光学镜片及镀膜.docx
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光学镜片及镀膜
1.光学镜片参数
\类型
参数、、
反射镜
聚焦镜(平凸
及双凸)
介质反射镜(对
角度敏感,一般
有45°或0°)
金属反射镜
材料
光学玻璃
JGS1、K9、Pyrex
等
JGS1、K9、
Pyrex等
K9、熔融石英
膜层材料
激光介质膜
铝、铜、银、
金
曲率半径及尺
寸根据需要做
波长范围(nm)
325-1550
200-2000
尺寸(直径、厚度)(mm)
根据需要订
做
根据需要订做
根据需要订
做
反射率
17-90%
>99%
面精度
"4
"4-2/2
"4
平行度〃
10〃
V3'
V3'
损伤阈值
注:
参见附录1—常见镀膜类型
直径
10mm
波长范围
1064&532
焦距
10mm
镀膜
防反射膜(增透膜)
注:
平凸镜,直径为10mm,半径为2mm,焦距为96.5,材料K9平凹镜,直径为
10mm,半径为2mm,焦距为85mm,材料K
平凸镜,直径为8mm,厚度2.5mm,f=8.8mm
平凸镜,直径为8mm,厚度2.5mm,f=11.1mm
平凸镜,直径为8mm,厚度2.5mm,f=13.7mm
平凸镜,直径为8mm,厚度2.5mm,f=18.8
现公司使用聚焦镜主要在定焦治疗头上,一部分部分包含在导光臂里,由供应商全套
提供,上面列出的的主要用在其它定焦治疗头上。
3•常见镀膜类型
(1)反射膜
类型
波长范围
(nm)
反射率(%)
抗磨损能力
价
格
说明
紫外增强铝
膜
250-600
Ravg>85
中等
低
通过氟化镁膜增强紫外
反射率
金属膜
铝膜
300-10000
Ravg>90
低
低
不可用常见方法擦
保护铝膜
400-700
700-10000
Ravg>88
Ravg>90
中等
低
增强铝膜
可见光-红
外线
Ravg>92
Ravg>96
中等
低
多层介质膜增强可见和
近红外反射率
保护银膜
480-10000
Ravg>95
中等
低
可见和红外反射能力强
于铝膜
金膜
650-20000
Ravg>96
中等
中等
不可用常用方法擦拭
保护金膜
650-20000
Ravg>96
中等
中等
近红外到红外反射能力
略强于保护银膜
介质膜
带宽介质膜
488-694
700-950
Rs,Rp>
98-99
高
高
在带宽范围内有非常咼
的反射率
激光介质膜
325-1550
Rs,Rp>99
高
高
在窄带范围内有很咼的
反射率
高能量准分
子激光器反
射膜
193-248、
308-352
Rs>99.7
Rp>99
高
高
对准分子激光有高反射
率和高损伤阈值
高能量
Nd:
YAG激
光介质膜
266-355、
532-1064
Rs,Rp>99
高
高
对Nd:
YAG激光有高的
反射率与咼损伤阈值
单层氟化镁
适用于折射率1.42-2.4的材料,为可见光最常用的镀膜材料,
防反射膜
(AR膜)
防反射膜(增
透膜)
对入射角不敏感
多层单波长
防反射膜
多用于激光应用中,主要针对窄带激光,可降低反射,最小可
小于0.1%
多层宽带防
反射膜
提供窄带光谱范围的增透,一般说对入射角比较敏感
双波长防反
射膜
两种波长下均可提供较咼的透过率,例如Nd:
YAG的基频
1064nm和倍频532nm,均可提供较高的透过率
分束膜
激光偏振分
束膜
第一波长激光应用中,对P偏振增透、而对S偏振咼反
带宽偏振分
束膜
带宽光谱范围,对P偏振增透、而对S偏振咼反
二向色分束
膜
透过二向色中的一个波长,反射另一个波长
注:
金属膜反射镜的特点
a.金属膜反射镜一般反射特征曲线比较平坦,带宽,反射率高;
b.金属膜反射镜的反射率不太受波长和入射角度变化的影响;
c.金属膜反射镜膜表面的机械硬度不高,一般不可用通常方法擦拭,只能用包含有有机溶剂的
棉棒擦拭;
d.金属膜反射镜不适用于强光,激光能量大于1J/cm2时,请选用介质膜反射镜。
介质膜反射镜的特点
a.介质膜反射镜是用交替重叠的多层膜的干涉原理制成;
b.介质膜的反射率比较高,可接近100%(表中可见),膜的机械硬度高,耐清洁;
c.介质膜反射镜与金属膜相比,其反射带宽窄,而且与入射角度密切相关;
2.光学镀膜材料的技术指标
序
号
分子式
规格
纯度
密度
熔点
蒸发温度
折射
率
透明波
段
使用说
明
氧
化
物
一氧化
硅
颗粒,
1~2.5,2
.5~5,5~
10
99.9
9
2.1
1610
1200-1600
1.9
1.6~8
红外增透膜。
保护膜
二氧化
硅
晶体颗
粒,
1~2.5,2
.5~5,
压片
