防静电检测规范.docx
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防静电检测规范
防静电检测规范
1、目的:
4
2、适用范围:
4
3、定义4
4、职责4
5、程序4
6、相关文件和记录14
7、附录14
5、程序
5.1测试方法:
5.1.1测试环境:
环境温度23±5℃,相对湿度40%~70%。
5.1.2测试仪器使用方法
5.1.2.1静电场测试仪(TREK520)
静电场测试仪是感应式的,该仪器表面有2个按键:
“POWER”、“RANGE/ZERO”、“HOLD”,按“POWER”键开机/关机。
该仪器有两个量程:
0~2KV、0~20KV,可通过按“RANGE/ZERO”键进行切换。
当显示3位小数时,量程范围为0~2KV;当显示2位小数时,量程范围为0~20KV。
每次测试时都应进行读数清零工作,方法为:
将sensor对准一个已知的电压为0V的导体上,按“RANGE/ZERO”键至少3秒钟。
为保证测试值的准确性,测试时人体必须戴静电环或穿防静电鞋。
测试前,先将待测物放置在绝缘的物体上(如干燥的硬纸板),手持干燥并干净的棉布以每分钟120次的速度,施加适当的压力(2~4千克力),单向摩擦待测物表面20次,然后用仪器测量电压(senor距离被测物表面的距离为2.54CM及两个红灯重合在一起),将显示的读数乘以1000即得实际的电压值,例如读数为“.018”,则实际电压为18V。
5.1.2.2表面电阻测试仪(ACL-385)
ACL-385为简易表面电阻测试仪,该仪器两个测试电极间距根据标准不变,测试时将被测物放于绝缘的平面上,表面电阻测试仪平置在材料表面上,手指施加适当压力(2~4KG)于测试按钮上,使测试电极与材料表面接触良好,指示灯发亮档即为读数。
如果被测材料为软性材料,可施加4~6kg的压力进行测试。
5.1.2.3接地电阻测试仪(EMI-20780)
EMI-20780可以测试点对点电阻(RTT),接地电阻(RTG)、体积电阻,和表面电阻率,配套两点测试电极可测量微小物体表面电阻.测试范围为:
1x103Ω-1012Ω;测试电压为:
10V或100V+/-5%;测试精度为:
+/-10%;测试时间为15秒;测试时:
把2条连接线分别插入测试表上端的“A”插口,注意白色连接线和黑色连接线的插头不同,不要插错.然后连接线另一端分别插入点对点重锤电极;按下“D”测试按键15秒,这时LCD屏幕按顺序显示如下:
●华氏温度
●摄氏温度
●相对湿度
●电阻值
●所采用的测试电压
电阻测试结果由“B”显示屏和“C”冥数LED指示灯共同显示,例如电阻值为175,000,000Ω,显示如下:
1.75显示在“B”显示屏上,同时“C”LED指示灯的8会亮,表示测试结果为:
1.75x108Ω。
如果LCD显示屏显示“1____”,说明超过该仪器测试范围。
测试电压为10V或100V,按下“F”键,采用10V电压测试,如果不按下“F”键,仪器会根据不同测试材料自动选择测试电压.阻值在105Ω以下时采用10V测试电压,阻值在106Ω以上时采用100V测试电压
5.1.2.4人体综合电阻测试(腕带测试、鞋测试)
测试步骤:
1.员工进入车间前应首先确认静电手腕佩戴正确,静电鞋鞋底干净,穿戴正确。
左右两脚分别踏上静电测试仪的左右两个金属脚踏板,然后将防静电手腕插入静电测试仪面板的手环插口。
2.扫描工卡后,电脑会显示你的身份资料,同时仪器的LCD面板提示“请您按下测试键”。
手指按下测试键,(确保手指与按钮金属键的完全接触)开始测试,3秒后仪器将测试完毕。
3.如果受测对象合格,仪器“嘟”长响一声,同时仪器的LCD面板显示“通过”,如果测试不合格,仪器“嘟嘟嘟嘟…”短响8声,同时仪器的LCD面板显示“不通过”。
不通过时可连续测试4次,若还是不合格,员工立即到IPQA处更换。
4.IPQA应维持测试秩序并监督每位员工的测试过程。
5.1.2.5接地桩电阻测试仪(ZC29B型号)
1.沿被测接地极E’使电位探棒P’和电流探棒C’依直线彼此相距20米,且电位探棒P’系在E’和C’之间。
2.E端钮接5m导线,P端钮接20m导线,C端钮接40m导线。
3.将仪表放置水平后检查检流计是否指零,否则可将零位调正器调节零位。
