LEDIT 使用技巧文档格式.docx
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注意显示彩色必须设置成256色,否则不能正常工作。
以V7.50和V8.00为代表的WIN9X版本,要求在WIN9X下完整安装,但简易版可采用考贝到硬盘,再在WIN98下建立快捷方式运行Ledit.exe软件。
该版本具有非常友好的WINDOWS界面并增加了任意扇形和环形的功能以及标尺,还具有直接调用SPR和DRC及TXT的按钮。
其中原来DOS版鼠标中键封闭解放图形层的功能改为采用鼠标右键点击图形层选择区出现的新选择菜单执行:
Show为封闭指定层或解除指定层的封闭;
ShowAll为解放所有被封闭的图形层;
HideAll为封闭除指定层外其它所有的图形层;
Setup为层名和层属性的设置。
L-EditV8.30以后的版本又突破以往只有256色的限制,实现了真彩色表现的能力,上下层图形可以实现透明显示,并且进一步完善了多层布线功能。
详细软件使用说明参见2002年11月北京希望电子出版社出版的高等院校电子技术教材“TANNER集成电路设计教程”。
4.3.1掩模原始子单元(Cell)图形生成
4.3.1.1建立新文件(File)
执行LEDIT批处理文件进入L-EDIT交互式图形编辑介面
进入File/MergeSetup打开预先建立的掩模图形设计环境文件LMK.TDB进入File/New建立新创建图形文件的文件名,如YXYM001
注意:
建议所有文件名及单元名均采用大写字符
若修改已建立的图形文件进入File/Open再输入文件名
4.3.1.2建立新单元(Cell)
进入Cell/New建立新创建图形原始单元名,如YSDY001。
4.3.1.3设定单位
a)进入Setup/Technology进行单位设置。
b)首先确认单位选择Other[Lambda]设在内部单位模式。
c)设置1个LEDIT内部单位等于多少用户设定的单位。
默认值为1InternalUnit(1/1)Lambda
表示1个LEDIT内部单位等于1个用户设定的单位。
1个LEDIT内部单位,默认值相当屏幕上1格。
建议设置为1InternalUnit(1/1000)Lambda
即设置成1000个LEDIT内部单位等于1个用户设定的单位。
如果需要图形邻近效应校正,曝光图形需要尺寸再造(涨缩),带有斜线或曲线图形一定要设置成1000个LEDIT内部单位等于1个用户设定的单位。
否则不能进行尺寸调整或不能保证制版精度甚至出现错位及台阶。
d)设置数据输出时1用户设定的单位等于多少微米
默认值设置1Lambda(1/1)Microns
即表示数据输出时1用户设定的单位等于1微米。
也就是说设置1000格相当于1微米。
(表示屏幕显示1格等于1纳米),这种设置可保证输出图形精度。
4.3.1.4输出倍率设定
如果需要改变输出倍率(如×
10倍输出),可在数据处理完成后存盘前修改为:
1Lambda(10/1)Microns即表示数据输出时1用户设定的单位等于1微米。
4.3.1.5设定显示格栅和显示坐标小数点位置
a)
进入Setup/Design/Grid进行屏幕显示格栅设置。
b)在格栅显示“Griddisplay”模块中设置DisplayedGrid=100InternalUnit屏幕显示1格等于100个LEDIT内部单位。
或者“Displayed”填充框中填入“0.100”Locator(标定单位-微米)。
c)“Suppressgrigless8pixel”表示图形缩小到一个格栅只占显示屏幕8个像素时,屏幕上不显示出格栅。
d)在鼠标与格栅关系“Mousegrid”模块中,选择鼠标指针“Cursor”运动方式:
选择“Snapping”鼠标只能停留在规定的格点处,非格点处鼠标停不下来,为画图提供方便。
例如设定“Mousesnap0.100Locator”,鼠标咬住0.1微米的格点,鼠标在屏幕上是跳动的,即每跳动一格为0.1微米。