①10
99.9
9
2.2
2045
1600-2200
1.45
0.2~9
复合膜。
保护膜
三氧化
二铝
晶体颗
粒,
1~2.5,2
.5~5,
压片
①10
99.9
9
4
2700
2000-2200
1.60
-1.6
5
0.17~9
复合增透膜。
保护膜
二氧化
锆
晶体颗
粒,
1~2.5,2
.5~5,
99.9
9
5.5
656
2500
1.95
-2.0
5
0.25〜
9
复合膜,坚硬耐用的增透
压片
①10
膜
一氧化
钛
压片,
①10
99.9
4.93
1750
2200
2.2
2.3
0.3〜
透紫外
膜
二氧化
钛
压片,
①10,
①30
99.9
9
4.29
1800
2200
2.3
激光装置,滤光片
五氧化
二钽
晶体颗粒,
1~2.5,2.5~5,压片①
10
99.9
9
8.7
1800
1950
2.3
0.36〜
9
增透膜
二氧化
铪
压片,
①10
99.9
9
9.7
2812
2500
2.0
0.29〜
9
透紫外至红外部分复合膜
三氧化
二钇
压片,
①10
99.9
9
4.8
2680
2500
1.75
0.4~8
宽带增
透膜
氧化镁
压片,
①10
99.9
3.58
2800
2000
1.7
0.23〜
9
复合膜
氧化铟
和氧化
压片,
7.1
1565
1450
2
0.34〜
透明导
锡混合
料
①10
9
电膜
氧化锡
(钯、铂)
功能膜
料
压片,
①10
1127
0.4-7
敏感光
电薄膜
氧化锆
和氧化
钛混合料
压片,
①10
99.9
9
2.05
-2.1
5
优良带
宽增透
材料
二氧化
铈
压片,
①10
99.9
7.3
2600
2.2
0.46-11
增透膜
五氧化
二铌
压片,
①10
99.9
9
4.47
1530
2.3
0.35-9
保护膜
氧化锌
压片,
①10
99.9
5.6
1975
2.0
0.4-16
导电膜
氧化钆
压片,
①10
99.9
7.4
2310
1.8
0.22-9
三氧化
二铬
压片,
①10
99.9
5.2
2435
2.4
0.36-10
三氧化
钨
压片,
①10
99.9
7.1
1473
1.65
-1.7
0
适于镀
制变色
膜
氧化铜
压片,
①10
99.9
6.3
1326
2.6
适于镀制磁性薄膜
三氧化
二铁
压片,
①10
99.9
5.24
1565
2.75
-2.9
0
适于镀制磁性薄膜
氟
化
物
氧化镍
压片,
①10
99.9
7.45
1990
2.0
2.1
0.5
适于镀
制变色
膜
氧化铋
压片,
①10
99.9
8.9
820
2.5
0.4
氧化钕
压片,
①10
99.9
7.4
2350
1.8
0.4~2
氟化镁
压片,
①10
99.9
3.18
2272
1200-1500
1.8
0.24-9
可见光区增透膜
冰晶石
压片,
①10
99.9
3.07
1396
1.38
0.2-10
可见光
区增透
膜
氧化锶
晶体颗
粒,1〜
5,5~10,
压片
①10
99.9
4.26
1000
1.40
-1.4
4
0.25-5
适于镀
制紫外
薄膜
氟化铈
压片,
①10
99.9
6.16
1450
1.6
氟化钡
压片,
①10
99.9
4.8
1418
1.47
0.15-15
自外至
红外增
透膜
氟化钙
压片,
①10
99.9
3.31
1280
1.2
1.3
氟化钕
压片,
①10
99.9
6.5
1360
1.6
0.25
氟化铈和氟化钙混合料
压片,
①10
99.9
1410
1.3
1.4
红外复
合膜
硫化锌
晶体颗
粒,
99.9
4.1
1100
2.3
2.4
0.35-14
.5
复合
增透
10~15,
压片
①10
膜
硫化镉
压片,
①10
99.9
4.8
2.4
0.50-18
复合
增透
膜
铬
99.9
7.9
1890
1000-1205
银
99.99
10.05
961
1000-1200
电阻膜、分光膜及保护膜
铝
99.99
2.7
660
1000-1100
适于镀制导电膜或制膜
银灰色
热发射
膜合金
7.31
1450
1360
分光膜及热反射膜
金红膜
合金
7.9
1202
1100
适于镀制金红色镜子
注:
来自中国光学光电子行业协会2008年光学薄膜培训班培训资料
3.红外光学材料及性能参数
材料
体吸收糸数
(/cm)
@1064nm
折射率
@1064nm
波段的折射率随温度的变化系数
@1064
(10-6/摄氏
度)
热导糸
数@20
摄氏度
w/cm/摄
氏度
线性膨胀
系数@20
摄氏度
