建设项目环保设施竣工.docx
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建设项目环保设施竣工
合肥格林达电子材料有限公司电子化学品生产项目环境保护验收监测报告
一、前言
杭州格林达化学有限公司为杭州电化集团有限公司的控股子公司,
公司成立于2001年11月,是一家专业从事电子化学品、精细化学品(特
别是医药中间体)的科研、生产和销售的高新技术企业。
主要产品包括
电子级四甲基氢氧化铵/显影液TMAH(20000吨/年)、电子级氢氟酸、
Thinner、对甲氧基苯甲醛(1500吨/年)和对甲氧基苯甲醇(600吨/
年),D/L-色氨酸等。
2010年销售收入12000万元,利润3200万元。
杭
州格林达化学有限公司的电子化学品产品已有从研究开发到实现产业化的技术基础,具有一定的技术力量和优势、掌握了充分的市场信息。
其四甲基氢氧化铵产品在国内外也有很好的市场,产销两旺,并且显示出装置生产能力已满足不了市场需求。
而且以生产电子级四甲基氢氧化铵技术为指导,进而可开发其它的系列电子化学品,使电子化学品的开发和生产能形成一个系列,形成规模,且具有特色。
由杭州格林达化学有限公司组建的合肥格林达电子材料有限公司,拟在合肥京东方光电科技有限公司所处的合肥市新站综合开发试验区内投资建设电子化学品生产项目,通过在产品需求地建设装置,将有利于整合上下游的资源及供求,实现供需双方的双赢。
通过本项目的建设,可以为京东方及周边的电子企业提供稳定的原料供应。
项目已经合肥发展与改革委员会立项,同意本项目开展前期工作。
合肥格林达电子材料有限公司于2012年07月完成了该项目的环境影响评价工作,合肥市环保局于2012年08月13日给出了《关于合肥格林达电子材料有限公司电子化学品生产项目环境影响报告书》的批复意见。
目前,合肥格林达电子材料有限公司电子化学品生产项目生产设备
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和环保设施运行正常,具备了竣工验收的条件。
根据国家环境保护部第13号令《建设项目竣工环境保护验收管
理办法》、国家环境保护部[2000]38号文《关于建设项目环境保护设
施竣工验收监测管理有关问题的通知》。
按照关于合肥格林达电子材
料有限公司项目的验收监测方案要求,合肥市环境监测中心站于2016
年12月6日至7日组织人员对该公司进行了验收监测,通过对该工程“三同时”执行情况和执行效果的检查,并依据监测结果及相应的国家有关环境标准,编制了本验收监测报告。
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二、验收监测依据
2.1国务院第253号令《建设项目环境保护管理条例》。
2.2国家环境保护局令第13号《建设项目竣工环境保护验收管理规定》。
2.3安徽省科学技术咨询中心,2012年7月编制《合肥格林达电子材料
有限公司电子化学品生产项目环境影响报告书》。
2.4合肥市环保局,环建审[2012]128号关于合肥格林达电子材料有限公
司电子化学品生产项目环境影响报告书的批复意见,2012年8月13日。
2.5环境监测评价合同书,合同编号(2016)第46号,2016年11月15
日。
2.6合肥格林达电子材料有限公司提供的有关技术资料及文件
三、建设项目工程概况
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3.1自然概况
3.1.1.地理位置
本项目位于合肥市新站区泗水路以北、叠翠峰路以西、岱河路以南。
3.1.2.气候
项目所在地区属北亚热带季风气候区,并兼有海洋性气候渐向大陆
性气候过渡的湿润型气候特点,气候温和,雨量充沛,四季分明,无霜
期长,温暖湿润。
年平均气温16.5℃,极端最高气温39.6℃,极端最
低温度—13.2℃,全年平均日照时数为2106小时,年日照率为48%,
全年无霜期247天左右,年平均气压1014hPa,历年土壤最大冻结深度
9~11cm。
平均降水量在966~1000mm之间,沿湖多于丘陵,巢南多于巢北。
