PECVD软件操作手册Word格式文档下载.docx
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5.4参数……………………………………………………………………………………………17
5.4.1系统参数…………………………………………………………………………………17
5.4.2工艺反应仓参数……………………………………………………………………………18
5.4.3气体系统参数……………………………………………………………………………19
5.5工艺处方………………………………………………………………………………………21
5.6趋势……………………………………………………………………………………………22
5.7草案……………………………………………………………………………………………22
5.8遮罩控制………………………………………………………………………………………23
5.9泵…………………………………………………………………………………………………22
5.10控制……………………………………………………………………………………………23
5.11手动传送………………………………………………………………………………………24
6服务…………………………………………………………………………………………………27
6.1测量点……………………………………………………………………………………………28
6.1.1主要分布…………………………………………………………………………………30
6.1.2机器节点…………………………………………………………………………………34
6.1.3微波………………………………………………………………………………………35
6.1.4传送系统…………………………………………………………………………………36
6.1.5气体系统…………………………………………………………………………………37
6.2使用者管理………………………………………………………………………………………38
6.3登录和退出………………………………………………………………………………………40
6.4诊断(仅对质检人员)………………………………………………………………………42
7消息列表……………………………………………………………………………………………43
8故障表…………………………………………………………………………………………………45
1
介绍
1.1应用和使用
“SiNA”是一套用于控制表面涂覆系统的控制系统,该系统通过5个工艺仓来起到工艺流的控制功能。
以下所列出的就是对该系统的功能的大概介绍。
▶完全以图像形式反映系统的平面布置和目前工艺的顺序,同时还显示所有的设备状况指数和工艺条件。
▶完全图像化的趋势功能,以当前的数值作为工艺趋势的依据
▶批处理模式的数据记录
▶安全功能:
操作者登录和操作者管理
▶以下所列的操作模式:
逐一操作模式可以在完整工艺处方管理的条件下控制所有技术次步骤。
服务模式是针对所有的配套辅助系统,故障解决系统,机器参数控制配置
1.2软硬件的辨别
1.2.1硬件
SiNA系统的控制软件安装在工业PC机上(Celeron700MHz,128兆内存,20GB硬盘,3.5“FD,52倍速光驱,8兆显存,WindowsNT4.0EnglishServicePack6操作系统),并包括1个15英寸的彩色液晶屏和1个带触摸板的19寸键盘。
控制软件有两个连接外围设备的ET200M型接口,接口由SINECL2控制器,CP5613(ProfibusDP)整合在电脑上,它们根据纪录的工艺通道通过I/O部件扩展,PC电脑作为主控制器连接至双绞线。
等离子体发射源的驱动是通过电脑上的CANbus插卡(PCI331)实现的。
本地外围设备的ET200M——主要分配
指定
单元数量
分散外围系统ET200M(IM153)
1
S7-300数据输入SM321,独立位,16DI
2
S7-300数据输出SM322,16DO
S7-300数据模拟输入SM331,独立位,8AI
S7-300数据模拟输入SM331,独立位,2AI
S7-300前插口供信号模块使用
6
本地外围设备的ET200M——机器架(machinerack)
4
S7-300数据模拟输出SM332,4AO
8
Profibus地址分配
模块/网点
Profibus地址
PC电脑
主分配(ET200M)