(*10-6/摄
氏度)
杨氏模量
(*106psi)
断裂模量
(*103/psi)
硬度
(knoop)
质量密
度
(g/cm
3)
ZnSe
0.0005
2.403
61
0.18
7.57
9.75
8.0
105-1
20
5.27
ZnS
0.24
2.192
41
0.167
6.8
10.8
15.0
210-2
40
4.08
GaAs
0.01
3.275
149
0.48
5.6
12.04
20.0
750
5.31
Ge
0.03
4.003
408
0.59
6.0
14.5
13.5
692
5.32
Si
1.5
3.418
160
1.56
2.56
19.00
18.0
1150
2.33
Diamond
0.12
2.375
9.6
20.0
0.80
152.3
36.3
9000
3.51
注:
目前公司使用了红外材料的地方为
CO2导光臂上
4•光学镀膜常用基板
常用基板有玻璃、陶瓷、光学晶体、光学塑料、金属;其中玻璃分为普通玻璃、无色、有色玻璃、特殊玻璃等。
无色玻璃分两大类
(1)光学玻璃,物理学(结构和性能)上的高度均匀性,具有特定和精确的光学常数,具有可见区高透过、无选择吸收着色等特点,分为硅酸盐、硼酸盐、磷酸盐、氟化物和硫系化合物系列。
品种繁多,主要按他们在折射率(nD)-阿贝值(VD)中的位置来分类。
传统上
nD>1.60,VD>50和nD<1.60,VD>55的各类玻璃定为冕(K)玻璃,其余各类玻璃定为
火石(F)玻璃。
冕玻璃一般作凸透镜,火石玻璃作凹透镜;
透明性是光学玻璃的最重要的性质,透光性指光线通过一系列棱镜和透镜后,其能量部
分损耗于光学零件的界面反射而另一部分为介质(玻璃)本身所吸收。
前者随玻璃折射率的增
加而增加,对高折射率玻璃此值甚大,如对重燧玻璃一个表面光反射损耗约6%左右。
因此对
于包含多片薄透镜的光学系统,提高透过率的主要途径在于减少透镜表面的反射损耗,如涂敷表面增透膜层等。
而对于大尺寸的光学零件如天文望远镜的物镜等,由于其厚度较大,光学系
统的透过率主要决定于玻璃本身的光吸收系数。
通过提高玻璃原料的纯度以及在从配料到熔炼的整个过程中防止任何着色性杂质混入,一般可以使玻璃的光吸收系数小于0.01(即厚度为1
厘米的玻璃对光透过率大于99%)。
玻璃的质量指标分类和分级
a.折射率色散系数与标准数值的允许差值
b.同一比中折射率及色散系数的一致性
c.光学均匀性
d.应力双折射
e.条纹度
f.气泡度
g.光吸收系数
h.耐辐射性能
(2)以钠黄线线(587.7nm)处的折射率nd为基准,将玻璃分为6类
类别
折射率nd的允许差值
类别
折射率nd的允许差值
00
2*10-4
2
7*10-4
01
-4
3*104
3
-4
10*104
1
5*10-4
4
20*10-4
同时材料光学均匀性判定标准
类别
折射率最大微差
Hi
2*10-6
H2
5*10-6
H3
1*10-5
H4
2*10-5
有色玻璃通过加入不同的吸收离子我们可以得到各种各样颜色的玻璃,这里有点类似于吸收型激光防护镜。
附录:
附表1:
无色光学玻璃分类
系列
玻璃类别名称
代号
牌号
普
轻冕玻璃
QK
H-QK1、H-QK3、H-QK3L
K1、K2、H-K3、K4A、H-K5、
H-K6、H-K7、K8、H-K9、H-K9L、H-K10、
通
冕玻璃
K
H-K11、K12、K16、H-UK9L
、H-K50、H-K51
光
磷冕玻璃
PK
PK1、PK2
H-BaK1、H-BaK2、H-BaK3、H-BaK4、BaK5、H-BaK6、H-BaK7、H-BaK8、
学
钡冕玻璃
BaK
BaK9、BaK11
玻
H-ZK1、H-ZK2、H-ZK3、H-ZK4、ZK5、H-ZK6、H-ZK7、ZK8、H-ZK9、
重冕玻璃
ZK
H-ZK10、H-ZK11、H-ZK14、
ZK15、ZK19、ZK20、H-ZK21、ZK50
璃
(P系列)
镧冕玻璃
LaK
H-LaK1、H-LaK2、H-LaK3、H-LaK4、H-LaK5、LaK6、H-LaK7、LaK8、
LaK10、H-LaK12、H-LaK50、H-LaK51、H-LaK52、H-LaK53、H-LaK54
冕火石玻璃
KF
KF1、KF2、KF3
轻火石玻璃
QF
QF1、QF2、QF3、QF5、QF6、H-QF6、QF9、QF11、QF14、QF50、
UQF50
火石玻璃
F
F1、F2、F3、F4、H-F4、F5、F6、F7、F12、F13
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