洁净工程质量控制方案Word下载.docx

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位于地下的技术夹层应采取防水或防潮、防霉措施。

洁净室围护结构要采用不起尘和不开裂的材料，在施工中特别要注意各种接缝处的处理措施，防止开裂和起尘，并在接缝处采用密封胶填塞，接缝处的缝隙不应大于0.5mm，建筑装饰及门窗的缝隙，应在洁净室的正面密封。

金属壁板安装应在技术夹层内的各种主干管道安装完，然后对室内地面、柱、墙和空间进行彻底清扫，达到清洁无尘方可进行施工。

施工前应严格检查土建地面是否超差，安装时墙面不平整度不应大0.1%。

墙角应垂直交接，防止累计误差造成壁板倾斜和扭曲，壁板的垂直度偏差不应大于0.2%。

顶板应按房间宽度方向起拱，使顶棚在受荷载后的使用过程中保持平整顶棚四周应与墙体交接严密，安装过程中不得撕下板材表面保护膜，施工中严禁撞击和踩踏面板。

需要粘贴面层的材料，嵌填密封胶的表面和沟槽应防止脱落和积尘，粘贴前必须仔细清扫，除去杂质和油污，确保粘贴密实牢固。

围护结构的所有安装缝隙，必须用硅胶密封，嵌填的密封胶应平整T和光滑，不得有外露、间断和毛边等现象，打胶的环境应在0゜C以进行。

平开门的缝隙密封在经常启闭门扇通行的情况下，除某些外门为避开重设备运输可能对门樘的碰撞，而把密闭条全部设置在门扇上外，一般情况下，为使密闭条避免手摸.脚踩或击碰以及人行与运输的影响，应将小断面成型弹性密闭条，敷设在门樘的隐蔽凹槽部位，再借门扇的关闭压紧；

密闭条应沿活动缝隙的周边敷设，以便在门关闭后形成一圈封闭齿型的密封线，若密闭条被分别设置在门樘和门扇两处时就必须注意两者有很好的衔接，应减少密闭条在门缝内的中断间隙。

室内装饰所用材料，零部件应符合设计要求。

自购件应达到优质及部颁标准，金属壁板应符合标准规范的要求，用于电子产品要有防静电措施，要有质量合格证和性能检测报告，包括消防控制报告。

金属壁板和配件应存放在清洁的环境中，平整地放在防潮膜上，防止变形，壁板和配件应在清洁环境中开箱启封，不合格或已损坏的产品不得安装。

金属壁板顶棚的固定和吊挂件只能与主体结构相连，严禁与设备和管线支架交叉混用，墙板和顶棚表面应光洁平整不起尘、不落尘、耐腐蚀和耐冲击，且宜清洗。

洁净室内地面与墙面，墙面与墙面与顶棚均应采用硅胶密封，所有洁净室窗、门及隔断缝隙均需用密封胶封闭。

吊顶表面的平整度，高低差小于2mm，接缝的平直度必须小1.5mm，接缝的高低必须小于1mm，接缝的缝隙不得大于0.5mm，墙板的重直度误差小于1度。

施工中严格执行国家颁布的洁净装修工程施工验收规范和质量评定标准，做好各项隐蔽工程记录。

净化壁板安装工程结束后要对成品进行保护，建立出入管理制度，严格控制人流与物流，以防止划伤或污染已完工程，其它专业必须在围护结构上开孔时，须经监理和有关人员许可后方可进行。

管道穿过围护结构时，要有良好的固定构造，在使用时不能晃动和移位，确保密封有效，要将安装定位与密封处理两者有机的结合起来，金属壁板上所开的每个孔洞周边均应附加定位骨架，大尺寸风管加固要防止前后左右窜动，在管壁与金属壁板缝隙内垫胶或胶海绵，再用密封胶处理。

