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IC基础知识
IC设计基础(流程、工艺、版图、器件)
1、我们公司的产品是集成电路,请描述一下你对集成电路的认识,列举一些与集成电路
相关的内容(如讲清楚模拟、数字、双极型、CMOS、MCU、RISC、CISC、DSP、ASIC、FPGA 等的概念)。
2、FPGA和ASIC的概念,他们的区别。
答案:
FPGA是可编程ASIC。
ASIC:
专用集成电路,它是面向专门用途的电路,专门为一个用户设计和制造的。
根据一
个用户的特定要求,能以低研制成本,短、交货周期供货的全定制,半定制集成电路。
与
门阵列等其它ASIC(Application Specific IC)相比,它们又具有设计开发周期短、设计
制造成本低、开发工具先进、标准产品无需测试、质量稳定以及可实时在线检验等优点
3、什么叫做OTP片、掩膜片,两者的区别何在?
OTPmeansonetimeprogram,一次性编程MTPmeansmultitimeprogram,多次性编程OTP(OneTimeProgram)是MCU的一种存储器类型MCU按其存储器类型可分为MASK(掩模)ROM、OTP(一次性可编程)ROM、FLASHROM等类型。
MASKROM的MCU价格便宜,但程序在出厂时已经固化,适合程序固定不变的应用场合;FALSHROM的MCU程序可以反复擦写,灵活性很强,但价格较高,适合对价格不敏感的应用场合或做开发用途;OTPROM的MCU价格介于前两者之间,同时又拥有一次性可编程能力,适合既要求一定灵活性,又要求低成本的应用场合,尤其是功能不断翻新、需要迅速量产的电子产品。
4、你知道的集成电路设计的表达方式有哪几种?
数字和模拟门海门阵列FPGAASICCPLD5、描述你对集成电路设计流程的认识。
答案:
集成电路设计的流程一般先要进行软硬件划分,将设计基本分为两部分:
芯片硬件设计和软件协同设计。
芯片硬件设计包括:
1.功能设计阶段。
设计人员产品的应用场合,设定一些诸如功能、操作速度、接口规格、环
境温度及消耗功率等规格,以做为将来电路设计时的依据。
更可进一步规划软
件模块及硬件模块该如何划分,哪些功能该整合于SOC内,哪些功能可以设
计在电路板上。
2.设计描述和行为级验证
功能设计完成后,可以依据功能将SOC划分为若干功能模块,并决定实现
这些功能将要使用的IP核。
此阶段将接影响了SOC内部的架构及各模块间互
动的讯号,及未来产品的可靠性。
决定模块之后,可以用VHDL或Verilog等硬件描述语言实现各模块的设
计。
接着,利用VHDL或Verilog的电路仿真器,对设计进行功能验证(function
simulation,或行为验证behavioralsimulation)。
注意,这种功能仿真没有考虑电路实际的延迟,但无法获得精确的结果。
3.逻辑综合
确定设计描述正确后,可以使用逻辑综合工具(synthesizer)进行综合。
综合过程中,需要选择适当的逻辑器件库(logiccelllibrary),作为合成逻辑
电路时的参考依据。
硬件语言设计描述文件的编写风格是决定综合工具执行效率的一个重要
因素。
事实上,综合工具支持的HDL语法均是有限的,一些过于抽象的语法
只适于作为系统评估时的仿真模型,而不能被综合工具接受。
逻辑综合得到门级网表。
4.门级验证(Gate-LevelNetlistVerification)
门级功能验证是寄存器传输级验证。
主要的工作是要确认经综合后的电路
是否符合功能需求,该工作一般利用门电路级验证工具完成。
注意,此阶段仿真需要考虑门电路的延迟。
5.布局和布线
布局指将设计好的功能模块合理地安排在芯片上,规划好它们的位置。
布线则指完成各模块之间互连的连线。
注意,各模块之间的连线通常比较长,因此,产生的延迟会严重影响SOC的性能,尤其在0.25微米制程以上,这种现象更为显著。
目前,这一个行业仍然是中国的空缺,开设集成电路设计与集成系统专业的大学还比较少,其中师资较好的学校有上海交通大学,哈尔滨工业大学,黑龙江大学、东南大学,西安电子科技大学,电子科技大学,哈尔滨理工大学,复旦大学,华东师范大学等。
这个领域已经逐渐饱和,越来越有趋势走上当年软件行业的道路。
模拟集成电路设计的一般过程:
1.电路设计
依据电路功能完成电路的设计。
2.前仿真
电路功能的仿真,包括功耗,电流,电压,温度,压摆幅,输入输出特性等参数的仿真。
3.版图设计(Layout)
依据所设计的电路画版图。
一般使用Cadence软件。
4.后仿真
对所画的版图进行仿真,并与前仿真比较,若达不到要求需修改或重新设计版图。
5.后续处理
将版图文件生成GDSII文件交予Foundry流片。
6、简述FPGA等可编程逻辑器件设计流程。
7、IC设计前端到后端的流程和eda工具。
8、从RTL synthesis到tape out之间的设计flow,并列出其中各步使用的tool.
