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(四)电子特气在太阳能电池领域的应用........................................................12
三、供给端:
全球垄断依旧,国内国产化前景广阔..........................15
(一)全球电子特气市场—寡头垄断,聚焦亚洲............................................15
1.跨国公司垄断全球电子特气市场................................................................................15
2.国际龙头企业聚焦亚洲市场........................................................................................15
(二)国内电子特气市场:
外企垄断松动,国产化趋势渐起........................16
1.国内电子特气市场被国外企业垄断............................................................................16
2.技术突破叠加政策驱动,电子特气迎来国产化........................................................17
电子特气是重要的半导体产业原料,应用广泛。
电子特气是指用于半导体及相关电子产品生产的特种气体,种类繁多,半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有超过30种。
电子特气广泛应用在集成电路、LCD、PCB、太阳能电池、光纤生产等领域。
未来伴随电子器件的精密度不断提高,电子特气纯度要求更将加严格。
受益半导体产业转移,特气下游需求长期景气。
目前,我国正在承接第三次全球半导体产业转移,电子特气下游需求高速增长。
(1)集成电路领域:
IC是半导体产业的支柱,产值占比最高,政策扶植下我国IC产业正高速成长,根据《国家集成电路产业发展推进纲要》规划,2015-2020年我国集成电路销售额年均增速将保持在20%左右,预计2020年将达到8700亿元;
(2)平板显示领域:
全球液晶面板产能正由日韩向中国转移,“十三五”期间国内厂商出货量将显著扩张;
(3)LED领域:
LED照明作为第四代照明光源,具备低碳环保优势,国内渗透率不断提高;
(4)太阳能电池领域:
太阳能作为清洁的可再生能源发展前景广阔,有望带动电子特气的需求空间。
跨国巨头垄断全球特气市场,亚洲市场成长迅速吸引聚焦。
全球电子特气市场主要被空气化工、法国液空等国外龙头企业垄断。
目前亚洲凭借巨大的市场需求和资源成本优势已发展成为世界电子工业的供输心脏,是全球半导体上游原料的主要消费区域。
在此影响下,国际特气巨头开始聚焦亚洲市场。
政策驱动+技术突破,电子特气国产化进展有序。
电子特气行业技术壁垒较高,我国起步较晚,根据特种气体行业资讯统计,国内近80%的市场份额被国外企业垄断。
近年来,我国半导体产业的迅速崛起为电子特气行业的发展提供了有利条件,加之政策驱动和技术突破下,国内电子特气国产化进展有序,目前国内部分电子特气企业已经具备大规模生产能力,硅烷、高纯氨、氢氟酸、氯气、砷烷等特气市场也已逐步打开。
一、电子特气行业简介
(一)电子特气的概述和分类
电子特种气体种类繁多,是电子工业重要的原材料之一。
电子特气是指用于半导体及相关电子产品生产的特种气体,其按不同的应用途径可以分为掺杂用气体、外延用气体、离子注入气、发光二极管用气、刻蚀用气体、化学气相沉积气和平衡气等。
在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有超过30种。
(二)电子特气纯度提升是关键,国内纯度仍有待提升
电子特气的纯度对半导体及相关电子产品的生产至关重要。
电子特气中水汽、氧等杂质组分易使半导体表面生成氧化膜,影响电子器件的使用寿命,含有的颗粒杂质会造成半导体短路及线路损坏。
而伴随半导体工业的不断发展,产品的生产精度越来越高。
