VCP设备规格书软板单列Word格式.docx
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3.夹点范围:
以板端内侧,10mm算起。
4.线性速度:
0.3-1.5m/min.(Adjustable),须依据不同的制程条件,设定最适合之线性速度生产。
5.电镀槽面:
500W*3000L(mm)/Chamber*5Chambers
有效长度=15000mm
6.电流密度:
30ASF(Max.)此为整流器最大输出,制程能力须搭配药水特性,
选择最佳之电流密度生产。
7.整流方式:
DCSwitchingrectifier。
8.镀层膜厚:
以制程需求。
9.阳极型式:
钛篮磷铜球.
10.阴极型式:
垂直单边夹点方式。
连续输送。
11.面铜均匀性:
镀层厚度为25um时,其R值为0.3㏕以内
3)设备架构:
1.主体流程
上料开夹装置(ClampOpeningDevice)
回流槽机构组(Refluxframeworkslot)
酸性清洁-喷洒式(AcidCleaner-Spraytype)
回流槽机构组(Refluxframeworkslot)
三段水洗-喷洒式(3StageCascadeRinse-Spraytype)
预浸-喷淋式(PreDip-Spraytype)
1镀铜(CuPlating)
2镀铜(CuPlating)
3镀铜(CuPlating)
4镀铜(CuPlating)
5镀铜(CuPlating)
6-13镀铜(CuPlating)(可选或加)
二段水洗-喷洒式(2StageCascadeRinse-Spraytype)
下料开夹装置(ClampOpeningDevice)
剥挂装置2段(AutoCopperStripper)
剥挂后水洗2段(RinseAfterStripper)
2.周边设备:
A.阴极夹具输送装置(CathodeClamperCarrierDevice)
B.整流器(DCSwitchingRectifier)
C.电控箱(ControlCabinet)
4)详细规格:
4-1:
上料开夹装置(ClampOpeningDevice)
1.外型尺寸:
2450L*1230W*1930H(mm)(依实际情况定)
2.机架:
SUS304(80*40*2mm+40*40*2mm)
3.上板高度:
400mm±
25mm
4.送料机构:
链条连续输送
5.上料清水槽(进水/排水控制)使用DI
6.照明(密封)
7.上料检测感应器
4-2:
酸性清洁-喷洒式(AcidCleaner-Spraytype)
400L*500W*500H(mm)(依实际情况定)
SUS304
3.槽体:
PP
4.容积:
180L
5.处理方式:
喷嘴喷洒式
6.操作温度:
0-40℃(withheater&cooling)
7.循环泵浦:
1/2HP1Sets
8.过滤装置:
10um.PP过滤芯式
9.液位监控:
高低液位计监控
10.药水浓度控制:
NG
11.DI水补给:
PVC-3/4″
12.废液排放:
PVC-1-1/2″
13.废气排放:
PP-2-1/2″
4-3三段水洗-喷洒式(3StageCascadeRinse-Spraytype)
3.型式:
纯水洗
4.槽体:
5.容积:
180L/180L/180L
6.处理方式:
7.操作温度:
25℃(withheater&cooling)
8.循环泵浦:
60L/Min*3Sets
9.过滤装置:
NG
10.液位监控:
高低液位计监控
11.DI水补给量:
10L/Min.流量计:
浮子式15L/Min.
12.耗水量:
300L/h(Max.)
13.DI水补给:
14.废液排放:
4-4.预浸-喷淋式(PreDip-Spraytype)
RT.
60L/Min*1Sets
10.DI水补给:
11.废液排放:
12.废气排放:
PP-2-1/2
4-5.1-13镀铜(CuPlating)
1.型式:
1Tracks/Chamber
2.有效电镀槽面:
500W*3000L(mm)
3.外型尺寸:
3000L*1600H*500W(mm)(依实际情况定)
4.下槽容积:
1500L
5.上槽容积:
1100L
6.槽体:
PP
7.机构:
SUS-304(80*40*2mm+40*40*2mm)
8.阳极型式:
磷铜球
9.阳极钛蓝:
L450mm*63*30Set
10.药水循环:
喷流混合式
11.循环泵浦:
(3HP500L/Min*2Set)Tracks
12.被镀物均匀性可靠装置:
采用阴极及阳极遮蔽板
13.喷流流量监控:
流量计(管口式).