3
机器架(ET200M)
涡轮增压控制器(TIC250)
10
Eurotherm2400加热器(硅片装载仓)
14
Eurotherm2400加热器(加热仓)
15
Eurotherm2400加热器(工艺反应仓)
16
电子管接线器1(FestoCPVDIO1)
18
电子管接线器2(FestoCPVDIO1)
19
MFC1(MKS1179As)
21
MFC2(MKS1179As)
22
MFC3(MKS1179As)
23
MFC4(MKS1179As)
24
MFC5(MKS1179As)
25
伺服系统马达1装载台(Lenz2133(8200/9300))
31
伺服系统马达2硅片装载仓(Lenz2133(8200/9300))
32
伺服系统马达3加热仓(Lenz2133(8200/9300))
33
伺服系统马达4工艺反应仓(Lenz2133(8200/9300))
34
伺服系统马达5工艺反应仓(Lenz2133(8200/9300))
35
伺服系统马达6冷却仓(Lenz2133(8200/9300))
36
伺服系统马达7冷却仓(Lenz2133(8200/9300))
37
伺服系统马达8硅片卸载仓(Lenz2133(8200/9300))
38
伺服系统马达19卸载台(Lenz2133(8200/9300))
39
CAN-Bus-网点地址分配
消息ID
消息回馈ID
微波1
11
91
微波2
12
92
微波3
13
93
微波4
94
微波5
95
微波6
96
微波7
17
97
微波8
98
1.2.2软件
控制和操作电脑的系统选择的是英文版的WindowsNT工作站4.0版带ServicePack6a。
向量模拟NT(VACNT)系统3.0版本的图像系统
▶所有数据均可图像可视化,设置点,工艺状况和用户输入
▶通过键盘和触摸板应用菜单控制工艺过程
▶选择功能的手工操作
▶用参数控制的自动操作
▶数据库控制和程序管理
▶事件控制消息纪录
▶工艺操作过程中记录工艺方案
▶诊断功能(I/O列表)
1.3主要部件的安装指南
SIMATIC外围设备的安装方法请参见系统操作手册中“本地外围设备ET200M”章节中的描述,(定购编号:
6ES7153-1AA01-8AA0)。
SINEC-L2的连接必须按照操作手册“CP5613”中的技术描述和安装指南。
2基本操作指南
该系统可以通过键盘和鼠标(触摸板)操作Windows,用户界面使用Windows标准的输入元素(数字和文字输入框,输入表),更多信息参见Windows操作手册。
2.1按钮
按钮是操作元素,其功能就像推钮,推钮以两种方式生效。
▶鼠标左键点击
▶重复按Tab键直到按钮颜色变亮,然后按Space键以启动该功能
2.2检验栏
检验栏就像开关一样,选中该功能就在检验栏后打勾
,不选中该功能就在检验栏后空白
。
▶用鼠标左键点击选框来打开或关闭该功能
▶重复按Tab键直到检验栏选框颜色变亮,然后按Space键以打开或关闭该功能
2.3输入和输出框
输入和输出框是方形的窗口专供输入和输出文字和数字(比如,手动操作模式下设置点,或为程序输入参数)。
输入框为白底色,输出框为彩色底色,它们具有多种功能。
标注文字:
▶按住Shift键,将光标移动过文字,光标经过之处的文字颜色变亮
▶按住鼠标左键,用鼠标将光标移动过文字
▶如果想使框中所有内容文字颜色变亮,可以用鼠标将光标移动到框上并用鼠标左键双击
删除文字:
▶点击框,按下Del键向右删除文字或者按下--键向左删除文字
▶在使文字变亮后,直接输入新的文字(覆盖原文字)或按下Del键去除文字,在按下Enter键后确认操作
注意:
框中内容输入后的确认有以下几种方式:
-以回车键完成输入
-光标点入其他目标,(其它框或标志)
-目标颜色不再变亮
2.4列表
列表是用来显示大量数据的元素,它在许多菜单中都有应用,(比如程序选择,用户管理等等),列表中所显示的选择按上下形式排列。
▶点击列表将其打开,光标目前所在位置颜色变亮,在列表中上下移动光标,选中目标后点击可以确认选择并关闭列表
▶重复按Tab键直到列表颜色变亮,之后按下Alt+向上键或者Alt+向下键以打开列表,使用箭头键改变选择,按下回车键确认选择并将列表关闭
2.5无线电按钮
无线电按钮总是成组出现,它们的作用就像多重选择测验,至少有一个选择项必须始终激活
,也就是说无线电按钮不能出现
2.6工具提示
当鼠标光标移动过一个物件并保持2秒钟时间,如果需要就将会出现一个工具提示框,其中将显示有用的提示信息。
