06火电工程机组整套启动试运前质量监督检查典型大纲.docx
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06火电工程机组整套启动试运前质量监督检查典型大纲
火电工程整套启动试运前
质量监督检查典型大纲
1总则
1.0.1依据《建设工程质量管理条例》、《工程质量监督工作导则》和《电力建设工程质量监督规定》,为统一火电建设工程质量监督工作程序、方法和内容,规范工程建设各主方体及有关机构的质量行为,加强电力建设工程质量管理,保证工程质量,确保电网安全,保障人民生命,财产安全,保护环境,维护社会公共利益,充分发挥工程项目的经济效益和社会效益,制定火电、送变电工程11个阶段性质量监督检查典型大纲。
凡接入公用电网的电力建设工程项目,包括各类投资方式的新建、扩建、改建的火电建设工程,均应按上述相关典型大纲的规定进行质量监督检查。
1.0.2《火电工程机组整套启动试运前质量监督检查典型大纲》(以下简称本“大纲”)适用于电力建设工程质量监督中心站(以下简称中心站)对火电工程机组整套启动试运前的工程质量和进入整套启动试运阶段前的条件进行监督检查。
1.0.3机组整套启动试运前,是指按设计范围和规定标准全部建筑、安装工程施工完毕;按《火电厂基本建设工程启动及竣工验收规程》(以下简称“启规”)和《火电工程调整试运质量检验及评定标准》(以下简称“调试验标”)的规定,完成分部试运阶段工作后,具备机、炉、电第一次联合启动、机组开始整套启动试运阶段工作之前。
1.0.4机组整套启动试运,试对建筑、安装工程设计、设备和施工质量的动态综合检验;是保证机组能安全、稳定、可靠地投入生产,及时形成生产力,发挥投资效益的重要环节。
1.0.5分部试运的质量是保证机组整套启动试运效果和调试质量的重要内容之一。
1.0.6质量监督检查以重点抽查的方法进行。
检查工程建设各责任主体质量行为时,对火电工程各“大纲”中重复型的条款一般只抽查一次。
凡经检查符合规定、在后续工程中又未再发生情况者,一般不再重复检查。
1.0.7根据工程设计中采用新设备和新技术的具体情况,中心站可结合工程的实际特点,补充编制其具体的监督检查细则,也可编制对本工程监督检查的“实施大纲”,保证检查的针对性和全面性。
1.0.8对国外引进设备工程的质量监检技术标准,按供货合同的约定执行。
合同中未作规定或规定不明确或国、内外技术标准有较大差异时,按由建设单位组织相关单位协商确定,报主管部门批准后的规定执行。
1.0.9受政府相关主管部门监督的工程项目(4.3.1)由监检组相关专业分别检查。
2质量监督检查的依据
下列文件中的条款通过本大纲引用而成为本大纲的的条款。
凡是注明日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误表的内容)或修订版均不适于本大纲,然而,鼓励根据大纲达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。
凡是不注日期的引用文件,其新版本适用于本大纲。
《建设工程质量管理条例》中华人民共和国国务院令第279号2000年1月30日
《特种设备安全监察条例》国务院373号令03年11月3日签
《实施工程强制性标准监督规定》建设部令第81号
建质[2003]162号《工程质量监督工作导则》
建标[2002]241号《工程建设标准强制性条文》(电力工程部分)
建标[2002]219号《工程建设标准强制性条文》(房屋建筑部分)
电质建[2002]3号《电力建设工程质量监督规定》
国电电源[2002]896号《电力建设工程施工技术管理导则》
[80]电技字第26号《电力工业技术管理法规》(试行)
电建[1996]159号《火力发电厂基本建设工程启动及竣工验收规程》
电建[1995]543号《电力建设文明施工规定及考核办法》
DL647-2004《电站锅炉压力容器检验规程》
