真空设备操作维护保养规程.docx
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真空设备操作维护保养规程.docx
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真空设备操作维护保养规程
1.目的:
按规定进行设备的管理,指导正确操作、使用、维护和保养设备,保证生产,
提高产品质量,改进环境绩效,预防和减少事故发生。
2.范围:
本规程适用于真空泵及真空系统的使用和维护保养
3.操作规程
3.1旋片泵操作规程
3.1.1性能规范
型号:
2X-70
几何抽速:
70L/S;
极限压力:
1帕;
泵转速:
450转/分;
电机:
Y132L-4功率:
5.5KW;
电机转速:
1440转/分;
配用三角带;B/1600:
4根;
冷却水消耗量:
480L/H;
润滑油:
1#真空机械泵油(KK-1)储存量8Kg;
口径:
进气90mm排气60mm。
3.1.2操作规范
3.1.2.1起动前的准备
(1)检查皮带的松紧程度,起动前可以松一些,起动后调节底座上的螺栓,慢慢拉紧,以减少起动力矩。
(2)检查各部分有无松动现象,电机转向是否同泵的要求符合。
(3)检查油箱内的油位是否在视镜的两条油标线之间。
(4)对于长期未工作的泵,起动前应间断起动电机,检查是否灵活。
(5)检查冷却水是否正常(管路上水压表水压≤0.2-0.3MPa)、润滑油是否正常。
3.1.2.2起动
(1)打开冷却水阀。
(2)合上电源的开关,起动电机。
(3)泵启动后,再缓慢打开进气阀,以免泵的负荷急剧增加。
3.1.2.3停车
停泵时应先关断进气口阀门,打开放弃阀法对泵放气。
3.1.3注意事项
3.1.3.1应经常注意油位及油的清洁,新泵工作150小时后换油一次,以后每2-3个月换油
一次,如使用条件不好,真空度下降,可以缩短换油时间。
3.1.3.2应经常保持泵及泵房的干燥清洁。
3.1.3.3注意泵温及冷却水和油的温度,水温在20-40℃之间,不应超过40℃,即泵温不超
过环境温度加上40℃。
3.1.3.4润滑油应符合要求,否则达不到所要求的真空度。
3.1.3.5入停车后泵温要下降至5℃以下时,泵内冷却水必须除净。
3.2罗茨真空泵操作规程
3.2.1性能规范
型号:
RTO,300S;
抽气速率:
300L/S;
极限压力:
0.6帕;
进排气口径:
160mm/100mm
配用电机:
3KW
3.2.2操作规范
3.2.2.1起动前准备
(1)检查冷却水管是否畅通无阻(管路上水压表水压≤0.2MPa)。
(2)检查两端盖内的润滑是否足够,齿轮箱侧油位应以寖没3~4个齿高度为宜。
电机侧
油位应以寖没1/3~1/2油窗高度为宜。
润滑油封的油杯油位应在油杯高度的1/3~1/2之间。
(3)如果吸入气体中有粉尘或其它金属粉末,应在进气口前加装防尘或过滤装置,如果
吸入气体有腐蚀性,必须采取中和措施。
(4)检查各部分有无松动现象,较长时间不用后,应拆下旁通溢流阀,检查有无锈死。
(5)检查电机转向是否同泵体上的箭头一致。
3.2.2.2起动
(1)起动前级泵。
(2)打开本泵的进气阀门。
(3)打开冷却水阀门,当容器压力达到工艺规定压力时,起动本泵。
(4)泵运转时应平稳,转子不得有冲击声。
(5)泵的轴封处不得有漏油现象。
(6)泵在运转过程中如局部升温过大,电流计读数突然发生变化,产生不规则的噪声或
其它异常现象,应立即停泵检查。
3.2.2.3停泵
(1)停泵时,应先停罗茨泵,再停前及泵,否则会导致罗茨泵出口压力升高,负荷增大
而可能烧坏罗茨泵电机或损坏罗茨泵。
或会导致前级泵倒转,前级泵泵油倒灌入管道或罗
茨泵,导致前级泵缺油,并有可能污染被抽环境。
(2)停止本泵并关闭排气阀门。
(3)停止前级泵。
(4)关闭冷却水进水阀。
3.2.3注意事项
