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5.1.4防静电问题处理流程

ESD工作实行部门主管负责制，其中部门主管为第一责任人，各部门ESD接口人或各ESD分项工作

负责人为第二责任人。

各类稽查问题处理应本着快速、高效的原则进行。

发现问题后应按ESD问题处理流程处理解决。

各区域发现的一般ESD问题由各区域责任人自行处理，重大问题或无法处理的则提交ESD专人确定，如ESD专人确定的确是ESD重大问题或无法处理的问题提交ESD委员会共同处理。

处理流程如下：

5.2ESD技术要求

5.2.1EPA区域环境建设要求

EPA区域的划分以该区域内是否可能出现静电敏感物品为准则，只要可能出现静电敏感物品，且静电敏感物品未处于静电屏蔽状态，则应定义为防静电区，否则可定义为非防静电区。

防静电区域的边界范围由ESD专员与区域防静电责任人共同确定。

生产区域分为一级EPA区域和二级EPA区域。

一级EPA区域适用于静电敏感等级大于或等于HBM100V的产品生产；

二级EPA区域适用于静电敏感等级大于或等于HBM500V的产品生产；

生产区域对应的EPA等级定义及相关要求请参考下表格：

5.2.2生产现场防静电接地要求

EPA区域所有的设备、仪器、测试环境装备、工具、人体应进行安全可靠的接地，以保证静电敏感物品、工作人员和其它所有导体处在等电位状态，使静电敏感物品免受ESD损伤。

5.2.2.1接地/等电位相连系统

EPA区域内应实行接地/等电位相连接系统，以保证静电放电敏感物件、人员和所有其它导电体（如移动设备），处在同样的电位。

5.2.2.2人员接地

坐式作业人员必须采用手腕带系统进行接地，手腕带系统接地要求见下表，站立式作业人员可通过手腕带系统或地板-鞋系统进行接地，当采用地板–鞋系统时，应至少符合下面两个条件之一：

1、系统的总电阻（从人体，通过鞋和地板，到接地/等电位相连系统）小于3.5×

107欧姆；

2、系统的总电阻（从人体，通过鞋和地板，到接地/等电位相连系统）大于3.5×

107欧姆，但小于1×

109欧姆时，且人体走动电压﹤100V。

应采用方法2（见如下表格）。

5.2.2.3EPA内的设施接地要求

1、防静电工作台上及其周边的仪器、测试架、工具（如电批、烙铁）、防静电器具、台垫、台面、地垫、腕带插孔等都应进行可靠接地，接地线连接点应该采用螺钉、焊接、双线交绕的紧固连接方式，保证连接点连接可靠、接触电阻小。

2、防静电工作区应在合适的位置提供接地端子和双回路腕带插孔座，以便于操作者腕带的接地。

接地端子到防静电线之间的电阻应小于4Ω。

3、在落地设备、流水线、产品整机等上面本身应提供防静电腕带的接地插孔，通常插孔的接地采用防静电地引入，但在环境不满足时，允许使用电气保护地代替防静电地。

4、当工作台接触到它附近的最高可能电压时，工作台表面的对地电阻应能保证最大对地漏电不超过5mA。

5、静电耗散型工作表面到公共接地线的接地电阻应该保持在R＜1.0×

109Ω。

6、防静电工作区安装和移位后，接地电阻应该重新测试，并保证在规格之内。

7、所有连接电源主线的设备、仪器、工具等，都必须可靠地和电源系统安全地线相连接。

仪器工具、设备的外壳都要增加加强接地线，采用紧固连接。

8、所有静电敏感器件、单板在加电测试之前都必须保证接地良好，因此禁止在产品测试过程中带电插拔单板和器件，除单板具有热插拔设计和特殊测试需要外。

9、腕带的接地线应该直接接入腕带专用插孔座内，而不应该通过任何其他设施，如工衣，工作表面等接地。

10、EPA区的防静电接地只允许使用并联接地，而串联接地是一种不可接受的接地方式。

11、对于一级EPA区域，需要对关键工位（如操作裸露器件的工位）的人员、台垫及设备接地进行实时监控，对于二级EPA区域，需要对关键工位（如操作裸露器件的工位）的人员接地进行实时监控。

接地监控仪需根据产品指导书要求进行功能测试并校准。

12、机柜在测试过程中必须接电气保护地线，机柜的装配过程中，如机柜上有ESDS，也必须进行接地。

13、由于安全原因，EPA内与静电敏感物品直接接触的裸露的大面积金属平面、导体部件都必须直接接地（硬接地）。

14、要求静电敏感器件及其组件的加工设备、测试仪器、工具、装备（如测试设备仪器、工装和夹具、SMT系列设备、波峰焊机、烘烤箱、成型系列设备、电批、电烙铁等）有可靠接地；

电批、电烙铁要求加强接地，所有与静电敏感物品接触的用电设备没有出现漏电的情况。

5.3静电防护区域基本控制措施

静电防护区域基本控制措施要求按照下表实施：

5.4防静电测试项目性能指标

防静电系统各要素（包括地板、接地系统、工作台、工作椅、工位器具、物流传递工具、包装材料、人员、腕带、服装、离子风机、防静电工具等）的防静电性能指标要求定期进行检测及记录，防静电系统各要素的防静电性能指标详见下录。

