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北京大学信息科学技术学院
北京大学信息科学技术学院“等离子加强型原子层淀积系统”招标采买项目
招标文件
编号:
2011[09]
北京大学实验室与设备管理部
二〇一一年一月二十一日
招标编号:
2011[09]北京大学实验室与设备管理部
第一部分投标邀请2
第二部分招标说明4
第三部分技术要求7
第四部分设备明细表7
第五部分技术规格偏离表11
第六部分原厂受权书12
开标一览表13
.1.
招标编号:
2011[09]北京大学实验室与设备管理部
第一部分
招标邀请
通知日期:
2011年1月21日
项目名称:
北京大学信息科学技术学院“等离子加强型原子层淀积系统”招标采买项目
招标编号:
2011[09]
招标机构名称:
北京大学实验室与设备管理部
地
址:
北京市海淀区颐和园路
5号北京大学(红1楼、红2楼之间横楼二层
5225室)
邮
编:
100871
电
话:
62751412;传真:
62765115
联
系人:
石铄
张宇波张洁
北京大学实验室与设备管理部(以下简称“招标机构”)详细承办北京大学信息科学技术学院“等离子加强型原子层淀积系统”招标采买项目的招标采买事宜,邀请合格招标人就以下货物和相关服务提交密封招标。
合格招标人均可在招标机构获得进一步的信息和查阅招标文件。
1.招标内容
1.1招标货物名称:
等离子加强型原子层淀积系统
1.2数目及技术规格要求:
详见标书
1.3交货地点:
北京国都机场
2.合格招标人一定吻合《中华人民共和国政府采买法》第二十二条之规定。
3.招标文件购买时间和方法:
2011年1月27日9:
00至16:
00时在招标机构(北京大学西门内红1楼、
红2楼之间横楼二层5225室)购买招标文件。
标书售价200元人民币,售后不退。
4.招标人可从北京大学招标通知栏或实验室与设备管理部网站下载本次招标的电子版标书
(),以供参照。
5.接受招标时间、招标截止时间及开标时间
5.1接受招标及招标截止时间:
所有招标书应于2011年3月10日9:
00前递交到上述购买标书地点,
逾期恕不接受。
5.2开标时间:
兹定于2011年3月10日9:
00整在北京大学实验室与设备管理部后院会议室进行开标、
评标工作。
6.招标细则
招标内容
最后用户:
北京大学信息科学技术学院
.2.
招标编号:
2011[09]北京大学实验室与设备管理部
设备名称:
等离子加强型原子层淀积系统
招口号言:
招标文件第四部分-SummarySheetofGoodsDescription(设备明细表)及第五部
分-SpecificationandDeviationForm(技术规格偏离表)以中英文比较应标,其余相关招标文件以中文应标。
招标钱币:
美元
交货时间:
合同签订后四个月内
付款条件:
招标机构接受以下付款方式:
:
100%不行撤消即期信誉证,此中90%货款凭装运单据支
付,10%尾款凭用户署名确认且加盖单位公章的查收报告支付。
标书文件要求
招标设备及价格明细表(SummarySheetofGoodsDescription)
技术规格应答及偏离表(SpecificationandDeviationForm
)(请对技术标书内容逐项应答并
填补详细指标)
技术资料及样根源件
原厂商拜托书原件(合用于招标人为贸易公司者)
资格证明文件
包含:
营业执照(复印件);法人资格证明或法人代表受权书;税务登记证明(复印件);银行
资信证明;近三年的销售业绩及招标人以为有必需供应的相关证明文件。
文件数目:
一式陆份(一份正本五份副本),开标一览表(SUMMARYSHEETFORBIDOPENING)正本
壹份(请单独封于独立信封内供开标用)
7.招标地点和开标地点:
北京大学实验室与设备管理部会议室
8.中标结果将在公示期满后以书面形式通知中标商。
9.中标服务费按差额定律累进法计算收取,详细为:
100
万元人民币以下部分按
1%收取;
100
-500万元人民币部分按
0.8%收取;
500
万元以上人民币部分按
0.6%收取。
10.条款解说:
本招标文件内容的解说权属于北京大学实验室与设备管理部。
.3.
招标编号:
2011[09]北京大学实验室与设备管理部
第二部分招标说明
一.招标要求
1.北京大学实验室与设备管理部(以下简称“招标机构”)详细承办北京大学信息科学技术学院“等
离子加强型原子层淀积系统”招标采买项目的招标采买事宜(BidNo.2011[09])。
2.招标人应认真阅读招标文件(包含技术规格)的所有条则。
3.
招标人所供应货物的技术规格应吻合或超出标书中技术规格的要求。
假如招标人不供应“技术规格
偏离表”说明偏离状况,则将以为供应的货物完好吻合招标文件的要求。
4.