9、Asic的design flow。
1.使用语言:
VHDL/verilogHDL
2.各阶段典型软件介绍:
输入工具:
Summit ,ultraedit Summit 公司,ultraedit
仿真工具:
VCS,VSS Synopsys公司
综合器:
DesignCompile,BCCompile Synopsys公司
布局布线工具:
Preview和SiliconEnsemble Cadence 公司
版图验证工具:
Dracula,Diva Cadence 公司
静态时序分析:
PrimeTime Synopsys公司
测试:
DFT Compile Synopsys公司
3.流程
第一阶段:
项目策划
形成项目任务书(项目进度,周期管理等)。
流程:
【市场需求--调研--可行性研究--论证--决策--任务书】。
第二阶段:
总体设计
确定设计对象和目标,进一步明确芯片功能、内外部性能要求,参数指标,论证各种可行方案,选择最佳方式,加工厂家,工艺水准。
流程:
【需求分析--系统方案--系统设计--系统仿真】。
第三阶段:
详细设计和可测性设计
分功能确定各个模块算法的实现结构,确定设计所需的资源按芯片的要求,速度,功耗,带宽,增益,噪声,负载能力,工作温度等和时间,成本,效益要求选择加工厂家,实现方式,(全定制,半定制,ASIC,FPGA等);可测性设计与时序分析可在详细设计中一次综合获得,可测性设计常依据需要采用FullScan,PartScan等方式,可测性设计包括带扫描链的逻辑单元,ATPG,以及边界扫描电路BoundScan,测试Memory的BIST。
流程:
【逻辑设计--子功能分解--详细时序框图--分块逻辑仿真--电路设计(算法的行为级,RTL级描述)--功能仿真--综合(加时序约束和设计库)--电路网表--网表仿真】。
第四阶段:
时序验证与版图设计
静态时序分析从整个电路中提取出所有时序路径,然后通过计算信号沿在路径上的延迟传播,找出违背时序约束的错误(主要是SetupTime和HoldTime),与激励无关。
在深亚微米工艺中,因为电路连线延迟大于单元延迟,通常预布局布线反复较多,要多次调整布局方案,对布局布线有指导意义。
流程:
【预布局布线(SDF文件)--网表仿真(带延时文件)--静态时序分析--布局布线--参数提取--SDF文件--后仿真--静态时序分析--测试向量生成】第五阶段:
加工与完备
流程:
【工艺设计与生产--芯片测试--芯片应用】
10、写出asic前期设计的流程和相应的工具。
11、集成电路前段设计流程,写出相关的工具。
先介绍下IC开发流程:
1.)代码输入(design input)
用vhdl或者是verilog语言来完成器件的功能描述,生成hdl代码
语言输入工具:
SUMMIT VISUALHDL
MENTOR RENIOR
图形输入:
composer(cadence);
viewlogic (viewdraw)
2.)电路仿真(circuit simulation)
将vhd代码进行先前逻辑仿真,验证功能描述是否正确
数字电路仿真工具:
Verolog:
CADENCE Verolig-XL
SYNOPSYS VCS
MENTOR Modle-sim
VHDL :
CADENCE NC-vhdl
SYNOPSYS VSS
MENTOR Modle-sim
模拟电路仿真工具:
***ANTI HSpice pspice,spectre micro microwave:
eesoft :
hp
3.)逻辑综合(synthesis tools)
逻辑综合工具可以将设计思想vhd代码转化成对应一定工艺手段的门级电路;将初级仿真 中所没有考虑的门沿(gates delay)反标到生成的门级网表中,返回电路仿真阶段进行再 仿真。
最终仿真结果生成的网表称为物理网表。
12、请简述一下设计后端的整个流程?
13、是否接触过自动布局布线?
请说出一两种工具软件。
自动布局布线需要哪些基本元 素?
14、描述你对集成电路工艺的认识。
15、列举几种集成电路典型工艺。
工艺上常提到0.25,0.18指的是什么?
