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目前全球能从事半导体设备陶瓷元件加工的厂家,除国际上最大的两家公司Kyocera、Coorstek之外,在大陆、台湾地区及韩国主要有还有如下厂家:
1.美商应陶股份有限公司(AppliedCeramic)及在台湾分公司。
美商应陶股份有限公司(ACT)总部设于美国加州,为一专业半导体设备零件供应商,专精于陶瓷、石英、硅及蓝宝石等备品的制作与开发。
2.台湾棕茂科技及昆山智贸科技
昆山智贸科技设备有限公司是台湾棕茂科技在国内的分公司,CTC主要是由“台湾天龙集团”与"
日本合气集团"
合资成立的公司(CoalitionTechnologyCo.,Ltd)简称CTC,主要从事“精密陶瓷”的生产和销售,为您提供原厂的质量与服务OEM、ODM的价格!
3.上海摩根美超技术陶瓷有限公司(Mogan)
上海摩根美超是英国在上海的工厂,生产99.5%及95%氧化铝精加工陶瓷。
主要应用于晶园生产设备,医疗,激光以及电子行业。
公司配备先进的CNC磨床,CNC加工中心,三维测量仪和抛光设备。
4.杭州大和热磁电子有限公司(ferrotec)(杭州先进陶瓷材料有限公司)
杭州先进陶瓷材料有限公司是日本和美国的合资厂,专业从事应用于精密半导体及电子加工设备的高纯度陶瓷材料与产品的开发、生产及销售。
产品主要采用精制的高纯、超细无机化合物为原料,利用先进的工艺技术加工而成。
根据工程技术对产品使用性能的要求,制造出的产品具有高强、高韧、高硬、耐磨、耐腐蚀、耐高温、高热导、绝热及良好生物相容等优异性能。
公司的所有生产技术均来自美国和日本。
公司拥有磨削中心、加工中心、平面磨床、外圆/内圆磨床、立式铣床、数控车床和电气烧结炉等数十台加工设备。
其中大部分来自美国和日本的高精度数控设备。
随着公司的成立,在借助杭州大和热磁电子有限公司和LTDCeramics,Inc.位于全球各地的营销网络,预计先进陶瓷材料产品的年销售额将从成立之初的不足一千万元跃升至2007年的一亿元人民币以上。
至此产品将广泛销售往包括台湾在内的中国各地区,以及欧美、日本、新加坡、韩国等国家,并势必会越来越引起业界和消费者的瞩目。
5.coorstek韩国陶瓷工厂
CoorsTek公司是1910年成立的高技术企业,其总部位于美国科罗拉多丹佛,专门生产陶瓷元件及工程塑料为主的高性能金属等特殊材料和元件,年销售额达六亿美元。
其中半导体设备陶瓷占其总销售额的22%。
2003年CoorsTek公司在韩国分两个阶段,共投资两千万美元,建立工厂专门生产用于半导体设备的精密氧化铝陶瓷。
6.台湾晟鼎工业股份有限公司
1987年开始生产精密陶瓷部件,现在主要生产半导体设备陶瓷。
半导体设备用高纯、零气孔率氧化铝陶瓷及部件制备的研究
由于高技术陶瓷材料具有高硬度、高强度、耐高温、耐腐蚀、耐磨损、低热膨胀、高弹性模量等良好优点,以及极低的潮解度(≤0.01%)、抗酸、碱性能以及抗卤族元素等离子体侵蚀性能,广泛应用在半导体生产设备的陶瓷零部件。
