设备与预防保养的作业指导书Word文档格式.docx
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EC-E030620303
修改日点检喷墨压力。
EC-E030627320
修改日点检2-6与2-7点检内容。
EC-E031101364
增列自动超音波清洗机之预防保养作业指导。
EC-E031201383
修改2-5气源气压参数。
FQ002A
03
投料机预防保养作业指导书
1.日保养﹕
1–1机台表面清洁﹕
先用吸尘器去除杂物﹐再以无尘纸沾酒精擦拭。
1–2台车清洁﹕
1–3机台下面地板及周边清洁﹕
(吸尘器为无尘等级1000Class以上之吸尘器)
2.日点检﹕
2–1马达有无异响﹑发热。
2–2手臂运行平稳度。
2-3各Sensor灵敏度。
2–4传送导轮位置(成一直线)。
2–5C/V平稳度﹑跳动﹑噪声。
2–6紧急停止开关灵敏度检查。
3.月保养﹕
3–1机台内部清洁﹕
3-1-1关掉总电源﹐用吸尘器去除杂物﹐然后用无尘纸沾酒精擦拭。
3-1-2清洁完毕后需检查各气管有无脱落﹑组件有无松动﹐等待5min以后才可开机。
3–2丝杆导轨润滑﹕
3-2-1加油脂之前﹐需将旧油清除干净。
3-2-2用高压油枪向运行滑块里加注无尘室专用油脂(Krytox)。
3–3真空过滤芯管路及真空阀体清洁。
3–4C/V传送皮带﹑马达检查。
3–5手臂前后气缸缓冲检查﹑调整。
4.使用窗体﹕
4–1设备日保养记录单
4–2设备日点检记录单
4–3设备月保养记录单
FQ003A
04
清洗机预防保养作业指导书
1–1清洗各槽及机台表面擦拭。
1–2前后过渡段﹑风刀室清洗﹐并将风刀室用无尘纸擦干水。
1–3机台周边地板清洁。
2–1导轮位置。
2–2传动轴有无跳动。
2–3喷咀角度﹑堵塞检查。
2–4轻刷有无异响。
2–5风刀角度及吹净检查。
2–6传动马达﹑泵浦有无噪声﹑过热。
2–7Sensor灵敏度检查。
3–1药液槽以无泡清洁剂(2.5%)循环洗30min再用DI水循环洗30min*2次﹐更换滤芯后再注
药液。
3–2各水槽以5%无泡清洁剂洗30min﹐再用DI水洗30min*2。
3–3喷咀检查。
3–4毛刷原点检查校正﹑轴承﹑皮带检查异常者更换。
3–5传动轴套﹑C/V轴套从动齿轮点检﹐磨损者更换。
3–6风刀﹑风刀进气管(油雾分离器后部分)每月清洁一次。
3-6-1将风刀进气管拆下﹐并作标记﹐放入2.5%无泡清洁剂槽中浸泡45min﹐管路接头用篮
具装好﹐放入超声波槽振荡30min。
(超声波槽为2.5%无泡清洁剂)
3-6-2浸泡后﹐将药液排除﹐用DI水反复冲洗4次﹐管路接头浸泡后用DI水振荡20min﹐
再用DI水冲洗2遍﹐用氮气枪吹净。
3-6-3风刀﹑调压阀拆开后用无尘纸沾酒精擦拭。
3-6-4将管路﹑风刀﹑调压阀按顺序装回﹐并调整风刀至GLASS表面水能吹干。
4–3设备月保养记录单
05
IR/UV烤箱预防保养作业指导书
以无尘纸沾酒精擦拭。
1–2机台周边地板清洁。
2–1C/V传送速度检查。
2–2"
O"
型圈有无断开或老化。
2–3UV灯点灯检查。
2–4加热板加热状况检查。
2–5UV灯工作时间检查。
3–1机台内部清洁。