典型工艺:
抛光、氧化、扩散、光刻、外延生长、气相淀积等
0.18、0.25是指工艺上刻蚀的最小线条宽度
16、请描述一下国内的工艺现状。
当前,国际先进的集成电路芯片加工水平已经进入90nm/12英寸,而且正向65nm水平前进,65nm以下设备已逐步进入实用,45~22nm设备和技术正在开发当中。
在芯片制造技术领域的一个显著特点是,集成电路工艺与设备的结合更为紧密,芯片制造共性工艺技术的开发越来越多地由设备制造商来承担。
目前,设备制造商的职责已经从单纯地提供硬件设备转变为既要提供硬件设备又要提供软件(含工艺菜单)、工艺控制及工艺集成等服务的总体解决方案,芯片制造技术越来越多地融入设备之中。
我国集成电路芯片制造技术水平与世界先进水平相差巨大。
近年在全球市场兴旺发展大潮的带动下,我国集成电路产业投资加大,国际合作的大环境促进了产业从境外向我国大陆转移,中芯国际、上海华虹NEC等大型芯片制造企业已经具备大规模集成电路的生产能力。
目前,我国8英寸晶片制造产能快速扩充,主流制造工艺水平为0.18μm。
虽然我国集成电路芯片制造业近年来大规模发展,但不容忽视的是,生产过程中所用到的设备基本都是从国外进口。
以光刻机为例,我国集成电路生产线中的光刻机基本都足从欧美和日本进口,尤其是0.5μm以下的光刻机百分之百都来自国外。
可喜的是,在“十五”计划期间,国家安排了集成电路专用设备重大科研专项,包括100nm分辨率集成电路光刻机、等离子刻蚀机和大倾角离子注入机,目前相关设备的研究已经取得成果,等离子刻蚀机、大角度离子注入机已完成项目验收,并被中芯国际批量采购。
17、半导体工艺中,掺杂有哪几种方式?
1.外延2.离子注入3.热扩散
18、描述CMOS电路中闩锁效应产生的过程及最后的结果?
Latch-up闩锁效应,又称寄生PNPN效应或可控硅整流器(SCR,SiliconControlledRectifier)效应。
在整体硅的CMOS管下,不同极性搀杂的区域间都会构成P-N结,而两个靠近的反方向的P-N结就构成了一个双极型的晶体三极管。
因此CMOS管的下面会构成多个三极管,这些三极管自身就可能构成一个电路。
这就是MOS管的寄生三极管效应。
如果电路偶尔中出现了能够使三极管开通的条件,这个寄生的电路就会极大的影响正常电路的运作,会使原本的MOS电路承受比正常工作大得多的电流,可能使电路迅速的烧毁。
Latch-up状态下器件在电源与地之间形成短路,造成大电流、EOS(电过载)和器件损坏。
19、解释latch-up现象和Antenna effect和其预防措施.
Latchup最易产生在易受外部干扰的I/O电路处,也偶尔发生在内部电路
Latchup是指cmos晶片中,在电源powerVDD和地线GND(VSS)之间由于寄生的PNP和NPN双极性BJT相互影响而产生的一低阻抗通路,它的存在会使VDD和GND之间产生大电流
随着IC制造工艺的发展,封装密度和集成度越来越高,产生Latchup的可能性会越来越大
Latchup产生的过度电流量可能会使芯片产生永久性的破坏,Latchup的防范是ICLayout的最重要措施之一
Q1为一垂直式PNPBJT,基极(base)是nwell,基极到集电极(collector)的增益可达数百倍;Q2是一侧面式的NPNBJT,基极为Psubstrate,到集电极的增益可达数十倍;Rwell是nwell的寄生电阻;Rsub是substrate电阻。
以上四元件构成可控硅(SCR)电路,当无外界干扰未引起触发时,两个BJT处于截止状态,集电极电流是C-B的反向漏电流构成,电流增益非常小,此时Latchup不会产生。
当其中一个BJT的集电极电流受外
部干扰突然增加到一定值时,会反馈至另一个BJT,从而使两个BJT因触发而导通,VDD至GND(VSS)间
形成低抗通路,Latchup由此而产生。
产生Latchup的具体原因
?
芯片一开始工作时VDD变化导致nwell和Psubstrate间寄生电容中产生足够的电流,当VDD变化率大到一定地步,将会引起Latchup。
?
当I/O的信号变化超出VDD-GND(VSS)的范围时,有大电流在芯片中产生,也会导致SCR的触发。
?
ESD静电加压,可能会从保护电路中引入少量带电载子到well或substrate中,也会引起SCR的触发。
?
当很多的驱动器同时动作,负载过大使power和gnd突然变化,也有可能打开SCR的一个BJT。
?
Well侧面漏电流过大。
防止Latchup的方法
?