和VARIAN等。
我国半导体生产行业最近几年的发展速度非常快,目前全国已经有上百家半导体的设计或生产工厂(FAB),但是半导体设备一直依赖国外进口,大大制约了我国微电子和半导体行业的发展。
随着我国经济的发展,半导体设备的国产化是必由之路。
也被列为国家中长期发展规划中。
精密陶瓷元件的价值约占半导体整体设备的16%左右,全球市场约为54亿美元,半导体设备陶瓷元件的生产,由于涉及OEM厂家认证问题,所以属于独占性高门槛行业。
国际高精度曝光机(数十纳米精度)一直是对我国禁运设备在半导体设备中,目前半导体零部件生产公司主要从国外设备厂家直接购买陶瓷元件耗材。
但无论从成本考虑还是从长远资源配套考虑,半导体设备中陶瓷零部件必将实现本土采购。
1.半导体加工设备制造是我国中长期发展规划重点鼓励发展的产业,现在我国已能提供4至8英寸大部分的半导体生产设备,但是高精密度加工(100nm以下)的加工设备一直依赖进口。
2.半导体加工设备中需要大量精密陶瓷部件。
由于陶瓷(氧化铝,氮化硅,氮化铝,碳化硅等)高硬度,高弹性模量,耐腐蚀,耐磨损,高绝缘,低热膨胀等优点,具有其他材料不可取代的地位。
3.主要采用精制的高纯、超细无机化合物为原料,利用先进的工艺技术加工而成。
根据工程技术对产品使用性能的要求,制造出的产品具有高强、高韧、高硬、耐磨、耐腐蚀、耐高温、高热导、绝热及良好生物相容等优异性能的半导体设备关键部件。
在此方面的应用主要有:
等离子体刻蚀与清洗部件;
CVD沉积器件的部件;
用于晶圆抛光的真空研磨盘片;
晶圆的机械传送手臂以及其它等离子喷头、工艺腔部件等。
此外,它还应用在平板显示方面(FPD)。
总体来讲,国内目前在氧化铝基片的生产方面已经能够满足国内需求并能出口海内外,但基片的性能和国外产品有一定的差距。
而在半导体生产设备中的使用的氧化铝陶瓷部件,尤其是一些大型的、异型的零部件,至今还是空白,完全依赖于进口。
因此,为配合我国半导体行业发展,实现半导体设备和部件的国产化,需要国家投入高性能陶瓷材料在半导体设备应用方面的研发与产业化。
应用举例:
机械手臂、真空夹盘、等离子喷头、工艺腔部件、光刻部件
陶瓷气体过滤气介质
用于提高半导体生产设备中使用的气体的纯度和洁净度。
真空阀过滤器
用于控制气体能以可以控制的速度进入反应室。
高纯半透明氧化铝陶瓷
与半透明的氧化铝单晶材料类似,半透明的氧化铝陶瓷可以允许部分的可见光谱透过,可以用作高压钠灯的光学元件,因为它具有极好的对卤族元素气体的抗侵蚀性能。
在半导体器件也具有一些新的用途。
日本东芝陶瓷公司已经能够制备出一些大尺寸以及异型部件,并且已经用于半导体行业,这在以前看来是不可能实现的。
高纯度氧化铝陶瓷
由于具有极低的吸潮性、良好的绝缘性能、高强度和耐磨性能,同时还具有抗酸、碱以及卤素等离子体的侵蚀性能,应用于半导体和平板显示工业中的部件和夹具。
解决的技术关键:
1.高纯、高刚度、高绝缘、高致密度(理论密度100%)无气孔陶瓷(氧化铝为主)的成型与烧结技术.