4.将“位率标度”置于最大倍率慢慢转动发动的摇把,同时旋动电位器刻度盘,使检流计指针指“0”。
5.当检流计的指针接近平衡时,加快发电机摇柄转速,使其达到每分钟150转。
再转支电位器刻度盘,使检流计平衡,此时刻度盘的读数乘以倍率档即为被测接地电阻数值。
6.当刻度盘读数小于1时应将倍率开关置于较小倍率,重新调整刻度盘以得正确读数。
7.当测量小于1欧的接地电阻时,应将2个E端的联结片打开,分别用导线联接到被测接地体上,以消除测量时联接导线电阻的附加误差,操作步骤同上。
8.当检流计的灵敏度过高时,可将二根探棒插入土壤中浅一些,当检流计灵敏度过低时,可沿探棒注水使其湿润。
5.1.2.6离子风机测试仪(3M-718/3M-718A)
1、打开测试仪(718)电源,将测试仪(718)金属板一端与静电产生仪(718A)金属端相连接,同时按下静电产生仪“+”按钮和测试仪“HOLD”键,测试仪显静电值应大于“+1000V”。
2、在离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上),再看测试仪显示值应大于-40V小于+40V。
3、打开测试仪(718)电源,将测试仪(718)金属板一端与静电产生仪(718A)金属端相连接,同时按下静电产生仪“-”按钮和测试仪“HOLD”键,测试仪显静电值应小于“-1000V”。
4、离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上),再看测试仪显示值应大于-40V小于+40V。
5、在检测表中记录显示值,注明检测日期,调节后的值。
注意:
要求平衡电压为-40≤平衡电压≤40V
5.1.2.7手腕监视器电容测试仪(SAML1800):
测试时,开关旋转至“1801FALL”档,SALM1801S-I的LED变成红色,蜂鸣器发出报警声响;旋转开关至“1801PASS”档,SALM1801S-I的LED变成绿灯,蜂鸣器停止发出报警声响。
此为合格。
5.2测试项目
5.2.1静电接地极电阻测试
每半年使用ZC29B进行一次测试,要求静电接地极对地电阻小于1Ω,将测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.2设备、仪器接地电阻测试
每月由ESD专员或指定人员用万用表测试设备仪器接地电阻一次(新建工位或工位调整后要立即测试)测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
1.设备仪器接地电阻:
设备仪器外壳与静电接地线之间的阻抗要小于10Ω。
测试频率:
每月。
2.电烙铁:
对使用中的电烙铁进行接地电阻测试,要求烙铁头与静电接地线之间的阻抗要小于10Ω。
测试频率:
每天。
5.2.3静电接地线接地电阻:
每半年由厂务或指定人员对静电接地线的接地电阻进行检测。
要求每条线都要测。
测试方法:
在每条静电接地线上任意找一个点,将万用表的一端连在这个点上,另一端插在电源地线孔里。
要求电阻值小于10Ω。
测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.4防静电工服
PE工程师或指定人员,每季度对员工的工衣用EMI-20780测试仪进行测试,要求表面电阻1×105Ω≤RS<1×109Ω(上衣做点对点、袖对袖、片对片测试,裤子做裤脚对裤脚、点对点测试),“每次全检,测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
如检测到不合格的情况,在此防静电服的胸口处盖上“此防静电服不合格”章,并邮件通知该员工经理让其当天之内到库房更换。
IPQA监督有无不合格静电服流入产线。
5.2.5防静电工作台
PE工程师或指定人员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次,要求表面电阻在1×105~1×109欧姆和接地电阻在1×106~1×109欧姆。
每块工作台面测试3个点,将测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.6地板
由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试表面电阻一次,要求地板的表面电阻在1*105~1*109Ω之间。