3控制系统的开关(ON/OFF)
3.1开
打开开关时,操作系统和控制电脑将同时启动,在进行硬盘保护程序之后按下电源钮就可以启动电脑。
操作电脑启动后,屏幕上出现Windows的登录窗口,输入用户名“Operator”之后(不需要密码)按回车键,这样就启动了控制软件(双击桌面上的System图标)。
一旦登录程序完成,屏幕上就会出现系统的图表,同时屏幕下端的消息栏中将出现“系统已启动”(Systemwasstarted)的字样。
屏幕前方出现登录窗口供操作者输入用户名和密码。
3.2关
服务(Service)菜单中的关闭(Switch-off)按钮用来关闭应用程序,按下此钮后将出现以下所示的窗口:
图1程序结束提示窗口
在此窗口中确认关闭程序
关闭程序后目前正在进行的工艺反应和泵将关闭。
之后请按照Windows的标准程序关闭电脑,(开始——>
关闭——>
关闭)
该程序完成后,电脑屏幕上将出现一个信息告知可以关闭电脑或者重新启动。
主系统关闭后,就可以关闭系统的电路系统,切断电源。
具体请参见普通用户手册
4
功能描述和操作
在Windows系统下,用鼠标(触摸板)和键盘操作软件的方式是一样的,用户界面使用输入元素(输入文字和数据的输入框)是标准的Windows交互界面
图2屏幕上显示的结构
4.1
标题栏
图3标题栏
标题栏在屏幕上总是可见的并且显示日期、时间和系统的实际用户名。
标题栏的左边显示的是压力状况和冷却水的情况(蓝色——>
正常,黄色——>
缺失,红色——>
错误)
如果在标题栏中出现该图标,表示系统的操作处于服务模式(servicemode)
“旋转闪光灯”的颜色代表系统的不同状态(灰色,关闭状态——>
系统工作无错误;
绿色——>
服务开关启动;
黄色——>
警报,红色——>
错误信息)如果系统有警报/错误发生,信息栏中将具体描述警报/错误的形式。
“手形”图标表示的是“手动传送”功能已经启动。
4.2
动态菜单
该区域是用来显示与视图相关的菜单或子菜单,动态菜单的结构取决于所选择的显示方式和功能,在右边的图中显示的是标准功能下插入的动态菜单以及相关的子菜单。
图4动态菜单
4.3静态菜单
屏幕右下角显示的是静态菜单,它总是显示相同的选择。
图像区可以从系统视图转换成为服务视图,该菜单允许用户根据目前的模式和用户权限进入以下的功能。
系统
显示系统的总体情况,以及一般的系统功能(比如,传送,泵,安全罩控制)。
工艺
显示工艺仓具体的图形信息并控制特殊的工艺仓功能(比如工艺配方,泵,泄露测试)
气体系统
显示的是气体供应的具体图形信息并具有清洗气体通道的功能
服务
服务菜单包含有以下功能:
系统诊断,登录,退出,权限管理和关闭系统
停止
停止功能代表为所有技术工艺过程和泵提供的紧急停止功能
4.4图像区
图像区用来显示系统的不同总视图,以及各个工艺仓的图像,服务图像,信息列表,趋势显示,管理和设备设置的输入屏幕,各个工艺仓的工艺配方。
以下的章节中将具体介绍每个图像的信息和输入屏幕。
图6图像区
系统的状态以不同的颜色加以区分,显示数据的颜色和背景颜色都会相应变化,(比如,泵的标志,阀的标志)。
阀/MFCs和泵
灰色——>
关闭/停止(如阀关闭)
打开/开始(如阀打开)
打开和关闭以及开始和停止之间的过渡
红色——>
错误(如无法打开阀)
发光二极管(LED)
深绿色——>
没有激活(如功能没有激活)
淡绿色——>
激活(功能激活)
深红色——>
没有错误
淡红色——>
相关单元出现错误
开关之间的间隔时间
气体和水
白色——>
没有激活(如冷却水被关闭)
淡蓝色——>
激活(如压缩气体正常)
错误(如检测不到氮气的压力)
按钮
深灰色——>
功能可用
淡灰色——>
功能不可用
数字输入框
白色/深绿色——>
显示和输入设置值
彩色——>
显示实际数值
4.5消息行
消息文字
日期/当天的时间
消息行位于图像区的下方,横跨整个屏幕的宽度,消息行末端的“Q”给出的是工具提示消息,并至少有一条消息。
图7消息行
按下F7键或者用鼠标左键双击消息行显示所有的消息,关闭消息行可以按以下操作:
▶再次按下F7键或按下Alt+F4键
▶
用鼠标左键点击右上角或者“关闭”(Close)中的图标
▶双击消息列表
对于单独的消息内容来说按下F8键表示接受该消息,对于成组的消息内容来说按下F9键表示接受该消息。
5标准功能
5.1系统
软件启动后,整个系统的概略图就在屏幕上显示出来,同样在静态菜单中按下“系统”(System)钮也可以打开系统的概略图。