以集成电路制造为例,其电路线宽已经从最初的毫米级,到微米级甚至纳米级,对应用于半导体生产的电子特气纯度亦提出了更高的要求。
电子特气纯度提升的影响因素较多,难度较大。
电子特气纯度的提高,能够有效提高电子器件生产的良率和性能。
但电子特气纯度提升的影响因素较多,主要包括三个方面:
(1)气体的分离和提纯;
电子特气的分离和提纯方法原理上可分为精馏分离、分子筛吸附分离以及膜分离三大类,在实际提纯分离过程中,为了达到更好的分离效率,往往会利用多种分离方法进行组合,工艺更为复杂。
(2)气体杂质检测和监控。
随着电子特气的纯度越来越高,对分析检测方法和仪器提出了更高的要求,检测限从最早的ppm级已经发展到ppt级。
目前国外电子气体的分析己经经历了离线分析、在线分析(on-line),原位分析(insitu)等几个阶段。
对于高纯度电子气体的分析,国外已开发出系统完整的分析测试方法和现场分析仪器。
而由于我国电子特气行业一直重生产而轻检测,因此分析方法和分析仪器同国外厂商相比都比较落后。
(3)气体的运输和储存。
高纯电子特气得来不易,在储存和运输过程中要求使用高质量的气体包装储运容器、以及相应的气体输送管线、阀门和接口,确保避免二次污染。
而我国加工工艺的整体落后以及不符合国际规范,市场主要被国外公司占据。
国内电子特气纯度仍有待提升。
目前国外电子特气的纯度一般在6个“9”(即99.9999%),而国内多在4—5个“9”之间,少数能达到6个“9”。
下游应用广泛,受益半导体产业转移
受益半导体产业转移,我国电子特气行业将迎历史发展良机。
半导体产业于上世纪五十年代起源于美国,之后共经历了三次大规模产业转移。
第一次是在1970s末期,从美国转移到了日本;
第二次是上世纪八十年代末期至九十年代初,产业从日本转移到了韩国、中国台湾和新加坡等地;
二十一世纪以来,我国由于具备劳动力成本等多方面的优势,加之在政府的大力支持下,正在承接第三次大规模的半导体产业转移。
而电子特气作为半导体产业重要的原料之一,广泛应用于集成电路、LCD、LED以及太阳能电池等领域,有望迎来历史发展良机。
(一)电子特气在集成电路行业中的应用
电子气体主要用于集成电路的制造环节。
半导体根据其制造技术及应用不同主要分为集成电路(IC)、光电子、分立器件(TR)、传感器等,其中集成电路产值占比最大,是电子信息产业的基础性核心产业。
集成电路按照生产流程可以分为IC设计、IC制造和测试封装三个主要环节,其中,电子气体主要用于集成电路的制造环节。
政策驱动,国内集成电路行业高速发展。
2014年国家发布了《国家集成电路产业发展推进纲要》并设立了集成电路产业投资基金,第一期投资基金总规模1200亿元,超过过去10年国家对集成电路产业的投入。
刺激因素下,我国集成电路产业近年来保持高速增长。
根据《国家集成电路产业发展推进纲要》规划,我国集成电路销售额年均增速将保持在20%左右,预计2020年将达到8700亿元。
下游需求拉动下,我国半导体用电子特气市场稳步增长。
据相关文献统计,2015年我国集成电路用电子特气市场规模已达到32.8亿元,同比增加近20%左右,假设增速保持稳定,预计到2020年,国内集成电路用电子特气市场规模将达到81
亿元。
(二)电子特气在LCD行业中的应用
电子特气主要应用于成膜和干刻工艺。
液晶显示器分类种类较多,其中TFT—LCD的反应时间快、成像质量高,且成本逐渐降低,是目前应用最广泛的LCD技术。
TFT-LCD面板的制造过程可分为三大阶段:
前段阵列工(Array)、中段成盒工序(Cell)以及后段模块组装工序(Module)。
电子特气主要应用于前段阵列工序的成膜和干刻阶段,经过多次成膜工艺分别在基板上沉积SiNx非金属膜以及栅极、源极、漏极和ITO等金属膜。
随着国产终端品牌的逐渐崛起,全球液晶面板产能持续从日本、韩国和台湾向大陆转移,国内厂商出货量份额有望不断攀升。
WitsView数据显示,2010年,国内厂商在电视、显示器、笔记本电脑和平板电脑LCD面板的出货量份额分别仅为1%、10%、2.9%和0.4%,而到2016年则分别增长至31.3%,24.5%、23.8%和25.3%。
国内LCD供给面积亦稳步增长,根据产业信息网预测,2017年国内LCD供给面积达到1.8亿平方米,到2019年有望达到2.0亿平方米。
(三)电子特气在LED照明中的应用