3.2.3.1应经常保持使用环境清洁干净。
3.2.3.2应经常注意各部件的润滑情况,如发现润滑油不足时,应及时补充,如发现润滑油
不清洁时,应及时更换。
3.2.3.3润滑油应符合要求,否则达不到所要求的真空度。
3.3扩散泵操作规程
3.3.1性能规范
型号:
KT600600表示吸气口径;
抽气速率:
≥16000L/S;
极限真空:
6.5X10-5Pa;
加热功率:
9KW;
装油量:
6-7L(ks-3);
耗水量:
≤1000L/H;
进口/出口:
600/150。
3.3.2操作规范
3.3.2.1起动前准备
(1)检查冷却水管是否畅通无阻(管路上水压表水压≤0.2~0.3MPa);
(2)起动前,高真空阀门应处于关闭位置。
3.3.2.2起动
(1)起动前级泵,抽出扩散泵内的气体。
(2)接通冷却水(注意:
急冷水套在扩散泵停机时才能通水)。
(3)接通扩散泵加热电源,对扩散泵加热60min后,当容器压力达到工艺规定压力时,
打开高真空阀门,扩散泵可以进入正常工作状态。
3.3.2.3停机
(1)关闭高真空阀门;
(2)切断扩散泵加热其电源,停止加热。
(3)当泵底温度≤60℃关闭管道阀门。
(4)关闭前级泵,并向前级泵充气,以防返油。
(5)停止对扩散泵供水。
3.3.3注意事项
3.3.3.1扩散泵出水温度应≤40℃,否则应立即检查处理。
3.3.3.2如果扩散泵在正常运行中突然停电停水,应按照以下步骤处理:
(1)立即关闭高真空阀和前级阀;
(2)迅速抽出加热器;
(3)马上接通急冷水路,并向扩散泵底部淋水;
3.3.3.3泵正常工作时,如性能突然变坏,应检查加热器是否损坏。
3.3.3.4泵在长期工作后,性能如果下降,应拆泵检查油量及泵油氧化情况,酌情加油或换
油(扩散泵专用油),在换油时泵体及泵芯要使用无水酒精或丙酮清洗,然后在80~100℃
温度范围内烘干。
并每次在装配时注意检察泵的出口管道内挡油板的紧固螺栓,确保其无
松动安全可靠。
3.3.3.5一般情况下,泵体应保持真空状态,以免大气进入泵内造成扩散泵油的氧化。
3.4分子泵操作规程
3.4.1性能规范
型号:
TYFB-1600
抽气速率:
1600(L/S)
极限真空:
<8×10-8/<5×10-7
电机转数:
24000(rpm)
冷却水流量:
1(L/min)
3.5真空镀膜机操作规程
3.5.1开停机顺序:
3.5.1.1开机前,检查水,电,气是否符合要求,(水压表水压≤0.2-0.3MPa),(气压表气
压≤0.4-0.6MPa)。
3.5.1.2开机:
打开真空机和流量控制器电源开关,依次按下“维持泵”、“维持阀”、“扩散泵”、
按钮。
大约30分钟后,扩散泵正常工作。
(当分子泵电源频率达到225Hz时分子泵方
能正常工作)。
3.5.1.3在扩散加热同时打开炉门检查炉内绝缘情况,清理炉内卫生。
装工件检查炉门密封
圈,关炉门。
3.5.1.4开主抽泵、开粗抽阀门。
3.5.1.5至真空度到400Pa时(此时罗茨泵转子为静止状态)。
3.5.1.6开前级阀。
3.5.1.7启动罗茨泵,
3.5.1.8至真空度到6.7Pa时,关预抽阀、开前级阀、关罗茨泵,开精抽阀。
3.5.1.9至真空度到7.5×10-3Pa时开始镀膜。
3.5.1.10运行工艺流程
3.5.1.11镀膜:
开流量计按工艺要求充入气体、对工件进行离子清洗(清洗时间有不同工艺而定)。
3.5.1.12关闭离子清洗真空度恢复至本底真空(7.5×10-3Pa)。
3.5.1.13调整气体开始镀膜,(按工艺要求镀膜)。
3.5.1.14关机
3.5.1.15关闭真空计、关闭精抽阀。
3.5.1.16打开放气阀。
3.5.1.17放气结束。
3.5.1.18打开箱体大门。
3.5.1.19取出工件
3.5.1.20装入工件。
3.5.1.21关闭放气阀。
3.5.1.22重复上述过程。
3.5.2设备维护