15喷流量调整:
变频器控制
16.循环翻槽次数:
20Turnover/h
17.冷却系统:
冷却钛盘管式热交换循环
18.浮板控制:
垂直升降式马达控制
19.槽液温度:
22℃-30℃(可调)Adjustable
20.液位监控:
高低液位计控制
21.喷流主管:
PVC1-1/2″
22.喷流支管:
PVC-3/4″
23.酸性废液排放:
PVC-2″
24.废气排放:
PP2-2/2″
4-6:
二段水洗-喷洒式(2StageCascadeRinse-Spraytype)
180L/180L
60L/Min*2Sets
10um.PP过滤袋式
10.DI水补给量:
浮子式15L/Min.
11.耗水量:
12.DI水补给:
13.废液排放:
4-7:
下料开夹装置(ClampOpeningDevice)
SUS304(80*40*2mm+40*40*2mm)withHalarCoating
3.下料清水槽(进水/排水控制)使用DI
4.照明(密封)
5.下料检测感应器
5)周边设备概述
1.阴极夹具输送装置(CathodeClamperCarrierDevice)
2.阴极驱动型式:
连续式链条环形输送,涡轮减速控制
3.夹具材质:
SUS316、304withHalarCoating
4.阴极剥挂:
以药水蚀铜自动剥挂
6)加热系统(HeatSystem)
500L*500W*1100H(mm)
2.槽体:
SUS-304
3.槽体保温:
采用槽外体保温
250L
5.电源:
3P*380V
6.加热管规格:
20KW
7.DEWater补给:
8.废液排放:
9.温度控制:
数位式温度控制
11.泵浦:
60L/Min
7)冷却系统(PlateHeatExchangersystem)
1.型式:
组合是钛管热交换
2.材质:
钛管
3.规格:
2300L*450H(mm)
4.冰水交换:
300-800L/min*1Set(须客户提供一次侧冰水源,冰水温度要求10度以内)
5.冷却控制:
电动阀自动控制
8)热水槽系统(Heatsystem)
1.型式:
2.材质:
钛管
3.规格:
500L*500W*1100H(mm)
4.冰水交换:
60L/min*2Set
5.冷却控制:
9)整流器(Rectifiersystem)
DCSwitching(力源、水冷式)
2.电流:
400A*1output(依实际情况定)
3.电压:
5V(Max)
4.数量:
4台/Chamber
10)废气排放集中管及废气处理装置:
(须客户自备)
1.排风量:
110CMM
2.排风主管:
PP250(mm)
11)电器集中控制盘:
(一次侧电源须客户提供)
1.动力需求:
3PH+1+1
2.电源:
80KW(Approx)
3.电压变动率:
380V±
20﹪
4.空压要求50L/min(Approx.)(一次侧空压须客户提供)
以上电力Air资料谨供查考,实际规格以订单设计为准
12)电器控制回路:
1.控制线路:
AC220VDC24V
13)软体控制系统:
1.输入控制:
PLC可编程式控制
2.整流器控制:
RS485连线控制
3.主体操作控制:
操作界面控制
备注事项:
1、不包括项目:
1)一次侧水源之配管(业主需配至机旁);
2)一次侧电源(业主需配至主控箱及火牛架的电源电缆及总开关);
3)移机前后现场之土木工程、排水沟设置、地面处理及搬运通道之准备;
4)移机试车期间使用之水电;
5)厂房抽风系统跟生产线主抽气管道间的连接;
6)废水及纯水之处理设备;
7)所有在本方案内未曾提及之事项。
设备安装完成后,所剩之物料、管件、工具,顾客需无条件同意我司带回。
2、保固期:
安装后计十二个月内。
以下各项不在保固范围内:
1)各式润滑油类补换;
2)各类消耗器,如加热器(石英、Ti、SUS)、钛篮、锆篮、二次夹具、母篮、子篮(含包胶)等(保固三个月);
3)滤芯滤袋等各式滤材;
4)各式防泄漏配件,如:
O型环、止泄垫,法兰垫片等(保固三个月);
5)人为原因造成的损坏或故障等;
(含鼓風機、整流機、過濾機等…)
6)天然原因造成的损坏或故障等;
7)未自我定期保养导致设备故障者。
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- VCP 设备 规格书 单列