2.大块陶瓷部件的成型与特种烧结技术
3.高精度、纳米级平整度光洁平面陶瓷零部件的加工技术
4.防静电陶瓷材料及部件成型烧结技术
真空开关管属于真空电子器件中的无源真空器件,是真空开关的核心部件。
国外发达国家早在上世纪60年代就开始研制真空开关管,70年代制成真空接触器和断路器,投入市场,推广应用。
我国上世纪80年代初开始自行研制,在“七五”期间,国家投资5220万元,为锦州华光、陕西宝光、甘肃虹光、成都国光,从美国、德国、波兰引进了42台套关键设备和技术软件,为我国真空开关管的发展奠定了基础。
1990年,我国的真空开关管的产量达到16.5万只,开始进入真空开关管的推广应用阶段。
目前,我国从事真空开关管研发与生产的企业有30多家,真空开关管的产量达到70万只以上,据业内专家预测今后五年内,真空开关管每年还将15%的速度增长。
真空开关管行业的发展,促进了与之配套的陶瓷管壳等企业的发展,我国生产陶瓷管壳的企业有十几家,但形成规模的企业不多,难以满足国内制管的需要,在产品的外观与内在质量上与国外发达国家相比还有差距,超高压真空开关管的产品还是空白,尚需进口。
随着国民经济的迅猛发展,使用真空开关管制成的真空开关设备己广泛地应用于能源、交通、冶金、航空航天、船舶、建筑等各个领域,尤其是我国电力工业、铁路电气化的快速发展为我国真空开关管的发展提供了难得机遇。
该项目的研究成果将直接应用于无锡爱思特电子元器件有限公司进行陶瓷真空管壳的批量生产,对于促进我国相关行业的技术进步具有重要的意义。
刀具市场分析:
美国加州出版的《世界机械工具切削市场》预测,2006年世界金属加工工具总量将达到230亿美元,而硬质合金工业市场容量将达到130亿美元。
随着世界制造中心往中国转移,中国硬质合金工模具市场容量将突破100亿,其中硬质合金材料占50%以上。
同时,随着制造水平的提高,出口量也有望达到1.5~2.0亿美元。
从硬质合金产量看,国外总处理和国内总产量基本相当,约为1万吨,但国外销售收入是国内产值的十几倍。
从产品种类看,我国85%为焊接刀片,数控刀片的85%为进口,国外全部是可转位刀片。
随着加工工业的科技进步和机械制造业水平进一步提高,自动化程度很高的大型切削设备和计算机辅助控制加工中心对硬质合金切削刀具的性能提出了更高的要求。
其次随着精密铸造、模锻和新的粉末冶金成形技术的发展,高速精加工、半精加工、以车代磨切削加工工艺日益受到重视。
高速切削是实现高效率制造的核心技术,工序的集约化和设备的通用化使之具有很高的生产效率。
可以说,高速切削加工是一种不增加设备数量而大幅度提高加工效率所必不可少的技术。
一般高速切削的切削速度为普通切削的5~10倍,达15~50m/min。
显然,机加工所面临的问题是要尽量减少切削深度而提高切削速度,这就需要更加锋利的刀刃,传统硬质合金越来越满足不了这一要求。
在刀具原材料供应方面,作为硬质合金主体材料采用的是稀有金属W和Co。
由于中国钨资源的过渡开发,钨精矿价格成倍增长。
Co在国际上是重要的战略物资,其价格和供应极不稳定。
有人预测,二十年后这两种资源都会枯竭。
可见,用“无Co或少Co、无W或少W”的材料代替部分传统硬质合金是一个迫在眉睫的问题。
金属陶瓷正是在这一背景下得到迅速的发展。
“金属陶瓷”一词,英语是“Cermet”,它是陶瓷(Cerramic)和金属(Metal)两个词头的组合。
是指由一个或几个陶瓷相与金属或合金组成的非均质复合材料。
复合材料是继金属材料、高分子材料和无机非金属材料之后出现的一类新型材料。
在新材料设计上,新概念、新观念、层出不穷,利用复合材料的乘积效应和加和效应,可开发设计出性能更加优异的新型材料。
实际上,金属陶瓷是一类极其广泛的材料,包括氧化物-金属、碳化物-金属、氮化物-金属等等。
