ITO镀膜教材Word下载.docx
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第1章
前言
1.1LCD簡介
●LCD:
液晶螢幕顯示器(LiquidCrystalDisplay)。
●LC:
液晶,遇電場會使液晶分子從平躺狀態旋轉成站立情況,使光線從無法穿透變成可穿透,進而產生明暗對比的情形。
●LCD依其扭轉的程度可分為:
(1)TN型
(2)HTN型 (3)STN型,目前公司主要生產的為TN型及STN型LCD。
●LCD以圖型來區分可分為:
(1)七段式(適用於計算機、電子錶等)
(2)點矩陣式(適用於電子字典、電腦等)。
●LCD作動的原理為:
組合兩片ITO導電玻璃,之間灌入液晶,當導電玻璃通電時,上下兩片圖形、線路有重疊部分就會產生電場,改變液晶分子方向,即會顥示。
++++++
↓↓↓↓↓
──────
●玻璃基板:
一般TN/STN顯示器是使用鹼石灰玻璃作為基板,即俗稱的鈉玻璃。
此平板玻璃是採用浮法方法製成,所以又稱浮法玻璃。
所謂的浮法製程(FloatingProcess)就是熔融的玻璃抽出後先經過錫爐,然後回溫至室溫,此種方式產出的玻璃稱之為浮法玻璃。
玻璃基板的一些特性,如表面凹凸、冷熱沖擊性、鈉離子釋出量..等特性,對LCD產品品質或製程加工性都有重要影響。
●
玻璃基板規格:
1.厚度:
一般為1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm等等。
2.外形尺寸:
目前廠內比較常生產之尺寸為300*350、370*480。
3.表面的傷痕、氣泡及雜物:
有些矩陣圖形,布線最小圖形為5-10um,因此在璃基皮上的缺陷也應小於5um,最近圖形越來越細,有時50um以下的傷痕和雜物都成了問題。
4.玻璃表面的凹凸:
(A)表面粗糙度:
在1-2um的範圍內多次重覆出的凹凸,其變化通常比人眼的分辨率還小,這種微小的凹凸影響塗覆膜的特性、液晶取向和圖形邊緣的平整
(B)表面波紋:
是週期在1mm以上的表面凹凸,通常有5-20mm的週期,這有可能成為不均勻顯示的背景。
(C)翹曲:
通常是在基板內出現1-2次的凹凸,翹曲過大的表面波紋在顥示製造過程中的約是,在操作機台上真空吸附基板時不得產生模糊現象;
在有矩陣型時,在實施微細圖形的光刻工程中不得產生漏氣現象;
不得出現干涉條紋背景等不均勻顯示對於上述各項,各種液晶顯示器所對應容估計值如下表:
有源矩陣
TN
STN
表面粗糙度Ra
100~150Å
200-300Å
平整度
-
0.2um/20mm
0.05um/20mm
波紋型
<
0.5um
0.3um
0.05um
翹曲度
100um
500um
第2章 ITO玻璃
2.1ITO玻璃簡介
ITO是IndiumTinOxide三個字的縮寫,中文為氧化銦錫;
ITO玻璃是在清潔的絕緣素玻璃表面上,以真空鍍膜的方法依序鍍上SiO2層(二氧化矽)及ITO層(氧化銦錫);
SiO2膜乃作為阻擋層,因玻璃基板中的鹼性成分會微量釋出,並滲入液晶中,進而造成液晶電阻率不降,另鈉離子會導電造成字肥現象,或使密封膠黏力下降等,故須先鍍上一層SiO2做為阻隔。
ITO薄膜的特性是在可見光區具有高度的穿透性與極佳的導電性,非常商合作為LCD顯示器的透明導電極。
ITO玻璃結構如下圖所示:
●ITO膜的特性:
1.在常溫下具有良好的導性。
2.禁帶較寬,主要吸收在紫外光區,因而對可見光有良好的透過率。
3.ITO膜耐鹼不耐酸,用鹽酸和硝酸的混合液極易蝕刻。
4.ITO導電膜愈厚,則面阻抗值愈低;
穿透率郤會因膜厚不同而有極小值和極大值,膜厚約在1370Å
處會出現穿透率的極大值。
●ITO膜在顏色上的區分:
100Ω:
無色
80Ω:
30Ω:
淡黃色
10Ω:
紫色
ITO玻璃的應用:
ITO導電玻璃的應用範圍很廣泛,雖然在製作方法上有所差異,但都是作為顯示器的透明電極用,而顯示器應用於下游產業更是不勝枚舉,以表說明其應用範圍:
產品面阻值
產品類別
應用範圍
300~40Ω/sq.