DL612-1996《电力工业锅炉压力容器监察规程》
DL5000-2000《火力发电厂设计技术规程》
DL/T889-2004《电力基本建设热力设备化学监督导则》。
建质[1996]40号《火电工程启动调试工作规定》
GB50205-2001《钢结构工程施工质量验收规范》
国电电源[2002]267号《国家电力公司电力设备监造实施办法》
DL/T5072-1997《火力发电厂保温油漆设计规程》
《电力建设施工及验收技术规范》(系列文件)
《火电施工质量检验及评定标准》(系列文件)
本工程全部设计文件最终版。
有关国家标准、合同规定的标准、制造厂标准、合同技术协议、制造厂质保书、安装运行维护说明书、图纸。
监造报告和设计、调试、监理有关文件、纪要、变更、会谈、洽商等。
3质量监督检查应具备的条件
3.0.1启动验收委员会已成立。
试运指挥部及下设各工作组已经建立,并正常运作;
3.0.2机组整套启动试运应投入的设备和工艺系统及相应的建筑工程,已按设计范围和规定标准施工完毕,并经验收、签证完毕,且无违反《工程建设标准强制性条文》(以下简称“强制性条文”)的问题;
3.0.3机组和公用系统的分部试运已基本完成。
机组整套启动试运空负荷调试阶段应投入的设备及其工艺系统,已按规定经单位试运和分系统试运完毕,并经验收、签证完毕;合同规定由制造厂负责的单体或单机试运项目已调试完毕,并由建设单位组织调试,监理和生产验收,签证完毕;
3.0.4按《火电工程启动调试工作规定》(以下简称“调试规定”)对机组启动调试的前期工作和机组进入空负荷调试阶段前的调试项目已全部完成,且验收合格,签证完毕。
3.0.5环境保护、劳动安全和职业健康等设施及其监测系统已按设计范围和规定标准施工完毕,经监理单位验收、签证完毕,具备调整试运条件。
全厂消防水和泡沫灭火系统已投用,并取得地方消防主管部门同意投用的书面文件;
3.0.6生产用电电梯安装已完毕,可以正常投入使用,已经取得地方主管部门核发的安全准用证;
3.0.7与电网管理部门有关机组上网、调度的合同和协议等已签署完毕。
涉及电网安全的技术条件已满足;
3.0.8生产准备工作已经就绪,符合“调试验标”和“启规”的相关要求,具备整套机组生产管理和运行维护的条件;
3.0.9机组整套启动试运阶段前生成的各类工程管理和技术文件,资料按规定已分别收集齐全、整理完毕;
3.0.10机组整套启动试运方案、措施已经编制完成,审批手续完备;
3.0.11按本“大纲”规定的内容和要求,由工程质量监督站负责、组织相关主体进行了本阶段工程质量予监检,对存在的问题已经整改完毕;
3.0.12按《火电工程质量监督站质量监督检查典型大纲》规定,工程质监站已经对重点项目和关键部位实施了质量监督检查,对存在问题已经处理完毕。
4质量监督检查的内容和要求
4.1对工程建设各方主体质量行为的监督检查
4.1.1对建设单位质量行为的监督检查
4.1.1.1在工程建设过程中的质量责任和义务符合《建设工程质量管理条例》的规定;
4.1.1.2规范地执行项目法人制、合同管理制、招标投标制、工程监理制资本金制和审计制等五项工程建设管理制度;
4.1.1.3对设计、施工、调试、监理和设备监造各单位以及设备订货等方面的工作均实施了招投标制度。
各类招标、投标文件和合同齐全;
4.1.1.4质量体系健全并运转有效,工程质量处于有效控制状态;各项工程管理、质量管理制度齐全,实施有效;
4.1.1.5工程档案管理制度健全、管理人员到位。
关于施工、调试等各单位移交资料的管理办法已制订,档案案卷构成的要求已明确;
4.1.1.6按规定组织设计交底和图纸会检;
4.1.1.7无明示或者暗示设计单位、施工单位、监理单位违反强制性条文,降低工程质量标准或因要求承包方压缩合理工期而影响工程质量等行为;
4.1.1.8按合同规定,由建设单位采购的材料、构配件和设备符合质量标准,相应建立的管理制度、责任制度和检查验收标准及办法等得以有效实施;
