PTH制程规范Word格式.docx
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25.槽液濃度分析方法……………………………………….47
26.藥品安全規範(MSDS)…………………….…………….55
一.除膠渣/化學銅流程簡介
除膠渣流程鍍化學銅流程
膨鬆槽整孔清潔槽
三段水洗二段水洗
高錳酸錳鈉槽微蝕槽
預中和槽二段水洗
二段水洗預浸槽
中和槽活化槽
二段水洗二段純水洗
化學銅槽
三段水洗
抗氧化槽
單段水洗
熱水洗
烘乾段
二.目的
1.膨鬆劑是將樹脂膨潤鬆軟,以便除膠渣過程可以輕易的將樹脂咬蝕掉。
2.除膠渣是將樹脂表面的樹脂咬蝕掉,使孔壁表面有良好條件。
3.預中和能有效清除表面及孔之錳鹽並溶解之
4.中和劑能清洗孔壁表面的樹脂氧化殘餘物及錳鹽。
5.整孔清潔劑是一種有高度清潔能力的有機化合物,它能有效調整孔壁表面特性,使孔壁增強吸收活化劑能力。
6.活化劑是一種膠狀體的錫化鈀,錫鈀膠體具有化學銅反應的催化能力,使吸附活化劑的樹脂,玻纖等材質,順利沈積化學銅。
7.化學銅是在有鈀膠體的表面產生氧化還原反應,使非電鍍的表面建立一層能電鍍的銅層。
三.設備及要求
槽名
槽積
槽體
材質
入水
排水
加熱
冷卻
熱交換器材質
熱水洗
525L
PP
市水
A
Yes
SS
膨鬆
不鏽鋼
純水
C2
No
三段水洗
-
高錳酸鈉
1300L
Ti
硫酸雙氧水
C1
二段水洗
中和
Tefloncoating
清潔整孔
SS316
F1
Teflon
微蝕(SPS)
預浸
Tefloncoating/Ti
活化
二段純水洗
化學銅
990L
F2
Tefloncoated
抗氧化
單段水洗
●排水代號說明:
A:
一般廢水
C1:
高濃度酸性廢液
C2:
高濃度鹼性廢液
F1:
清潔槽
F2:
化學銅
水洗量:
1.市水之水洗量為20公升/分鐘,閥開約1/2
2.純水之水洗量為10公升/分鐘,閥開約1/4
打氣:
1.清潔整孔槽丶活化槽後之水洗槽嚴禁打氣
2.中和槽丶膨鬆槽後之第一個水洗槽開微量以避免泡沫太多
3.其餘各水洗槽半開即可
4.化學銅槽須全時打氣,不論生產與否
5.微蝕槽生產時打氣開至最小,不生產時則關掉
6.其餘各藥水槽嚴禁打氣
高錳酸鉀再生機電流
1.每公升高錳酸鉀槽液需0.66安培電流,故貴公司之再生機電流共需約860安培,10支再生機,平均每支約需86安培,必要時可增加至每支150安培電壓約在8~9伏特,若Mn+6濃度有持續上升時,須酌量增加電流,若無法降低Mn+6濃度,再升至極限。
若Mn+6濃度連續3次超過20g/L時,必須安排清槽
2.不生產待機時,再生機維持280安培之電流,約生產時之1/3的電流
全線之震盪器規格
震盪器之震幅須在最小25mm/sec以上
液位之補充:
1.活化槽請配新鮮溶液補充液位,嚴禁直接以純水補充
2.膨鬆槽丶高錳酸鉀槽請盡量以熱水補充,
3.其餘各藥水槽(包括回收槽)請以純水補充
4.藥水槽液位切不可比水洗槽液位高,以防水洗不淨
5.藥水槽之液位切勿低於加熱管之加熱液位,以防加熱管燒毀
注意事項
1.預浸槽液顏色會由配槽時之混濁白色,轉淡黃,澄清透明,隨操作時間轉為淡綠至翠綠,當槽液為翠綠色時,必須化驗Cu含量
2.化學銅之自動添加控制器,嚴禁任意轉動調整鈕