净化空调系统质量控制点

材料的选择：

必须采用符合空气净化标准的原材料和设备，不得使用易腐蚀、易老化和容易产生尘埃的材料。

通风管道及管件的制作要平整、光滑无划痕，无锌皮脱落，加工前应进行脱脂、脱尘、彻底清除板材上的油污。

检查时要做到一摸、二擦、三查。

风管清洗合格后的管件两侧必须用塑料薄膜封堵严密。

安装前对风管进行二次清洗，安装时不允许边安装边敲打，避免灰尘进入风管内。

洁净管开封过程中严禁与其它专业交叉作业。

开封时必须是在土建的门窗安装完成、孔洞堵完、封闭严密后进行。

避免外界污物侵入。

厂房内隔断必须待洁净风管安装完毕端口封好后才能施工，防止积尘飞入管内，施工完毕应将墙壁进行全面清扫，并用吸尘器清除浮尘地面用清水冲洗干净。

风管的法兰垫料应采用5㎜海绵胶垫，垫料接口宜采用梯形接口，安装时两面涂胶，风口连接处应采用高强度光面合成革软接头，光面朝里各接缝处应严密不漏风。

风管安装后保温前，应先做漏光检测，检测宜在夜间进行。

主要检查接口、孔洞、接缝、密封胶未压实现象（目测观察）。

风管与洁净室吊顶，隔墙与维护结构的穿越处应用密封填料或密封胶密封，不得漏风或有渗漏现象发生。

风管系统中在适当的位置设清扫孔和风量、风压测试孔，孔口安装时应清除油污、尘土，安装后必须经孔口封闭。

风阀、消声器的安装前必须清除内外表面的油污和尘埃。

风阀的轴体与阀体的连接处应有密封措施，安装要牢固、位置、标高走向正确开启灵活。

净化空调设备安装质量控制点

空调机组的减震器应严格按设计要求的型号、数量、位置进行安装、找平、找正。

空调箱安装时应对内部进行严格清洗、擦拭，做到无浮尘、无油污方可安装。

空气过滤器的安装应平整、牢固，过滤器与框架间缝隙要严并便于拆卸。

过滤器前后应安装压差计，其测定管应畅通、严密、无裂纹。

设备检查门的门框应平整，密封垫符合要求，表冷器的冷凝水排出管上应设水封装置，确保空调机组的密闭不漏风。

现场组装的空调机组，应做漏风检测，其漏风量必须符合现行国家标准《组合式空调机组》GBT14924的规定，对空气洁净度等级1-5级为全数检查，6-9级为抽查50%。