降水量季节分配不均,夏季6~8月降水最多,约占全年降水量的48%,降水量最多的是7月,平均为161.4mm。
风向有明显的季节性变化,夏季以偏南风为主,东季以偏北风为主,春秋两季南风与偏东风相互轮换。
历年最大风速为22m/s,多年平均风速为3.3m/s。
3.2项目概况
3.2.1建设项目基本情况
1、项目名称:
合肥格林达电子材料有限公司电子化学品生产项目
2、项目性质:
新建
3、项目建设单位:
合肥格林达电子材料有限公司
4、项目建设方案及规模:
本项目主要建设1条20000t/a四甲基氢氧化铵生产线、1条再生液回收5000t/a四甲基氢氧化铵生产线、1条10000t/a电子级氢氟酸生产线、2条剥离液生产线、1条CF显影液等其它电子化学品混配生产线,原料仓库、供排水、配电室等。
环保工程如
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尾气处理、固废处理装置、噪声治理措施等。
拟建项目主要生产及辅助
设施均新建,公用工程等中供热依托新站试验区东方热电提供的余热蒸
汽。
5、劳动定员:
项目生产车间实行四班三运转工作制,行政管理实行白班制,每班八小时,年生产天数330天(7920小时)。
项目劳动总定员90人,其中生产人员60人,行政管理人员30人。
3.2.2项目生产工艺流程
1、20000t/a电子级TMAH显影液生产工艺流程简述
电子级TMAH(四甲基氢氧化铵)显影液生产工艺流程由TMAC精制
和电解等工序组成。
具体工艺如下:
1、精制
来自罐区的四甲基碳酸氢铵进入TMAC中间槽,泵送至树脂处理塔,
经阳离子交换树脂去除微量金属离子杂质后进入电解槽阳极室。
树脂定
期采用5%盐酸进行再生,废盐酸中含有少量的金属离子。
2、电解
60%TMAHC进入电解槽阳极室后,HCO3在-阳极失去电子生成CO2、O2
和H2O,部分TAM+和H2O通过离子膜进入阴极室。
电解槽阳极产物进入阳极液分离器,分离出来的湿气通过阳极水封后放空;阳极液分离器分离出的稀TMAHC进入阳极液循环槽进行循环,通过阳极液循环泵抽出,以维持进槽阳极液浓度在30%左右,。
在电解槽阴极室内,水中的H+在阴极得到电子生成H2,经阻火器
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排放,余下的OH-与阳极来的TAM+结合得到产品TMAH。
TMAC电解工艺操作方式为连续运行,电解槽电流密度为1000A/m2;
单元电槽电压7~10伏;TMAC电解效率为100%,电解结束不存在倒槽和
洗槽。
TMAC电解循环和冷却分离流程装置图见图1。
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G——废气W——废水S——固废
图220000t/a电子级TMAH显影液生产工艺流程及产物节点图
2、再生液回收5000t/a四甲基氢氧化铵(TMAH)工艺流程简述
合肥茂腾环保科技有限公司负责回收合肥京东方光电科技有限公司
生产中产生的四甲基氢氧化铵残液,初步浓缩处理成再生液(工业级四
甲基氢氧化铵),再生液产品中主要含有15%浓度的四甲基氢氧化铵、
光刻胶及少量的金属离子。
合肥格林达电子材料有限公司收购合肥茂腾环保科技有限公司的四
甲基氢氧化铵再生液产品(合作协议见附件),进行电子级四甲基氢氧
化铵精制。
生产工艺过程主要由过滤、树脂精制、二氧化碳吸收、电解、
配置等工序组成。
1、过滤
经厂家初步浓缩处理后的四甲基氢氧化铵再生液中仍含有一定量的
光刻胶,通过过滤器滤除光刻胶,过滤后收集的光刻胶作为危废,暂存
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在厂区专门的危废暂存场所,定期交有危废处置资质的单位(如合肥吴
山危废处置中心)进行处理。
2、树脂精制
过滤后的溶液中含有少量的金属离子,泵送至树脂塔,经阳离子交
换树脂去除少量金属例子杂质后进入下步加CO2。
树脂定期采用5%盐酸
进行再生,废盐酸中含有少量的金属离子(主要是废四甲基氢氧化铵溶
液中带入的极少量金属离子,如铜和铝等),含有金属离子的盐酸废液,
收集后进入厂区酸碱废水中和处理系统进行处理,处理过程中产生的沉