3.5.2.1日常保养
(1)开机前,检查水、电、气是否符合要求。
(开启磁控靶前,检查靶水开关,每次开炉
门后,用酒精摖拭门胶条,并用吸尘器清理真空室内部。
)
(2)检查循环水路各接口,保证无渗漏。
(3)检查循环水路进水温度是否在5-250C。
回水温度是否低于350C。
进水压力为2.5kg/cm3-3.0kg/cm3
(4)检查水流量开关是否正常工作。
(5)检查压缩机管路各接口,保证无压缩空气外漏。
(6)检查气泵和储气罐、放掉内部的冷凝水。
(7)设备运转时检查机械泵、罗茨泵、扩散泵有无过热和异响。
(8)在设备升温、镀膜过程中:
检查设备阀门,侧壁,后壁,高阀等有无局部发热现象。
(9)检查门密封条有无伤痕。
(10)用吸尘器仔细清洁炉体内部。
(11)视污染情况更换观察窗保护片。
(12)检查机械泵油位是否正常。
(13)检查罗茨泵油杯油量,保证油杯量在1/2-1/3油杯高度即可。
(14)检查分子泵油池油量,保证油池油量处于油标上下限之间。
(15)检查溅射靶与罐体之间的绝缘度,绝缘电阻大于200MΩ为合格。
(16)检查转架绝缘度;绝缘电阻大于200MΩ为合格。
(17)注意记录隔日真空,养成良好的习惯,便于及时发现设备的问题。
3.5.2.2定期维护
下面的工作应每周进行一次:
(1)检查水路系统内各水表,阀门等出接口有无渗漏。
(2)检查压缩空气管路及气三联件,查看油杯中油量是否合适。
及时放掉杯中残余水分。
(3)使用压缩空气清洁机械泵外部,防止灰尘过厚影响散热。
(4)以压缩空气和吸尘器清洁炉体内部。
(5)清洁观察窗玻璃。
(6)检察各电源线是否有松动、发热现象。
(7)检查循环水各阀门接口有无渗漏。
3.5.2.3下面的工作应每月一次:
(1)以压缩空气和吸尘器较为彻底的清洁炉体内部,内衬。
(2)检查罗茨泵泵油状况,如发现油质变色,変烯,乳化等情况,应立即换油。
(3)清理机械泵口过滤网。
(4)检查各靶材消耗状况。
每更换一次靶材,用特斯拉计测量靶磁场强度。
(当心强磁场、手机、手表等精密仪器及电气请远离!
!
带有心脏起搏器的人员请远离!
!
)。
3.5.2.4下面工作应三个月进行一次
(1)以压缩空气清洁循环水路、设备冷却水套。
(2)更换机械泵油(或者考虑使用1000小时)。
(3)更换机械泵油过滤器。
(4)请打开各电源柜及控制柜外罩,以压缩空气清洁内部,检查紧固螺钉是否松动,机
壳接地是否良好,各元器件有无异常。
3.5.2.5下面的工作应六月一次:
(1)将全部屏蔽板拆出清洗,彻底清洗炉体内部,个别膜层较厚部分,可用抛光布轮或
砂轮抛光清理。
(2)将高阀打开,检查清洗阀板下面。
(3)清洗抽气主管道。
(4)清洗充气阀过滤器。
(5)更换转动轴封。
(6)更换前门密封圈。
(7)更换炉体加热器密封圈。
(8)检查机械泵皮带松紧是否适当,每半年调整一次。
3.5.2.6下面的工作应一年进行一次:
(1)更换机械泵排气过滤网。
(2)检查PLC电池电量。
(3)更换分子泵润滑油(或者每4000小时)。
(4)检查设备动力线是否有老化现象,及时更换。
大修:
视设备工作情况,每两至三年大修一次,彻底清理炉体,更换全部真空系统密封圈,
检修全套设备大修完成后的设备性能应该接近全新设备。
。
4.维护保养
4.1真空系统较长时间以后,极限真空度下降,应进行对滑阀泵、罗茨泵、扩散泵进行检
修。
必要时也应对系统、管道、阀门和电动机等加以清理洗、检修。
4.2泵不用时,应用橡皮塞把进气口塞好,以免赃物和硬质东西落入泵内。
4.3冷却水水压应保持0.1MP~0.2MPa之间,出水温度≤45℃。
4.4压缩空气压力在0.4Mpa~0.5Mpa之间。
4.5每次开机前,要检查保护气的气
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- 真空设备 操作 维护 保养 规程