4.1.1.9督促、检查监理单位完成机组整套启动试运前的全部施工和调试项目质量验收、签证;
4.1.1.10协助试运指挥部按“启规”的要求正常开展工作;机组启动试运的组织分工,工作制度和调试计划及技术标准已经制定并落实,符合“启规”和“验评标准”的规定;
4.1.1.11对施工单位在施工中采用的“四新”已审批。
4.1.2对勘查设计单位质量行为的监督检查
4.1.2.1本单位的资质与本工程的勘查设计项目相符;
4.1.2.2项目主要设计负责人的执业资格与承担的设计项目相符,已经本企业法定代表授权。
施工现场设计代表的工作满足现场施工的需要;
4.1.2.3按计划交付施工图纸,保证连续施工。
设计变更和技术洽商等文件审批手续齐全、规范、及时。
施工图交底记录完整;
4.1.2.4设计变更或技术洽商在施工图中有明确的标识,为竣工图的编制提供可靠依据;
4.1.2.5无指定材料、设备生产厂家或供应商的行为。
4.1.3对监理单位质量行为的监督检查。
4.1.3.1本单位的资质与本工程所承担的项目相符;
4.1.3.2质量管理体系健全,有效运行。
工程管理制度健全,实施有效;
4.1.3.3总监理师已经本企业法定代表人授权。
监理机构健全、专业人员配备合理满足工程需要。
各级监理人员资格证书齐全,有效,并与其承担的任务相符,责权明确、落实;
4.1.3.4监理规划、监理细则和工作程序审批手续完备,实施有效;
4.1.3.5对施工组织设计、开工报告、施工方案、技术措施的审批及时,手续规范;
4.1.3.6组织或参加施工图纸会检和施工及调试技术交底;
4.1.3.7按规定参加对到货设备、成品、半成品和原材料开箱检验,且记录齐全、清晰;
4.1.3.8经对各施工承包单位(含各类形式分包队伍)和调整试验单位(含分包单位)的资质审查,无违规、违法承包行为;
4.1.3.9对各类试验室和试验人员、特殊工种审核,其资质、资格符合规定,均持证上岗;
4.1.3.10见证取样制度健全,责任到位,记录齐全;
4.1.3.11按施工质量验评项目划分表完成施工和分部试运质量检验及评定。
对隐蔽工程验收及时、签证规范,验评结果统计齐全、准确、规范。
主体工程的监理单位对机组全部完成的施工和分部试运项目质量验评结果统计、汇总完毕,且齐全、准确;
4.1.3.12质量问题台账完整、清晰。
各类质量问题通知单内容明确、整理有序,并管理闭环。
对现场发现的不合格材料、构配件、设备,配合相关单位已及时处理;
4.1.3.13对施工单位再施工中采用的“四新”已经组织论证、审核;
4.1.3.14对处理完的在预监检中提出的整改问题,已经验收完毕。
4.1.4对施工单位质量行为的监督检查
4.1.4.1施工单位的质量责任和义务符合《建设工程质量管理条例》的规定;
4.1.4.2施工承包合同已经签订。
所承担的施工项目与企业资质相符;
4.1.4.3项目经理部质量管理体系健全,能有效运行。
并能持续改进;
4.1.4.4项目经理、已经本企业法定代表人授权。
项目部技术负责人、质检员等专业技术管理人员配置满足施工和质量管理的需要,并具有相应资格及上岗证书;
4.1.4.5现场各类工程试验室(或合同检测单位)资质与试验项目相符,试验员持证上岗。
现场各类特殊操作工种(人员)的资格证书符合规定;
4.1.4.6项目部的质量管理制度、质量责任制度和考核评价办法,预本工程项目相适应,并实施有效。
质量问题台账完整、规范、清晰,管理闭环;
4.1.4.7施工质量验评项目划分表符合“验评标准”和工程实际,已经监理单位审批。
验评签证齐全、规范;
4.1.4.8计量管理制度健全。
计量器具均在有效期内,其台帐完整、清晰。
计量人员持证上岗;
4.1.4.9执行见证取样送检制度;
4.1.4.10施工组织总设计和专业施工组织设计及施工技术方案、措施、审批手续规范,并认真贯彻执行;
4.1.4.11认真执行图纸会检制度。
各级会检的纪要、记录齐全、规范,管理闭环;
