特种气体钢瓶更换Word格式文档下载.docx

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b.检查钢瓶之状态是否有异常现象。

2.钢瓶换装前之检查：

a.进入气体房钢瓶换装至少应由两人协助完成。

b.确认气体室”维修中”指示灯是否开启。

c.检查钢瓶之状态，确认钢瓶空瓶边（左或右）。

d.检查欲更换之钢瓶上的空/实瓶的指示标签。

e.关闭欲更换之钢瓶盘面上的手动开关阀。

f.确认各purgeN2气瓶之压力值：

PH3之purgeN2压力>

500PSI

AsH3之purgeN2压力>

HCL之purgeN2压力>

DeTe之purgeN2压力>

1000PSI

Si2H6之purgeN2压力>

3.将欲更换之钢瓶上的控制器操作模式（位置参考附图二），操作至PurgeMode程序。

附图二：

气瓶柜控制器示意图

旋钮转至PurgeMode画面如下：

按ENTER

输入1111

按1

请确实关掉钢瓶阀，否则下面的动作将会抽掉钢瓶内所有的气体，按ENTER

600表示还有600秒结束这项动作

前净吹请等待25个周期

小心拆下旧钢瓶（请参照钢瓶更换程序第四步骤），并换上新钢瓶（请参照钢瓶更换程序第五步骤）后，按ENTER

4.换下空钢瓶：

a.佩带携带式toxicgasmonitor（毒气侦测器）及正压式空气呼吸器。

b.确认左边或右边钢瓶要更换。

c.确认接头是向左边或右边

右牙（无刻痕）接头向右侧锁紧，向左侧放松。

左牙（有刻痕）接头向左侧锁紧，向右侧放松。

d.以手工具拆下接头并将钢瓶盖盖上锁紧。

e.除去钢瓶固定链条，再移去空钢瓶。

5.实瓶按装：

a.确认气瓶柜气体名称及钢瓶名称是否相符。

b.确认钢瓶接头型式与气瓶柜Pigtail接头型式是否相符。

c.小心地移动钢瓶到气瓶柜内（注意不要触碰到重量传感器及使用中钢瓶）。

d.除去钢瓶外盖并将钢瓶接头对准Pigtail。

e.将钢瓶固定链固定。

f.除去钢瓶盖,清洁钢瓶出口及Pigtail（请穿戴手套）且以手确认衔接处有PurgeGas（N2/He）冲洗。

g.放进新垫片（使用清洁手套）。

h.以手锁紧接头后用手工具锁紧接头。

i.卸下携带式toxicgasmonitor（毒气侦测器）及正压式空气呼吸器。

由外部向Pigtail接头喷氦气测漏，一般都省略，直接按ENTER

注意，高压测试的容许范围如下：

2000~3000PsiaRange＝＞6PsiaOrMore

1000PsiaRange＝＞5PsiaOrMore

250PsiaRange＝＞3PsiaOrMore

缓慢的打开钢瓶阀门，再将关闭钢瓶阀门，后按ENTER继续

缓慢的打开钢瓶阀门，后按ENTER继续

请将转动旋钮开关至供应状态

气体种类为AsH3，PH3，Cl2时会下列画面

按2

输入气体灌充的重量后，按ENTER

确实将手动隔离阀开启后，按ENTER

按RESET

按ENTER

完成钢瓶更换工作

6.按装后检查：

a.检查钢瓶压力读值。

b.若为液态气体检查其重量传感器压力读值。

c.检查制程压力读值。

d.填写特殊气体系统钢瓶更换纪录表。

e.确认气体室”维修中”指示灯是否已关闭。