触针式表面轮廓测量仪量值溯源方法研究Word文件下载.docx
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(一)校准项目与校准用标准设备
收穑日期:
20Il一04一I8
作者简介:
张建群,女,福建省计量科学研究院长度室,高级工程师
陈晓蒸,女,福建省计量科学研究院长度室,工程师
王朝阳,男,福建省计量科学研究院长度室,高级工程师
林景星,男,福建省计量科学研究院闽量校准中心,高级工程师
?
12?
针对轮廓仪校准技术要求提出,校准项目和
标准器及其它设备如下表.
J事号权蛹目标准嚣及翼玄设鲁
l静态潮重力中准确麈等缵电子夭平?
其舟辨力0.0lg
2薹准孽孰童缱匪1缀平面平量
3轮婀罄寡分量示德漾差4等量块.2癜平面平晶
}鸲冰平分量lx轴)看毫'
淑浅干仪
±
(睡n3+1.5上)●瞄僵.虞鳖
5芈诬嘲纛暴芈径翔形状经捩准的标准罐或椽准半鞲
6半径灏tI|鬟矬(RI妇椭矗砷弧和矗7nn~9豫m备一个)
7角度热髓两神EI关差
四警饿傩
3角度嬲重量雅
(二)校准方法
检查轮廓仪各部分相互作用,确定没有影响
校准计量特性的因素后校准.
1,静态测量力
将触针针尖轻轻地压在电子天平上,调整传
感器的高低位置,使传感器触针位移显示指向零
位.读出电子天平的示值,再乘以重力加速度g
(g=9.8m/s2),即为触针静态测量力.
2,基准导轨直线度
将工作面长度大于轮廓仪x轴测量范围的1级平
晶水平放置在轮廓仪工作台面上,调整轮廓仪垂
直分辨力为最小值,轮廓仪滤波器选择高斯滤波
器,且截止波长不大于0.5mm.
按规定的长度在x轴测量范围内至少取三段测
量平晶表面轮廓,用最小二乘法分别计算各段表
面轮廓的直线度,取各段直线度中的最大值作为
基准导轨规定长度的直线度.以全行程表面轮廓
的直线度作为全行程基准导轨的直线度.
3,轮廓垂直分量(z轴)示值误差
在传感器触针位移范围内选择5个大致均匀分
布的测量点,分别选取对应尺寸的4等量块.先把
量块按尺寸由大到小平行并紧密接触地研合在平
面平晶工作面上,然后将其置于轮廓仪工作台
上.由大到小测量各量块表面轮廓.测量值与量
块实际值之差为各点示值误差,取其最大值为轮
廓垂直分量(Z轴)示值误差.
4,轮廓水平分量(x轴)示值误差
把激光干涉仪的靶镜固定在轮廓仪驱动箱与
传感器连接件上,调整激光干涉仪的激光光束与
轮廓仪基准导轨平行.在轮廓仪X轴测量范围内选
取大致均匀分布的5个测量点,读取各点轮廓仪示
值与激光干涉仪示值,轮廓仪示值与激光干涉仪
示值之差为各点轮廓水平分量(x轴)示值误差.
取其最大值为轮廓水平分量(x轴)示值误差.
5,半径测量示值误差
将标准球或标准半球放置于轮廓仪工作台上,
先调整标准球(标准半球)的位置,使触针滑行轨
迹通过标准球(标准半球)的最高点,然后测量标
准球表面轮廓半径.重复以上步骤,连续三次测量
标准球表面轮廓半径,三次测量平均值与标准球(标
准半球)半径的实际值之差为半径测量示值误差.
6,半径测量重复性
将标准球或标准半球放置于轮廓仪工作台
上,调整触针滑行轨迹通过标准球(标准半球)
的最高点,重复三次测量表面轮廓半径,按极差
法计算实验标准差作为半径测量重复性.
7,角度测量示值误差
将四等棱体放置于轮廓仪工作台上,先调整
棱体的侧边平行于触针滑行方向,然后测量棱体
各相邻工作面的角值.重复以上步骤,连续三次
测量棱体各相邻工作面的角值,三次测量平均角
值与棱体工作角标称角值之差为各角度测量示值
误差,取其最大值为角度测量示值误差.
8,角度测量重复性
将四等棱体放置于轮廓仪工作台上,调整棱
体的侧边平行于触针滑行方向,对四等棱体任一
工作角重复测量三次,按极差法计算实验标准差
作为角度测量重复性.