4.1.4.12设计变更,技术洽商等管理制度健全、签证及时、规范,管理闭环;
4.1.4.13设计变更或技术洽商在施工图中有明确的标识,为竣工图的编制提供可靠依据;
4.1.4.14施工技术交底制度健全,实施有效,交底和被交底方全员签字及时、规范;
14.1.4.15分部试运组织健全、合理。
单机试运技术方案、措施完整、齐全、规范,能正确、有效地指导单机试运;
4.1.4.16各项施工和分部试运记录、试验报告、质量验评签证完整、齐全,整理规范、统一、内容准确可靠、书写印刷清晰、签名真实齐全,符合档案管理规定;
4.1.4.17物资管理制度健全、有效实施;
4.1.4.18经评审合格的供应商名录准确、有效、清晰;
4.1.4.19设备、原材料、半成品、成品的采购、验收保管、复试、发放制度健全、台账完整、清晰。
主要材料质量跟踪台帐完整、准确、清晰;
4.1.4.20工程项目分包管理制度完善。
无违法分包和转包行为,各分承包单位资质符合规定。
4.1.5对调试单位质量行为的监督检查
4.1.5.1调试工作的组织健全,各专业组的工作内容、分工界线明确,人员配备能满足机组调试工作的需要;
4.1.5.2机组整套启动试运计划已编制完成。
其调试项目无遗漏,调试程序符合“启规”和“调试规定”以及“调试大纲”的规定;
4.1.5.3调试方案、措施和控制曲线全部编绘完成,审批手续完善、规范,其基本内容和要求完整、规范,层次清晰、叙述准确。
主要技术控制指标和质量标准准确、调试过程中应记录的内容和安全注意事项均有具体的说明和要求,能保证良好的调试工作秩序和正确的操作程序;
4.1.5.4机组整套启动试运计划和方案、措施已向相关单位人员交底完毕。
交底记录齐全、交底和被交底方签字齐全、规范;
4.1.5.5分系统试运项目已按计划和规定的技术要求全部试运合格,符合设计和“调试验标”的规定。
试运记录齐全完整,已经验收、签证完毕;
4.1.5.6整套启动试运期间所需用的各种测试仪器、设备、用具和各种记录薄、表等用品已齐备。
4.1.6对生产单位质量行为的监督检查
4.1.6.1生产运行管理组织机构健全,符合上级主管单位的规定;满足管理工作的需要;
4.1.6.2各级运行人员依据本单位和电网调度部门的规定,按其岗位分别培训、考核合格、取得上岗资格。
4.1.6.3生产管理、运行操作、检修维护等项管理制度编制完毕,并正式出版;
4.1.6.4运行规程、事故处理规程和系统图册等编绘完成,并正式出版;
4.1.6.5运行操作和检修维护所用的各种日志、记录、台账和表单均已齐备;
4.1.6.6调度已经下达一次系统编号。
遥测、遥讯、遥控对调已完成。
电气系统和热控系统等设备的保护整定值已提供;
4.1.6.7试运行与施工区域、试运设备与运行设备的安全隔离措施正确、可靠;
4.1.6.8参加机组的分部试运,进一步掌握设备和工艺系统及性能。
参加分部试运的验收签证;
4.1.6.9已经上岗部位的工作环境清洁、整齐、符合本单位有关管理规定;
4.1.6.10设备和阀门的命名和编号,管道色环和介质流向等标识齐全、正确、统一、规范、并醒目、易见,符合《火力发电厂保温油漆设计规程》规定;电气设备的双重编号已确定,现场标识已完成;
4.1.6.11生产用备品、备件、填料、燃料、药品、大宗材料、工器具和试验仪器及检测仪表等置备齐全。
4.2对技术文件和资料的监督检查
4.2.1工程前期工作的依据性文件归档目录;
4.2.2工程现场五通一平和地基处理施工记录;
4.2.3经地方消防主管部门检查合格后,核发的全场消防水和泡沫灭火系统同意使用的书面许可文件;
4.2.4各类招、投文件、承发包合同和工程各项承包、分包单位资质证明文件;
4.2.5工程初步设计、施工设计图纸、技术文件、设计变更和技术洽商单;
4.2.6设计交底和图纸会检及其他相关会议的纪要及文件;
4.2.7设备制造图纸、出厂证明书和产品使用说明书和其他相关技术资料;