多用於TN型LCD,尤其是字型符號和小型點陣LCD
●電子手錶、鬧鐘
●掌上型計算機
●家用電器上的LCD顥示器
●儀表顯示
●電子帳簿
●攜帶型遊戲機
●太陽能電池
40~15Ω/sq.
多用於STN型LCD,可製作小型或大型點陣LCD
●膝上型電腦
●攝影機
●小型液晶彩色電視機
●筆記型電腦
10Ω以下/sq.
多用於大面積STN型LCD,以及其它平面顯示器
●PDP
●EL
●ECD
●液晶彩色電視
●導航顯示
2.2
ITO玻璃製造流程:
STN流程
TN流程
大片玻璃切割、裂片
●將大片玻璃切割成300X350mm尺寸
磨邊、倒角
●將切割完之玻璃倒角,並清除所產生之微粒
研磨拋光
●STN產品之玻璃表面須經過研磨處理
玻璃清洗
●以高精密洗淨法完全洗淨玻璃
SiO2及ITO鍍膜
●於真空系統內,依序鍍上SiO2與ITO膜
品檢
●檢查並記錄產品之穿透率及阻抗特性
包裝
●檢驗合格之產品以包裝機包裝
第3章
切割及裂片作業說明
3.1 製程簡介
開 箱:
利用拔釘器及氣動工將木箱、釘子及螺絲鬆開
素玻璃:
拿取素玻璃置於切割平台
切 割:
利用鎢鋼刀輪將由國外買入之浮法玻璃用切割機切割成所需之尺寸,如購入之素玻璃尺寸為1225*1075,將它切割成12片350*300尺寸之玻璃供磨邊加工。
裂 片:
依據鎢鋼刀輪在玻璃做表面X及Y軸上之切割刀痕,以人工方式施以一橫向力量使玻璃順著切割刀痕分離。
針式輸送帶:
將裂片完成之玻璃放置於針式輸送帶,準備進行磨邊、倒角作業。
3.2玻璃規格說明
目前公司生產之玻璃可依下列方式分類:
依產品類別:
1.TN
2.STN
依玻璃尺寸可分為:
1.300*350mm
2.300*400mm
3.370*480mm
依玻璃厚度可分為:
1.1.1mm
2.0.7mm
3.0.55mm
4.0.4mm
素玻璃因供應廠商不同可分割的數量亦不相同,有4切、6切、9切及12切等區分,其外箱皆標示厚度、尺寸及開箱方向,玻璃由倉庫調撥進來時,須依規格、尺寸確實清點。
3.3製程條件設定、作業程序說明
●切割機各部位說明:
操作盤:
X-Y軸手動進退
速度控制
急停
原點燈
鼓風
刀輪使用鈕
刀座下降
刀座上升
X
玻璃尺寸設定
手-自動
X-Y運動
計數器
電控箱:
切割機參數設定:
1.空氣壓力總表:
5±
0.5 kgf/cm2。
2.刀頭分壓表:
0.25~0.5kgf/cm2。
3.切割速度:
7±
2。
●切割前檢查步驟:
1.打開總電源之漏電斷器。
2.開啟電控箱電源ON。
3.切換至手動模式。
4.檢查X、Y軸是否位於機械原點。
5.檢查各空氣壓力表。
6.按下切割台輸送運轉、刷毛運轉和割台運轉,使平台清潔並確認運轉是否順暢。
7.設定玻璃尺寸。
8.下刀號數選擇。
9.調整刀座之切割尺寸。
(參考切割尺寸設定步驟)
10.調整刀輪高度。
(參考刀輪更換、調整作業說明)
11.刀輪高度調好後,按刀上上降鈕,使刀頭全部上升。
●操作說明:
1.電控箱電源ON。
2.切換至手動模式。
3.手動狀態下做原點復歸。
4.確認原點X軸、Y軸、X/Y連動燈亮。
5.切換至自動模式。
6.切割計數器歸。
7.起動切割台、裂片台之鼓風機。
8.踏下切割鼓風機踏板,使桌面浮起。
