选材上芯工序5S规范 ssWord文档格式.docx
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8
五
静电环的使用规范
........................................................................................................................
9
六
氮气柜中晶圆的放置规范
..........................................................................................................
10
七
氮气柜中引线框架的放置规范
..................................................................................................
11
八
领班工作桌物料放置规范
九
氮气柜中兰膜的放置规范
十
设备上记录的放置规范
..............................................................................................................
13
14
15
十一
产品传递规范
..........................................................................................................................
17
-4-
管理规范
的:
通过
管理、规范物料放置、提升工作效率:
使用范围:
上芯工序
序
号
1
2
图片
设备旁边小货架
设备旁边小货架第一层
-5-
说明
1.
按
标
识
分
类
放置整齐;
2.
统
放
置
在
左边;
3.
引
线
框
架
要
侧放;
4.
不
能
超
出
边
缘线。
小
货
第
一
层放置晶圆
提篮、装有产
品的传递框、
废引线框架
或打×
产品;
传
递
中
产
品四周要留
备
注
有缝隙;
装
有
打
×
品的传递盒
首尾时要及
时清理放置
以防混批。
备注
检验桌
检验桌上物
料放置严格
按标识位置
规范放置;
-6-
货架上传递盒的放置
同一封装形
式传递盒整
齐放置在货
架的同一层
并挂上标识
牌;
操作员取用
时从右向左
按序取用;
-7-
传递车上产品放置要求
-8-
层
最
多
只能放置
4
框产品;
流
程
卡
对
折
个
和
传
递盒中间;
操
作
员
放
时
程
方
向
一致
;
不
车
边
缘
(安全);
5.
封
装
形
式
同
批
次
产
品
置
在
车
同一层。
操作设备时
操作设备及
插
上
静
电
环;
抽检产品时
及时插上静电
检验产品时
在检验桌前
检验产品时及
时插静电环
-9-
氮气柜外面
所有晶圆按
标识放置在对
应
的
氮
气
柜
中;
氮气柜中的晶圆提篮
氮气柜中的
晶圆提篮按
规范放置在
氮气柜中。
-
10
-
框架标签
物料员领用
的引线框架
按标识分类
放置在对应
柜中;
氮气柜中框架放置规范
11
引线框架统
一按规范放置
在柜的右侧;
3
框架放置规范
一般框架在
氮气柜中都要
竖放;
有盖子的不
能竖放的平行
放置。
12
框架的取用规范
物料员取用
框架时按先进
先出的原则从
左向右取用。
领班工作桌
按标识规范
放置整齐。
首尾兰膜放置规范
操作员首尾
的产品把流程
卡、晶圆上芯
统计记录、晶
圆管制卡对着
整齐的放置在
13
兰膜的上面。
兰膜氮气柜
将首尾兰膜
按标识分类放
置在对应氮气
氮气柜中记录及兰膜
氮气柜中记
录及兰膜放置
规范;
氮气柜中兰膜放置规
14
兰膜放置规
范
设备前面记录放置规
设备前面左
面放置流程卡
和
晶
圆
管
制
卡;
右面放置
设
备
运
行
记
录;
15
设备上面记录放置规
设备正上面
放置《晶圆上
芯统计记录》;
16
产品的传递规范
双手抓住传
递框,平行传
送;
传递车的传送规范
双手平行推
送
17
制造部上芯工序
18
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