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长度计量基础知识培训讲义
第一章长度计量概述
第一节长度计量的任务和内容
长度计量(又称几何量计量)是一项历史悠久、基础性很强的技术。
长度计量及人们生活、生产活动、国民经济各个部门、科学技术各个领域有着十分密切的联系。
在日常生活中,做衣服要用尺子量体裁衣,盖房要丈量土地;在工业生产中,长度计量是保证加工零件的尺寸和形状符合设计要求,保证装配的零部件和整机达到质量指标的技术手段;科学的进步更离不开长度计量,许多科学实验往往是通过长度计量来获得实验结果的。
如研究宏观世界,测量天体间距离;研究微观世界,测量分子结构等。
长度计量的重要任务是:
研究和确定长度单位;研究建立和保存长度计量基准、标准;建立长度各项计量检定系统,组织量值传递,开展计量检定及修理,以保证量值的准确一致;研究新的长度计量测量方法和手段,确定测量准确度;应用新的科学技术理论,开拓长度计量的新领域。
长度计量按其测量对象来分,可包括以下几个方面的内容:
(1)长度尺寸——如端度、轴孔直径、坐标尺寸、线纹间尺寸、箱体结构尺寸等;
(2)角度一-如平面角(斜率等)、圆分度、空间位置角(如两轴交错的夹角);锥度等;
(3)表面形状和位置——平面度、直线度、圆度、垂直度、平行度等;
(4)表面粗糙度(微观不平度)和波度;
(5)齿轮、螺纹、花键及各类加工刀具等的各种工程参量。
第二节长度计量的单位
几何量表征物体的大小、长短、形状和位置,其基本参量是长度和角度。
长度的单位是“米”(m)。
角度量分为平面角和立体角,其单位分别为弧度(tad)和球面度(sr)。
“米”的倍数单位和分数单位按SI规定,是在“米”前加十进制词头构成。
如常用单位有毫米(mm)、微米(μm)、千米(km)等。
平面角在日常应用中,保留使用以度(°)、[角]分(′)、[角]秒(″)为单位的60进制。
它们及弧度的换算关系为1°(π/180)rad.
1′=(π/10800)rad,1″(π/648000)rad。
“米”定义为:
“光在真空中于(1/299792458)s时间间隔内所经路径的长度”。
国际计量委员会推荐了三种实现这个新定义的方法,即时间法、频率法和辐射波长法。
它们都是建立在真空中光速c为确定值(即c=299792458m/s)的基础上,而当前主要实现途径是以辐射稳定波长的激光为基准。
长度计量单位的特点:
(1)基本性长度单位“米”在SI中被列为第一个基本单位,许多导出单位都含有长度单位因子,如:
速度(m/s)、密度(kg/m3)、磁场强度(A/m)等,因此不少导出单位计量基准的准确度在很大程度上取决于长度单位量值的准确度。
(2)多维性物体的形状和位置都可以用坐标空间(如三维空间)中的若干点表示。
但用若干点的坐标值来表示某些物体的几何特性会十分烦琐,所以,为了简化,在几何量中除了使用长度和角度两个基本参量外,还必须引入一些工程参量,如锥度、渐开线、螺旋线等。
这些参量都是多维的复合参量,又称之为工程参量。
(3)广泛性几何量是客观世界中最广泛的物质形态,绝大部分物理量(如力学、热学、电磁学的一些量等)都是以几何量信息的形式进行定量描述的。
第三节长度计量的基准、标准、量值传递及计量检定系统表
计量工作的基本任务之一,就是保证量值的准确一致。
为此,必须做好两项工作:
一是建立国家基准(包括国家[计量]基准、副[计量)基准。
