AEAdvancedEnergy直流电源.docx

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AEAdvancedEnergy直流电源

AE（AdvancedEnergy）直流电源

Pinnacle系列产品

业界公认的Pinnacle直流电源平台具有绝佳的工艺一致性和控制功能，从而大大减少了工艺变化，提高了产量。

这个紧凑、功能强大的套件提供了业界最低的存储能量、最快的弧反应以及最广的全功率运行阻抗范围。

优势:

●最低的运行和安装成本

●业界最快的弧反应时间

●可配置的弧反应参数

●最大的工艺效率

●精确的工艺控制

特点:

●最低的存储能量——每千瓦输出不到1mJ

●无需调节输出变压器

●4:

1的阻抗范围

●靶材处理时间——最大限度地缩短新靶材的处理时间

●±0.1%的输出重复性

●Joule模式——最优化的能量传送.

规格：

●输入电压：

200/208、400或480VAC（±10%）、3Φ4线、50/60kHz

●功率因素：

负荷＞90%

●输出电压：

低Z、标准Z或高Z

●输出极性：

浮动默认值，具有正和负功能

●输出波纹电压：

与输入线频有关，输出波纹电压分量＜5%RMS

●输出功率重复精度：

0.1%，从设计功率到10%到100%。

●负荷调整：

±1%，输出阻抗范围的V-1限值内4﹕1的负荷变化

●温度系数：

＞20℃至40℃的环境温度范围内调整输出参数变化＜0.005%/℃

●模拟接口选项：

37针绝缘，0至10VDC模拟。

0/24VDC数字

37针，0至10VDC模拟，0/15VDC数字

37针，0至5VDC模拟，0/15VDC数字

●串行通信选项：

RS-232，RS-422，RS-485（可选波特率高达57.6K）

AEBus协议

ASCⅡ协议（MDX和仿真）

Profibus（可选波特1.5或12MB）AEBus协议

具有DeviceNet?

选项

●输出功率接头：

三个终端、多个触点、可插入式接头、UHF、军用附件或接线环

●输入功率接头：

五个终端，DIN压缩接头

尺寸：

133×483×639mm（高×宽×长）

●重量：

29.5kg

Pinnacle?

6KW、6/6KW、8KW、10KW、10/10KW、12KW、15KW、20KW

PinnaclePlus+系列

AdvancedEnergy（AE）的PinnaclePlus+电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。

结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，PinnaclePlus+电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异。

优势:

●更高的沉积率与产品率

●薄膜均匀性和品质一流

●成弧造成的基材损坏减少

●成本更低

●系统整合容易

●极佳的工艺灵活性和宽容度

●重复性能

●在过度曲线上运行稳定

●吞吐量更高

●便于监控

●无与伦比的系统灵活性

特点:

●一个紧凑型封装

●频率调节范围为5-350kHz

●占空比高达45%

●电压范围宽——单输出宽阻抗范围

●大功率运行

●基材温度低

●单输出（5kW和10kW型号）

●用于双阴极生产的双输出（双路5kW型号）

●绝佳的弧控制

●反应性溅射闭环控制

规格：

●输出功率：

5KW单输出、5KW双输出、10KW单输出

●电压范围：

325-650VDC，可选325-800VDC输出（宽Z）

●输出功率接头：

五个终端、DIN压缩接头；最大电线尺寸：

＃6AWG

●输出接头：

两个终端、多个触点、带有应力释放功能的可插入式接头或UHF接头

●最大电流：

15.4ADC；15.4ADC/输出；30.8ADC

●频率：

5到350KHz，可变

●反向电压：

工作电压的10%

●点火功能：

最大1500VDC，正常1350VDC

●调节模式：

功率、电压或电流

●交流线电压：

200/208、400或480VAC

●电流：

5KW：

200/208VAC：

标称值17A/Φ

400VAC：

标称值8.5A/Φ

480VAC：

标称值7.5A/Φ

5KW双输出/10KW单输出

200/208VAC：

标称值35A/Φ

400VAC：

标称值17A/Φ

480VAC：

标称值15A/Φ

●尺寸：

133×483×639mm（高×宽×长）

●重量：

5KW：

21.4kg；5/5、10KW：

30kg

PinnaclePlus+5KW、5/5KW、10KW

Pinnacle3000系列

AdvancedEnergy的Pinnacle3000直流电源提供最高的效率和功率因素，从而带来业界最低的运行和安装成本。

Pinnacle工艺一致性和控制带来的额外好处是使在正常溅射工艺和偏压应用中的工艺变化明显减少、产量提高。

优势:

●经过证明的Pinnacle性能和可靠性

●最大的工艺效率——最低的运行和安装成本

●通用性——在溅射工艺和偏压应用上均表现出色

●快速、可配置的弧反应——弧损伤少

●精确的工艺控制

●多种显示/控制选择

●符合安全/辐射标准

特点:

●业界最高的效率和功率因素

●紧凑——在一个2-U、1/2支架封装中，功率达3000W

●单输出抽头，疲惫范围广泛

●Profibus和RS-232串行通信

●靶材处理时间——最大限度地缩短新靶材的处理时间

●仅400VAC输入

●存储能量低——每千瓦输出不到6mJ

●在大于15%的功率下，输出重复性为±0.1%

●Joule模式——最优化的能量传送

●对输出电平、击穿电压和工艺电压的可编程限制

●储存设定自动保存

●有CE标志

规格：

●输入电压：

400VAC±10%，3Φ，4线，50/60Hz

●输入电流：

5A/Φ

●过流保护：

10ADC

●输出功率：

3KW

●输出电压：

370-1000VDC满功率输出

●尺寸：

87×216×517mm（高×宽×长）

●重量：

9.1kg

Pinnacle3000W

PinnacleDiamond系列

在工艺和偏压应用中，PinnacleDiamond直流电源都能提供最高的效率和功率因素，从而带来业界最低的运行和安装成本。

Pinnacle绝佳的工艺一致性和控制带来的额外益处是通过一个极其紧凑的部件大大减少了变化、提高了产量。

优势:

●经过证明的Pinnacle性能和可靠性

●最大的工艺效率——最低的运行和安装成本

●通用性——在工艺和偏压应用上均表现出色

●快速、可配置的弧反应——弧损伤少

●众多显示/控制选项

●精确的工艺控制

●符合安全/辐射标准

特点:

●业界最高的效率和功率因素

●紧凑——在一个3-U、1/2支架封装中，功率高达15kW

●单输出抽头，匹配范围广泛

●Profibus和RS-232串行通信

●靶材处理时间——最大限度地缩短新靶材的处理时间

●水冷式

●仅400VAC输入

●存储能量低——每千瓦输出不到6mJ

●在大于15%的功率下，输出重复性为±0.1%

●Joule模式——最优化的能量传送

●对输出电平、击穿电压和工艺电压的可编程限制

●储存设定自动保存

●有CE标志

规格：

●输入电压：

400VAC±10%，3Φ，4线，50/60Hz

●输入电流：

5A/Φ

●过流保护：

30ADC

●输出功率：

8KW、10KW和15KW

●输出电压：

400-800VDC满功率输出（500-1000VDC可选）

●尺寸：

8KW/10KW：

499.7×132.3×215.9mm（长×宽×高）

15KW：

575.9×132.3×215.9mm（长×宽×高）

●重量：

8KW/10KW：

38KG

15KW：

20KG

PinnacleDiamond8KW、10KW、15KW

MDX系列

500W

MDX系列500W在真空环境中经久耐用，能够在磁控环境中对不同类型的弧进行多级抑制和灭弧。

在基本磁控溅射、射频偏压直流溅射以及直流偏压射频溅射中表现一流。

其小巧的尺寸使其非常适合于实验室系统和小规模的生产环境。

优势:

●超载内置保护

●可靠性和耐用性

●快速反应时间

●兼容性认证

特点:

●多级弧抑制及灭弧

●用户I/O接入

●功率、电流或电压调节功能

规格：

●输入电压：

90-132VAC（50-60HZ），1Φ

180-265VAC（50-60HZ），1Φ

●输入电流：

10A@120VAC@500W

6.3A@230VAC@500W

●输出电压/电流：

0-600V@0-1A，500W

0-1200V@0-0.5A，2000W

●输出功率：

0-500W

●尺寸：

（单）86.63×215.9×406.4mm（高×宽×长）

（双）86.63×482.6×406.4mm（高×宽×长）

●重量：

（单）5.57KG

（双）11.14KG

MDX500W

1kW和1.5kW

MDX系列1kW和1.5kW电源在真空环境中经久耐用，其小巧的尺寸使其成为实验室系统的理想解决方案。

它们最常用作直流磁控溅射电源；在该领域，二者精密的调节性能、一流的灭弧功能和较低的存储输出能量使之成为业界领先产品。

它们还在射频溅射和蚀刻系统中被用作精密调节的偏压电源。

优势:

●针对标准Z和低Z应用的两种配置

●高频开关电路从线路到负载的效率超过90%

●Arc-Out?