因此,WC基硬质合金也属于金属陶瓷范围,但在工具材料领域中,人们习惯于把“金属陶瓷”一词专供TiC基和Ti(CN)基工具材料使用,以区别于WC基硬质合金,而且这一术语已被国际学术界普遍接受。
目前习惯上,把WC基工具材料称为硬质合金,TiC基和Ti(CN)基工具材料称为金属陶瓷。
图刀具材料的发展与切削加工高速化的关系
从图刀具材料的发展与切削加工高速化的关系可以看出,Ti(CN)基金属陶瓷刀具的性能和加工范围在硬质合金和陶瓷刀具材料之间,与硬质合金涂层材料接近。
随着中国人均GDP迈入一千美金门槛,近五年来在中国汽车市场上汽车的产销量是按让人眼红心跳的两位数在增长,而数控机床与刀具的迅猛发展则是在中国国民经济持续向上发展和世界各主要工业大国将生产基地陆续迁入中国的大环境下发生的。
2004年1-7月我国进口机床和刀具是33亿美金,同比去年增长58%,根据国际金属加工研究中心调查报告指出,2003年世界工具市场销售额在130亿美元左右,而全球年增长率却仅仅大约是3%。
刀具在制造业中所占比重较少但却是一个非常活跃的领域。
刀具的新材料,新技术层出不穷。
在中国现今的刀具市场上,国外各厂家通常按年销售额的概念分成三个集团,分别是3个亿以上、1-3个亿和1个亿以下(指人民币)。
全球刀具行业的“巨无霸”瑞典山特维克集团的可乐满(SandvikCoromant)当仁不让地处在第一集团,可乐满2001年在华销售额是2.2亿人民币,2002年是2.8个亿,而2003全年在华销售了3.5亿人民币刀具。
可乐满Coromant拥有全系列超过25000种各类刀具产品,并且还以每年开发超过1500种新产品的速度在持续着它的“王朝霸业”;
全球销量第二的肯纳集团(Kennametal)在华年销售额1.8亿人民币,处于第二集团领头羊的位置,紧随其后处在第二集团的是台湾兴合上海公司(主要代理德国KOMET、MAPAL以及日本三菱、NT等进口刀具品牌),年销售额1.6个亿;
瓦尔特(Walter)通过出色的造势和营销管理,加上工具磨床在内大约有1.2个亿;
伊斯卡(ISCAR)在成功收购了美国英格索尔(Ingersoll)的切削刀具部后在华也达到了1.1亿的良好销售业绩;
同样,山高(Seco)携收购的法国EPB、荷兰Jabro一同也把在中国的销售额做过了亿元门槛从而挤入第二集团。
处第二集团的进口刀具代理商还有北京金万众(主要代理日本BIG大昭和、住友电工、OSG和京瓷等日本刀具以及瑞士PWB、德国Kelch对刀仪)、北京京以(主要代理意大利丹德瑞刀柄和镗刀系统以及日本京瓷刀具)等,各家在华年销售额都在亿元人民币上下。
国内厂商则以我们株洲钻石、成量、成都英格、哈一工、哈量、上海机床附件二厂等为主。
不论是从销售额还是产品种类和质量上比较,我们株洲钻石无疑是龙头老大,如果仅仅从年销售额和市场分额上排位,在整个国内刀具市场上我们甚至能替代肯纳金属集团成为第二集团的领头羊。
国内刀具行业面临的状态是刀具行业起步晚,先进的数控刀具仅仅是随着近年来数控机床的发展而发展,因此数控刀具产品发展速度缓慢,基础比较薄弱,竞争力不高。
为什么国外刀具厂商能抢滩中国的市场?
主要原因是他们的产品档次高、品种全、性能好,而且技术服务和销售管理更是国内厂家所难以望其项背的。
可以说,目前国内各刀具厂商与国外相比,其差距是全方位的。
从传统意义上讲,进口刀具在中国市场上主要分四大主流派系:
①山特维克系,山特维克集团公司在全球的控股子公司众多。
包括可乐满(Coromant)、万耐特(Valenite)、山高(Seco)、蒂泰克斯(Titex)、瓦尔特(Walter)和斗马(DORMER)等。
②肯纳系,肯纳金属(Kennametal)1938年成立于美国,它是与美国强大的航空航天以及军工企业一起发展起来的。
2003年全球销量20亿美金,是排名山特维克集团之后全球第二大的刀具制造集团。