招标产品是用新技术制造的,应相当或超出招标文件规定的技术规格,
招标产品应拥有相当或更好
的性能、靠谱性和耐用性。
5.招标时提交的产品样本一定是“原件”,而不是“复制件”。
6.交货地点为北京国都机场。
7.交货时间在标书的技术规格部分中已注明。
在招标文件中,招标人一定说明在授标此后完成交货的时间,经两方赞同的交货期从合同奏效之日算起。
8.除了在技术规格中提出的要求外,在合同奏效后60天以内,为使用户做好准备工作,卖方应给最
终用户邮寄一套所供产品的全套技术资料,此中包含操作手册(或应用指南)、维修手册等,另一
套完好的技术资料应随货物包装发运,这些花费应包含在该品目的基本报价中。
9.在合同奏效后30天内应将设备安装前对实验室的详细要求邮寄给最后用户。
10.设备应包含一套标准附件和专用工具,招标人按惯例供应的标准附件和工具的数目,应在招标中说明,并报单价。
这些花费应包含在该品目的基本价格以内。
11.对招标品目,除了标准附件外招标人还可供应保证设备正常运转的附件,专用工具,它们是该品目的增补部分,需分别报单价和总价,在评标时其总价应计入该品目的基本价格以内。
12.在技术规格中提出了咨询的附件、备件、专用工具和耗费品,需分别报单价和总价,一旦接受,其花费将记入合同。
13.除了技术规格中买方提出的要求以外,招标人可以介绍某些附件、备件和耗费品,它们是供选购的,应分别报单价和总价,一旦接受,其花费将计入合同。
14.维修及技术服务要求详见标书技术需求部分。
15.招标文件一式六份(一正五副),包含以下文件:
招标设备及价格明细表
(SummarySheetofGoodsDescription)
技术规格应答及偏离表
(SpecificationandDeviationForm)(请对技术标书内容逐项应答并填补详细
.4.
招标编号:
2011[09]北京大学实验室与设备管理部
指标)
15.3技术资料包含样根源件
15.4原厂商拜托书原件(合用于招标人为贸易公司者)
15.5资格证明文件
15.6开标一览表(请单独封于独立信封内供开标用)
16.招标文件有效期为自开标之日起的60天。
招标钱币为美元。
接收招标文件截止时间为2011年3月
10日9:
00时。
招标商务必在此时间前把密封招标文件送到,逾期恕不接受。
邮编:
100871;电话:
;传真:
联系人:
石铄、张宇波、张洁。
二.评标原则
1.初步审察及确立能否基本响应:
1.1审察招标人所投的标能否完好无误,如单价和总价间有进出,则以单价为准,修正总价;如文字与
数字间有进出,则以文字金额为准;
1.2确立标书能否对招标文件做出了基本响应,即能否吻合招标文件的所有条款,有没有重要偏离。
重要偏离系指本质上影响招标人供应货物数目、质量或交付期,也许指本质性地与招标文件不一致,限制了招标方的权益或招标人的义务;
1.3对标的响应性的确定是依照招标文件自己的内容,而不受外因的影响;
1.4确立为未做出基本响应的标将予消除,招标人不可以在开标以后,经过改正不符之处而使其招标变成能响应。
对于招标文件中其实不构成重要偏离的任何渺小的不正规、不一致或错落不齐,可以忽视。
2.评标方法:
本次招标采纳综合评分法,是指在最大限度地满足招标文件本质性要求前提下,依照招标文件中规定的各项要素进行综合评审后,以评标总得分最高的招标人作为中标候选供应商也许中标供应商的评标方法。
3.评分要素所占权重:
3.1招标报价:
30%;
3.2综合商务:
10%,考虑招标商资质状况;考虑招标人供货方案;考虑招标人近3年来做过的与
本项目同样或相似的项目业绩等;
3.3技术性能:
50%,考虑招标商的设计方案、招标产品的配置、性能等;
3.4售后服务:
10%;售后服务,技术支持(包含工艺开发),培训等;
4.标的澄清:
为有助于对评标文件进行审察、议论和比较,我们可以请招标人澄清其招标内容。
提出澄清的要求
.5.