9.將刀頭切至使用位置。
10.將大玻璃放置於切割台上緊靠藍色PIN點,位置確認後踩下鼓風機踏板使玻璃吸附。
11.刀頭確認後,踩下切割踏板即可自動切割。
12.切割完成後踩下裂片台側之傳送踏板,即可將玻璃傳送至裂片台。
13.裂片。
14.將裂片完成之玻璃放至針式傳送機上。
15.重覆上述步驟進行生產。
16.關機時將電控箱之電源Off。
切割尺寸設定步驟:
1.用捲尺量測欲切割玻璃之正確尺寸,依最大使用效決定刀座切割尺寸之設定。
2.依玻璃Y軸尺寸設定Y軸頂PIN距離。
2.1鬆開Y軸頂PIN之固定螺絲。
2.2調整刻度尺寸和玻璃Y軸尺寸相同,並對齊固定座後緣。
2.3將螺絲固定,注意勿和刀座行進時有碰撞之虞。
3.將所有刀座之固定螺絲鬆開。
4.手動X刀軸移近頂PIN旁來設定第一刀位置。
4.1如前進時刀座會碰到頂PIN,請先將刀座向右移動。
4.2用尺量測頂PIN盤頂點和刀軸之距離。
(保持10mm以上之安全距離)
4.3設定好後將刀座固定螺絲鎖緊。
5.設定第二刀位置:
5.1將檢出器連結至第一刀位置。
5.2將尺寸顯示器按RESET鍵歸零。
5.3鬆開檢出器,移動至下一刀座並連結。
5.4依顯示器之尺寸調整刀座至設定位置,然後固定。
5.5厘米以下之微調可用檢出器之微調器進行。
5.6尺寸微調好後,將刀座固定螺絲鎖緊並放檢出器。
6將顯示器歸零,並依上述步驟完成其他刀座設定。
7Y軸刀座之切割尺寸設定方式同上所述。
8未使用之刀座取適當位置固定。
9如切出之玻璃尺寸有誤差時,可將檢出器再連結至刀座確認,可用刀座微調器做微調。
尺寸設定標準:
切割尺寸設定依系面或R面有所不同:
1.磨系面:
玻璃尺寸±
0.04mm。
2.磨R面:
玻璃尺寸+0.20mm±
(299.96~300.04)
(369.96~370.04)
370*480
300*400
300*350
磨系面尺寸設定
(349.96~350.40)
(399.96~400.04)
(479.96~480.04)
(300.16~300.24)
(370.16~370.24)
磨
R
面尺寸設定
(350.16~350.24)
(400.16~400.24)
(480.16~480.24)
設定切割尺寸注意事項:
1.頂PIN固定後須使玻璃兩側能同時碰到4個點。
2.檢出器移動時速度不宜太快,不可用東西敲打。
3.連結檢出器與刀座時,僅須輕輕鎖上固定螺絲即可。
4.刀痕太近玻璃邊緣時不利於裂片,尺寸設定時須注意。
(第一刀與玻璃邊緣須有10mm以上安全距)
刀輪更換、調整作業說明:
1.更換步驟
1.1 鬆張刀頭固定螺絲將刀頭取出。
1.2 鬆開刀輪軸擋片。
1.3 用針將軸退出,並取下舊刀輪。
1.4 將新刀輪換上,反程序裝回刀座。
2.手動將刀輪之刀軸移至切割平台方便作業之位置。
3.準備一片玻璃來當墊片。
(厚度同欲切割之玻璃)
4.鬆開固定螺帽。
5.順時針旋轉高度調整螺帽一圈,使刀輪上升至不接觸玻璃的位置。
6.將玻璃墊片置於刀軸下方平台。
7.按下切割降鈕。
8.將量錶吸附於平台上,探針頂在刀座上方。
9.逆時針慢慢旋轉高度調整螺帽使刀輪下降,並同時目測刀輪是否與玻璃接觸。
9.1 移動玻璃墊片來感受刀輪是否接觸玻璃。