抑制电路

●常用作直流磁控溅射电源

特点:

●尺寸小

●输出纹波很低

●可调节抑弧时间

规格：

●输出功率：

MDX1KW：

1000W，MDX1.5KW：

1500W

●输出电压：

1000V，1300V；500V，750V

●点火电压：

1500V；900V，1200V

●输入电压/电流：

MDX1KW：

115VAC，50/60HZ±10%，16Amax；

208/220VAC50/60HZ±10%，8.9A

●MDX1.5KW：

208/220VAC50/60HZ±10%，13.4A

●尺寸：

175.3×266.7×400mm

●重量：

8.6KG

MDX1KW、1.5KW

E'Wave双极脉冲直流电系列

AdvancedEnergy的E'Wave双极脉冲直流电源改善了表面均匀性，减少了DDPF工艺流程（dual-damasceneprocessflow,DDPF）应用的镀铜阶段之附加消耗，包括在生产环境和铜工艺开发中的晶圆电镀。

E'Wave电源提供多达三个通道，每个都有一个独立驱动的双极电源，能够生成、存储和运行多达15个由电流控制或由电压控制的波形。

优势:

●绝佳的填隙

●一流的表面均匀性

●降低了附加消耗

●强有力的监控

●减少了无尘室空间要求

●广泛的配置选择

特点:

●通用波形形成

●多达三个独立控制的通道

●双极脉冲直流电输出，0-5kHz

●高电流能力

●四终端控制和晶圆的电压测量

●主机接口

●紧凑型封装

规格：

●输入电压：

180-230VAC3Φ

●频率：

47-63HZ

●输出功率：

2400W最大，2000W

●尺寸：

127×432×660mm（高×宽×长）

●重量：

30KG

E'Wave?

2400W

AE（AdvancedEnergy）低频/中频电源

PDX中频电源系列

PDX系列小功率（1250和1400W）及大功率（5000和8000W）中频电源为各种广泛的工艺应用提供一种高效、紧凑、易于整合的电源。

这些高度可靠的电源提高了工艺灵活性，提供广泛的运行频率范围以优化工艺控制，确保较高的工艺重复性，并提高了吞吐量。

PDX1250

规格：

●输出功率：

18-1250W

●频率：

325-450KHz

●反向功率：

250Wmax

●输入电压：

180-253VAC，50/60HZ，1Φ

●输入电流：

15ARMSmax

●最大输出电压：

300V

●最大输出电流：

6A

●冷却方式：

强制风冷

●尺寸：

89×483×483mm（高×宽×长）

●重量：

＜14KG

PDX1400

规格：

●输出功率：

25-1400W

●频率：

235-305KHz

●反向功率：

280Wmax

●输入电压：

180-230VAC，50/60HZ，3Φ

●输入电流：

15ARMSmax

●最大输出电压：

300V

●最大输出电流：

6A

●冷却方式：

强制风冷

●尺寸：

89×483×483mm（高×宽×长）

●重量：

＜14KG

PDX5000

规格：

●输出功率：

100-5000W

●频率：

330-460kHz

●反向功率：

1500W

●输入电压：

180-230VAC，50/60HZ，3Φ

●输入电流：

18A

●最大输出电压：

735V

●最大输出电流：

14.9A

●运行环境：

5-30℃

●冷却方式：

水冷2gpm@0-30℃

●尺寸：

178×483×508（高×宽×长）

●重量：

41KG

PDX8000

规格：

●输出功率：

100-8000W

●频率：

340-440kHz

●反向功率：

1500W

●输入电压：

180-230VAC，50/60HZ，3Φ

●输入电流：

29A

●最大输出电压：

735V

●最大输出电流：

14.9A

●运行环境：

5-30℃

●冷却方式：

水冷2gpm@0-30℃

●尺寸：

178×483×508（高×宽×长）

●重量：

41KG

PEII低频系列

PEII低频系列电源提供40kHz脉冲输出，具有增强的弧控制以及与高达60kW的输出功率，该系列电源具有极宽的匹配阻抗，无输出变压器等外部组合硬件，特别适用于反应溅射。