三,轮廓仅示值误差的校准结果
不确定度评定
(一)轮廓垂直分量(Z轴)示值误差校准结
果的不确定度评定
1,概述
在环境温度(20±
3)℃,采用4等量块
(U=0.20岬+2×
10一)测量轮廓垂直分量(z轴)
10mm~示值,测得值与量块实际值之差为测量结果.
l3?
2,数学模型
△Li—Ls
式中:
将评定的标准不确定度分量与灵敏系数计算
(1.1)列表如下:
△——轮廓垂汾量(磷由)各隹点示隹误差,IIIIl;
£——轮廓垂直分量(z轴)示值,mill;
.
——
量块实际值,mm.
式(1.1)中,£,,之间互为独立,其灵敏
系数与方差分别为
:
1,:
-1(1.2).,3.(?
2
矗(△):
.(+c.(三s)(1.3)
3,标准不确定度分量的来源与评定
(1)轮廓垂直分量(z轴)示值(三)引入的
标准不确定度u()
轮廓垂直分量(z轴)示值产生的不确定度
主要是测量重复性引起的标准不确定度分量.
对轮廓仪垂直分量1Omm示值点,用10mm量块
重复测量10次,测量结果为(单位:
mm):
9.9972,9.9968,9.9974,9.9967,9.9972,9.
9980,9.9972,9.9973,9.9966,9.9975.根据测
量数据可得单次测量实验标准差:
u()=0.41~un.
(2)标准器引入的标准不确定度
①4等标准量块,其中心长度扩展不确定度为
0.201am+2×
10—6,置信概率P=O.99,包含因子
2.63,当=lOmm时,
u】
()(O.20+2Ls)/2.630.08vim
②由于量块材料为钢质,其线膨胀系数应为
(11.5±
1)×
lff'
60C一1.假定标准量块的线膨胀系
数在(11.5±
10一-6.C一1范围内等概率分布.若
被测量块温度t与标准温度20"
C的偏差不超过3℃,
则对于10ram量块:
()=(f一20)?
43=0.20~'
n
标准布瑰定标准不确定度bI)
废,}量《)(m)不璃定度来t艨
(I)
"
(£】轮廓篷童努叠041l04l
0(二标准器贽量O22.1O22
()《镡檬准量块中心长度O08
()量墒蠛眵滕系数020
()2缎平面平晶的平酸0058
4,合成标准不确定度的计算
由于Li,Ls之间彼此独立不相关,因此合成标
准不确定度为
=
√.(厶)+c知()(1.4)
按式(1.4)计算合成标准不确定度为:
uc=0.47um
5,扩展不确定度的确定
取包含因子k=2,则扩展不确定度按式(1.5)
计算为:
U=k.(1.5)
=2×
0.47=0.941xm~1.0um
6,轮斑直分量(自)示鸶不嗨民告
轮廓垂直分量lOmm时,
U=1.0um,k=2
(二)轮廓水平分量(X轴)示值误差校准结果
的不确定度评定
3)℃,采用激光干涉仪
(aPE:
(0.03+1.5L)"
m)测量轮廓水平分量
(x轴)20mm处示值,计算轮廓仪示值与激光干涉
仪示值之差作为测量结果.
③一级平面平晶的平面度为0?
1m,假定其等差
概率分布.
U()=0.1/~=o.058~m
综合以上①,②,③标准器引入的标准不确
定度为u()=0.22~Jm
14?
△一(2.1)
△——轮廓水平分量(x轴)各校准点示值误
mm;
轮廓水平分量(x轴)示值,mm;
激光干涉仪示值,film.
式(2.1)中,,之间互为独立,其灵敏
-.
乞
詈一2
'
(△)=IU.)+霹?
.)(2.3)
(1)轮廓水平分量(x轴)示值(Li)引入的
标准不确定度
轮廓水平分量(x轴)示值产生的不确定度
主要是测量重复性引起的标准不确定度分量.对
轮廓水平分量(x轴)20mm示值点,采用激光干
涉仪重复测量10次,测量结果(单位:
mm)为:
19.9995,19.9996,19.9993,19.9992,19.9992,
19.999l,19.999l,19.9987,19.9989,
19.9997.根据测量数据可得单次测量实验标准差:
()=0.31pan
(2)激光干涉仪示值误差(£)引入的标准不
确定度
激光干涉仪使用空气参数补偿单元的位移测
量最大允许示值误差为:
(0.03+1.5£)m(式
中£.以m为单位),按均匀分布估计.