工作[计量]基准)和计量标准,这是统一量值的物质基础;二是为了使“标准长度单位量值”能够准确地传递到生产、科研工作中去,必须在管理上和技术上建立全国统一的科学的量值传递体系。
(1)长度计量基准
长度计量基准是用以复现和保存计量单位米的量值,经国家鉴定并批准,作为统一全国量值最高依据的计量器具。
为了实现全国量值的统一,必须建立用以复现、保存单位量值的基准器,这就是国家计量基准器。
国家计量基准器是体现计量单位量值、具有现代科学技术所能达到的最高准确度的计量器具,经国家检定合格后,作为全国计量单位量值的最高依据。
因此作为国家计量基准器应包含下列内容:
第一、国家计量基准器是根据物理量基本单位的定义复现并保存单位量值的计量器具,
第二,国家计量基准器应具有高稳定性、可复制性和可比较性,它所复现的单位量值应具有现代科学技术所能达到的最高准确度;
第三、国家计量基准器的职能是统一全国计量单位量值的最高依据;
第四、国家计量基准器的建立应按一定的法制程序进行,即待建立的国家计量基准器应接受国家鉴定,经鉴定合格后由国家正式批准使用,因此国家计量基准器具有法制性效能。
早在六十年代初,我国就已建立了复现米定义的氪—86光波波长装置,其复现精度达到了±1×10-8的国际水平。
这一长度基准的建立,为我国长度量值的统一奠定了物质基础。
为了保证国家摹准经常处于良好的工作状态,不致因使用频繁而降低应有精度或受损坏,从而影响担负统一全国量值的职能,还必须建立副基准器和工作基准器。
副基准器是通过直接或间接及国家基准器比对来确定其量值的计量器具。
我国已建立的长度副基准器有氪-86的其它谱线、汞-198光源、镉-114光源及He-Ne激光光源。
工作基准器是由国家基准或副基准校准或比对用于检定标准的一种计量器具.长度工作基准一般为实物基准,包括线纹和端度(量块)两类。
线纹工作基准有1m石英基准尺,1-1000mm的殷钢基准线纹尺及1—200mm的石英基准线纹尺.量块工作基准是0.5—100mm基准组量块。
工作基准及副基准,国家基准的校准、比对需要计量仪器,如量块激光干涉仪、柯氏光波干涉仪、氦氖激光干涉比长仪等,这种用于基准比对的标准计量仪器称为基准仪器。
角度的基准器是多齿分度台、多面棱体和度盘检定装置,由于圆分度具有封闭性,所以它们既是实物基准同时又具有自然基准的特征。
(2)长度计量标准
长度计量标准是按国家规定的准确度等级,实际用于长度检定工作的计量器具。
如端度实物标准器是量块。
量块按使用要求,其精度分为1,2,3,4,5,等。
线纹标准器有标准线纹米尺、200mm短标尺等。
角度实物标准是端面角度标准——正多面棱体,角度块;
线纹角度标准——如刻线度盘、圆光栅、编码盘等;
机械分度标准——如多齿分度盘、分度台等;
电子测角标准——主要是环行激光器。
平面度的实物标准器是平面平晶。
粗糙度的实物标准器是标准单刻线样板、标准多刻线样板和磨削样板。
实际工作中,还采用了工程计量标准,如渐开线标准样板、螺旋线样板等等。
(3)量值传递
有了国家基准、计量标准这一统一量值的物质基础,我国建立了从长度基准到计量标准,最后到生产、科研中使用的各种工作计量器具、工件尺寸、形状的量值传递体系。
量值传递被定义为:
通过对计量器具的检定或校准,将国家基准所复现的计量单位量值通过各等级计量标准传递到工作计量器具,以保证对被测对象所测得的量值的准确和一致。
为什么要进行量值传递呢?
