后室温抽气无需电源;重量轻,更换NEG泵芯方便;可以根据实际要求设计泵的结构形状和抽速大小。
吸气剂(getter)在烧结过程中吸收或化合烧结气氛中对最终产品有害的物质的材料。
吸气机理:
蒸散吸气表面吸附内部扩散nn非蒸散型吸气剂(NonEvaporableGetter,NEG)泵:
高真空泵,以合金充当吸气剂与活性气体结合,获得和维持系统的真空度。
nn具有对活性气体抽速大、清洁无油、无活动部件、无振动、室温抽气等一系列优点,近年来已在光源、高能粒子加速器、电子器件、空间科学等领域得到广泛应用。
不同气体抽气速率分析nnNEG抽纯氢时,抽速随吸气量的增加下降很慢;由于混合气体中CO的存在,NEG对H2的抽速随H2吸气量的增加下降很快。
不同气体抽气速率分析nn混合气中的H2对NEG吸收CO的行为影响极小。
不同气体抽气速率分析nnNEGNEG对对COCO抽速大于对抽速大于对H2H2抽速。
抽速。
nnNEGNEG的抽速主要取决于表的抽速主要取决于表面的粘着系数及抽气通道面的粘着系数及抽气通道的流导。
表面粘着系数越的流导。
表面粘着系数越大大,受抽气通道的流导影响受抽气通道的流导影响也就越大。
也就越大。
COCO比比H2H2活性大活性大,CO,CO在在NEGNEG上的粘着系数上的粘着系数大于大于H2H2。
因此。
因此,NEG,NEG对对COCO的抽速要大于的抽速要大于H2H2。
nnNEGNEG对混合气体的总抽速对混合气体的总抽速介于两个分抽速之间介于两个分抽速之间,而不而不是两个分抽速之和是两个分抽速之和nn结论
(1)在一个相当大的吸气量范围内,NEG对纯H2的抽速随H2吸气量的增加下降很慢,混合气体中的NEG对H2的抽速由于受CO影响,随H2吸气量的增加而下降明显。
(2)NEG对CO的抽速不受H2影响。
因此,在纯气或混合气中NEG对CO抽速随CO吸气量变化曲线基本相同。
(3)NEG对混合气的总抽速不等于对各类气体的分抽速之和。
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- 吸气