当.=lOOmm时,
U1()=(0.03+1.5)/4~=o.1Ogm
(1)标准不确定度分量一览表
将
(二)3条款评定的标准不确定度分量与灵
敏系数计算列表如下:
布确定度来滁标准布确定度h)
/~tLu)()(
(zO轮廓水平箭量(x袖)示德O1031
(镦光干移使矛值{鬟差O.10-1O.1O
(2)合成标准不确定度计算
由于,,之间彼此独立不相关,因此合成标
..)+.()(2.4)
按式(2.4)计算合成标准不确定度为:
£I?
=0.33gm
取包含因子k=2,则扩展不确定度按式(2.5)
Y=k?
(2.5)
2×
0.330.66gm~O.71am
6,轮廓水平分量(x轴)示值误差校准结果及
不确定度报告
轮廓仪垂直分量(X轴)lOOmm时,
U0.7gin,k=2
(三)轮廓仅半径测量示值误差校准结果的不
确定度评定
3)℃,采用R8Omm的标准半
球(=l岬,=2)在轮廓仪上测量圆弧半径,连续
三次,三次测量的平均值与标准半球半径值之差
作为测量结果.
AL/一
(3.1)
△'
——轮廓仪测量圆弧半径各校准点示值误
差,film;
轮廓仪半径测量示值的平均值,mm;
标准半球半径值,mm.
式(3.1)中,,之间互为独立,其灵敏
q1,堕(3.2)q,一'
3?
(△)=lU(五)+?
(£s)(3.3)
(1)轮廓仪半径测量示值(£)引入的标准
不确定度t/(L)
轮廓仪半径测量示值产生的不确定度主要是
测量重复性引起的标准不确定度分量.对半径
R8Omm标准半球,重复测量10次,测量结果为(单
位:
m):
79.5055,79.5044,79.5040,79.5030,
79.5035,79.5050,79.5041,79.5036,
79.5040,79.5050.根据测量结果可得单次测量实
验标准差:
(£)=0.77pm
实际测量以三次测量的平均值作为测量结
果,平均值的实验标准偏差为:
一l
//()0?
77×
0?
44pm
15?
(2)标准半球半径测量不确定度()引入
的标准不确定度u()
①标准半球半径测量不确定度为1uIn,k=2.则
u()=1/2=0.5pm
②标准半球材料为玻璃,其线膨胀系数应为
(5.5±
0.2)×
10—7"
C一1.假定标准量块的线膨胀
系数在(5.5±
10~7℃一l范围内等概率分
布.若被测量块温度t与标准温度20℃的偏差不超
过3℃,则对于R8Omm玻璃半球:
2()=—20)?
√30.08m
综合以上①,②量块示值引入的标准不确定
度为u()=0.51pm
将第(三)3条款评定的标准不确定度分量与
灵敏系数计算列表如下:
标准j旁窟废标准不确定度(xD
不确定度来{睬c|分量)(
岬)(
(五)半径{舅!
撮的平蚜懂0441044
C)标准半球拳柽值0511O51
()标准半球半径050
()标准半球线膨胀系数008
由于£,£之间彼此独立不相关,因此合成标
准不确定度为:
擂镰)+()(3.4)
按式(3.4)计算合成标准不确定度为:
%:
0.67Dm
取包含因子七=2,则扩展不确定度按式(3.5)
U=k?
%(3.5)
0.67=1.34p,m~1.4pm
6,轮廓仪半径示值误差校准结果及不确定度报告
轮廓仪测量半径R8Omm时,
U1.4um,k2
(四)轮廓仅角度测量示值误差校准结果的不
16?
3)℃,调整棱体的侧边平
行于触针滑行方向,轮廓仪测量三等多面棱体
(工作角偏差MPE:
5)卜2I作面表面轮廓的
角度值,连续三次,以三次测量的平均值与棱体
工作角角值之差为测量结果.
△=~
(4.1)
△一一轮廓仪角度测量各校准点示值误差,
(."
):
棱体工作角角值,(.).
式(4.1)中,,之问互为独立,其灵敏
c】.1,竺一1(4.2)c1.,2一4?
.(△)=?
(五)+霹?