图8可视化系统
参数
用于改变设备的基本参数
趋势
显示所选择的工艺参数的在线趋势
方案
用于设计和删除方案的菜单
遮罩控制
用于打开和关闭反应仓的菜单
控制
用于开始一个工艺或载片器传送的菜单
图9动态菜单系统
真空泵
所有反应仓的真空泵的打开和关闭
手动传送
手动打开和关闭反应仓之间的隔门,载片器也可以逐步地传送
工艺反应仓技术
名字:
显示实际运行的工艺
状态:
关于目前正在运行的工艺的消息
载片器
载片器计数,如果一个载片器到达卸载仓中10号定位感应器的位置,就会加上一个载片器。
热敏电阻真空计(TPRvacuumgauge)LC(装载仓)和ULC(卸载仓)(mbar)
这两个热敏电阻真空计分别显示的是装载仓和卸载仓内的实际压力(HV——高真空,ATM——大气),压力的显示也可以变大,在真空计图标上点击鼠标右键,启动“显示”(Display)功能。
皮拉尼真空计(PKRvacuumgauge)PC(工艺反应仓)(mbar)
皮拉尼真空计显示的是工艺反应仓中实际的压力,该显示取决于气体类型并受到等离子体的影响(HV——高真空,ATM——大气)。
当气体经过通道2—5进入反应仓内时,皮拉尼真空计是关闭状态。
压力的显示也可以变大,因此用鼠标右键在压力表上点击以启动“显示”(Display)功能。
电容式真空计(Baratrongauge)(mbar)
在1mbar到1×
10¯
4mbar范围之内显示反应仓压力,该真空计的精确度较高并且不依靠气体。
如果压力值超出测量范围,电容式真空计将不显示任何数字。
装载仓、工艺反应仓和卸载仓的状态
每个工作仓都有三个不同的状态信息:
真空泵,传送和上升速度。
在显示面板上点击鼠标右键来选择三个选项。
举例:
显示装载仓的真空泵状态的面板
温度(º
C)
显示加热器的实际温度
在系统屏幕上,在任意一个马达标志上点击右键,就会显示所有传送部分的实际速度,相关的图像也可以通过在同一图标上点击右键来显示。
5.2
工艺反应仓
工艺反应仓的概况图像可以通过点击静态菜单(StaticMenu)中的“工艺”(Process)钮来显示,出现的对话框具体显示了工艺反应仓的运行状况的细节。
图10工艺反应仓
工艺配方
显示制作或编辑工艺配方
显示工艺反应仓的机器设定参数
工艺反应仓的真空泵可以被打开或关闭
启动一种工艺和载片器传送的菜单图11动态菜单——反应工艺
如果运行了一种工艺,同时操作者具有“在线参数权”(OnlineParameterright),那么个个单元中(微波功率,传送速度,预加热时间和温度,VAT控制器的位置或反应压力)的给定值可以被改变。
在数值框中右键点击数值(深绿色背景)激活“在线参数”。
这样就可以在白色输入区输入数值,以同样的方式也可以解除“在线参数”的激活状态。
名称:
运行工艺状态的信息
显示1—5气体通道的实际气流量
等离子体发射源1,2,3,4
右面微波功率的实际值
发射源状态行
左面微波功率的设定值
重新设置目前的错误状态
左右微波的错误信息(普通,高电压,磁电管冷却)
右面微波反射功率的实际值
右面微波功率的设定值
左右微波的状态(主要,微波开,互锁,磁电管加热器开)
左面微波反射功率的实际值
左面微波功率的实际值
右键点击状态行可以显示等离子体发射源的操作时间和选择重设时间为零。
皮拉尼真空计(PKRvacuumgauge)(mbar)
皮拉尼真空计显示的是工艺反应仓中实际的压力,该显示取决于气体类型并可能受到等离子体的影响(HV——高真空,ATM——大气)。
压力控制
反应工艺仓的压力通过VAT控制器进行调节校准,VAT控制器的工作范围为0—100%。
关闭(Off)——>
解除压力控制功能,
VAT控制器处于全部打开状态
位置(Pos.)——>
VAT控制器处于摄制的位置,
范围为0—100%
压力(Pres.)——>
VAT控制器通过在0—100%范围内
自动打开来控制工作仓内的压力至设定的压力值
加热器
打开反应仓的VAT控制器后,第2、3加热器会自动启动处于待机状态。
定时(分;
秒)
显示设定和实际的预热时间,条状图形显示的是目前预热时间状态。
显示设定和实际的加热温度,在工艺配方中加热器处于开启状态。
相位(%)
显示1-3号加热器目前的实际相位。
传送运输
状态行:
显示传输的实际信息
速度(厘米/分钟
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- PECVD 软件 操作手册