我们知道任何计量器具,由于加工、装配等原因,都存在不同程度的误差。
新制造的计量器具,由于设计、加工、装配等各种原因引起的误差是否在允许范围内,必须用一定等级的计量标准来检定,判断其是否合格;使用过程中的计量标准器和工作计量器具,由于使用中的磨损、环境影响或使用不当等原因,也会引起其计量参数的变化,也需要定期地采用一定等级的计量标准对其进行检定,根据检定结果作出继续使用、进行修理或报废的判断;经过修理的计量标准器或工作计量器具是否达到计量参数指标的要求,也须用相应的计量标准进行检定。
否则,由于各级计量标准器不标准(不合格)、工作计量器具合格及否便无从谈起,就不能保证对被测对象所测得的量值的准确和一致,就必然造成量值传递的混乱。
由此可见,建立量值传递体系是统一计量器具量值的重要手段,是保证计量结果准确可靠的基础,是保证全国量值的准确可靠而采取的具体措施和技术保证。
(4)国家计量检定系统表
国家计量检定系统表(简称检定系统)被定义为:
国家对计量基准到各等级的计量标准直至工作计量器具的检定程序所作的技术规定。
检定系统由文字和框图构成,内容包括:
基准、各等级计量标准、工作计量器具的名称、测量范围、准确度(或不确定度或允许误差)和检定的方法等。
制定检定系统的根本目的,是为了保证工作计量器具具备应有的准确度。
在此基础上,考虑量值传递的合理性。
即制定检定系统时,各等级计量标准的准确度要求,必须从工作计量器具的准确度要求开始,由下向上地逐级确定。
检定系统基本上是按各类计量器具(如:
量块、线纹尺、表面粗糙度参数值样板等)分别制定的。
在我国,每项国家计量基准对应一种检定系统。
第四节长度计量仪器的分类
长度计量仪器种类十分繁多,一般按仪器的工作原理或仪器的用途对其进行分类。
一、按仪器工作原理分类
按工作原理分类,实际上是一种以被测量的原始信号转换原理的不同而命名不同仪器的分类方法,可分以下四类:
1.机械式仪器
用机械方法实现原始信号转换的仪器.如游标卡尺、百分衷、千分尺、各类机械式测微仪、机械式万能测齿仪及各类机械式检定器等.这种根据机械转换传动原理设计的仪器结构简单,性能稳定,使用维护方便,但缺点是精度不高,不能实现自动测量。
游标卡尺、百分表、千分尺等计量器具习惯上统称为通用量具,其实这是及量具的定义不相符的。
在这里我们将此类计量器具一律称为机械式仪器。
2.光学仪器
用光学的方法,实现对原始信号的转换放大的仪器.根据仪器中光学系统的不同,又可分为:
(1)望远系统的光学仪器,如准直仪(又称平行光管)、自准直仪和以望远光学系统为主的光学计等;
(2)显微系统的光学仪器,如工具显微镜,测长机、测长仪、光学分度头等;
(3)投影系统的光学仪器,如各种不同用途的大小投影仪;
(4)光干涉原理的光学仪器,在这一类仪器中有复现长度基准光波的干涉仪和各种用途的干涉仪,如绝对光波干涉仪、立式接触干涉仪。
干涉显微镜、干涉小孔测量仪等。
由于这些仪器用光波作基准,测量精度很高,在长度量值传递中起着十分重要的作用;
(5)光栅,激光原理的数显式光学仪器,这类仪器是利用近一、二十年内发展起来的光栅、激光新技术,应用光的干涉、衍射原理及光,机,电的结合,实现了测量的数字化及自动化的高精度计量仪器,如光栅式三坐标测量机、光栅式光学分度头、激光比长仪、激光量块干涉仪等。
总之,由于光学仪器具有精度高、性能稳定、可以实现接触测量及非接触式测量,相对测量及绝对测量等特点,再有光学仪器品种规格比较配套、结构设计及仪器附件考虑周全且能适应相当广泛的测量对象,所以在整个长度计量仪器中,光学仪器一直占有十分重要的地位。
3.气动仪器
以压缩空气为介质,用气源系统的状态(如流量或压力)变化来实现对原始信号的转换的仪器,包括压力式气动仪器和流量式气动仪器两类,气动仪器可实现多参数测量,非接触测量、远距离测量和实现测量的自动化,并具有结构简单、使用维护方便、能够对某些其它原理的仪器难于测量的部位进行测量(如处于深孔部位的参数)等优点,气动仪器的缺点是示值范围小,示值稳定时间长,对不同参数、不同测量范围的测量需要不同的测量头。
