PTH线操作手册Word文档格式.docx
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2、PTH线设备检测一览表
一、目的规范
规范PTH线流程,提供PTH线工艺控制参数和操作方法,指导生产人员正常生产,以确保生产产品品质,适用于PTH手动或自动线操作。
三、PTH线设备规格表
备注:
SS:
不锈钢QTZ:
石英:
聚丙烯T:
气缸振荡
M:
机械摇摆A:
打气V:
电振荡器TF:
铁氟龙
C:
冷却
四、PTH自动线程序图及各缸时间范围
注:
滴水时间栏空白无要求各厂根据实际情况可作适当调整
前期准备
A、清洗缸体:
新线开缸前须用3-5%NaOH溶液泡缸12小时,用清水清洗干净后,再用3-5%H2SO4泡缸12小时,再用清水冲洗,至少2次,药水槽再用纯水清洗一次备用。
旧线视缸体清洁度,可考虑不用酸碱泡,但缸体须用清水洗净,药水缸须用纯水清洗;
B、测量:
测量缸内壁长、宽、高,计算出缸体积,计算方法:
V体=长×
宽×
高(药水液位高度);
C、检查生产辅料(比如,H2SO4是否浑浊等)。
开缸
整孔除油缸:
A、加入DI水至2/3体积;
B、加入整孔剂DS-122(10%);
C、补充DI水至液位;
D、打开加热,开启过滤机
微蚀缸:
A、加入水至2/3体积,开启打气;
B、加入硫酸4%(或硫酸8%,适合硫酸双氧水系列产品);
C、冷却后加入过硫酸钠80g/L;
D、加水至液位,搅拌。
酸浸缸:
B、加入2%(V/V)H2SO4;
C、加入DI水至液位,搅拌均匀。
预浸缸:
B、加入预浸剂DS-133220g/L(或DS-133220g/L,AR盐酸5%,适合DS-133体系);
C、加入DI水至液位,搅溶后开启过滤泵。
活化缸:
B、加入预浸盐DS-133220g/L,AR盐酸5%。
C、加入DI水至液位,搅溶后开启过滤泵;
D、加入活化剂DS-1402%;
E、打开加热器循环。
加速缸:
B、加DS-15510%;
C、加入DI水至液位;
D、打开过滤泵。
沉铜缸:
B、开启打气,加入沉铜液DS-166M5%;
C、缓慢加入DS-166A7%;
D、缓慢加入DS-166B7%;
E、补充DI水至液位,开启过滤。
整孔除油
A、工艺参数
a、温度60-70℃
b、时间5-8min
c、过滤连续过滤
d、摇摆连续
B、控制
a、碱度控制在;
b、每生产100m2板补加DS-122;
c、每班分析一次,依化验结果调整维护。
C、更换
a、每升工作液处理30-35m2板或铜含量大于1g/L时换缸;
b、每次全部排净旧液,洗净缸体后,重新开缸。
微蚀
a、温度25-35℃
b、时间1-2min
c、浓度Na2S2O860-100g/LH2SO43-5%
d、过滤连续过滤
f、打气过硫酸钠体系开打气,双氧水体系无须打气。
a、每生产100m2添加Na2S2O85KG,硫酸2L;
b、每班分析一次,微蚀速率控制在;
a、铜含量大于25g/L时更换;
b、更换时保管1/6左右旧槽液,再加入1/2体积纯水,然后加入4%硫酸及80g/LNa2S2O8,用纯水补充至液位。
酸浸缸
a、温度室温(20-30℃)
b、时间1-3min
c、摇摆连续
a、H2SO4浓度控制在1-3%;
b、每班分析一次,按分析结果补加。
与微蚀缸同时更换。
预浸
a、温度室温(18-30℃)
b、时间
d、摇摆连续。
a、比重控制在每添加165g/LDS-133可升高比重(或补加165g/LDS-133可升高比重,L盐酸可提高酸度,此适合DS-133体系);
b、每生产100m2板补加DS-133、盐酸。
a、每升槽液生产30m2时更换;