选择“Smooth”,则鼠标为连续移动的状态。
e)设置鼠标跳动步距MouseSuapGrid=100InternalUnit标跳一步等于100个LEDIT内部单位。
或者设置“Mousesnap0.100Locator”(标定单位-微米)。
f)设置标定单位OneLocatorUnit=1InternalUnit屏幕显示坐标值1.0等于1个LEDIT内部单位。
(建议与设置1InternalUnit(1/1000)Lambda相匹配)设置成:
OneLocatorUnit=1000InternalUnit屏幕显示坐标值1.0等于1000个LEDIT内部单位(=1.0微米)。
屏幕显示坐标值和实际值一致,比较直观,不容易出错。
4.3.1.6选择需要处理的掩模图形层(Layer)
用鼠标器在模式栏(ModeBar)的掩模层选择区(LayerArea)中选择所要处理的层名(层号)。
4.3.1.7绘制图形形状模式选择
用鼠标器在模式栏(ModeBar)的作图模式区(ObjectArea)中选择画图模式。
包括矩形(最常用的图形)。
圆形、圆环、扇区。
多边形(直角多边形、45度斜边多边形、任意拐角多边形),不允许交叉多边形。
带宽度的线条:
(直角拐弯线、45度斜线连接、任意拐角线)因曝光时线头部分容易出错,建议采用多边形画线条。
无宽度的线条(因数据转换时容易出错,建议采用多边形画线条)
字符(因数据转换时不承认,建议不用,或写在非功能层上作参考,需要制出的字符要用矩形拼接构成图形曝光)
此时就可以使用鼠标器在设计区(LayoutArea)作图。
可用选择不同掩模层,设计其它层次相关的图形。
4.3.1.8设计过程中常用操作
◇用"
+"
或"
-"
键放大缩小屏幕
Home"
键可在全屏幕显示完整图形
◇用"
→"
、"
←"
↑"
↓"
键移动图形
◇打"
Z"
键后,用鼠标器左键在屏幕上拖动一小窗口,可放大观察修改细部。
◇可鼠标器左键在某图形上定位后,打"
Q"
键使该坐标清零,在用鼠标器在屏幕上检查线宽或间距。
二次打"
键坐标值复原。
◇需要清除某些图形时,用鼠标器右键在屏幕上选择某个矩形或拖动窗口选择一组图形,进入Edit/Cut即可。
4.3.1.9鼠标器功能
建议采用逻辑真三键鼠标器(LogitechfirstMouse,Threebutton),如果没有真三键鼠标器,则采用“Shift键+Ait键+鼠标器左键”组合代替鼠标器中键功能,但使用有所不便。
◇鼠标器左键功能:
[点击功能键、绘图键、和Ait组合模拟中键]
所有常规鼠标选择功能及所有拖动绘图功能。
在图形区中按键盘Ait键的同时,按鼠标器左键可移动被选定的图形位置、边或角(黑边图形)(相当于只按鼠标器中键),
在层选择区按键盘Shift键+Ait键的同时,按鼠标器左键(相当于Shift键+鼠标器中键),此时除指定层外,其它层图形全部都被封闭。
在层选择区按键盘Ait键的同时,按鼠标器左键(相当于只按鼠标器中键),指定层被封闭。
◇鼠标器中键功能:
[图形拖动键、层封闭键]
把鼠标指向被选定的图形(黑边图形)中部任何部位,按鼠标器中键可拖动整个图形移动。
形状不变。
把鼠标指向被选定的图形(黑边图形)任何一条边,按鼠标器中键可拖动该边,改变形状。
把鼠标指向图形任何一个角点上,按鼠标器中键可拖动该点,改变形状。
在层选择区按键盘Shift键的同时,按鼠标器中键(或Shift键+Ait键+鼠标器左键),此时除指定层外,其它层图形全部都被封闭。
在层选择区只按鼠标器中键(或按键盘Ait键的同时,按鼠标器左键),指定层被封闭。
◇鼠标器右键功能:
[图形选择键、层解放键]
按鼠标器右键拖动窗口选择一个或一组图形。
在一组图附近点击鼠标器右键可依次选择其中的某个图形。
按键盘Shift键同时,再用鼠标右键可多次点击不同的图形也可实现一次选择一组图形。
用鼠标器右键,点掩模层选择区(LayerArea)中任何被封闭层的位置,该层被解放。
在按键盘Shift键的同时,按鼠标器右键,此时所有层图形全部都解放。