电子特气主要应用于LED外延片和芯片的制作过程。
LED是发光二极管的简称,是一种新型的半导体固体发光器件,具有发光率高、光线质量好、能耗低、安全环保等优点,是新一代照明光源及绿色光源,其主要生产流程包括:
外延片生长、芯片加工以及封装应用。
电子特气主要应用于与外延片生长和芯片加工环节。
国内LED照明产品渗透率不断提高,加之“十三五”期间城镇化进程加速,LED市场规模有望稳步增长。
LED下游应用市场主要集中在通用照明领域。
据LEDinside数据显示,2016年国内LED照明产品渗透率达42%,同比增长10%,但较日本等发达国家仍处于较低水平,提升空间较大,加之“十三五”期间城镇化进程加速,LED市场规模将稳步增长,有望持续拉动电子特气需求。
(四)电子特气在太阳能电池领域的应用
太阳能电池是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片,由于太阳能是可再生的清洁能源,太阳能电池具有广阔的发展前景。
电池片是太阳能电池的核心组件,目前,主流的太阳能电池片分为晶体硅电池片和薄膜太阳能电池片。
电子特气在二者的生产过程中均扮演着重要角色。
我国太阳能光伏装机容量快速增长,2016年全球近半成新增光伏装机容量由中国贡献。
2016年,全球新增光伏装机容量75.09GW,其中,中国新增光伏装机容量34.54GW,占比高达46%。
中国累计光伏装机容量78.07GW,增速高达79.35%。
近年来,我国太阳能光伏装机容量全球占比快速提升,2016年达到25%,新增装机和累计装机容量均为全球第一。
工信部2017年3月2日公布数据称,
2016年我国光伏产业总产值达到3,360亿元,同比增长27%。
国家能源局2017年7月21日发布公告称,2017H1全国光伏发电量518亿千瓦时,同比增长75%。
在全球能源革命趋势下,太阳能凭借其清洁、安全、可再生等优势发展前景较好,有望带动电子特气的需求空间。
受益下游需求多点开花,国内电子特气市场规模有望稳步增长。
2015年国内电子特气市场规模达到85亿元,同比增速15%左右。
伴随下游集成电路、液晶显示、LED以及太阳能电池等行业持续高增长,电子特气市场规模有望稳步提升。
全球垄断依旧,国内国产化前景广阔
(一)全球电子特气市场—寡头垄断,聚焦亚洲
1.跨国公司垄断全球电子特气市场
目前,电子特气从生产到分离提纯以及运输供应阶段都存在较高的技术壁垒,市场准入条件较高,被几家跨国公司垄断。
美国空气化工、普莱克斯、德国林德集团、法国液化空气、日本大阳日酸株式会社等公司占据了全球电子特气90%以上的市场份额。
2.国际龙头企业聚焦亚洲市场
目前亚洲已成为世界电子工业的供输心脏,全世界大约4分之一的芯片制造设施位于台湾,日本和韩国一直是全球电子产业的主要输出国,加之中国半导体行业近几年也开始崛起,亚洲将成为半导体材料的主要消费区域。
林德公司16年年报显示未来公司电子业务的80%将源于亚洲,法国液空公司虽然整体电子业务收入占比仅有9%,
但是在亚洲区域电子业务收入占比达到27%,可以看出其亚洲地区的电子业务更为活跃,也是公司整体电子业务的主要增长点。
外企垄断松动,国产化趋势渐起
1.国内电子特气市场被国外企业垄断
国内电子特气企业技术与外资仍然存在明显差距,电子特气市场被外企垄断,根据特种气体行业资讯统计,美国气体化工、美国普莱克斯、日本昭和电工、英国BOC公司、法国液化空气以及日本酸素等外企占据了国内80%左右的市场。
2.技术突破叠加政策驱动,电子特气迎来国产化
政策方面:
2013年“高纯电子气体研发及产业化”项目,正式立项列入国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家重大科技专项(02专项)。
日前,工信部网站公布《重点新材料首批次应用示范指导目录(2017年版)》,电子特气入选首批重点新材料应用示范指导目录。
电子特气对国家战略发展的重要性也已得到政府层面的高度重视。
技术方面:
伴随国内科研院所和特气企业不断的投入以及研发,中国终于结束国产电子气体无法大规模批量稳定使用的历史,以硅烷、高纯氨、氢氟酸、氯气、砷烷等为代表的国产电子特气,逐渐开始渗透国内市场,相应的生产厂家也不断涌现:
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