4.2.8工程项目部质量管理体系文件。
质量手册、程序文件、施工方案和技术措施。
其他施工技术和质量管理制度;
4.2.9施工组织总设计、施工组织专业设计和审批文件;
4.2.10各类特殊操作人员资格证书和汇总名单;
4.2.11施工技术交底记录和双签记录;
4.2.12对质监中心站各阶段工程质量监督检查时提出的限期整改问题和处理结果的汇总表;
4.2.13工程质量监督站按质监大纲规定,对各重要项目和关键部位的工程质量进行监检的评价和整改问题处理记录;
4.2.14原材料、零部件、半成品、和加工配制件的出厂检验合格证及试验报告;
4.2.15按规定应进行复验的原材料的复验报告及其质量跟踪台帐;
4.2.16建筑、安装施工各类检测、试验报告;
4.2.17锅炉压力容器安全性能检验和汽轮发电机金属监督检验报告;
4.2.18建筑、安装各项施工记录和检查验收签证及隐蔽工程验收签证;
4.2.19主要建(构)筑物和大型设备基础的沉降观测计划、记录、曲线和成果报告;
4.2.20设备监造报告、会议纪要和工作总结;
4.2.21分部试运技术措施、记录和验收签证;
4.2.22机组整套启动试运计划、方案、措施;机组启动控制曲线;
4.2.23机组整套启动试运所用各种系统图和曲线及表式;
4.2.24机组整套启动试运各项管理制度;
4.2.25监理规划、监理实施细则、监理工作程序等文件;
4.2.26各级监理工程师资质证书及汇总名单;
4.2.27施工质量问题台帐、质量问题通知单;
4.2.28各类施工、隐蔽工程、分部试运验收签证清单和汇总清单;
4.2.29现场各单位现行有效文件清单;
4.2.30各类未完成或待完善施工项目清单。
未完单机试运和分系统试运清单。
4.3对工程实体质量的监督检查
4.3.1受社会监督的工程项目(由相关专业分别检查)
4.3.1.1全厂消防水系统和泡沫灭火系统已按设计施工完毕,并经试喷合格。
消火栓布置合理,阀门开关灵活且严密不渗漏,水带、水枪配备齐全、完好。
消防器材按规定品种和数量摆放齐备。
经地方消防主管部门验收,已签发同意使用的书面文件;
4.3.1.2各类电气、热控盘柜和其他各部电缆孔(口)的防火封堵完好、有效。
主厂房易燃区域钢结构的防火涂料和电缆防火漆涂刷及电缆桥架上的阻燃材料袋设置正确,符合设计和消防规定;
4.3.1.3工业废水、生活污水和饮用水等处理系统已施工完毕,符合设计要求和相关环卫技术规定。
已经验收、签证完毕。
具备调试条件;
4.3.1.4电除尘器及其电控系统已全部施工完。
振打装置分部试运完毕、电场升压和加热系统试验完毕;各层平台、步道、梯子和栏杆完好、通畅、无杂物,照明齐全、完好;已经验收、签证完毕;
4.3.1.5烟气品质在线监测装置已安装完毕,具备调试条件;
4.3.1.6同期建设的脱硫和脱氮系统的建筑、安装施工已全部完成。
符合设计要求和相关规程规定,已经验收、签证完毕。
分部试运已完毕,烟气系统具备冷态调试条件;
4.3.1.7生产用电梯调试合格,运行正常。
已取得地方主管部门签发的安全准用证。
4.3.2土建工程和试运环境
4.3.2.1主厂房装修完毕,屋面防水质量合格,无渗漏。
门、窗完好、严密、开启灵活。
所有分部试运用的临时设备和系统已经拆除;
4.3.2.2试运区域范围内的施工用电电梯、起重设备、临时电缆、临时照明、脚手架、临时盖板、临时吊架和支撑及其他一切与试运设备无关的施工用工、器具均应拆除、清理干净,无施工痕迹;
4.3.2.3主厂房和公用系统厂房内各层地面、平台已施工完毕,且平整、清洁、无杂物、无积水、无油渍;全厂生产区域内场平整、无杂物,道路通畅,并已形成环形道路,满足消防要求,防洪设施符合设计要求;
4.3.2.4各主、辅厂房内、外各类沟道畅通,内部无杂物、无积水、盖板齐全、严密;各类孔洞有正式围栏或正式盖板;
4.3.2.5运行区域的梯子、步道、平台、栏杆、护板等已按设计安装完毕;