3.化學銅880之濃度調整之加藥順序為880E,880A,CupositY,CupositZ。
4.天車軌道須保乾燥,隨時注意擦拭,以防天車剎車失靈
5.PTH後之板子須浸泡在稀酸中(約0.1%之硫酸溶液),且須於8小時內完成一銅電鍍
6.或加抗氧化後,水洗吹乾,且須於16小時內完成一銅電鍍。
六.自主檢查所需之工具及項目
工具
1.溫度計:
測各槽溫度
2.直流電勾錶:
測高錳酸鉀再生機電流
3.震盪測定儀:
測各藥水槽之震盪器震幅
項目
項目
頻率
各藥水槽溫度
每班
各藥水槽濃度
化學銅沈積速率
微蝕速率
高錳酸鉀咬蝕量
每週
背光
2hr
水洗槽入水量
過濾器壓力
自動添加是否動作
再生機流電
藥水添加記錄
其他藥水槽之自動添加
槽別
添加藥水
藥水用量/1000SF
Pump流量
Pump啟動時間
膨鬆
2L
自行調整
1.25L
“
中和
0.5L
0.3L
預浸
1.6L
活化
自動添加為計算面積添加,故添加頻率不定
八.各槽自動添加之藥品及添加桶體積
自動添加之藥品
添加桶體積
備註
60公升
高錳酸鉀
150公升
10公升
化學銅
九.手動添加方式
以每月產量20萬SF估算:
藥品
添加量
添加方式
2.5L
1次/4hr
1.6L
0.4L
整孔
1.5L
依分析添加
1L
1次/1hr
1次/1hr
十一.配槽程序
膨鬆
1.加入半槽純水於槽中
2.加入濾心於過濾器中,蓋緊
3.啟動過濾馬達
4.加入105公升,等4~5分鐘
5.補純水至溢流口下1吋
6.開啟加熱器,升溫至75℃
高錳酸鈉
1.加入純水,液位高於加熱之最低高度
2.加熱至60℃
3.開動攪拌器及打氣
4.加入,130公升
5.加入,156公升
6.補純水至溢流口下1吋
7.繼續加熱至75℃
中和加入半槽純水於槽中
1.加入濾心於過濾器中,蓋緊
2.啟動過濾馬達
3.加入公升
4.補充純水至溢流口下1吋
5.開啟加熱器,升溫至40℃
加入半槽純水於槽中
3.再加入,16公升
5.啟動加熱器,升溫至50℃
微蝕SPS
4.啟動打氣
5.加入98%硫酸16公升(或50%硫酸約32公升)
6.加入SPS37公斤
7.升溫至28℃
預浸加入半槽純水於槽中
2.加入公斤
3.補純水至溢流口下1吋
4.升溫至25℃
5.同時以沈水馬達或以空氣攪拌使404溶解
6.再開啟過瀘馬達。
活化加入半槽純水於槽中
2.加入,131公斤
3.補充純水至溢流口下1吋
4.攪拌及加溫至40℃,須等404完全溶解
5.最後才加入公升
化學銅加入半槽純水於槽中
3.開始打氣
4.先倒入
5.再倒入
6.再倒入再倒入
7.再倒入,請依上列順序加藥不可顛倒
8.補充純水至溢流下1吋
9.加溫至32℃
十二.藥品消耗量
藥品名稱
每1000平方呎消耗量
約2公升
約0.8公升
約1.25公升
約0.5公升
清潔整孔
約0.3公升
微蝕
SPS
約0.8公斤
98%硫酸
約0.02公升
約1.6公斤
約0.16公斤
880
約2.5公升
約5公升
化學銅之消耗量是依平均鍍銅厚度為11.8u”來估算
十五.開工規則
1.先通知化驗室分析各槽藥水濃度
2.調整藥水濃度,補足所槽中之液位
3.檢查各槽溫度(不可只看錶溫,須以溫度計實測一次)
4.將天車及飛靶歸位
5.檢查所有過濾器功能是否正常,過濾管路是否滲漏
6.檢查各自動添加儲液桶液位是否足夠
7.檢查化學銅自動添加控制器