依靠德国Widia公司在铣刀和车拉刀、德国Hertel公司在车刀上强大的研发制造能力和以色列Hanita公司,大大巩固了肯纳集团在汽车行业的地位。
③欧洲系,以德国系和以色列系为主,包括德国的蓝帜(LMT)、KOMET、MAPAL、钴领(Guehring)、雄克(SCHUNK)、EMUGE、TBT、HAIMER;
以色列的伊斯卡(ISCAR)、瓦格丝(Vargus);
瑞士的ETM等。
以伊斯卡(ISCAR,以色列系)为主体的IMC(IscarMetalCuttinggroup)集团已经成为继山特维克集团和肯纳金属集团之后第三大刀具供应商。
ISCAR以在割槽刀领域的“霸王刀”崛起和享誉全球的,收购美国英格索尔的刀具子公司(IngersollCuttingToolCompany),OEM欧洲一流的意大利丹德瑞公司的刀柄和镗刀系统,收购韩国大韩金属特固克(Taegutec),IMC集团在2004年销售额达到10亿美金,它的目标是在尽短的时间里全面超越肯纳金属集团。
④日韩系,2003年,日本机床产值占全球总产值的21.7%,排名世界第一,拥大昭和精机业已成为了日系刀具的领头羊,它在中国市场上保守估计有近1个亿人民币的销量。
以特殊陶瓷涂层CBN、金刚石烧结体PCD为主经营的住友电工(SUMITOMO);
以高硬度镗杆、magic钻头、金属陶瓷刀片闻名的京瓷尚乐特(KyoceraCERATIP);
在汽车与航空发动机方面被称为“拉刀王”的不二越NACHI;
全球丝锥产销大王OSG(与德国瓦尔特Walter“技术提携”,将Walter全系列的模具铣刀引入了日本市场);
拥有BEAM整体烧结体金刚石铣刀和钻头“绝活”的黛杰工业(DIJET)。
另外还有东芝钨业(TOSHIBATungaloy)、日立工具(HITACHITOOL)、弥满和制作所(YAMAWA)、MMC神钢工具、日本特殊陶业(NTK)、日进工具、田野井制作所、东京石工业、旭金刚石工业、荣工舍、大志技研等众多品牌,他们规模不大但各有所长,大都靠自己一到两种拿手“绝活”驰骋刀具市场。
在现今中国的机械加工领域,航空航天,汽车工业、模具制造,电子工业等四个行业是数控机床和刀具比较集中的地方。
。
1、航空航天
不锈钢、高温合金以及铝镁合金是航空航天和汽轮机零件所采用的主要材质,而其中又以航空发动机和汽轮机所常采用的高温合金(包括Fe基、Ni基和Co基三种)与钛合金材料的加工最让人头痛。
高温合金和钛合金在540°
C以上的高温状态下仍能保持很高的强韧性和低的导热性,被称为耐热“超强合金”。
由于耐热“超强合金”的成分和组织的特性,其切削性能很差。
行业内做了个比较,如果以45钢的切削性能作为基准1,那么Ni基高温合金的相对加工性仅为0.05-0.2;
钛合金根据含碳量不同(含碳量大于0.2%时会形成硬的碳化物使切削性能下降),其相对加工性也仅为0.2-0.3。
对于耐热“超强合金”的加工,从技术和可加工性的层面上分析,用陶瓷、金刚石烧结体(PCD)和PVD涂层硬质合金等超硬材料加工是最理想的(某些钛合金加工不适用)。
PVD(物理气相沉积)涂层被国外最先证明是最有效加工高温合金的涂层而TiN(氮化钛)CVD涂层是最早使用的而且现在仍然很受欢迎的涂层,占所有涂层刀具的80%,但氮铝化钛(TiAlN)在连续高温切削时它的各项性能超过TiN三倍,所以对于耐热“超强合金”的加工大量采用的是氮铝化钛(TiAlN)PVD涂层。
美国是当今世界最强的航空航天大国,Kennametal在耐热“超强合金”加工领域处于领先地位。
住友电工SUMITOMO在CBN和金刚石烧结体(PCD)研制方面全球领先,同时,它也是在世界上首次将纳米技术和薄膜技术实用化的厂家,SUMITOMO新型“ZX”的PVD涂层由每层1纳米(十亿分之一米)的TiN和AlN超薄膜交互重叠约2000层进行蒸着累积而成,硬度远比一般的PVD涂层要硬,已经接近烧结体CBN的硬度。