淀(污泥)经浓缩后作为危废,暂存在厂区专门的危废暂存场所,定期
交有危废处置资质的单位(如合肥吴山危废处置中心)进行集中处理。
3、二氧化碳吸收
经过过滤和树脂精制后的四甲基氢氧化铵溶液通入CO2吸收,CO2
来自20000t/a四甲基氢氧化铵生产的电解工序。
生成TMAC的主要反应
方程式如下:
(CH3)4NOH+CO2→(CH3)4NHCO3
4、电解
由CO2吸收生成的TMAC浓度较低,经蒸发后浓缩到60%左右进入电解槽电解,电解过程与20000t/a四甲基氢氧化铵生产的电解工序一致。
5、配置
电解槽阴极出槽TMAH为26%左右,加入纯水调节产品的浓度,最终
产品浓度调为25%。
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G——废气W——废水S——固废
图3再生液回收5000t/aTMAH工艺流程及产物节点图
3、剥离液工艺流程简述
1、产品1工艺流程
原料DMAC(N,N-二甲基乙酰胺)和MEA(单乙醇胺)分别由罐区管道
输送到生产区中间罐,通过自动控制程序把DMAC和MEA按照60:
40的比
例分别送到混合槽中进行循环混合,混合后时通过过滤器除去可能存在
的微量颗粒,把混合均匀并分析合格的剥离液输送到产品罐区的剥离液
槽,并按要求进行包装。
DMAC
MEA
计量泵
混
计量泵合
过滤包装
图4
(1)剥离液产品1工艺流程及产物节点图
2、产品2工艺流程
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原料NMF(N甲-基甲酰胺)、BDG(二乙二醇丁醚)和NEP分别由罐区管
道输送到生产区中间罐,通过自动的程序把DMAC、MEA、NEP按65:
30:
5
比例分别送到混合槽中进行循环混合,同时通过过滤器除去可能存在的
微量颗粒,把混合均匀并分析合格的剥离液输送到产品罐区的剥离液槽,
并按要求进行包装。
NMF
计量泵
BDG
混
包装
计量泵
过滤
合
NEP
计量泵
图4
(2)剥离液产品2工艺流程及产物节点图
4、铝刻蚀液工艺流程简述
1、产品1工艺流程
原料磷酸由罐区输送到中间罐,通过自动的程序把硝酸、醋酸、磷
酸按照2%:
10%:
70%的比例分别送到混合槽中进行循环混合,同时添加
18%的高纯水,同时通过过滤器除去可能存在的微量颗粒,把混合均匀并
分析合格的铝刻蚀液输送到产品罐区的铝刻蚀液槽,并按要求进行包装。
硝酸计量泵
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醋酸计量泵
混过滤包装
磷酸计量泵合
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图5
(1)铝刻蚀液产品1工艺流程及产物节点图
2、产品2工艺流程
原料双氧水由罐区输送到中间罐,通过自动的程序把一定比例量的
双氧水、硫酸铜和添加剂分别送到混合槽中进行循环,同时添加高纯水,
通过过滤器除去颗粒,把混合均匀并分析合格的铝刻蚀液液输送到产品
罐区的铝刻蚀液槽,并按不同的要求进行包装。
双氧水计量泵
混
高纯水计量泵过滤包装
合
硫酸铜称量
图5
(2)铝刻蚀液产品2工艺流程及产物节点图
5、ITO刻蚀液工艺流程简述
1、产品1工艺流程
通过自动的程序把一定比例量的硫酸、醋酸和硝酸分别送到混合槽
中进行循环,同时添加高纯水,通过过滤器除去颗粒,把混合均匀并分
析合格的ITO刻蚀液输送到产品罐区的ITO刻蚀液槽,并按不同的要求
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进行包装。
硫酸计量泵
醋酸计量泵
混
过滤
包装
硝酸计量泵合
高纯水计量泵
图6
(1)ITO刻蚀液产品1工艺流程及产物节点图
2、产品2工艺流程
通过自动的程序把一定量的草酸送到混合槽中进行循环,同时添加
高纯水,通过过滤器除去颗粒,把混合均匀并分析合格的ITO刻蚀液输
送到产品罐区的ITO刻蚀液槽,并按不同的要求进行包装。
DMAC
MEA
计量泵
混
计量泵合
过滤包装
图6
(2)ITO刻蚀液产品2工艺流程及产物节点图