优点

●恒功率、电压或电流输出

●最高的灵活性与模块性

●强大的电弧控制

●自动制程保护装置

●极宽的祖抗匹配范围

●高功率密度

PEII5000

●输入电压：

180-230VAC，3Φ（接地）

●输出频率：

40kHz±0.01%

●输出功率：

5000W

●输出电压：

547VRMSnominalintap4；953VRMSmaxintap7

●输出电流：

9ARMSnominalintap4；16ARMSmaxintap1

●冷却方式：

水冷，5-30℃，2gpm

●尺寸：

177×482.6×495.3mm（高×宽×长）

●重量：

40.8KG

PEII10K

●输入电压：

180-230VAC，3Φ（接地）

●输出频率：

40kHz±0.01%

●输出功率：

5000W

●输出电压：

547VRMSnominalintap4；953VRMSmaxintap7

●输出电流：

18ARMSnominalintap4；32ARMSmaxintap1

●冷却方式：

水冷，5-30℃，2gpm

●尺寸：

177×482.6×495.3mm（高×宽×长）

●重量：

40.8KG

LFGS射频发生器系列

LFGS发生器是用于半导体生产和一般等离子处理的多功能射频发生器。

此类可变频率发生器采用了一种半桥、D类型放大器理念，拥有一种空冷式紧凑型的设计，可安装在19英寸机架上面。

典型的应用包括溅射、等离子蚀刻、化学气象沉积、聚合以及表面处理。

优点:

●可达到目前市场上可获得的最低反射功率

功能:

●空冷式设计

●多功能前面板

●脉冲模式：

0到10kHz

●更完善的操作功能表

●2个模拟用户端口

●RS-232接口、以太网接口及PROFIBUS接口

LFGS1250A

●频率：

40-80kHz±0.005%

●输出功率：

15W-1250W

●输入电压：

187-240VAC，50/60HZ

●输入电流：

7.5A/Φ，2300VA

●冷却方式：

强制风冷130m/h3

●尺寸：

483×500×88（宽×长×高）

●重量：

19.5KG

LFGS1250B

●频率：

80-150kHz±0.005%

●输出功率：

15W-1250W

●输入电压：

187-240VAC，50/60HZ

●输入电流：

7.5A/Φ，2300VA

●冷却方式：

强制风冷130m/h3

●尺寸：

483×500×88（宽×长×高）

●重量：

19.5KG

LFGS1250C

●频率：

150-300kHz±0.005%

●输出功率：

15W-1250W

●输入电压：

187-240VAC，50/60HZ

●输入电流：

7.5A/Φ，2300VA

●冷却方式：

强制风冷130m/h3

●尺寸：

483×500×88（宽×长×高）

●重量：

19.5KG

LFGS1250D

●频率：

300-500kHz±0.005%

●输出功率：

15W-1250W

●输入电压：

187-240VAC，50/60HZ

●输入电流：

7.5A/Φ，2300VA

●冷却方式：

强制风冷130m/h3

●尺寸：

483×500×88（宽×长×高）

●重量：

19.5KG

LFGS1250A、1250B、1250C、1250D

Crystal高功率电源系列

AdvancedEnergy（AE）的Crystal电源非常适用于大面积玻璃镀膜应用，如建筑玻璃、汽车玻璃、减反射镀膜和高反射镜等。

更低的故障率，回报您更高的产量。

这些电源的可用功率为180kW,120KW,60KW。

为双靶磁控溅射应用提供了更宽祖抗匹配的低频率正弦工艺电源。

AE的Crystal电源是唯一特别为等离子环境而设计拓扑结构的交流电大功率电源。

优势:

●更灵活

●产量更高

●减少当机时间

●吞吐量提高

特点:

●宽阻抗匹配低频率正弦工艺电源

●大功率电源——最大180kW功率

●专为等离子环境而设计

Crystal180KW

规格：

●输入电压：

400-480Vrms±10%，50/60HZ

●输入电流：

325Arms@180KW，400Vrms

270Arms@180KW，480Vrms

●输出功率：

180KW

●输出频率：

40kHz-60kHz，80kHz@min.