9.2 接觸玻璃時刀頭會輕輕轉動,此時停止調整。
10.將量錶指針歸零。
11.將高度調整螺帽逆時針旋轉,下降0.4mm。
(玻璃1.1mm時)
12.鎖緊固定螺帽並移開量錶。
13.調整完畢按下切割上升鈕。
刀輪更換、調整注意事項:
1.刀輪轉動須順暢,不可調整過緊或過鬆。
2.刀輪軸須時常保養。
3.空壓不要太大避免玻璃切割痕過深或刀頭受力過大。
刀頭分壓錶設定標準如下:
●1.1~0.7mm:
0.30~0.50kgf/cm2。
●0.5~0.4mm:
0.25~0.50kgf/cm2。
4.刀輪下壓高須按下列規定調整:
0.4mm。
0.2mm。
5.滾輪與玻璃間距隔調整確實,避免碰撞玻璃。
3.4
機台故障排除、停電處理程序
●機台故障排除
以下為幾個常發生之異常狀況發生原因及排除方式:
1原點燈不亮:
可能是切割完後,X軸及Y軸發生位移所造成。
關掉控制電源,並且移動X軸或Y軸,再開所控制電源,按原點復歸,若仍無法恢復正常須請工務查修。
2切割折斷桌面無法浮起:
係因鼓風器切換開關閥門鬆脫,無法切換風量所致,須通知組長或工務查修。
3PLC警報:
係因電壓不穩而造成PLC警報,須切掉控制電源及總電源重新開啟,若仍無法排除須通知組長或工務查修。
4切下降未同步:
係因刀座氣缸經久未使用、潤滑不足所造成,由氣壓管內添加潤滑油,以及調整微調加大氣壓即可改善。
●停電處理程序
1.計劃性停電:
1.1停止切割,將刀軸停在原點位置。
1.2將電源關閉。
1.3打開電控箱將總開關關閉。
2.臨時停電:
2.1保持現狀並將電控箱內總開關關閉。
3.復機:
3.1電控箱內總電開關打開。
3.2電源開關打開。
3.3確認刀軸原點正確。
(原點燈亮)
3.5
品質自主檢查
作業前切割人員須與裂片人員確認欲投產之玻璃規格,點檢機台各項條件是否符合標準始可開始作業。
玻璃切割後,以游標卡尺確認尺寸,另檢查玻璃切割線條及是否有缺角不良等,確認無誤後方可開始生產,以下為切割品質檢驗項目、機台點檢、不良判定及調整方式:
●切割尺寸檢驗:
1.磨C面切割尺寸檢驗公差:
產品尺寸±
0.1mm。
2.磨R面切割尺寸檢驗公差:
產品尺寸+0.20mm±
0.10mm。
Exp.:
磨C面尺寸300±
0.10mm*350±
磨R面尺寸300.20±
0.10mm*350.20±
●點檢項目:
項目
基準
頻率
機
台
空壓
5±
0.5kgf╱cm2
1次╱班
刀頭壓力
0.25~0.5kgf╱cm2
切割速度
7±
2
頂PIN位置
不可碰撞刀頭
原點位置
原點燈亮
首
件
切割精度
設定值±
0.04mm
切割深度
亮度適中,無跳線、無玻璃絲
裂片狀況
無缺角、破裂
切割面
朝上
機台保養:
保養項目
保養時機
保養方式(使用器材)
台面
每日
每日須保持台面無玻璃屑及檢視台面下的清潔毛刷是否正常動作。
刀輪和刀軸
每切割40片大玻璃須用Airgun吹拭刀輪和刀軸上的玻璃絲,並檢視刀痕。
氣壓表
1.每日去除氣壓總錶水氣,並保持氣壓在4kgf╱cm2以上。
2.各刀輪氣壓分錶須保持0.25~0.5kgf╱cm2之間。
3.若無法調整至上述條件時,檢查檢氣壓管路和零件是否有洩氣。
鼓風機
開機後檢測鼓風和吸風是否正常,並檢視鼓與吸的變換氣閥是否鬆脫。