4.3.1.10图形层的封闭与打开的操作
◇除指定的图形层外,封闭其它所以图形层的操作
用鼠标左键点模式栏(ModeBar)的掩模层选择区(LayerArea)中选择指定的图形层,点鼠标右键打开图形层操作菜单,用鼠标左键选择“HideAll”(或者在三键鼠标中按键盘Shift键的同时,按鼠标器中键),此时除指定层外,其它层图形全部都被封闭。
◇打开被封闭的所以图形层的操作
用鼠标左键点模式栏(ModeBar)的掩模层选择区(LayerArea)中选择需要操作的目标层位置(或任意层位置),点鼠标右键打开图形层操作菜单,用鼠标左键选择“ShowAll”(或者在三键鼠标中按键盘Shift键的同时,按鼠标器右键),此时所有层图形全部都解放。
◇只对指定的图形层进行封闭或打开的操作
用鼠标左键点模式栏(ModeBar)的掩模层选择区(LayerArea)中选择需要操作的目标层位置,点鼠标右键打开图形层操作菜单,用鼠标左键选择“ShowAll”,此时被选择的图形层封闭,如果再用鼠标左键选择“ShowAll”,此时被选择的图形层又可以打开。
其他图形层状态不变。
4.3.2含例化单元图形的操作
4.3.2.1插入被例化单元(原始单元)图形步骤
进入Cell/New建立新创建图形单元名,如Cell001
进入Cell/Instance选择某已建立的单元(如Cell002)选OK
在新创建单元(如Cell002)中加入某原始单元(如Cell001)。
(注意:
图形坐标已变动,需要从新定位)
4.3.2.2进入修改图形形态操作界面
进入Edit/EditObject(s)
4.3.2.3修改图形位移参数
Translation(LocatorUnits):
X:
0
Y:
输入00使图形坐标回零点。
需要位移输入相应坐标值。
4.3.2.4修改图形位相参数
Coordinatesystem:
Rotation:
0.00输入图形旋转角度。
Mirro:
选择图形镜像关系。
4.3.2.5修改图形倍率参数
ScaleFactor:
1/1倍率不变。
4.3.2.6设置分布重复图形单元阵列参数
ArrayParameters:
Repeatcount:
输入X-Y分步重复个数。
Delta(locatorUnits):
输入X-Y步距。
可生成重复单元图形阵列。
4.3.2.7一个单元可以插入多个例化图形的单元或多次插入同一个例化图形的单元,还可以画入新的图形。
可以对每个例化图形的单元和新画入的图形进行选取及各种形态操作,实现图形拼接合成。
4.3.2.8含例化图形的单元还可以作为新的例化图形的单元,组成多次嵌套关系的图形。
4.3.2.9修改被例化单元(原始单元)图形,可以使含例化图形的单元阵列中所有单元都被修改。
4.3.2.10含例化图形的单元中的图形不可能逐个多边形或矩形进行修改,需要个别修改多边形或矩形,必须把含例化图形的单元压平,取消嵌套关系。
点击Cell/Flatten
把所有嵌套关系的单元图形逐级代入展开,生成没有任何嵌套关系的完整图形(简称"
粉碎"
或"
压平"
)。
压平后单元变成不含例化图形的单元,可以对任何多边形或矩形进行操作。
4.3.3
图形绘制、修改操作
4.3.3.1鼠标拖动直接绘制法
首先选择绘制图形形状模式,比如选择矩形、多边形、圆形等绘图模式,利用鼠标器在屏幕上移动,观察屏幕右上角格点坐标值变化,当鼠标移动到需要的坐标值时点鼠标左键在屏幕上定位,一直按住鼠标左键并拖动鼠标到所需要的坐标值松开鼠标左键。
如果绘制多边形,则是每点一次鼠标左键定位一个多边形顶点,最后点鼠标右键完成一个多边形绘制。
这种绘制法适用于屏幕上出现格点,并且设置鼠标是跳动的模式,并只绘制整数格点的小图形。
绘制大图形很不方便。
4.3.3.2鼠标拖动修改法
首先利用鼠标器右键在屏幕上点击图形,选择一个孤立图形(图形轮廓线变黑),或者新绘制一个大体尺寸的图形。
把鼠标指向图形中部任何部位,用Ait+鼠标左键(或者Shift+Ait+鼠标左键,此时可以在X或Y方向分别移动,也可以用三键鼠标器的中键)可拖动整个图形移动。