3-1-1关掉总电源﹐待温度降至室温后﹐以吸尘器吸除杂物﹐再以无尘纸沾酒精擦拭。
3-1-2电控部分用吸尘器清洁完毕后须检查气﹑电组件是否有松脱。
3–2"
型圈磨损者更换﹐并保持传动轴上有5~10个备品。
3–3C/V传动校正。
06
冷却C/V预防保养作业指导书
1–1机台内部清洁。
1–2风管清洁。
2–1传动导轮位置。
2–2传动有无异响。
2–3内部洁净度。
2–4感应器是否正常。
3–2传动导轮位置点检﹑校正。
3–3传动皮带点检﹐有磨损严重则更换。
3–4风管拆洗。
07
上光阻机预防保养作业指导书
1–1机台表面清洁。
1–2C/V清洁。
1–3CoatingRoller与DoctorRoller﹑BackUPRoller清洁。
1–4回收管﹑废液管长时间待料﹐须将管路里的光阻剂排除。
2–1传动导动位置。
2–2传动部件有无异音。
2–3机台内部洁净度。
2–4各Sensor灵敏度。
3.月保养﹕
3–2原点校正。
3–3传动涡轮﹑涡杆清洁。
3–4滑轨清洁注油脂。
08
IR烤箱预防保养作业指导书
1–1机台外部清洁。
2–1温度点检。
2–2C/V平稳度点检。
2–3Sensor点检。
3-1-1待温度降至室温后﹐用吸尘器吸除杂物﹐再用酒精擦拭﹐传送轮用无尘纸沾丙酮擦拭直
至其上无光阻剂为止。
3–2更换磨损"
型圈。
3–3C/V传送点检。
09
BUFFER预防保养作业指导书
1–2篮具清洁。
2–1平稳度﹑噪声﹑跳动检查。
2–2传动皮带有无裂开及偏位。
2–3机械手臂振动﹑速度检查。
2–4马达有无异响及过热。
2–5篮具检查。
3–1机台内部清洁(清除玻璃屑)。
3–2LIFT上升/下降丝杆﹑机械手臂滑轨润滑。
(润滑脂Krytox)。
3–3传送皮带清洁检查﹐有必要则更换。
曝光机预防保养作业指导书
1–1用无尘纸沾酒精擦拭机台周身外表。
1–2曝光室平台﹑框架清洁﹑复眼﹑球面镜严禁擦拭。
2–1各气压参数及曝光灯电控箱电流﹑电压。
2–2PUSH-PIN有无磨出沟槽﹑破裂﹑动作缓急。
2–3入口﹑中央﹑出口C/V传送状况﹐确认有无"
型环严重磨损及断裂。
2–4冷却气流量70+10N/min﹔真空度<
-30mmHg。
2–5机台内清洁度。
2–6Sensor灵敏度点检。
2–7UV灯使用寿命:
2000小时。
3–1平台球面座每三个月润滑一次。
3–2Push-PIN检查﹐更换磨损严重件并检查调整PIN动作灵活﹑缓冲。
3–3快门滑块每个月清洁润滑一次﹐检查气管有无漏气。
3–4机台清洁(同日保养)。
3–5C/V传送"
型环磨损者更换。
3–6真空泵过滤芯每个月清洁一次﹐真空泵周身清洁。
3–7平台真空管路有无松脱﹑漏气之处﹐有则予以修复﹑更换。
显影机预防保养作业指导书
1–1机台内壁﹑喷管﹑过渡段清洁。
1–2机台表面清洁。
1–3TANK清洁。
2–4传动马达﹑泵浦有无噪声﹑过热。
2–5Sensor灵敏度检查。
2–6紧急停止开关检查。
2–7摇摆状况检查。
3–1以45℃DI水循环洗槽30min(药槽及水槽)。
3–2检查喷咀有无堵塞﹐有则更换。
3–3C/V传动轴主轴套磨损者更换﹐主传动轴连轴器检查与紧固。
3–4更换传动腐蚀"
型环。
3–5机台内清洁。
3–6风刀﹑风管﹑风刀调压阀及油雾分离器至风刀的风管拆洗﹐清洗方法同清洗机。