●最大输出电流：

600Arms

●最大输出电压：

1460Vrms

●运行环境：

5-45℃

●冷却方式：

水冷，15-40℃，14gpm

●尺寸：

213×152×76cm（长×宽×高）

●重量：

1220KG

Crystal60KW、120KW、180KW

AE（AdvancedEnergy）RF电源

Paramount射频功率输送系统

这款半机架的3kW的Paramount射频（RF）功率输送系统拥有更强的功率和阻抗测量性能，能够在13.56MHz固定或可变频率、50欧姆和非50欧姆负载下（电压驻波比（VSWR）超过3:

1），为您带来出色的输送功率精度和控制性能。

能够与最突然变化的等离子阻抗保持实时同步，Paramount射频功率输送系统能为新一代技术节点带来更快的转换速度、更少的制程步骤以及更短的制程时间。

其阻抗测量精度可与网络分析仪的水平相媲美，而可选频率的调谐几乎可以瞬间实现（达到毫秒数量级），其速度较市场上的任何其它产品都快。

从而实现真正卓越的精确性、可重复性和对制程的控制。

优点:

●凭借卓越的功率输送精度，实现前所未有的薄膜均匀度与传送效能（throughput）的最优化

●以更快的制程转换来支持新一代蚀刻与沉积制程

●帮助实现无缝的制程转换

●提高产量

●实现投资回报最大化<

特点:

●新一代测量系统能够在所有输出范围内（50欧姆和非50欧姆负载）对功率和阻抗进行极精确的测量

●近乎瞬间的频率调谐（可选）

●可选脉冲和同步脉冲的脉冲频率范围很宽广

●可选的HALO（高精确度、低输出）及弧管理系统

●紧凑半机架型外观设计

Paramount3KW

规格：

●输出功率：

3000W

●频率：

13.56MHz±0.005%（可选12.88-14.24MHz）

●输入电压：

200/208VAC±10%，3Φ，50/60HZ

●输入电流：

13.7/14.5A/Φ@208/200VAC

●冷却方式：

水冷和强制风冷，水温+5℃，＞2gpm

●尺寸：

13.3×21.6×44.5cm

●重量：

＜16KG

Paramount3000W

Apex射频供电系统

通用Apex系列射频电源和供电系统采用复杂的射频转换技术，在适合于真空室安装的模块化设计中提供增大的产品和工艺可靠性。

Apex平台在针对半导体、平板显示器或数据存储制造以等离子为基础的薄膜工艺中表现优异。

优势:

●更高的功率密度

●更好的工艺灵活性

●产量提高

●持有成本降低

●简化工艺工具整合

●灵活的通信

特点:

●简化的设计

●真空室安装、框架安装、支架安装和鞋盒式（shoebox）选择

●宽带控制回路和可选的高重复率脉冲

●业界领先的弧管理

●符合监管要求

Apex?

1513

规格：

●频率：

13.56MHz

●输出功率：

1500W

●输入电压：

208V，50/60HZ，3Φ

●输入电流：

17A

●冷却方式：

水冷，35℃

●尺寸：

132.59×215.14×425.96mm

Apex3013

规格：

●频率：

13.56MHz

●输出功率：

3000W

●输入电压：

208V，50/60HZ，3Φ

●输入电流：

17A

●冷却方式：

水冷，35℃

●尺寸：

132.59×215.14×425.96mm

Apex5513

规格：

●频率：

13.56MHz

●输出功率：

5500W

●输入电压：

208V，50/60HZ，3Φ

●输入电流：

17A

●冷却方式：

水冷，35℃

●尺寸：

132.59×215.14×425.96mm

Apex1513、3013、5513、7KW/13、10KW/13

HFV变频（~2MHz）电源

灵活的HFV电源主要用作200和300mm晶圆制程、平板显示器和DVD设备的等离子发生器，为离子化物理气相沉积（IPVD）、CVD和蚀刻提供了工艺一致性。

这种通用电源的特点有数字合成变频输出和微处理器控制，输出功率电平为3、5和8kW。

此外，其输出频率范围为1.765-2.165MHz。

固件上的频率调谐参数可进行定制，以确保在各种真空室结构和工艺方法下的可重复运行。

优势:

●提高了run-to-run准确性

●具有通用性

●提高了可靠性

●增强了工艺灵活性

●降低了持有成本

特点:

●可定制的频率调谐参数

●输出频率范围为1.765-2.165MHz

●3、5和8kW的输出功率电平

●数字合成频率输出

●微处理器控制

CESAR射频发生器

我们针对高级等离子应用设计了一整系列