(五s)(4.3)
(i)轮廓仪角度示值(,)引入的标准不确
定度11(Li)
轮廓仪角度示值产生的不确定度主要是测量
重复性引起的标准不确定度分量.调整棱体的侧
边平行于触针滑行方向,用轮廓仪测量棱体1—2工
作面表面轮廓的角度值,重复测量10次,示值误
差测量结果为:
+65"
+2"
+37"
+16"
-
48,+43"
-32,+13"
+36,一6"
计算可得单次测量实验标准差:
S(,L:
)=34.
实际测量中以三次测量的平均值作为测量结
一1
//(L)--34.7×
=20.0"
』
(2)三等棱体角度值()引入的标准不确
定度u()
四等棱体工作角偏差最大允许值为±
5"
估
计其均匀分布.则
u()=5"
/=2.89
将第(四).3条款评定的标准不确定度分量与
标准布确定度
确定度来源标猛希礴定废l"
(
分蠢"
瓴)("
)()
(五)角度测量的平均德20012O0
)四等棱链骏角角懂289.1289
由于,之间彼此独立不相关,因此合成标
擂.(五)+c()(4.4)
按式(4.4)计算合成标准不确定度为:
uc:
2o.2
取包含因子k=2,则扩展不确定度按式(4.5)
uc(4.5)
U:
20.2"
=40.4"
≈41
6,轮廓仪角度示值误差校准结果及不确定度报告
轮廓仪测量角度164.2052"
时,
Y=41"
k=2
四,结束语
本文通过对轮廓仪几何量参数的校准所采用的
校准设备,校准项目,校准方法及校准结果不确定
度评定等分析探讨,提出对轮廓仪几何量参数的静
态测量力,基准导轨直线度,基准导轨直线度,轮
廓垂直分量z轴示值误差,轮廓水平分量(x轴)示
值误差,半径测量示值误差,半径测量重复性,角
度测量(z轴)示值误差,角度测量重复性等校准
方法与说明,并提供实际校准轮廓仪几何量参数的
校准结果不确定度评定分析.解决了福建省在开展
轮廓仪几何量参的校准方法与校准结果不确定度评
定,也解决了福建省内技术机构开展轮廓仪几何量
参数校准所采用的依据.以便作为福建省技术人员校
准"
接触(触针)式表面轮廓测量仪"
技术依据.
参考文献:
[1]GB/T3505—2009《产品几何技术规范(GPS)表面
结构轮廓法表面结构的术语,定义及参数》.
[2]GB/T6062—2009《产品几何技术规范(GPS)表面
结构轮廓法接触(触针)式仪器的标称特性》.
[3]GB/T10610—2009《产品几何技术规范(GPS)表面
结构轮廓法评定表面结构的规则和方法》.
[43GB/T17163-2008《几何量测量器具术语基本术语》.
[5]GB/T19067.卜2003《产品几何量技术规范(GPS)
表面结构轮廓法测量标准第1部分实物测量标准》.
[6]GB/T19600—2004《产品几何量技术规范(GPS)
表面结构轮廓法接触(触针)式仪器的校准》.
[7]JJF1059—1999《测量不确定度评定与表示》.
ResearchontheMeasurementValuesTraceabilityoftheStylus
InstrumentsfortheMeasurementofSurfaceProfile
ZHANGJianqun,CHENXiaoyan,WANGChaoyang,LINJingxing
(FujianMetrologyInstitute,Fuzhou350003,Fujian,China)
Abstract:
Nowadays,therearenodetailedverificationorcaBbrafionspecificationsofthecontact-type/stylussurfaceprofilemeasuringinstrument,
leadingtothemeasurementvaluesofitsparameterssuchasthe2Dshapesandpositioncannotbetraced.However,thelargeormiddlesizedmachining
companyandthemachineinspectioninstituteneedCalTyoutitstraceabilityofvaluesofmeasurement.Forguaranteeingthecredibilityofthetracing
data,thepaper,consideringtheprofilemeasuringinstrument'
Sworkingprincipalsanditsmetrologycharacteristics,pointsoutthecalibrationmethod
fortheprofilemeasuringinstrumentandprovidestheuncertaintyassessmentmethodforitscalibrationresults.Itcanbeabasisforthecalibrationof
thesurfaceprofilemeasuringinstrumentin0111"
province.
Keywords:
Surfaceprofilemeasuringinstrument;
Geometricsense;
Error;
Calibration;
Uncertainty;
Assessment.
l7?
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- 触针式 表面 轮廓 测量仪 量值 溯源 方法 研究
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