在基体(substrate)上改变金属的掺杂,降低BJT的增益
?
避免source和drain的正向偏压
?
增加一个轻掺杂的layer在重掺杂的基体上,阻止侧面电流从垂直BJT到低阻基体上的通路
?
使用Guardring:
P+ring环绕nmos并接GND;N+ring环绕pmos并接VDD,一方面可以降低Rwell和Rsub的阻值,另一方面可阻止栽子到达BJT的基极。
如果可能,可再增加两圈ring。
?
Substratecontact和wellcontact应尽量靠近source,以降低Rwell和Rsub的阻值。
?
使nmos尽量靠近GND,pmos尽量靠近VDD,保持足够的距离在pmos和nmos之间以降低引发SCR的可能
?
除在I/O处需采取防Latchup的措施外,凡接I/O的内部mos也应圈guardring。
?
I/O处尽量不使用pmos(nwell)
在深亚微米集成电路加工工艺中,经常使用了一种基于等离子技术的离子刻蚀工艺(plasmaetching)。
此种技术适应随着尺寸不断缩小,掩模刻蚀分辨率不断提高的要求。
但在蚀刻过程中,会产生游离电荷,当刻蚀导体(金属或多晶硅)的时候,裸露的导体表面就会收集游离电荷。
所积累的电荷多少与其暴露在等离子束下的导体面积成正比。
如果积累了电荷的导体直接连接到器件的栅极上,就会在多晶硅栅下的薄氧化层形成F-N隧穿电流泄放电荷,当积累的电荷超过一定数量时,这种F-N电流会损伤栅氧化层,从而使器件甚至整个芯片的可靠性和寿命严重的降低。
在F-N泄放电流作用下,面积比较大的栅得到的损伤较小。
因此,天线效应(ProcessAntennaEffect,PAE),又称之为“等离子导致栅氧损伤(plasmainducedgateoxidedamage,PID)”。
天线效应的消除方法
1)跳线法。
又分为“向上跳线”和“向下跳线”两种方式,如图2(b)所示。
跳线即断开存在天线效应的金属层,通过通孔连接到其它层(向上跳线法接到天线层的上一层,向下跳线法接到下一层),最后再回到当前层。
这种方法通过改变金属布线的层次来解决天线效应,但是同时增加了通孔,由于通孔的电阻很大,会直接影响到芯片的时序和串扰问题,所以在使用此方法时要严格控制布线层次变化和通孔的数量。
在版图设计中,向上跳线法用的较多,此法的原理是:
考虑当前金属层对栅极的天线效应时,上一层金属还不存在,通过跳线,减小存在天线效应的导体面积来消除天线效应。
现代的多层金属布线工艺,在低层金属里出现PAE效应,一般都可采用向上跳线的方法消除。
但当最高层出现天线效应时,采用什么方法呢?
这就是下面要介绍的另一种消除天线效应的方法了。
2)添加天线器件,给“天线”加上反偏二极管。
如图2(c)所示,通过给直接连接到
栅的存在天线效应的金属层接上反偏二极管,形成一个电荷泄放回路,累积电荷就对栅氧构不成威胁,从而消除了天线效应。
当金属层位置有足够空间时,可直接加上二极管,若遇到布线阻碍或金属层位于禁止区域时,就需要通过通孔将金属线延伸到附近有足够空间的地方,插入二极管。
3)给所有器件的输入端口都加上保护二极管。
此法能保证完全消除天线效应,但是会在没有天线效应的金属布线上浪费很多不必要的资源,且使芯片的面积增大数倍,这是VLSI设计不允许出现的。
所以这种方法是不合理,也是不可取的。
4)对于上述方法都不能消除的长走线上的PAE,可通过插入缓冲器,切断长线来消除天线效应。
在实际设计中,需要考虑到性能和面积及其它因素的折衷要求,常常将法1、法2和法4结合使用来消除天线效应。
20、什么叫Latchup?
Latch-up闩锁效应,又称寄生PNPN效应或可控硅整流器(SCR,SiliconControlledRectifier)效应。
21、什么叫窄沟效应?
