洁净室洁净度的测试方法Word文件下载.docx

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3.7置信度上限（UCL）upperconfideneelimit

从正态分布抽样得到的实际均值按给定的置信度（此处为95%）计算得到的估计上限将大于此实际均值，则称计算得到的这一均值估计上限为置信度上限。

3.8静态测试at-resttest

洁净室净化空气调节系统已处正常运行状态，工艺设备已安装，洁净室内没有生产人员的情况进行的测试。

工程施工质量竣工验收的测试为静态测试。

3.9动态测试operationaltest

洁净室已处正常生产状态下进行的测试。

4工艺过程方框图

图1工艺过程方框图

5测试方法

5.1方法提要

本测试方法采用计数浓度法，即通过测定洁净室内单位体积空气中含大于或等于某粒径的悬浮粒子数，来评定洁净室的悬浮粒子洁净度等级。

5.2仪器

检测仪器的选用：

应使用采样速率大于1L/min的光学粒子计数器,

在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力，粒子浓度适用范围和计数效率，仪表应有有效的标准合格证书。

5.2.1光散射粒子计数器使用要点使用仪器时应按照仪器说明书操作。

5.2.1.1仪器开机，预热至稳定后，方可按说明书的规定对仪器进行校正。

5.2.1.2采样管必须干净，严禁渗漏。

5.2.1.3采样管的长度应根据仪器的允许长度。

除另有规定外，长度不得大天1.5m。

5.2.1.4计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生测量误差。

5.2.1.5采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始连续读数。

5.2.1.6必须按照仪器的检定周期，定期对仪器作检定。

以保证测试数据的可靠性。

6测试规则

6.1测试条件

6.1.1送、回风系统，排风系统均能正常运转。

6.1.2送风量平衡风管系统风量已经测试与平衡。

总风量及各送风口风量均满足设计要求。

6.1.3压差空气洁净度不同的洁净室之间的压差满足设计要求，空气洁净度级别要求高的洁净室对相邻的空气洁净度级别低的洁净室一般要求呈相对

正压。

6.1.4温度和湿度

洁净室的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应（温度控制

在18C〜24C,相对湿度控制在45%〜60%之间为宜）。

6.1.5清洁工作

洁净室及全部风管系统清洁工作应完成且确认。

6.2测试状态

分静态测试和动态测试，测试报告中应标明测试时所采用的状态。

静态测试时，室内测试人员不得多于2人。

动态测试时，室内测试人员规定同静态。

6.3测试时间

6.3.1对单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min

后开始。

6.3.2对非单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于

30min后开始。

6.4采样点的规定

6.4.1最低限度的采样点数Nl（见表1）

表1最低限度的米样点数Nl

测点数

Nl

2

3

4

5

6

7

8

9

10

洁净区面积

2.1~

6.1~

12.1~

20.1~

30.1~

42.1~

56.1~

72.1~

90.1~

A（tf）

6.0

12.0

20.0

30.0

42.0

56.0

72.0

90.0

110.0

注：

1在水平单向流时，面积A为与气流方向呈垂直的流动空气截面的面积。

2最低限度的采样点数

Nl=A0.5计算（四舍五入取整数）。

642采样点应均匀分布于整个面积内，并位于工作区的高度（或距地

平0.8m的水平面），或设计单位、业主特指的位置。

643米样点布置图列

洁净室采样点布置力求均匀，避免采样点在基本局部区域过于稀疏。

F列采样点图示可作参考。

•为采样点。

6.5采样量的确定

（1）每次米样的最少米样量（见表2）

洁净度等级

粒径

（卩m）

0.1

0.2

0.3

0.5

1.0

5.0

24

680

68

——

（L）

表2每次米样的最少米样量VS

（2）每次米样的最少米样时间为1min,米样量最少为2L。

（3）每个洁净室最少采样次数为3次。

当洁净室仅有一个采样点时，则在该点至少采样3次。

6.6检测采样的规定

6.6.1采样口处的气流速度应尽可能接近室内的设计气流速度。

6.6.2对于单向流，计数器采样管口朝向应正对气流方向，对于非单向流采样管口宜向上。

6.6.3布置采样口时应避开回风口。

6.7测试人员的规定室内的测定人员必须穿洁净工作服，且站立在采样口的下风侧。

7高效过滤器检漏测试

7.1适用范围

本条主要适用于5〜6级洁净室内的高效过滤器。

7.2测试目的验证高效过滤器及安装质量。

7.3使用仪表

同4.2条。

7.4测试方法

在高效过滤器下风侧距高效过滤器20〜100mm处沿整个过滤器的表面、边框进行扫描，扫描速度取5〜20mm/s。

对计数突然递增的部位进行定点检验，确认泄漏部位为过滤器本身的，应调换；

泄漏点为边框处的，则进行重新安装或堵漏并进行复测，直至不泄漏

3）

5）

8结果计算

悬浮粒子浓度的采样数据应按t分布或下述步骤作统计计算：

8.1采样点的平均粒子浓度

Ci+C2+…+Cn

A=――――――――

N

式中：

A——某一采样点的平均粒子浓度，粒/m3；

Ci――某一采样点的粒子浓度（i=1,2,…,N），粒/m3；

N――某一采样点上的采样次数，次。

8.2平均值的均值

A1+A2+•••+Al

M=―――――――――

L

M――平均值的均值，即洁净室的平均粒子浓度，粒/m3;

Ai――某一采样点的平均粒子浓度（i=1,2,…,L）,粒/m3

L――某一洁净室内的总采样点数，个。

8.3标准误差

（Ai—M）2+（A2-N）2+…+（Al—N）20.5

SE=

L（L－1）

SE——平均值均值的标准误差，粒/m3。

8.4置信度上限

UCL=M+ixSE

UCL——平均值均值的95%置信度上限，粒/m3

95%置信度上限的i分布系数，见表3

表395%置信度上限的i分布系数

采样点数

>

i

6.31

2.92

2.35

2.13

2.02

1.94

1.90

1.86

当米样点数多于9点时，不需要计算UCL。

9结果评定

判断悬浮粒子洁净度级别应依据下述二个条件。

9.1每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限,即Ai＜级别界限。

级别界限见表4。

表4洁净度等级及悬浮粒子浓度限值

大于或等于表中粒径D的最大浓度Cn（pc/m3）

0.1卩m

0.2卩m

0.3卩m

0.5卩m

1.0卩m

5.0卩m

100000

23700

10200

3520

832

29

1000000

237000

[102000

35200

8320

293:

352000

83200

2930

3520000

832000

29300:

35200000

8320000

293000

9.2全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%置信度上限必须低于或等于规定的级别界限，即UCLw级别界限。

附录A

（规范性附录）

净化空调系统测试报告

建设单位

施工单位

区域

系统名称

系统编号

检测依据

委托单编号

报告编号

施工技术员

房间

编号

用途

洁净度（粒

/m）0.1

/m3）0.2卩

m

/m）0.3pm

/m）0.5pm

/m3）1pm

/m3）5pm

设计

值

实测

备

注

建设单位或监理单位（章）

检测单位（章）

检测人员：

年

月

日

现场代表：

审核：

年月日

批准：

“备注”一栏中应填入测试的人数

附录B

净化空调系统洁净度测试原始记录

房间编号

房间用途

测点代号

备注

附录C

咼效过滤器检漏记录表

测试结果

房间名称

附录D

洁净度测试测点布置图

建设

单位

工程

系统

名称

调试

人员

日期