6、稀释液工艺流程简述
工艺流程:
通过自动的程序把一定量的PM(丙二醇甲醚)和PMA(丙二
醇甲醚醋酸酯)按照85%:
15%的比例分别送到混合槽中进行循环,通过过
滤器除去颗粒,把混合均匀并分析合格的稀释液输送到产品罐区的稀释
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液槽,并按不同的要求进行包装。
PM
计量泵
混
PMA
计量泵合
过滤包装
图7稀释液工艺流程及产物节点图
7、CF显影液工艺流程简述
工艺流程:
通过自动的程序把一定量的氢氧化钾和表面活性剂分别
送到混合槽中进行循环,同时添加高纯水,通过过滤器除去颗粒,把混
合均匀并分析合格的CF显影液输送到产品罐区的CF显影液槽,并按不
同的要求进行包装。
KOH
称量
混
表面活性剂称量过滤包装
合
高纯水计量泵
图8CF显影液工艺流程及产物节点图
8、清洗液工艺流程简述
本项目清洗液主要包括N-甲基吡咯烷酮、Y-丁内酯、异丙醇,仅进
行分装,无物理化学过程。
注:
剥离液、铝刻蚀液、ITO刻蚀液、稀释液、CF显影液和清洗液
等六种产品,生产主要为混合复配过程,均在密闭的容器中进行复配,
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最后一道工序为过滤工序,采用PTFE(聚四氟乙烯)材质的过滤网,过
滤各原料产品中的大颗粒物和其它可能含有的杂质颗粒,以满足最终产
品的电子级高品质要求。
过滤后的杂质吸附进入PTFE滤网中,定期更换
的滤网作为危废,暂存在厂区专门设置的危废暂存场所,定期交有危废
处置资质的单位(如合肥吴山危废处置中心)进行集中处理。
9、电子级氢氟酸生产工艺流程简述
本项目拟选择以工业无水氟化氢为原料生产电子级氢氟酸(规格:
Ⅰ级)。
其副产品为工业氢氟酸(规格:
HF-40%)。
原料工业无水氟化
氢的规格见表1。
表1
工业无水氟化氢原料规格(Ⅰ级)
项
目
指
标
氟化氢含量(HF)%
≥
99.95
水份含量(H2O)%
≤
0.03
氟硅酸含量(H2SiF6)%
≤
0.03
二氧化硫含量(SO2)
%
0.007
≤
不挥发酸含量(以H2SO4
0.005
计)%≤
无水氟化氢产品质量标准(GB7746-1997)中优等品的质量要求
工业级无水氢氟酸通过化学除砷,然后杂质经过过滤,在精馏塔中
将工业级无水氢氟酸提纯至气态电子级氢氟酸,然后用高纯水吸收气态
电子级氢氟酸形成电子级氢氟酸溶液,最后用高纯水将产品调整到49%
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的电子级氢氟酸溶液,随后包装储存。
本项目的生产过程主要分为:
原
料无水氟化氢的储存、化学除砷、精馏提纯分离、成品的灌装贮存。
1、原料的输送储存
原料工业级无水氢氟酸由外界的槽罐车通过泵打入在生产区的原料
储罐(2×60m3),生产时通过原料泵经过计量送至氢氟酸中间槽。
2、提纯分离
提纯分离工序是本项目生产的核心工序。
原料工业无水氟化氢从原料贮槽中通过原料泵,计量后的无水氟化氢进入除砷装置中,加入适量的添加剂(添加剂为高锰酸钾和氯化铁溶液,主要目的是固定工业无水氟化氢中的砷,形成砷的沉淀物,使其在
蒸馏步骤不挥发混入到超纯氟化氢中去),采用二级过滤(粗滤后微滤)去除沉淀。
过滤后的物料进入蒸馏塔中进行纯化分离,塔顶出来的高纯度氟化氢气体用高纯水吸收,浓度控制在50%左右。
然后通过料液泵送到成品配制槽中,与制取的电子级高纯净水进行混合、溶解,调节至规定浓度,经检验合格后作为成品送往成品槽中贮存;没有冷凝下来的少量尾气通
过水洗塔(一级水洗)和碱洗塔(一级碱洗)去除尾气中含有的氟化氢,排出少量含氟尾气(G3)。
本项目水吸收氟化氢效率在98%左右,水洗去除氟化氢效率在98%左右,碱洗去除氟化氢效率在99%左右,碱洗产生碱洗废水(W3)。
蒸馏塔塔底分离出的含杂质量较高的氟化氢,经冷却后送到中间贮
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槽中贮存,然后用料液泵送到副产品配制槽中,加水后配制成适宜浓度