5.5防静电包装材料技术要求

ESD敏感器件的包装应该提供一种安全的保护方式，以防止由于包装或外界原因对器件引起ESD损伤。

包装上的ESD标识能够提醒员工，包装内是ESD敏感器件，取出时应该采取ESD防护措施。

防静电包装材料的防静电性能必须通过检验测试合格才能用于器件、单板、产品包装。

用于包装ESD敏感器件的防静电材料在温度为25±

5℃和相对湿度为25%±

5%的环境下应满足规定的防静电性能指标要求，进入公司的防静电包装材料应进行不定期的稽查抽测，用以验证其防静电的有效性。

发现的不合格问题按照正常流程处理得到了有效纠正与预防。

具体防静电性能指标见下表：

注：

1、在EPA外运输、储存的静电敏感产品，其直接包装层可采用防静电周转箱、屏蔽袋、吸塑盒等包装方式，间接包装层可采用防静电缓冲材料（如防静电泡沫EPE、防静电汽珠袋等），直接包装层、间接包装层至少有一层是静电屏蔽材料。

2、有防静电要求的包装材料，周转用防静电性能使用寿命至少大于一年；

发货用防静电性能使用寿命至少大于半年；

5.6防静电敏感器件存储、周转、运输要求

ESD控制方案内应制定静电敏感物品的包装、存储、周转和运输等各环节的实施办法以及操作要求，使静电敏感物品处于良好静电防护状态中，以确保产静电敏感物品的免受ESD损伤。

静电敏感器件及其组件在EPA外进行存储、周转、运输等过程都必须采用防静电包装，即采用法拉第笼的包装形式，避免器件受到静电损伤。

在EPA外存储、周转、运输过程中都不得对ESDS进行拆包等直接操作，只能在EPA内的防静电工作环境中进行直接操作。

5.6.1存储要求

注：

1、当存储区域（库房）的自然温湿度达不到要求时，应使用空调或增湿器、抽湿机予以调节，直至满足要求为止。

对环境有特殊要求的，如潮湿敏感器件等，请遵照相应的专用操作指导书执行。

2、未屏蔽的静电敏感器件及其组件不得直接放置于未接地的货架或不具有防静电功能的周转箱内或周转车上，应通过防静电屏蔽袋或防静电周转箱等储放。

3、静电敏感的单板、组件：

存放主要采用屏蔽袋、防静电吸塑盒、防静电托盘、防静电周转箱、单板周转车等。

周转箱一般用于生产现场的短时间存放，当使用防静电周转箱较长时间存放单板时，应采用防静电屏蔽袋或周转箱盖板盖住周转箱箱口，以保证其防静电效果并防灰尘。

4、静电敏感器件：

可以采用IC管、防静电托盘、防静电的卷盘卷带、防静电屏蔽袋等存放。

存放时要保证包装的封闭性，因此使用防静电托盘存放IC类物料时外部应采用防静电屏蔽袋（或防潮袋）包装。

防静电器件盒一般只用于生产现场的器件短期放置，不用于库房的器件存储。

5、静电敏感器件尽量保持原包装状态，严禁随意拆封。

6、用于静电敏感器件散装清点、分料和发料的工作台必须铺设防静电台垫，并可靠接地。

操作人员应佩戴防静电手套、指套或将有绳防静电腕带接入防静电接地系统。

7、静电敏感器件和组件的存储环境中不得有强静电、强电场、磁场或辐射场存在。

5.6.2周转要求

1、保持周转工具干净，如果有明显灰尘或污渍，应使用中性清洗剂清洗。

2、周转前必须检查物料是否采取了正确的防静电包装，若包装不合要求，不得转运到下工序。

任何时候都不得将静电敏感器件及其组件堆叠裸放在一起存放和周转。

3、跨厂房的近距离周转应确保产品处于静电屏蔽状态，如使用周转箱加防静电盖板或套有屏蔽袋的周转车运送。

4、转运静电敏感器件及其组件应轻拿轻放，严禁摔打、碰撞、剧烈摩擦或跌落。

5、在两个包装容器之间传递IC类静电敏感器件时，宜直接将防静电容器对接进行，例如将管装IC直接伸入防静电屏蔽袋中再将IC倒出，两个IC管对接传递等，应避免用手接触静电敏感器件，戴有防静电手套或指套时也应尽量减少直接触摸静电敏感器件的次数。

6、防静电容器（防静电元件盒、防静电袋、防静电周转箱）、组件暂存架、运输车等器材上应有防静电警示符号标识，并可在符号旁边加注必要的说明文字，标识应置于明显且不易受到磨损的位置。

7、静电敏感器件在周转过程中，勿靠近强静电、强电场、磁场或辐射场，如电脑显示器上方、公共人行通道两侧等。

8、禁止使用拉伸膜、普通粘胶带等易产生高压静电的绝缘材料包裹未作好屏蔽防护的静电敏感器件及其组件、或装有ESDS物品的包装盒/周转箱/周转车。

必要时请选择或设计其它不易产生静电的辅助工具或材料用于这些物料的防倒等。

5.6.3运输要求

1、静电敏感器件、单板、部件、产品在运输过程中必须采取完整的防静电包装措施，以避免ESDS遭受内外部各种高静电、强电场的影响。

2、单板、组件、产品：

在运输时必须采用防静电吸塑盒、屏蔽袋或防潮袋等进行直接包装后，再采用纸箱或木箱等进行外部包装（二次包装或间接包装），外部包装和直接包装之间应填充防静电泡沫或防静电汽珠袋用于减震和防碰撞。

3、静电敏感器件：

应采用屏蔽袋、IC管、防静电托盘加屏蔽袋等直接包装后再用纸箱等进行外包装（内加防静电性能的防震防碰材料）运输，或直接采用器件来料原包装进行运输。

4、所有处于运输过程中的ESDS的包装要求具有法拉第笼的特性保证内部的ESDS处于静电放电安全状态。

5、ESDS的内外包装材料上都应该具有明显的防静电警示标识提醒相关操作人员注意。

6.相关文件

无

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