3–7摇摆机构的检查﹐连接处有无松脱﹑磨损﹐有则维护﹑更换。
蚀刻机预防保养作业指导书
1–1机台表面清洁(用无尘纸沾水清洗)。
1–2机台下地板及周身清洁。
2–4风刀角度及风量检查。
2–5传动马达﹑泵浦有无噪声﹑过热。
2–6Sensor灵敏度检查。
3–1蚀刻机槽用5%WtNaOH溶液循环洗30min﹐再用DI水洗30min*2次。
3–2喷咀堵塞者予以更换。
3–3检查传送导轮套及“O”型环﹐并更换磨损严重件。
3–4检查各药液段压力﹐若超出下限﹐则须更换滤芯。
3–5机台内外清洁。
3–6风刀﹑管路﹑调压阀每二个月清洗一次﹐清洗方法同清洗机。
3–7摇摆机构检查﹐连接处有无松脱﹑磨损处予以维修﹑更换。
去膜机预防保养作业指导书
1–1纯水冲洗各槽及机台表面擦拭。
1–2风刀室﹑过渡段用水枪冲洗。
1–3TANK内外清洁。
3–1药液槽以2.5%Wt50℃NaOH溶液循环洗30min﹐再用DI水40~50℃循环洗30min2次﹐
更换滤芯﹐又用DI水清洗并检查压力是否在制程参数范围内。
3–2各水槽用5%的无泡清洁剂洗30min﹐再用水(45℃)循环洗30min*2。
3–3检查喷咀是否堵塞。
3–4校正毛刷原点﹐轴承皮带检查。
3–5毛刷每半年换一次。
3–6传动轴﹑C/V轴套﹐从动齿轮磨损更换
3–7机台清洁。
3–8风刀管路调压阀每月清洗一次﹐清洗方法同清洗机。
T-TYPE转盘预防保养作业指导书
1–1玻璃屑的清除。
2–1传送导轮位置(成一直线)。
2–2传动是否平稳﹐有无噪声及跳动。
2–3传动马达异响﹑发热检查。
3–1校正传动导轮。
3–2联轴器﹑轴承检查。
3–3传送皮带清洁﹑检查。
分版机预防保养作业指导书
1–1机台清洁。
1–2碎玻璃清除。
2–1探针灵活性检查。
2–2探针有无松脱。
2–3传动导轮位置。
2–4传送平稳性﹑噪声及跳动。
2–5转动平台有无冲击振动。
3–1机内清洁整理。
3–2传送导轮校正。
3–3探针磨损更换。
上膜机预防保养作业指导书
1–1ANILOXROLL清洁﹑刮刀及管路清洁(清洁方法依制造作业规范)。
1–3平台清洁﹑废液瓶装满后清除﹐并对该处周围清洁。
1–4真空马达底座清洁。
2–1AROLLER前行﹑后退定位螺丝的检查。
2–2检查各Sensor感应度是否良好。
2–3基准PIN﹑PUSHPIN动作检查。
2–4真空度检查≦-470mmHg.
2–5刮刀压力(3+1kg/cm2)。
2–6气管有无漏气。
3–1检查各气管是否有漏气﹐有则予以更换。
3–2检查刮刀有无损伤﹐并更换严重者。
3–3PI滤低检查﹐更换堵塞者。
3–4校正机台前后手臂之水平度。
3–5印刷平台之滑块﹑导轨﹑传动齿轮﹑齿条﹑丝杆的润滑。
3-5-1先清除旧的油脂﹐再涂注新的润滑油。
3–6检查APR版夹夹子是否灵活﹐止退螺钉有否松动。
3–7印刷平台与ANILOXROLL﹑ANILOXROLL与版胴的GAP校正。
二联转盘预防保养作业指导书
1–2碎玻璃屑的清除。
2–1各Sensor感应是否良好。
2–2各传动Roll有无卡死和损坏。
2–3传送马达有无异声和发热。
3.月保
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