每100平米地面测5个点(对于面积小于100平方米的独立区域如:
IQC、RD实验室、来料仓,每个区域要测5个点)。
测试时两个电极距离为0.6米~1米,测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
同时由厂务或指定人员每半年测试地板的接地电阻一次,接地电阻在1*105-1*109Ω之间。
测试方法:
将EMI-20780的一个电极放在地板上,另一端插入电源地线插孔里。
每100平米测试1个点。
测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.7物流器具(如:
周转箱、周转车、货架)
5.2.7.1由ESD专员负责每半年使用TREK520和EMI-20780测试仪测试一次,要求摩擦电压小于100V,周转箱表面电阻:
1×103Ω-1×109Ω,每次每种器具抽检,每1条线抽检10Pcs,如果有1Pcs不合格则全检。
测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.7.2由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试一次,要求周转车,货架表面电阻小于1×109Ω,接地电阻在1×103Ω-1×109Ω之间。
测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.8腕带、工鞋性能检测
操作类员工每日进入车间前要进行手环、工鞋测试,测试结果由电脑自动保存,产线专门人员进行存档管理;在车间办公的职员,每日上班进入车间前要进行工鞋测试,对于有可能接触产品的职员(如生产主管、工艺、设备、质控人员)每日上班也必须使用人体综合电阻测试仪,测试记录由电脑自动保存。
如有测试不合格者需立即到IPQA处更换。
测试合格后方能进入产线。
腕带系统电阻:
800KΩ—10MΩ;工鞋系统电阻:
100KΩ--35MΩ。
5.2.9静电场检测
由ESD专员负责每季度使用静电场测试仪(TREK520)对车间各工位的静电场强进行一次测试,并将测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
测试要求:
距工作台30CM范围内,静电值要小于+/-100V
5.2.10离子风机测试
由ESD专员负责每季度使用3M-718与3M-718A对车间的离子风机性能进行测试,测试内容包括“平衡电压”、“消电时间”,并将结果记录在《ESD点检记录表格》中
测试要求:
测试仪器距离离子风扇正前方30厘米;合格标准:
1000V降到100V的消电时间小于3秒,平衡电压绝对值小于40V。
注:
CPM要分别在正、负两种充电状态下测试
5.2.11防静电工作椅子
由ESD专员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次,要求表面电阻和接地电阻都在1×105-1×109欧姆之间,。
将测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.12传送带测试
由ESD专员负责每季度使用表面阻抗测试仪测试一次,要求表面电阻在1×105-1×109欧姆之间。
每条传送带测试3个点,将测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.13手腕监视器测试
由ESD专员负责每半年使用SAML1800校正仪对手腕监视器的电容进行一次。
测试不合格立即更换。
5.3防静电包装材料的测试
5.3.1认证测试:
首先要求供应商送样给PE确认,同时附上产品的相关参数说明书或产品相关性能指标认定书,经PE验证合格后方可采购。
防静电性能测试环境要求:
温度23±5℃,湿度15±5%
测试项目
材料
表面电阻
摩擦电压
屏蔽泄漏电压
高温环境模拟测试
ESD标志
PE袋
√
√
√
√
吸塑盒、物料盒
√
√
√
√
汽珠袋、泡棉
√
√
有机保护屏
√
√
√
缓冲材料
√
√
屏蔽袋
√
√
√
√
√
防静电胶带
√
√
√
√
防静电防尘布
√
√
打“√”为必测项目
高温测试:
在温度为60℃,湿度为15%的干燥箱内烘烤12天或在温度为70℃,湿度为15%
的干燥箱内烘烤8天,然后放于室温存放24小时再进行表面电阻、摩擦电压测试
5.3.2接收测试
PE部门对所有无物料代码的ESD辅料进行来料检验。
不定期全检。
检验要求如下:
防静电性能测试环境要求:
温度23±5℃,湿度40~70%
测试项目
材料
表面电阻
摩擦电压
屏蔽泄漏电压
高温环境模拟测试
ESD标志
PE袋
√
√
√
吸塑盒、物料盒
√
√
√
√
汽珠袋、泡棉
√
√
有机保护屏
√
√
。
缓冲材料
√
√
。
防静电胶带
√
√
√
√
屏蔽袋
√
√
√
√
防静电防尘布
√
√
5.3.3点检测试
由ESD小组人员每个月使用表面阻抗测试仪对各条线的防静电袋、自制容器、防静电胶、有机玻璃屏进行抽检。
要求表面电阻在1×104-1×1011欧姆之间,摩擦电压小于100V。
每条线测试5Pcs,若有3Pcs不合格则整条线全检并更换相应物料。
以上这些物料必须有防静电标识才可投入产线使用,一经IPQA发现将没收,找替代品或者做防静电加工。
5.4各类防静电物品、设施检测指标
测试项目
摩擦电压
表面电阻
系统电阻
防静电工服、工帽
1×105Ω≤RS<1×109Ω
工鞋
1×105Ω≤Rs<1×109Ω
0.1×106Ω≤R<3.5×107Ω
腕带
内面<1×105Ω外面>1×107Ω
0.8×106Ω≤R<3.5×107Ω
防静电地板
0.1×106Ω≤RS<1×109Ω
0.1×106Ω≤R<1×109Ω
工作台
1×106Ω≤RS<1×109Ω
0.75×106Ω≤R<1×109Ω
周转箱、周转盒、托盘、料盒、防静电刷子、防静电镊子、防静电推车
<100V
1×103Ω≤RS<1×109Ω
传送带
1×106Ω≤RS<1×109Ω
防静电工作椅
1×105Ω 1×106Ω PE袋 <100V 1×104Ω≤RS<1×1011Ω 吸塑盒 <100V 1×104Ω≤RS<1×1011Ω 汽珠袋、泡棉 <100V 1×104Ω≤RS<1×1011Ω 缓冲材料 <100V 1×104Ω≤RS<1×1011Ω 屏蔽型防静电袋 <100V 1×104Ω≤RS<1×1011Ω 防静电胶带 <100V 1×104Ω≤RS<1×1011Ω 防静电有机玻璃板 <100V 1×104Ω≤RS<1×1011Ω 防静电防尘布、手套、指套 <100V 1×104Ω≤RS<1×1011Ω 注: 1.屏蔽袋要加测“屏蔽泄漏电压”,要求小于100V; 2.为便于包装材料的接收检验,选择包材时可根据实际情况选择表面电阻及体电阻在1×105Ω~1×1010Ω的材料。 3.对产线自制物料盒需要经过PE认证检验后并贴上防静电标志才能使用。 4.胶带要加测剥离电压小于100V才能接收。 6、 7、附录—各类点检项目明细 点检项目 频率 表面电阻 接地电阻 摩擦电压 备注 烙铁头 每天 —— 10Ω —— 设备仪器 每月 —— 10Ω —— 工作台面 每月 1×105Ω--1×109Ω 1×106Ω--1×109Ω —— 防静电椅 每月 1×105Ω--1×109Ω 1×105Ω--1×109Ω —— 防静电袋、胶带、自制器具、有机玻璃屏 每月 1×104Ω--1×1011Ω —— <100V 每次月度稽核时ESD组员负责检验。 条线抽检5Pcs,3Pcs不合格则整条线全检并更换。 防静电服 季度 1×105Ω--1×109Ω —— —— 地板 季度 1×105Ω--1×109Ω —— —— 推车/货架 季度 <1×109Ω 1×103Ω--1×109Ω —— 静电场 季度 —— —— —— 静电场电压<+/-100V 离子风机 季度 —— —— —— 耗散时间<3S,平衡电压绝对值<±40V 传送带 季度 1×105Ω--1×109Ω —— —— 静电接地极 半年 —— 1Ω —— 静电接地线 半年 —— 10Ω —— 厂务人员测试 地板 半年 —— 1×105Ω--1×109Ω —— 厂务人员测试 周转箱/盒 半年 1×103Ω--1×109Ω —— <100V 每条线抽检10Pcs,有1个不合格则全检并更换 手腕监视器 半年 —— —— —— 校正仪进行校正
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