刀具導輪
每週
每週應做清潔潤滑乙次,保持導輪平整順暢,檢查固定螺絲是否鬆動。
量尺和頂PIN
以酒精擦拭清潔,並在滑塊與滑軌上黃油上乙次。
傳動齒輪鍵條
檢視齒輪和鍵條是否有異聲,振動和鬆脫及上黃油潤滑。
滑塊與滑軌
每二週
每週擦拭後上黃油乙次,並檢視滑行是否順暢和振動。
刀座移動滑塊
光學移動滑塊
毛刷
每月
檢查毛刷馬達是否有異聲和振動,皮帶是否裂痕和鬆動,並在軸承上黃油潤滑。
軸承
用黃油補充槍按壓2~3次,潤滑軸承。
機台
每月應做機台內、外部清潔和防銹工作。
切割不良判定及調整方式:
不良項目
狀態
可能原因
處理步驟
切割過深
切割高線很明顯或有玻璃絲產生
1.氣壓過大
2.刀輪不利
●1.1~0.7mm玻璃氣壓範圍:
0.3~0.5 kgf/cm
0.5~0.4mm玻璃氣壓範圍:
0.25~0.5 kgf/cm
●如氣壓尚在範圍內則調小氣壓值,再不行則更換刀輪。
無法裂片或不易裂片
用手難將玻璃扳開,或扳破裂
1.氣壓過小
2.刀輪不利
●將氣壓調大,如超過標準上限則更換刀輪。
無刀痕
沒有切割痕跡,無法裂片
1.刀座高度不正確
2.刀輪不轉動
●校正刀座下壓高度。
●檢查刀輪是否卡有異物,並用Airgun吹拭。
裂片時有突起或刀痕斷續
1.跳刀
2.刀輪轉動不順
●用Airgun吹拭。
●刀輪規律性斷續表示刀輪缺角,須立即更換新刀輪。
切割面不平整
切割斷面不平整,嚴重時呈波浪狀
2.高度不對
3.刀輪不利
●調小氣壓。
●調整刀座高度。
●更換新刀輪。
刀輪下刀點破裂
刀輪接觸玻璃就破裂
3.刀輪下刀點不對
●如切割0.5mm以下玻璃較易發生,故切割薄板時先將氣壓調小一點再作業。
●更換板厚時高度未調整好。
●刀輪下刀點不在玻璃上,須將校正原點修改尺寸設定。
3.6
其它注意事項
●開箱備料
1.備料人員開箱前須注意OPEN方向,開箱後檢查第一片玻璃Tin面是否正確,遇外側標示不明,應會同組長做確認並確實做到首片檢查。
2.搬運玻璃時,須協同兩人以上共同進行,避免在運送過程中玻璃傾倒,造成玻璃破裂。
3.未曾作業的新尺寸玻璃須與倉庫和工程人員確認浮法方向及切割片數。
4.未切完的玻璃要移動前,最好用木板固定。
●切割作業
1.切割人員拿取玻璃時,應做首片檢查確認Tin面是朝上,放置於切割台面,並靠緊藍色PIN點。
2.裂片人員首片檢查項目包括玻璃尺寸、切割狀態、刀輪氣壓值及確認切割機原點位置。
3.切割每半小時使用Air吹拭刀頭及刀軸,防止異物。
4.切割不佳時,可試調整切割刀輪分壓壓力,但以不超過0.5Kgf/cm2為準。
5.切割完成後再傳送,裂片未完成前不可再觸動傳送踏板。
6.更換刀輪時,須注意刀輪切割方向,切勿反置,避免切割不良。
7.切割裂片人員於操作時須穿載尼龍手套及手術手套及護目鏡,避免意外傷害。
8.玻璃切割深度依玻璃厚度不同須做調整,調整方式為刀輪接觸玻璃後再下刀,下刀深度如下所示:
1.1mm:
40條
0.7mm:
0.5mm:
20條
0.4mm:
9.更換刀輪、玻璃尺寸須由合格之操作人員為之,更換完畢後應立即填寫更換記錄表。
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