招标编号:
2011[09]北京大学实验室与设备管理部
与答复均应是书面的,其实不得改变招标价格或本质内容。
5.资格后审:
5.1此次评标中,我们将对综合得分最高招标人和紧接此后的拥有评估价的另一招标人进行要点资格后
审;
5.2确立所选择的招标人能否有资格满意地推行合同,同时对紧接此后的拥有评估价的另一招标人也要
求做出近似的确定;
5.3做出确准时将考虑招标人的财务、技术、服务和生产能力。
审察是以招标人提交的招标人资格证明
文件及我们以为必需的其余资料为基础进行的;
5.4假如确立综合得分最高的招标人不吻合推行合同资格,其标将被消除,随即考虑第二家。
6.授与合同的准则:
招标机构不承诺最低价中标,将把合同授与成功的招标人,即所投的标被认定是能最大限度的响应、综合得分最高且是经资格后审后以为能满意地推行合同的招标人。
7.废标:
遇到以下状况之一时,可以废标:
7.1所有招标厂商均不具备招标资格;
7.2所有招标本质上都有不吻合招标文件要求;
7.3缺少有效的竞争;
7.4招标价格超出估量,招标人无力支付。
三.评标程序
1.从开标到赞同授与合同为止,这一段工作称为评标。
2.开标后,业务组整理招标文件及相关商务资料,登记发散给评标人进行评标。
3.评标人检查招标文件的完好性。
招标文件应包含以下文件:
3.1招标设备及价格明细表(SummarySheetofGoodsDescription)
3.2技术规格应答及偏离表(SpecificationandDeviationForm)
3.3技术资料(样根源件)
3.4原厂商拜托书原件(合用于招标人为代理商或贸易公司)
3.5资格证明文件
3.6开标一览表(请单独封于独立信封内供开标用)
.6.
招标编号:
2011[09]北京大学实验室与设备管理部
第三部分技术要求
1.设备名称:
等离子加强型原子层淀积系统(PEALD)
2.设备数目:
1套
3.设备用途说明:
该设备用以支持课题组的相关科研项目,包含新结构小尺寸器件、高迁徙率晶体管和新式储存
器件的研究。
4.整体要求:
可以在Si、Ge及III-V化合物半导体上低温生长高质量的高K栅介质、淀积保型性优异的金
属栅资料、拥有等离子体源对衬底进行原位表面钝化、过渡金属氧化物的新式储存介质的淀积、能
够精确控制淀积资料的平均性和混淆浓度、精确控制二元和三元金属化合物的组分及导电性。
而且
有解决不一样工艺间的交织污染的方案。
5.工作条件
5.1.电源:
电压380V
电流:
25A
频率:
50Hz
环境温度:
0°C-40°C
湿度:
10%-90%
工作环境:
微电子工艺线超净间
6.详细技术要求及参数
配置名称
技术参数及规格要求
操作系统及软件
需基于windows操作系统的专用控制软件
可控制系统所有硬件设备,能及时监测并记录系统所有硬件设备的运
行状况和数据
软件能供应丰富的工艺程序命令,
用户只需填写使用工艺配方的参数
能对今后升级的软件模块简单地集成在整个控制软件中
能全自动化程度运转,并能及时监控
电脑上的软件在显示器上可以显示系统运转中的各个参数,
控制设备
的各个单元包含水源、气源、等离子体参数、加热温度等
应带系统的自我保护措施,防范不测断电断水等对设备造成损害
反应腔和衬底台
基片尺寸:
8英寸(可向下兼容小尺寸基片)
基片加热温度:
25~400oC
合理腔体设计以保证ALD薄膜平均生长
易于安置三维及不规则样品
包含前驱体源、等离子体源和水分子源的接进口
.7.
招标编号:
2011[09]北京大学实验室与设备管理部
测试接口:
有椭偏仪、质谱仪、光能谱仪质等接口
有快速脉冲ALD
阀门
要求严格控制,无交织污染问题
拥有独立的气源输运管道
腔体可以实行等离子体干法冲刷
可卸腔体内衬用于喷砂冲刷
可实行Al2O3掩膜办理
工艺源
前驱体源:
数目:
3路(可升级)
等离子体源:
远端端等离子发生器:
ICPremotepulsedplasmaradicalgenerator
数目:
6路
等离子源拥有高活性基团密度(
~1013cm-3)
离子能量可控(到达基片上
5~50eV)
快速饱和的设计(等离子体饱和时间
<5秒)
可供应多种等离子气体源:
O2、N2、H2、Ar、NH3、SF6等
水分子源:
1路
真空系统
附加真空泵,可以快速实现真空并实现气体的快速切换
水冷系统
温度:
可依据工艺调理
淀积薄膜要求
平均性:
4英寸<1%;6英寸<2%;8英寸<3%
组分控制:
精确控制化合物组分比及导电性
可淀积资料:
二元氧化物:
Al2O3,HfO2,La2O3,SiO2,TiO2,ZrO2,Ta2O5,Y2O3等
金属氮化物:
TiN,TaN
等
单质金属:
Pt等
三元氧化物:
LaAlO,HfSiO,HfO:
Al
等
薄膜氧量控制:
有充氮手套箱选件
7.附件及零配件:
需附加设备所需的软件等相关附件供应相关工艺配方
有特制手套箱装置用于前驱体源接换
8.技术服务
8.1.供货及安装:
招标方免费对所有货物负责安装、调试。
供应成交货物齐全的资料(包含使用说明、安装手册、维修手册、专用工具等)。
8.2.招标方应具备靠谱的服务能力,北京有固定的维修点或维修工程师,专业的售后服务工程师,
保修期内非人为要素损坏不收取零零件及其余花费,并供应终生售后服务。
接到用户维修邀请后,
24小时内电话响应,若需现场维修,2个工作日现场响应。
8.3.设备查收合格后供应12个月保修服务,设备保修期满前1个月,卖方免费负责一次全面的检
.8.