的工业级氢氟酸,作为本项目的副产品,送往工业氢氟酸贮槽中贮存。
蒸馏塔需要的热源采用热水槽供应的60度热水,氟化氢气体冷凝需
要的冷量由本项目的制冷系统提供。
整个生产过程采用电子级耐腐材料,并在高标准环境中操作分析,
采用DCS控制系统进行自动化操作控制。
3、成品灌装
经检验合格的成品,从成品贮槽中通过成品泵,送到灌装厂房进行
称重、灌装,分装后作为最终产品。
为防止在灌装过程中混入杂质影响
产品质量,灌装厂房采用高洁净度的无尘室,采用PLC控制系统进行自
动的操作控制进行产品的灌装。
本项目工艺流程和排污节点如下图9所示。
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图910000t/a电子级氢氟酸生产工艺流程及产污节点图
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四、主要污染源、污染物及环保治理设施
4.1废水
1、树脂塔再生废水(W1、W2)
本项目树脂中吸附了少量杂质金属离子,采用
5%稀盐酸进行再生,废水中主
要含有盐酸,还含有微量的杂质金属离子,其中
W1产量为0.91m3/d,W2产量
为0.61m3/d,共计为1.52m3/d。
2、氢氟酸尾气吸收碱液(W3)
项目电子级氢氟酸生产过程中产生的工艺尾气经5%碱液吸收后产生的废碱液,废水主要含有氟化物(氟化钠),废碱液平均产量0.23m3/d(77.022m3/a)。
主要污染物为氟化物。
3、过滤器冲洗水(W4)
本项目回收TMAH工艺中通过过滤器滤掉回收废液中的光刻胶等悬浮物,过滤器反冲水中主要含有悬浮物,还含有少量TMAH。
废水产生量为4m3/d。
4、地坪、设备冲洗水(W5)
地坪、设备冲洗水中主要含有悬浮物、有机物及少量TMAH和氟化物。
废水产生量为6m3/d。
4、真空系统置换排水(W6)
本项目真空系统置换排水中主要含有氟化氢等。
废水产生量为10m3/d。
5、生活污水(W7)
本项目定员90人,生活用水量按180L/(人?
d)计,排放系数取0.85,则生活污水量为13.77m3/d。
6.初期雨水(W8)
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本项目罐区初期雨水(前15min雨水)产生量约为10m3/次,主要污染物为
COD和SS。
7、循环冷却水置换排水(W9)
循环冷却水新鲜水补充量为240m3/d,置换排水量为80m3/d,为清净下水。
8.纯水装置浓水(W10)
本项目纯水采用自来水制备,产生的浓水(51.14m3/d)中含有少量的悬浮物,
污染物浓度很低,为清净下水。
9、回收的电子级TMAH显影液成品桶清洗水(W11)
本项目电子级TMAH显影液成品桶(主要1000L规格),拟从用户回收,使用
高纯水清洗后,重新作为电子级TMAH显影液包装用桶。
清洗废水主要污染物为
TMAH,清洗回收的成品桶产生的废水量约为100m3/d。
本项目另一主要产品电子级氢氟酸主要使用ISOTANK(20英尺国际标准集
装箱,内部采用钢衬氟材质)发往用户,可反复使用,返厂重新灌装无需清洗。
项目污水经本厂自建污水处理站预处理后,近期进入小仓房污水处理厂处理,纳
污水体为南淝河。
待陶冲湖污水处理厂建成正式投入运营后,进入陶冲湖污水处
理厂深度处理,纳污水体为二十埠河。
图10建设项目用水平衡图单位:
m3/d
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4.2废气
1、有组织废气
(1)电子级TMAH显影液电解废气
①电解阴极废气:
在TAMC电解时,阴极有氢气析出,经阻火器排放。
②电解阳极废气:
在TAMC电解时,阳极有O2和CO2析出,由排气筒排放。
(2)再生液回收TMAH电解废气
①回收TMAH电解阴极废气:
在TAMC电解时,阴极有氢气析出,经阻火器排
放。
②回收TMAH电解阳极废气在TAMC电解时,阴极有O2和CO2析出,有由排气筒排放。
(3)电子级
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