高效过滤器的安装必须在内部装修全部完成并清扫、擦拭干净。

空间设备内部清洗、擦拭干净的前提下，方可安装过滤器。

高效过滤器应在现场开封检查，主要检测框架滤材，密封胶有无损伤。

各种尺寸应符合要求，框架无毛刺、腐蚀、技术性能是否符合设计要求。

对于空气洁净度等级等于或高于5级（100级）洁净室所用高效过滤器应按规定检漏，合格后方可安装。

洁净室和净化空调达到清洁要求后，净化空调系统必须进行试运转（空吹）连续试运行时间为12～24小时。

空吹后再次清扫、擦净洁净室，立即安装高效空气过滤器。

安装过程应根据各台过滤器的阻力大小进行合理调配。

高效过滤器安装时外框上箭头和气流方向应一致。

框架应平整，每个高效过滤器的安装框架平整度允许偏差不大于1㎜。

高效过滤器无论采用何种密封方式都必须将填料表面、过滤器边框表面、框架表面以及液槽擦净。

采用密封垫时，其垫片厚度不宜超过8㎜，其接头形势和材质可与洁净风管阀兰密封垫相同。

采用液槽密封时，液槽的液面高度要符合设计要求，一般为2/3槽深，密封液的熔点宜高于50摄氏度，框架各接缝处不得有渗液现象。

净化设备的安装控制

根据洁净厂房中产品生产的需要和人员净化、物料净化要求设置有各种类型的净化设备。

设备与洁净室的围护结构相连接时其连接缝必须密封。

风机过滤单元空气净化设备的安装应符合下列要求：

a空气净化设备应在清洁的现场进行外观检查，目测不得有变形，锈蚀，漆膜脱落，

拼接板破损等现象。

b风机过滤单元的高效过滤器安装前进行检漏，合格后才能进行安装。

方向安装必须正确，安装后的风机过滤单元应便于检修。

c安装后的风机过滤单元，应保持整体平整，与吊顶衔接应良好。

风机过滤单元与吊顶框架之间均应有可靠的密封措施。

d风机过滤单元在进行系统试运转时，必须在进风口加装临时中效过滤器。

f空气过滤器的渗漏检查和堵漏

过滤器的渗漏，是由于过滤器本身或过滤器与框架及框架本身与维护结构的渗漏。

高效过滤器安装后的检漏，管用粒子计数器或浊设计进行扫描，发现渗漏时，用过氯乙烯胶或88号胶、703号、704硅胶堵漏密封。

用粒子计数器扫描时，上风侧浓度要求在3×

104粒/L（≥0.5u）以上；

用浊度计扫描时，上风侧浓度要大于仪器最小灵敏度的10倍，达不到时可用普通燃香做烟源放烟。

在过滤器下风侧距离过滤器表在2～3cm处沿过滤器表面，边框和框架接缝处扫描。

当仪器读数高于过滤器穿透率104倍时，即认为有渗漏。

⑤气体、真空、动力系统工程质量监控点

气体进口装置：

高纯气体一般都需要借助管道从气体站和输送占输送至洁净厂房，为此需在洁净室内设置气体进口装置，气体进口装置应尽量靠近净化生产的用气区，以缩短管路，减少输送中产生的污染，方便维护管理。

末端纯化和净化装置：

通常送入洁净厂房的起义多为高纯气体，但在输送过程中，由于设备材料附件及其他因素的污染，纯度很易降低，所以在末端应加纯化和净化装置。

工业气体验证的有关步骤：

a一定纯度的气体供应量，气体要化验其纯度，最大的使用流量必须小于系统能够生产的量储存设备的规模必须合适而且是有合适的材料制成，不与气体反应。

b管道分配系统的规格大小必须合适。

c管道的材料必须合适（特别是无菌过滤器后的材料），如果选材合适，就不会对气体的质量产生影响，用来运送气体的系统不许与克能污染的任何系统联接。

d使用电的末端无菌级过滤器的验证。

无油空压机及干燥器的安装确认内容：

按设计要求检查实际设备的规格；

证明压缩机内部采用油和其他润滑剂；

证明压塑胶、干燥器的动力安装联接正确；

压缩机干燥器仪表的校准报告；

操作手册和SOP。

分配系统的验收：

确认管道材料符合设计和工艺要求，尤其是使用末端过滤器后的材料是316L不锈钢，便于拆装、清洁、消毒；

管路系统的压力试验报告；

检查管路清洁的程序、步骤和结果；

检查末端的过滤器是否合适。

4.编制《洁净室管制计划》

为作好洁净厂房的成品保护工作，特制定以下《洁净室管制计划》:

通则：

除本管制规定外，尚需遵守中华人民共和国工业安全卫生各项法令规定，及一般安全及卫生各项规定。

出入管制：

分别于各楼层设一进出口以管制人员进出，并使人员进入洁净室前更换工作证并清洁工具及材料。

第一阶段管制规定：

EPOXY施工期间。

A．施工前准备

凡欲进入洁净室人员，必须需填写申请单，依规定提出申请后才准进入。

一项工程均需填写一份申请单，每次申请的施工最长期限为一周。

施工单位凭申请单向管制人员领取洁净室管制区施工许可证。

进入洁净管制区必须佩带施工许可证。

准备吸尘器（扫把、畚箕、水桶、拖把）及其它必须工具。

携入洁净区的施工工具、材料及附件等均应以当日使用量为准，入场前必须在室外擦拭干净，不能有油或灰尘等。

非需用之物品如食物、饮料等禁止携入。

任何钻孔、切割等加工工作，均不得在洁净区内进行，不得已者（如无法携出洁净室外加工者）需经业主各系统负责工程师准许才可施工。

任何人一律由指定出入口出入。

应着干净服装。

施工机具、设备应有明显的单位标志。

施工使用的电器产品及延长线，须通过业主检验并贴上合格标签。

洁净区任何动火作业，如切割、电焊、钻孔等，都要提出动火申请。

B．施工中注意事项

在洁净区内不准抽烟。

不可使用含油酯之材料，工具的油不得外漏。

必须使用干净的铝梯，鹰架。

工具或材料搬运若无保护措施时物料应完全离开地面，不准在地上拖行，以免破坏地板。

只准使用橡胶轮搬运车。

万不得已使用电焊时，地面及周遭墙面都应予以保护。

使用电焊时须遵守工地的电焊规定并设排烟设备。

凡进行具有污染性的工作，必须将工作区用塑料布隔离。

施工处若存在安全隐患时，必须予以标示。

随时佩带工作证。

施工人员应听从业主及各系统负责工程师的指示。

细小工具及零件如螺丝、螺帽、钉子等，须放于工具盒内。

用电时必须遵守用电安全，及业主的用电安全规定。

废弃易燃物须立即处理。

施工中若破坏既有的设备系统、管路等，应立即通知相关人员处理，以维护场区之安全。

施工中一律配戴安全帽，高架作业须配安全带。

C.施工后整理工作

施工区需以吸尘器或其它清洁工具清洁，必要时用布擦拭。

不留任何废弃物于现场。

不用的工具，材料需运离洁净区。

检查施工四周，确认未损坏其它东西，万一有损坏时，应立即向业主各负责工程师报告。

第二阶段管制规定：

高架地板开始至FFU开始安装期间。

A.施工前准备

进入洁净室的人员应佩带洁净室管制区施工许可证及安全帽，高架作业需佩带安全带。

准备塑料布、保护用胶质PVC板、真空吸尘器（抹布、水筒）及其它必须之用具。

施工工具、材料及附件等，必须在室外清洁并擦拭干净，不能有油及灰尘等。

任何钻孔、切割等加工，不得在洁净区内进行，不得已者（如无法携出洁净室外加工者）需经业主各工程负责工程师准许才可施工。

必须自备胶底的工作鞋，放置在各楼管制入口处备用，进入者一律着工作鞋，且此工作鞋只能用于洁净室。

应着干净之工服装。

洁净区内所有动力设备应以电力为主，不得以汽、柴油为动力。

携入洁净室的施工工具、材料及附件等以当日使用量为原则，入场前必须在洁净室外擦拭干净方可进入。

施工使用的电器产品及延长线，须通过业主检验并贴上合格卷标。

洁净区任何动火作业如切割、焊接、钻孔等，都要提出动火申请。

B.施工中注意事项

必须使用干净的铝梯、鹰架，梯角必须用布包起来，以免刮伤地面。

只准使用橡胶轮子搬运车。

洁净室内只允许氩焊，万不得已使用电焊时，地面及周遭墙面都应予以保护，并设置排烟设备。

凡进行具有污染性的工作时，必须将工作区用塑料布隔离。

施工人员应听从业主及各负责工程师的指示。

施工中若破坏既有的设备系统、管路等，应立即通知相关人员处理，以维护场区的安全。

施工区需以真空吸尘器清洁，必要时用布擦拭。

第三阶段管制规定：

FFU开始安装以后

依工作需要准备塑料布及胶质PVC板（保护地面用），洁净室专用型真空吸尘器，无纤维抹布（水桶、稀释之IPA）等其它用具。

应充分了解本公司之洁净室一般操作规定，如不可携入木头、非洁净室用纸张、签字笔等。

进入洁净室应穿著全套无尘衣。

包括口罩、手套、无尘鞋等，且袖口应套住手套口，施工单位自备的无尘衣型式需先送审。

洁净室仅允许施工人员进出，且须持有识别证及工作证。

进入洁净室之人员应佩带无尘室管制区施工证及安全帽，高架作业需佩带安全带。

施工的工具、材料及附件等必须在室外清洁并擦拭干净，不能有油及灰尘等。

非需用的物品如食物、饮料等禁止携入。

任何钻孔、切割等加工，不得在洁净区内进行，不得已者（如无法携出洁净室外加工者）需经业主各系统负责工程师准许才可施工。

由规定的出入口出入。

只准使用胶轮子搬运车，轮子应以干净之胶布保护，若需使用油压板车时，车行路线必须铺保护胶质PVC板。

不得使用类似电焊机等会产生烟雾的工具。

绝对禁止碰触机台或站于机台上方工作。

若施工需要，可将指头之手套剪掉，以利细微工作的进行。

在洁净区域内不准抽烟。

必须使用干净的铝梯，梯角必须用布包起来，以免刮伤地面，使用楼梯时架设处的地面必须以木板保护。

所有工作区域及放置材料、工具的区域必须保护地面。

（先铺上适当厚度的胶质PVC板）

进行具有污染性的工作时，必须将工作区用塑料布隔离。

随时佩带识别证。

施工应听从业主及各负责工程师的指示。

除非施工需要否则不得掀开高架地板，不得已掀开应在最短时间内复原。

掀开高架地板时，高架地板必须地砖面对地砖面放置，且外围需有围护之安全措施。

各承商应按指定的阿材料及图纸施工，任何变更均需业主同意。

C.施工后之整理

附件一：

质量控制流程图