4.电动仪器
是以把被测原始信号转变为电量来实现长度测量的仪器。
由于电动仪器的基本工作原理是将微小位移量转换成电路中电感或电容参数的变化或是接触点的通断,所以电动仪器有电接触式、电感式和电容式等三种基本形式。
电动仪器的特点是精度高,易于实现自动测量,数字显示和对被测参数进行各种数学运算。
二、按仪器用途分类
按用途分类是一种根据测量对象的特征而分类的方法,可分以下几类:
1.端度仪器
端度仪器主要包括各类测微仪、光学计、测长仪,测长机和接触式干涉仪。
这类仪器主要测量量块、量棒等端面长度,球形、圆柱形工件的直径,板形工件的厚度、平行度,在配备适当附件后,还能测量环规的直径、内外螺纹的中径和螺距等。
2.线纹比较仪
线纹比较仪主要是用来测量刻线之间的距离,省级以下的计量部门用得较多的是阿贝线纹比较仪。
3.角度仪器
角度仪器主要包括各类分度头、测角仪以及小角度测量仪(如自准直仪、小角度检定仪等)。
主要用途是测量角度和对圆周进行分度。
4.表面粗糙度仪器
主要包括表面粗糙度显微镜、干涉显微镜及电动轮廓仪。
5.平直度仪器
主要包括各类平面干涉仪、平直仪,自准直仪等。
这类仪器的主要测量对象是平晶、平板的平面度,各种平尺、导轨的直线度。
平直仪和自准直仪配上适当附件还可测量表面相对位置的垂直度和平行度。
6.齿轮仪器
这是一类测量齿轮各参数的专用仪器,省级以下计量部门常用的有万能测齿仪,各类渐开线齿形检查仪。
7.通用仪器
这类仪器主要指工具显微镜、坐标测量仪、投影仪等,是通用性较大、测量范围较广的仪器,它们备有较多的附件,可以达到一机多用的目的,在计量部门和工厂企业中应用较广。
除以上这些仪器外,还有测量孔径,螺纹、丝杠、圆度等多种专用仪器。
随着科技水平的不断发展和提高,目前长度类测量仪器发展更新很快,并在向光电数字一体化、智能化、高精度、高速度的方向迅速发展。
第五节长度计量器具的维护保养
长度计量用的量具和仪器,大多都是精度要求高、使用条件要求严格、且价格昂贵。
为了保证量值传递和计量检定、检测的准确度,除按计量检定规程定期检定外,还必须十分注意对量具和仪器的维护、保养。
由于长度计量器具大部分是由金属零件和光学零件组成,所以主要应做好以下几项工作。
1.防止锈蚀
(1)工作室(计量室)除温度要求外,要保持相应湿度,一般以50%~60%为宜。
(2)检定操作过程中,不得用手直接触摸标准器及计量器具的各工作面,应戴上细纱手套进行操作。
(3)标准器、计量器具使用后,应及时清洗。
清洗后用洁净绸布擦拭干净。
标准器、仪器测量附件(如量块、测量刀、三针等)如不涂油,应收入有干燥剂的密封容器里保存。
短时间(一、两日)不使用的计量仪器各工作面可涂上无水变压器油;标准器、量仪如较长时间不用,应涂上纯净无水的凡士林油,油层不宜太厚。
(4)防锈油的酸碱度应符合规定要求。
一般宜采用中性油脂。
2.清洗
对标准器、计量器具必须按时地进行擦洗、保养,它是防止锈蚀、划伤、霉斑的重要措施。
清洗金属表面可使用航空汽油(1级),纯度99.5%的无水酒精或乙醚。
(清洗一般通用量具亦可使用工业汽油)。
擦洗材料应使用脱脂棉、白细布、绸布或高级卫生纸。
清洗光学玻璃零仟可使用航空汽油(1级)、无水酒精或乙醚、无水酒精及乙醚的混合
溶剂,擦洗材料应使用脱脂长丝棉(为防止在光学零件上沾上绒毛)和脱脂纱布。
3.防止划痕
由于计量室、实验室空气中不可避免地含有灰尘,被测件被测表面缺陷(毛刺、划痕、碰伤)等,被测件、标准器、量仪在使用中不小心发生碰撞等原因.都可能导致在测量中因相对运动而产生划痕。
为此,在检测前对要使用的标准器、计量器具、被测零件进行目测检查,在零件被测面、标准器工作面、计量器具工作面(台),不得有目视可见的缺陷,并应将测量面、被测面擦拭干净。
检测过程中要细心操作,避免碰撞和跌落。
4.润滑
对计量器具中的相对运动表面,应定期力口注仪表油,以使各部分相对运动自如,不致产生阻滞现象。
5.预防变形
对一些大尺寸标准器(标准线纹尺、大量块、大干分尺校对杆等)、大尺寸量具(大卡尺等)、大尺寸待检零件(丝杠、细长件等)等,要注意由于其自重且支承点位置不正确所引起的变形。