a.按Power,等待讀數出現
b.打開Pump開關1~4
c.按MAN,添加燈亮起
d.檢查各添加管是否能加藥
e.一切正常,則按MAN至AUTO,完成
8.檢查水洗槽入水閥及打氣閥須半開
9.活化後之水洗槽嚴禁打氣
10.檢查假鍍板(Dummy)是否足夠,須有4掛×
2籃的板子
11.每次開始量產前,須先走Dummy板,再接著上量產板
十六.停工規則
1.將高錳酸鉀槽溫控制調降至40℃,關掉其餘藥水槽中的加熱器
2.關掉水洗槽中的入水閥及打氣閥
3.保持化學銅槽的打氣及過濾
4.保持活化槽及清潔整孔槽的過濾
5.關掉天車
6.關掉各槽自動添加Pump
7.關掉化學銅自動添加器
a.關掉Pump開關1~4
b.再關掉電源Power,完成
十七.停電或機械故障之處理(含重工程序)
1.遇到停電或機械故障時,超過10分鐘,便要想辦法把板子從藥水槽中移至水洗槽,超過1個小時,便須由水洗槽取出,並記錄:
(1)日期,
(2)料號,(3)板子數量,(4)班別
2.微蝕槽的板子須立刻吊出來,以免咬蝕過度。
3.其間若可恢復生產,則將板子由水洗槽吊回藥水槽繼續生產,活化槽的板子由水洗槽吊回之前須先在預浸槽泡2分鐘,才能吊回
4.化學銅槽的打氣絕不可斷。
5.若有緊急供電,須將各槽中的板子用手動天車吊出,化學銅槽中的板子可繼續鍍滿時間再吊出,視為正常板。
6.從各藥水槽吊出的板子均須先進水洗槽,以免藥水腐蝕板面
7.此時吊出來的板子重工程序如下:
a.微蝕(清除表面氧化層),本步驟可用手動天車吊入微蝕槽中浸泡約15秒即可,若是孔內有鍍上化學銅,則浸泡約30秒(以微蝕速率為40u”為準,其他之微蝕速率,請將浸泡時間略為增減),切勿浸泡過久,以免孔的內層銅被咬蝕過度,造成內縮
b.水洗
c.輕磨刷
e.重走PTH流程,儘可能不要走Desmear(膨鬆+除膠渣+中和)以免孔內樹脂被咬蝕過度,若天車能再設定一組重工程式,不走Desmear段。
f.一次銅孔破之重工程序亦同上步驟,但須注意:
在重走PTH過程,清潔整孔後之微蝕,絕對不可以超過15秒,否則孔破機率還是會很高
g.當供電恢復或故障排除後,生產前須再一次分析“NaOH“和“HCHO“,調整後才能開始正常生產
十八.保養事項
保養項目
頻率
程序
各水洗槽
清槽
1次/星期
1.打開洩水閥,將槽內水排盡
2.以水及布擦洗槽壁
3.關洩水閥,放入清水
更換槽液
1次/3個月
2.以水及布擦洗槽壁,加熱器
3.關洩水閥
4.依配槽程序重新配槽
更換濾心
1次/2週
1.打開過濾器上蓋,取出舊濾心
2.清洗過濾器
3.裝入新濾心(請先用60℃熱水浸泡1小時)
4.灌入膨鬆槽液,鎖緊上蓋
1次/月
1.將槽液降至50℃,關掉攪拌及打氣,讓槽液雜質沈澱1小時以上
2.騰出3槽乾淨的水洗槽
3.將槽液抽至騰出來的水洗槽,留下約1/6槽液
4.將留下的槽液排掉
5.以清水及布擦洗槽壁
6.關緊洩水閥,抽回槽液
7.開始加熱,補液位(用回收槽液補)分析調整濃度
清洗再生機
1.取出再生機,置入桶中,以中和槽液浸泡,勿泡太久,約10分鐘即可
2.取出以清水沖淨
3.勿以H2SO4/H2O2浸泡,以免損壞再生機銅心
預中和槽
更新全槽
1/週
3.裝入新濾心(請先用60℃熱水浸泡1小時)
4.灌入槽液,鎖緊上蓋
1次/1個月
1次/1週
更換1/3槽
微蝕速率<
15u”