招标编号:
2011[09]北京大学实验室与设备管理部
查、保护,并写出正式报告,如发现潜伏问题,应负责消除。
8.4可供应工艺保障:
保障Al2O3,HfO2,TiN,TaN,Pt,SiO2,Ta2O5等薄膜的高质量淀积,保修期2年
以及供应售后服务和相关技术支持(包含相关工艺配方开发)
8.5在设备保修期结束后,保证可以供应及时的售后服务,优惠的备件供应。
设备供应商供应终生维
修,并保证保修期满后不低于十五年的零配件及耗费品的供应
8.6设备厂商招标的设备型号及主要功能,一定在全世界范围内已具备必定的用户基础,不接受正在开
发或没有正式商业化的产品或选件。
8.7若用户(购买方)购买该仪器后需要增添其余附件,应享受与该仪器主机同样的折扣。
8.8软件升级:
在硬件支持的前提下,免费供应软件升级服务。
9.安装、调试与查收
招标方负责在客户所在地的设备安装、调试、培训。
9.2设备调试、查收须依照相关国际标准和规范及招标方中标时所供应的技术要求进行。
安装培训内容及方式:
安装培训由招标方资深工程师履行,时间许多于5个工作日。
其地点为
用户指定安装现场,培训内容包含:
仪器工作原理及仪器的操作、软件操作及应用、工艺配方及调
试技术、平常保护事宜。
培训结束后两方签订查收报告。
10.包装要求及运输方式
10.1.应使用崭新坚固之木箱(标准出口包装),合适于空运及陆运等长途运输方式,合适天气变化;抗震、防潮、防雨、防锈、防冻。
招标商对付任何因为不妥包装或防范措施不利而以致的商品损坏、
损失、锈蚀、花费增添等结果负责。
10.2.运输方式:
空运
11.交货期
合同签订后四个月内交货
12.交货地点
北京国都机场
.9.
招标编号:
2011[09]北京大学实验室与设备管理部
第四部分设备明细表
SummarySheetofGoodsDescription
BidNo.2011[09]
ItemNo.CommoditySpecificationsQtyUnitUnitPriceAmount
序号品名技术规格数目单位单价总价
SignatureofBidder:
___________________________
招标商署名:
.10.
招标编号:
2011[09]北京大学实验室与设备管理部
第五部分技术规格偏离表
SpecificationandDeviationForm
BidNo.2011[09]
ItemNo.CommoditySpecificationsrequiredSpecificationsofferedDeviation
序号品名标书要求技术规格招标应答技术规格偏离说明
SignatureofBidder:
_______________________
招标商署名:
.11.
招标编号:
2011[09]北京大学实验室与设备管理部
第六部分原厂受权书
参加招标的代理商或贸易公司须拥有制造商针对本次招标的受权,或在有效期内的长久受权。
进口品牌原厂受权书可参照以下格式:
LETTEROFAUTHORITYFROMMANUFACTURER
___________________(NameofManufacturer)
ToWhomitMayConcern:
We________________
(Name
ofManufacturer),amanufacturer
duly
organized
underthelaws
of
_____________
(Name
of
Country)
andhavingitsprincipal
place
of
business
at
______________________________
(AddressofManufacturer),
hereby
make,
constituteand
appoint
acompany
duly
organized
underthelaws
of
andhavingitsprincipalplaceof
businessat
tobeourtrueand
lawfulattorneyinfacttodothefollowing:
(1)TorepresentandbindusintheP.R.ChinafortheBuyer'sInvitationfor
BidNo.
2011[09]
forsupplyoftheGoodsproposedinthebidwhichwemanufactureor
produce.
(2)That,asamanufacturer,webindourselvesasco-makerofthebidandarejointlyandseverallyresponsible
forthecomplianceofthesaidbid.
(3)Thatweherebygiveandgranttothesaidfullpowerand
authoritytodoandperformallandeveryactandthingwhatsoever,requisite,necessaryandpropertobedoneinthepremises,asfullytoallintentsandpurposesaswemightorcoulddo,withfullpowerof
substitutionandrevocation,herebyratifyingandconfirmingallthator
itsdulyauthorizedrepresentativeshalllawfullydo,orc
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
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