为此,计量检定前要正确确定其支承点,在不使用时应放置在专用盒里或悬吊起来。
6.其他
计量仪器要有相对固定位置,不要经常搬动,尤其是光学计量仪器或大型仪器设备;若必须搬运时,要严防震动;要远离磁场、震动源、热源等;要有严格的管理制度和定期检查制度。
第六节长度计量技术的发展
当前,长度计量技术总的发展趋势是由中小量程向大量程,由一般分辨率向高分辨率,由静态向动态,由目测、手动、笔算向自动检测、记录、数据处理等方向发展,计算机技术的应用又使长度计量技术朝着实时控制和人工智能化方向发展。
从工业生产的发展历史可以看出,机械加工精度的每一步提高总是及长度测量技术的发展水平紧密相关、相辅相成的。
一种新的更高准确度的计量器具,总是伴随着工业发展的需求而产生,而一种新的更高准确度的计量器具的产生,也促进加工精度的进一步提高。
从游标卡尺产生的时代,即加工精度为0.1mm量级的时代,经过了加工精度为0.01mm
量级(千分尺类量具产生)的时代、加工精度为0.00l删量级(测微比较仪类产生)的时代,加工精度为0.0001(0.1μm)(圆度仪等产生)的时代……到目前加工精度为0.00lμm,(高精度表面粗糙度测量仪产生)的时代,长度计量伴随着工业的发展在不断提其相对测量的准确度。
从整个长度计量领域来看,无论是对宇宙空间的星球间距离计量还是微观世界极小尺寸的计量,都在不断探求提高其相对测量的准确度。
如:
目前测量地球到月球表面之间的距离,其不确定度仅为几厘米;微观计量方面,高度细分的光干涉和电容式测微仪已可达到10pm(0.00001μm)量级的分辨率,比原子直径还小一个量级。
目前,我国长度计量为提高测量准确度、检测速度,减少误判率,实现大量程高分辨率、动态、自动化测量,改变以往的陈旧的测量方式,广泛采用激光、光栅、光电、传感以及计算机控制、处理等技术改造传统仪器设备、研制新的测量仪器。
我国长度计量在建立基准、标准方面,在仪器研制和某些高精度零部件的测试方面、有
些项目已达到或接近国际先进水平。
尤其在近年来,长度计量技术在许多方面有较快的发展。
(1)不断应用新技术,如光电、光栅;激光、激光干涉、全息电视图像分析等新技术。
(2)采用电子技术不断改进测量仪器的瞄准、读数及定位系统的精度。
在通用量具和仪器上广泛应用了数字显示技术。
(3)采用计算机技术除采集和处理测量数据外,正在向实时控制和人工智能方向发展:
如:
带计算机的三坐标测量机,既可模拟手动操作进行自动测量,又可根据被测零件的状况选择布置测量点的方案。
(4)实施在线测量。
将加工及测量组成一个统一的系统,对加工过程中工艺参数的变化进行连续监控测量,使之保持在预定的最佳范围内。
第二章长度测量基础
第一节测量的基本概念
一、有关测量的名词
在实际工作中,人们经常会用到有关测量的名词,如测量、计量、测试、检定、检验、比对、校准等。
它们有相近的含义,但又有所区别,分别适用于不同的场合,但都是计量学所表现的具体方式。
测量——以确定量值为目的的一组操作。
(测量有时也称计量)
计量——实现单位统一、量值准确可靠的活动。
测试——是指具有试验性质的测量。
可理解为试验和测量的全过程。
检验——是判断被测物理量是否合格(在规定范围内)的过程,通常不一定要求测出具体值。
(检验的主要对象是工件)
检定——查明和确认计量器具是否符合法定要求的程序,它包括检查、加标记和(或)出具检定证书。
校准——在规定条件下,为确定测量仪器或测量系统所指示的量值,或实物量具或参考物质所代表的量值,及对应的由标准所复现的量值之间关系的一组操作。
注:
(1)校准结果既可给出被测量的示值,又可确定示值的修正值;
(2)校准也可确定其他计量特性,如影响量的作用;
(3)校准结果可以记录在校准证书或校准报告中。
比对——在规定条件下,对相同准确度等级的同种计量基准、标准或工作计量器具之间的量值进行的比较。
二、测量过程
测量是为了确定被测对象的量值而进行实验(操作)的过程。
更具体地讲,就是将被测量及一个作为测量单位的标准量进行比较,以求其比较值的过程。