把鼠标指向图形任何一条边,用Ait+鼠标左键可拖动该边,改变形状,观察坐标变化,同时打"
键后,用鼠标器左键在屏幕上拖动一小窗口,逐渐放大再继续按鼠标器中键再继续拖动该边,直到格点出现时观察坐标达到所需要数值为止。
把鼠标指向图形任何一个角点上,用Ait+鼠标左键可拖动该点,改变形状,观察坐标变化,同时打键盘"
键后,用鼠标器左键在屏幕上拖动一小窗口,逐渐放大再继续按鼠标器中键再继续拖动该点,直到格点出现时观察坐标达到所需要数值为止。
为绘制方便可以事先利用参考标像层或在其他图形层上绘制作为参考用的图形。
利用参考标像层的图形进行精确定位。
4.3.3.3输入坐标修改法
首先利用鼠标器右键在屏幕上点击图形,选择一个孤立图形(图形轮廓线变黑),或者新绘制一个大体尺寸的图形。
进入Edit/EditObject修改矩形对角点的X-Y坐标值,多边形的各个顶点的X-Y坐标值、圆心X-Y坐标值及半径等数值,精确绘制图形。
4.3.4图形形态变换及处理的操作
4.3.4.1被选择的图形移动操作
a)打开Draw/MoveBy/Moveamount(LocatorUnits)
输入X-Y坐标值。
b)打开Draw/Nudga/Lefe;
Right;
Up;
Down
可进行左、右、上、下的微小移动。
4.3.4.2被选择的图形旋转操作
a)打开Draw/Rotate/90degrees
相对于被选择的图形的中心点逆时针旋转90度。
b)打开Draw/Rotate/RotateSelectedObjects/Rotationangle---degrees(Counterclockwise)。
相对于被选择的图形的中心点逆时针旋转(按照输入任意角度值)。
c)打开Draw/Rotate/RotateSelectedObjects/Rotationaround/
被选择的图形相对于指定的某点为旋转中心进行逆时针旋转(按照输入任意角度值)。
Center:
相对于被选择的图形的中心点逆时针旋转(按照输入任意角度值)。
Offsetfromcenter:
被选择的图形中心点位移X-Y值后,以这一点为旋转中心进行逆时针旋转(按照输入任意角度值)。
Absolutecoordinates:
被选择的图形中心点位移X-Y值后,以坐标原点为旋转中心进行逆时针旋转(按照输入任意角度值)。
如果X-Y位移值为(0,0),则被选择的图形以坐标原点为旋转中心进行逆时针旋转(按照输入任意角度值)。
4.3.4.3被选择的图形镜像操作
a)打开Draw/Plip/Horizonal进行图形以Y为轴镜像处理(左右对称处理)。
b)打开Draw/Plip/Vertical进行图形以X为轴镜像处理(上下对称处理)。
4.3.4.4对被选择的图形进行选择性切割操作
a)打开Draw/Slice/Horizonal对图形进行平行于X方向的切割处理。
b)打开Draw/Slice/Vertical对图形进行平行于Y方向的切割处理。
为了方便精确定位点,建议适当设置鼠标跳步参数进行配合。
c)打开Draw/Merge对被选择的图形(或被切割的图形)进行合并操作。
4.3.5复制、拷贝操作
4.3.5.1图形层内部被选择的图形复制
a)首先用鼠标选择需要复制的图形用鼠标器右键在屏幕上选择某个矩形或拖动窗口选择一组图形。
b)点击Edit/Copy(或者Ctrl+C)把图形存入粘贴缓冲区(Paste-Buffer)。
c)点击Edit/Paste(或者Ctrl+V)即可调出存入粘贴缓冲区中的图形(注意:
图形坐标已变动)。
d)用Shift+Ait+鼠标左键:
把拖动图形到需要安放的位置(可以采用参考层定位)。
打"
键后,用鼠标器左键在屏幕上拖动一小窗口,精确定位。
若再点Edit/Paste还可继续调出存入粘贴缓冲区中的图形,并按上述移动的间距两倍的位置精确定位....
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