材料表面形貌测试Word文档下载推荐.docx

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5.调整反射光。

6.调激光光路。

1）将激光调节到针尖的背面。

（将放大镜放在白纸上方，便于观察判断。

）

剪一小白纸放置在激光接收器的下方。

调节水平方向旋钮（保持垂直方向旋钮

不动），观察反射到白纸上的光斑，可判断激光落在悬臂的位置。

2）若激光完全落在悬臂上，则此过程中可看出，出现了较圆的激光反射光斑。

此

时可将水平旋钮调节到C位置，逆时针旋转Y方向的螺杆，直到出现如F、G或H的衍射条纹，再顺时针微调Y方向的螺杆，使衍射条纹的“尾巴”刚好消失，此时激光即落在悬臂边缘的针尖的背面。

3）观察“激光光斑”窗口（如下图），调节光斑位置探测器的X,Y方向的螺杆，使光斑处于“十字架"

中央的小圆圈中央。

7.调探测器，Up-Down=0,Left-Right=0。

Z电压读书为“+180v”。

8.盖上保护盖，放下仪器。

9.自动进针。

10.分别调节“信号放大”和“曲面校正”。

11.扫描完后，退针2次。

12.单击“另存为”，将所选的图像使用用户指定的文件名，保存到指定的目录下。

13.分析平均粗糙度。

（二）轻敲模式

3.打开软件，进行扫描器设置，设置为“轻敲模式”，选S1102。

（具体步骤同接触模式）

7.调探测器，Up-Down=0,Left-Right=0oZ电压读书为“+180v”。

9.频率设置窗口，找共振频率，调信范围，频率小点，参考点共振振幅1.465*0.60=0.87。

10.自动进针。

11.分别调节“信号放大”和“曲面校正”。

12.扫描完后，退针2次。

13.单击“另存为”，将所选的图像使用用户指定的文件名，保存到指定的目录下。

14.分析光栅高度和每条光栅（500nm左右）宽度。

5.原始图像、数据

1.接触模式

8000也血

500013KH

2000am

lOOQnm

...\003.csm

Title

像素=（1Q24JQ04）

J?

寸=（tiZOODm^ZOOniii）

t三=M=E

juimOUS：

上=wJE=f

-l^.OOOOnm

15.0000nm

lO.OOOOnm

f.OOOOnm

-20,0000im

Sum

图一平面图

26.60nm

CSPiSS度分析报告

图保尺寸6200.0DnmX6200.00nmi

AmpiihjdtepgnamieterS-

SafRpughnessAverage）1.34[nm]

Sq（RootMeantSquare）1.79[nm]

S^k（SurfaceSkewness）0.756

Sku（Surfac@KurtDsis）5.75

Sy（Peak-P&

a.k）l7.5[nm]

Sz（TenPoinlHeighrt）l7.1[nm]

HybridParameters:

Ssc（M@anSummitCurvature：

M3.0O60&

[1/nm]

Sdq（RaatMeanSquareSlope）0.0356（1/nin]

Sdr（SurfaceAreaRatio）O.O634

FunctionalParameters:

Sbi（SuirfaceBearingllndcx）0.22B

Sci（CoreFluidRelenlionlnd^&

x}1.511

SvifValleyFluidR皂酒前5lnd&

»

）0.105

Sp4<

（ReducedSummitHeight）2f69[nm]

Sk（CoreRoughnessDepth）3s97l[nmj

SvkfReducedValleyDeptti）1.67[nm]

Sdc0-5（0-5%heightintervalsofBearingCurve）7.S4[unn]

Sdc5-10（5-10%heightinteirvalsofBearingCun/e：

X）.75[nm]

Sdc10-50（10-50%heightintervalsofBearingCurve）2.13[non]

Sdc50-95（SO-&

5%heightmlervalsofBeanngCum）2.66（nm]

SpaUalParameters:

Sds（D«

nsityofSummils）472[1/um2]

FractalDlirerelwNGG

图三面粗糙度分析

2.

轻敲模式

800（9。

皿

250..0000nm

7000nm-

200.0000nm

ISO.OOOOnm

6伽。

nm

lOO.OOOOnm

SOOOmrr

SO.OOOOnm

4000um-

Onm

JOOOnm-

像素=（1024,1024）

尺寸=（SOOODiD.BOOOnmj

ZOOGnm-

lOOQiam-

=

£

287伽05mu

...\002.csm

图一平面图

S■蕾忘知gmn

Pi^A.titiKPirt111e

*rt|il|2«

lOmi«

lt|il

侵~fmooohtosqie）

图三剖面线分析图

6.实验结论

面平均粗糙度为1.34nm.

2.轻敲模式

光栅高度为101.86nm，每条光栅宽度为533.20nm。

7.思考题

1.在安装AFM针尖时应当注意哪些事项？

答：

1）顺时针旋转激光器位置垂直调节旋钮，知道激光落到探针架或探针基片上。

此时

探头正面观察，可以看到一个很亮的激光光点。

由于激光完全被遮挡，提起探头观察，

探头下方没有透射的激光光斑。

2）调节水平旋钮，使激光光点落在探针基片的中间位置。

调节垂直旋钮，使得激光往悬臂方向移动。

由于探针基片的边缘是一个梯形，有一定的倾斜度，所以，激光落在探针基片的边缘时，反光的激光光点会落在探头的前方，此时，稍微调整垂直旋钮，即可将激光调节到悬臂的区域附近。

ALaser

若激光落在探针基片或探针悬壁上，激光将反射到A（即探头正面人眼的位置）。

时，在探头正面可观察到激光光点。

若激光落在探针基片与悬臂之间的梯形面上，激光将反射到B（即探头前下方）

此时，在探针的前方可观察到激光光点。

不同位置对激光的反射，可在不同的位置观察到激光反射点。

2.如何正确快速地调节AFM的检测光路?

（将放大镜放在白纸上方，便于观察判断。

时可将水平旋钮调节到C位置，逆时针旋转Y方向的螺杆，直到出现如F、或H的衍射条纹，再顺时针微调Y方向的螺杆，使衍射条纹的“尾巴”刚好消失，此时激光即落在悬臂边缘的针尖的背面。

3）观察“激光光斑”窗口（如下图），调节光斑位置探测器的X,Y方向的螺杆，使光斑处于“十字架"