测量过程可以用式(2-1)表示,即
L=K·E(2-1)
式中:
L——被测量;
E——长度单位(标准量);
K——比值。
式(2—1)称为测量的基本方程式,它说明被测量L等于所采用的长度单位E及测量的比值K的乘积。
例如E为mm,K为150,则被测长度为150mm。
这里所指的长度是广义的,它包括长度值(线值)、角度,表面粗糙度及表面形状、位置等各种形式的几何量。
任何一个测量过程必须有被测对象和所采用的计量单位。
此外还有二者是如何进行比较和比较后它的准确程度如何的问题,即测量的方法和测量的准确度问题。
为此,一个完整的测量过程应由下述四部分组成,即测量过程四要素。
1.测量对象和被测量
几何量测量的对象是多种多样的,不同的测量对象有不同的被测量。
如量块被测量是中心长度和平面度、平面平行性;螺纹零件的被测量有螺距、中径、牙型半角等;孔和轴的主要被测量是直径;箱体零件的被测量有长、宽、高以及孔间距等;复杂的零件还有复合的被测量,如丝杠和滚刀的螺旋线误差等。
因此对于被测对象的特性,被测参数的定义等都必须加以研究和熟悉,以便进行测量。
2.测量单位和标准量
几何量测量常用的长度单位有米(m)、毫米(mm)、微米(μm),平面角度单位为度、[角]分、[角]秒。
在测量过程中,测量单位是以物质形式来体现的。
能体现测量单位和标准量的物质形式有:
光波波长、量块、线纹尺、多面棱体、圆分度盘等。
3.测量方法
测量方法是指完成测量工作所采用的方法、计量器具以及测量条件的总和。
在JJF1001—1998《通用计量术语及定义》中测量方法被定义为:
“进行测量时所用的,按类别叙述的一组操作逻辑次序。
”
拟定测量方法时,需要根据被测对象和被测量的特点(形状、大小、准确度要求等)确定标准量、选择量具或仪器;确定测量条件(如温度和其他环境要求等);拟定测量方案,工件定位,读数和瞄准方式等。
基本的测量方法有:
直接测量和间接测量,绝对测量和相对测量,接触测量和非接触测量,单项测量和综合测量,手动测量和自动测量,工序测量和终结测量,主动测量(在线测量)和被动测量等。
4.测量准确度
测量准确度是指测量结果及真值的一致程度。
由于在测量过程中不可避免地总会存在测量误差,使测量结果的可靠程序受到一定的影响,测量误差大,则测量结果的可靠性低;测量误差小,则测量结果的可靠性高。
第二节测量误差的基本概念
一、测量误差存在的普遍性及研究误差的意义
在进行测量时,人们总是希望得到真实的被测量值,但由于人的感觉器官的某种局限性和测量设备、测量方法的不完善以及受外界条件的种种限制,我们无法获得完全准确的被测量值,即使在相同条件下对同一被测的量作多次重复测量,所得各测得值也往往是不一致的、分散的,这种测量结果的不一致性在数值上的表现就是误差.随着科学技术的逐步发展,人们对客观世界认识的不断深入,测量误差可以逐渐减小,但仍不可避免,没有误差的测量是永远不可能存在的.测量误差存在的这种普遍性、必然性已为长期的测量实践所证实。
因此,任何测量都只能得到在某种程度上接近于被测量值的近似结果.
计量工作是一项确保计量单位的统一和量值准确一致的重要工作,因此对歪曲测量结果、影响量值统一的测量误差的学习和研究具有十分重要的意义.具体地说,研究误差的意义体现在以下三方面:
1.正确认识误差的性质,分析误差产生的原因,以消除和减小误差;
2.正确处理测量数据,合理计算所得结果,以便在一定条件下得到更接近于真实值的最佳结果;
3.正确组织实验和测量,合理设计仪器或合理选用仪器和选定测量方法,以便在最经挤的条件下得到理想的结果;
二、测量误差的定义
测量误差被定义为测量结果及被测量的真值之间的差,即
测量误差=测量结果-被测量的真值
如测量某三角形内角之和,测量结果为179°59′55″,则测量误差为
179°59′55″-180°=-5″
被测量的真值是指一个量在被观测瞬间的条件下,被测量本身所具有的真实大小。
真值是客观
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