1简介
当场效应晶体管的沟道宽度约等于源和漏结的耗尽层宽度时,即为所谓“窄沟道”器件。
在器件结构的尺寸缩小时,不仅沟道长度变短,宽度也将按同比例在缩小,于是就会出现窄沟道器件。
器件的阈值电压等性能因为沟道变窄而发生变化的现象即称为窄沟道效应——晶体管的阈值电压升高。
2理想模型
沟道变窄使阈值电压发生变化的物理本质是:
栅电极的“边缘场”使得场氧化层下的表面耗尽区的空间电荷有所增加(即产生了额外电荷ΔQ),则使阈值电压增大。
当沟道宽度较大时,耗尽层向两侧的扩展部分可以忽略;但是沟道变窄时,边缘场造成的耗尽层扩展变得不可忽略,这样,耗尽层电荷量比原来计算的要大,这就产生了窄沟道效应——使阈值电压会有一个增量。
栅极宽度越小,ΔQ所占总空间电荷的比例也就越大,则NWE的影响就越大。
基于这种边缘场的概念来计算NWE的阈值电压,有Jeppson简单模型和Akers模型等。
因此,为了减小NWE,应该减薄栅SiO2层的厚度,以使边缘场减小。
3产生原因
对于VLSI中的实际小尺寸MOSFET而言,发生NWE的机理往往不是“边缘场”的关系,而是工艺问题所致:
因为这里总有高剂量的场区离子注入,在退火时离子会产生侧向扩散,使得沟道区的有效杂质浓度升高,从而导致阈值电压增高。
因此,在减弱窄沟道效应所采取的措施上,就需要从工艺技术方面来考虑。
4互补
NWE和SCE的互补
由于短沟道效应(SCE)将引起阈值电压下降,这正好与窄沟道效应的影响相反。
因此在特殊尺寸条件下,二者可以相互补偿,从而可使得小尺寸器件的阈值电压与大尺寸器件的一样。
22、什么是NMOS、PMOS、CMOS?
什么是增强型、耗尽型?
什么是PNP、NPN?
他们有什么差别?
MOS器件分为NMOS和PMOS,而CMOS是指互补的MOS管组成的电路,也就是PMOS,NMOS组成,NMOS是指沟道在栅电压控制下p型衬底反型变成n沟道,靠电子的流动PMOS是指n型p沟道,靠空穴的流动CMOS相比Bipolar,优点就是其功耗低,集成度高等等。
当然Bipolar的驱动能力比CMOS强,目前BiCMOS工艺就是结合了CMOS和Bipolar的优点。
耗尽型与增强型都属于MOS管(绝缘栅型场效应管)。
前者在不加栅源电压时漏极和源极为耗尽层不能导通,而且工作是栅源电压只能是正向的;增强型则可以导通,栅源电压可正可负。
PNP、NPN是三极管输出的方式。
原理就是PN结的结合方式。
PNP是高电平输出,NPN是低电平输出,电流方向和电压正负不同。
23、硅栅COMS工艺中N阱中做的是P管还是N管,N阱的阱电位的连接有什么要求?
P管
1)开始布局时,不要为了节省面积而把器件放置的过于紧密(主要是注意两个不同电位N阱之间的距离,根据情况可以把这样的管子分开放置),尽量把N管和P管分开。
2)PMOS管间距的问题(NWELspace)
①对于阱电位不同的P管,任何情况下,阱与阱之间的距离不得小于1.4um。
②对于阱电位相同的P管,不管是完全并联还是普通连接,只要它们的阱电位相同,都有两种排列方式,一种是根据规则使其间距大于等于0.6um,另一种则是使其边缘重合(这种情况应该是默认把管子做在同一个阱中)。
24、画出CMOS晶体管的CROSS-OVER图(应该是纵剖面图),给出所有可能的传输特性和转 移特性。
25、以interver为例,写出N阱CMOS的process流程,并画出剖面图。
26、Please explain how we describe the resistance in semiconductor. Compare
the resistance of a metal,poly and diffusion in tranditional CMOS process.
27、说明mos一半工作在什么区。
饱和区,MOS管是一个压控器件,理想情况下,Id电流只与Vgs有关。
28、画p-bulk 的nmos截面图。
29、写schematic note(?
), 越多越好。
30、寄生效应在ic设计中怎样加以克服和利用。
所谓寄生效应就是那些溜进你的PCB并在电路中大施破坏、令人头痛、原因不明的小故障。
它们就是渗入高速电路中隐藏的寄生电容和寄生电感。
其中包括由封装引脚和印制线过长形成的寄生电感;焊盘到地、焊盘到电源平面和焊盘到印制线之间形成的寄生电容;通孔之间的相互影响,以及许多其它可能的寄生效应。
理想状态下,导线是没有电阻,电容和电感的。
而在实际中,导线用到了金属铜,它有一定的电阻率,如果导线足够长,积累的电阻也相当可观。
两条平行的导线,如果互相之间有电压差异,就相当于形成了一个平行板电容器(你想象一下)。
通电的导线周围会形成磁场(特别是电流变化时),磁场会产生感生电场,会对电子的移动产生影响,可以说每条实际的导线包括元器件的管脚都
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