4.3.2.6运行区域的正式照明充分,事故照明能正常切换;
4.3.2.7上、下水道通畅,采暖、通风、空调等设施按设计具备正常投用条件。
寒冷地区的防冻措施有效;
4.3.2.8全厂设备、工艺系统包括电缆桥架清洁无杂物;
4.3.2.9试运设备与运行设备、施工区域与试运区域已有效隔绝或隔离;危险区设有明显的隔离措施和警示标志;
4.3.2.10各运行岗位的正式通讯装置调试完毕具备投用条件,整套启动试运增设的临时岗位也已装设可靠的通讯装置;
4.3.2.11主要建(构)筑物的沉降无异常。
各沉降观测点保护完好。
观测规划、记录、曲线和成果报告完整、规范,符合规程要求。
观测单位和人员具有相应的资质和资格。
4.3.3锅炉专业:
4.3.3.1锅炉本体设备及其零部件和各附属机械、辅助设备全部施工完,已经验收、签证完毕;
4.3.3.2锅炉本体各部膨胀间隙符合设计规定。
膨胀指示器安装齐全,位置正确;
4.3.3.3锅炉燃烧、烟、风系统风压试验合格、符合《火电施工质量检验及评定标准》(以下简称“验评标准”)规定;
4.3.3.4锅炉蒸汽吹扫完毕,其过程参数、动力系数和吹扫效果符合《电力建设施工及验收技术规范》(以下简称“验收规范”)和“调试验评”》规定;
4.3.3.5安全门检修、安装和冷态调试合格,记录齐全;
4.3.3.6炉水强制循环泵、回转式空气予热器和摆动式喷燃调试合格,符合“调试验评”规定,记录齐全;
4.3.3.7锅炉各附属机械和辅助设备及其工艺系统经分部试运合格、运行平稳、正常,系统无渗漏,轴承振动、温度和噪声等控制指标符合设计和“调试验评”规定;
4.3.3.8各类管道和锅炉“六道”支吊架的布置和其冷态工作位置正确,故和设计规定,且安装调整记录齐全、完整;
4.3.3.9锅炉本体和热力设备及管道的保温及罩壳已全部完善。
符合设计和“验评标准”的规定;
4.3.3.10卸煤装置和输煤系统全部施工完毕,经分部试运合格,符合设计和“调试验评”规定;
4.3.3.11卸煤装置和输煤系统的安全防护、喷淋、吸尘、冲洗等设施调试合格,符合设计规定;
4.3.3.12电除尘器全部施工完毕,振打装置等分部试运已完成,已经验收、签证完毕;
4.3.3.13除灰、渣设备及其工艺系统全部施工完毕,经分系统试运合格,符合设计和“调试验评”规定;
4.3.3.14锅炉钢架的绝对和不均匀沉降值在设计和规程允许范围内。
观测单位和人员具有相应的资质和资格;
4.3.3.15锅炉水压试验前质量监督检查提出的限期整改问题以及分部试运中发现的质量问题,已处理完毕,并经验收,签证完毕。
4.3.4汽机专业
4.3.4.1汽轮机和发电机本体设备全部安装完毕。
各抽汽、疏水、油、氢、冷却水和胶球清洗等本体管道系统全部安装完毕。
符合设计和“验评标准”规定,已经验收、签证完毕;
4.3.4.2主(再热)蒸汽系统和高、低压给水系统全部施工完毕,经蒸汽吹扫和冲洗合格,系统恢复完毕。
符合设计和“验收规范”及“验评标准”规定,已经验收、并签证完毕;
4.3.4.3各附属机械及其工艺系统全部施工完毕,经分部试运合格,运行平稳、正常,系统无渗漏,轴承振动,温度和噪声等控制指标符合“调试验评”规定(须待机组整套试运中调试的项目除外);
4.3.4.4高、低压旁路系统、各辅助蒸汽系统蒸汽吹扫合格;
4.3.4.5主机、附属机械各油系统的循环冲洗和油质过滤结束,系统恢复完毕。
油质合格,符合’验收规范‘和“调试验评”规定;
4.3.4.6发电机内冷水系统循环冲洗结束,水质合格符合《验收规范》和“调试验评”规定;
4.3.4.7发电机氢气系统风压试验合格,符合“验收规定”和“调试验评”规定;
4.3.4.8仪用和杂用空压机及其工艺系统全部安装完毕、系统完整。
经分系统试运其出口压力和空气品质符合设计和“调试验评”规定;
4.3.4.9真空设备及其工艺系统施工完毕
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