2、汽车行业
铸铁由于其坚硬性和很高的抗压强度,并且能成铸成很复杂的形状,所以一直是用于交通行业的发动机箱体及其它主要零件的材料。
球墨铸铁加工性能差,球墨铸铁的珠光体含量越高,它的耐磨性越好而且它的可加工性越差,球墨铸铁的多孔性导致断续切削,这更加降低寿命。
像耐热“超强合金”的加工一样,从技术和可加工性的层面上分析,用CBN和金刚石烧结体PCD等超硬材料加工是最理想的,但目前在中国市场上,大部分进口或国产厂商还是将精力主要放在涂层硬质合金方面。
减少重合金的用量以达到减少油耗与增强刚性是目前全球在轻型运载工具如家用小汽车方面普遍的思路。
1980年按照美国铸造协会规定,家用小汽车的铸铁用量控制在600磅/辆以下,到1999年下降了近一半,平均达325磅/辆,预计2006年能降到230磅/辆。
另一方面,汽车铝件的应用在5年内将上升50%,从2000年的250磅/辆,到2005年将达到380磅/辆。
2000年又开发出TiAlN基特殊陶瓷涂层CBN(BNC系列),与不涂层相比,使用寿命与加工精度均显著提高,甚至可以“以车代磨”地完成高硬度材料的加工。
3、模具制造
据统计,我国模具厂家目前约有两万家,2003年产值360亿人民币,进口2亿美元。
2004年达到500亿元。
主要是汽车加工模具、家电模具、建材模具、电子通讯产品模具等。
模具制造行业使用最多的刀具是模具铣刀,集中在地处长江三角洲和珠江三角洲地区。
4、电子工业
曾经专门有一篇文章专门谈到日本的刀具厂商在保证日本国内需求的同时,均在大力开展向海外市场扩展IT产业刀具的销售战略,其中特别看好中国IT产业对刀具的需求。
随着中国IT产业的飞速发展,日本工具厂商已增产满足中国IT产业急需的各种切削工具。
东芝Tungaloy公司,三菱综合材料公司、旭金刚石工业公司和富士精工公司
Ti(CN)基金属陶瓷工具材料发展概况:
Ti(CN)基金属陶瓷于1931年问世,但直到Kieffer等人在1968~1970年间开展系统研究之后,对其研究和生产的热潮才真正开始。
在TiC-Mo-Ni系金属陶瓷中添加TiN,不仅可显著细化硬质相晶粒,改善金属陶瓷的室温和高温力学性能,而且还可大幅度地提高金属陶瓷的高温耐腐蚀和抗氧化性能。
与TiC基金属陶瓷相比,Ti(CN)基金属陶瓷在高温下的硬度和抗弯强度(TRS)更高,抗氧化性能和高温抗蠕变能力更好。
Ti(CN)基金属陶瓷切削性能优异,已成为主要的切削刀具材料,并逐步取代TiC基金属陶瓷,被广泛用于碳钢、不锈钢和铸铁的高速铣削、精加工和半精加工。
同时,Ti(CN)基金属陶瓷因其具有稳定的高温强度、良好的摩擦性能和耐酸碱腐蚀性能还应用于发动机的高温部件、石化和化纤等多种行业和领域。
因此,国外科研机构和生产厂家对Ti(CN)基金属陶瓷逐步重视,并进行深入系统的研究。
自20世纪80年代以来,Ti(CN)基金属陶瓷获得了迅速的发展,世界各国硬质合金生产厂家先后推出了系列的Ti(CN)基金属陶瓷刀具。
在日本,近年来Ti(CN)基金属陶瓷材料已占可转位刀片的30%以上。
我国在“八五”期间也研制成功多种牌号的Ti(CN)基金属陶瓷刀具,并批量上市,但性能不很稳定。
1、表面梯度结构Ti(CN)基金属陶瓷的研究
通过设计刀具材料的化学成分和烧结气氛来控制相应的冶金反应过程、碳氮化钛固溶体的分解行为和碳化物在粘结相中的析出,在压坯表面形成所需的结构,可以获得不同性能的材料。
(1)表面无立方相的涂层基体材料;
(2)不同的内韧外硬的材料;
(3)有不同成分的表面多层材料;
(4)TiN自润滑材料。
因为,WC在Ti(CN)中的固溶度决定于N含量,N含量越高,WC在Ti(CN)中固
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