b、或溶液转变成蓝色或绿色时更换。
活化
a、温度35-44℃
c、搅拌摇摆或过滤循环
d、加热器石英或铁氟龙
e、过滤定期过滤
a、每生产100m2补加DS-140;
b、比重控制在,比色控制在60-90%。
a、每升槽液生产600m2时换缸;
b、铁含量高于150ppm时更换;
c、换时排除全部旧液,再用稀盐酸泡洗槽壁,以清水洗净后用纯水清洗,重新开缸。
加速
a、温度酸性室温(20-30℃)
b、时间2-4min
d、过滤连续过滤
a、酸性控制到;
b、每生产1000ft相对补加DS-155。
a、每升槽液生产20-30m2时更换;
b、当溶液变混浊时;
c、更换时全部排除旧液,洗净槽液重新更换。
化学铜
a、温度25-30℃
b、时间12-18min
c、沉积速率微英寸/分钟
e、搅拌空气及机械搅拌
f、操作容量(负载)
a、浓度控制
Cu2+11-13g/L
HCHO6-8g/L
b、浓度控制在正常范围之内
补加量计算方法:
1.每生产6-8m2板添加DS-166A、B各1L;
2.每星期更换一次过滤棉芯,更换时用稀硫酸浸洗新滤芯,用DI水洗净,放入滤槽中使用;
3.每周倒一次槽,并将槽内壁沉积铜消除,方法:
抽入废微蚀液或加入一定量H2SO4、Na2S2O8并加水至液位并开启打气;
4.每班分析3次,即4小时分析一次。
a、每升槽液生产30-40m2或药水添加量达50MTO时换缸;
b、更换时将槽液全部排放,消除缸内壁沉积铜,洗净后重新配。
生产控制与维护
新开缸药水须化验分析,确保浓度正常范围,检查各药水缸温度应达到正常范围;
取三架裸基材板依沉铜线正常程序拖缸。
每架双面累积应达沉铜缸最佳负载,即L;
紧接拖缸板后做一架生产板,抽取生产板背光,要求:
双面板级以上,多层板级以上(详见背光等级表)。
正常后批量生产,并连续生产,并连续跟进至少3缸板。
生产过程中须做好生产记录,药水补加尽可能少量多次,以保持各药水缸浓度平衡,前处理各缸药水每生产100m2补加一次,化铜缸视生产板而定,每架板至少6m2时,累积6m2补加166A、B液各1L,每架大于6m2时,生产一架添加一次。
添加量计算:
添加量(L)=累积生产面积m2/6m2;
每次开拉前须检查设备运行状况,待温度升到正常管控要求,化验分析调整各药水缸浓度后,拖缸做板,步骤同、;
无化验室的厂家,每次开拉前,沉铜缸须补加DS-166A、B各15ml/L,停产12小时以上,还须补加至少5ml/L甲醛(37%)。
PTH线停产处理方法:
停产前沉铜少添加一次药水;
关掉所有药水缸中的加热器;
关掉水洗缸的入水阀及打气阀;
保持沉铜缸有打气及过滤;
保持活化缸有循环;
长时间停产或放假,须将药水缸盖好,尤其是活化槽。
PTH线停电及机械故障处理方法:
当遇停电或机械故障时把正浸在药水槽中的板取出水洗待重做;
当遇停电机械故障不超过10分钟,浸在水洗缸中的板可正常往后生产如若不然须取出重做;
在沉铜缸内板可继续沉铜至足够时间,然后取出至板电;
停电时间超过4小时,须用纯水酸制,用AR级硫酸中和沉铜缸中的NaOH,用量约为7ml/L(AR级硫酸);
返工板程序:
微蚀→水洗→磨板→PTH工序
沉铜效果检测:
背光检测:
每生产四小时检测一次,具体见背光对照表;
孔铜附着力检测:
沉铜板做到成品后,进行热冲击实验,孔铜不脱离为OK。
六、PTH线常见问题及处理
七、背光级数表
- 配套讲稿:
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- 关 键 词:
- PTH 操作手册
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