4.灌入槽液,鎖緊上蓋(不可灌水)
1次/年
翻槽清洗沈銅
1次/二星期
1.將槽液抽至另一化學銅槽
2.用清水沖槽內,切勿用刷子或菜瓜布刷洗槽壁,因槽壁刮痕易引發沈銅
3.加市水至半槽
4.加SPS:
1包(25公斤)
50%硫酸:
100公升
5.打一些泡好的微蝕液至副槽
6.將過濾袋丟入副槽一起泡
7.待槽底的沈銅咬蝕掉,再加水至滿槽,打開循環Pump,視情況再加一點SPS和硫酸
8.沈銅咬掉後,將廢液排掉,用清水沖淨,備用
9.下次翻槽前,加滿槽市水,並倒入CupositZ,10公升裝好濾袋打開循環Pump和空氣攪拌,少半小時,排掉廢液後,即可進行翻槽
1次/12個月
1.在另一備用槽直接配新槽液
2.將舊槽液全部排掉
3.依上述之清槽步驟咬蝕沈銅
十九.各槽濾心規格
濾心長度
濾心孔徑
20吋
80-100u”,SS316
10-20u”
速化
化學銅(濾袋)
二十二.問題分析程序
1.檢查槽液溫度
2.檢查槽液濃度是否在控制條件範圍內
3.化學銅沈積速率是否在8~20u”
4.檢查水洗槽內的水是否清澈,流量是否止夠
1.微蝕後的板面銅箔是否呈均勻亮粉紅色
2.微蝕速率是否在20~60u”
7.檢查所有過濾器是否正常,壓力錶謮數應在綠色範圍內,壓力太大表示濾心阻塞,壓力太小表示pump有損壞或流量大而沒有過濾作用(濾心沒裝好…..等)
8.自動添加系統是否正常運作
9.自動添加之管路是正常出藥,其比例是否正確
10.自動添加之比色計的燈泡是否燒掉
11.檢查高錳酸鉀槽之再生機及整流器電流是否正常
12.檢查鑽孔效果,及磨刷機之破水測試須在30秒以上,刷痕測試不可有狗骨頭或梯形的刷痕
二十三.問題原因及對策
孔瘤(Nodules)
原因
對策
活化劑中的SnCl2分解
把活化槽濾心換新作全槽過濾,並把比重維持
在1.150~1.167之間,保持溫度於40℃(不可高於48℃
整孔清潔劑中的有機化合物分解
把槽壁及加熱器清潔乾淨,並用5u濾心過濾,溫度不能高於50℃,嚴重時須當槽
化學銅的沈積速率太高
降低槽溫,降低NaOH濃度,及減少上板數量
高錳酸鉀槽中的MnO2濃度太高
當槽1/2,將槽底污泥清掉
水洗的水質污染
尋求無污染的水
加速槽中的銅離子濃度過高
當槽,重新配槽
一銅電鍍槽有雜質顆粒
更新過濾之濾心,用Dummy板以低電流電鍍,
吸附槽中顆粒
電鍍槽之陽極袋破損
更換陽極袋
化學銅槽在手動添加藥
水時,直接倒在槽中或是各加藥管靠太近(加藥時藥水直接混合)
應慢慢加入或加在副槽中,加藥管須分開一些
孔破(化學銅背光不良)
孔壁整潔不良,或受到污染
提高清潔整孔劑濃度至上限,必要時當槽
化學銅沈積不良,溫度過低,槽液受到污染,或壽命已到
把NaOH及HCHO之濃度拉高,或增加掛板量Loading需在0.1SF/Gal以上,檢查溫度是否正常,必要時當槽
樹脂咬蝕不良
保持高錳酸鉀在理想範圍48~58g/L,並把溫度及當量提高
膨潤不良
提高膨鬆劑的溫度及當量,必要時當槽
鑽孔不良導致壓合面有裂縫或過於粗糙
改善鑽孔條件
活化孔壁不足,或槽液銅離子大於2000ppm或鐵離子大於100ppm
提高活化劑濃度
水洗太髒
更新水洗槽,檢查入水之流量是否在15~20L/hr
錳鹽殘留於孔內(
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