Jonas redmann机械手操作规程文档格式.docx
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二、设备操作介绍:
操作面板:
操作面板主要由一个触摸屏和其下面的控制按键组成,我们可以通过对操作面板的控制来完成日常的生产。
下面主要对屏幕的不同控制界面进行介绍。
界面1:
自动控制界面
上方标题栏:
指示
MachineState(机器状态)
显示手动状态或自动状态或错误信息,当出现错误时,会出现红色闪动条。
UserLevel
(使用权限)
使用权限有6个等级,分别为:
Level1:
Operator
Level2:
Level3:
Technicaloperator
Level4:
Engineer
Level5:
Developer
Level6:
Administrator
不同的操作会需要不同的使用权限,6个等级除了第一级,其它都需要相应的密码。
各个等级密码的修改只有管理员才有权限,也就是必须进入第6级。
Format(版式)
显示硅片的尺寸
左侧输入模块:
按钮
AutomaticMode(自动模式)
点击此按钮,自动模式功能被调用。
ManualMode(手动模式)
点击此按钮,手动模式功能被调用。
Options(选择)
点击此按钮,服务模式功能被调用。
Administration(管理)
点击此按钮,管理员可以对各等级密码进行管理。
MachineState(机器状态)
可以调出机器状态页面。
States(状态)
点击此按钮,可以显示石英舟、装片盒以及装料卸料平台的状态。
Report(报告)
点击此按钮,可以显示错误记录等信息。
中间显示栏:
Events(事件)
显示最新的事件信息
Progress(进程)
显示进程
Information(信息)
显示进程中的数据信息
输入模块按钮:
QuickStop(快速停止)
点击此按钮,设备的所有动作将立刻停止。
(注:
打开安全门与点击快速停止按钮功能一样)
InitialPosition(初始位置)
点击此按钮,可也对设备进行初始化。
初始化会使机械手张开,在进行此操作前一定要确保机械手上没有硅片)
SpecialFunctions(特殊功能)
点击此按钮,将调出特殊功能页面。
平时操作很少用到此功能)
Start(开始)
点击此按键,自动模式将会运行。
Stop(停止)
点击此按键,设备在完成某一进行的动作后将会停止,注意与QuickStop按键区别。
界面2:
特殊功能界面
输入与显示模块:
选项
Everyjobstarthastobeacknowledged
选择此选项后,每次工作的开始将需要操作者的允许。
Everyjobendhastobeacknowledged
选择此选项后,每次工作的结束将需要操作者的允许。
Backwards(退出)
点击此按钮,将回到自动模式页面。
显示硅片装载和卸载的百分数进程。
显示状态信息和请求信息。
界面3:
机器状态界面
ActualState(实际状态)
显示机器当前的状态。
EngineeringTime(工程时间)
Non-scheduledTime()
点击此按钮退到之前的一页。
界面4:
石英舟界面
石英舟的状态可以通过对触摸屏的点击来改变。
绿色硅片代表扩散前硅片,黑色硅片代表扩散后硅片。
输入与显示:
Arrowup(上箭头)
Arrowdown(下箭头)
点击此箭头按钮,将调出之前的数据记录,从而观察石英舟之前的状态。
点击此按钮,回到自动模式页面。
点击此按钮,进入Report页面。
DELETE(删除)
点击此按钮,所有的状态将被清除。
界面5:
装片盒界面
装片盒的状态同样也可以通过对触摸屏的点击来改变,类似于石英舟的状态。
点击此按钮,转到自动模式页面。
点击此按钮,转到报告页面。
界面6:
报告界面
AcknowledgeErrorBuffer
(确认错误缓冲器)
点击此按钮,确认所有给出的错误报告,所有错误报告将在本页面清除。
AcknowledgeSingleError
(确认单个错误)
点击此按钮,确认单个的错误报告,被选择的错误报告将在本页面清除。
ErrorRepory(错误报告)
点击此按钮,转到ErrorReportye页面。
History(历史)
点击此按钮,显示历史错误报告。
LeaveReport(离开报告)
硅片的装载:
CarrierInput(装片盒加载):
在生产过程中,当按下Start后,机器就会判断是否存在装片盒。
片盒的装载-卸载
平台的两个白色按钮就会点亮,相应的提示信息就会在屏幕上显示。
界面7:
读者界面
在Options选项中有一个Reader的子选项,“Transponderactive”这个选项可以控制设备是否对装片盒的ID号进行判断,打上对钩标识允许判断,在这一情况,设备会对每一个装片盒的ID进行记录,如果没有ID号的话,就会报警,此时需要操作者手动输入一个任意的四位号码;
没有对钩表示设备不对其进行判断。
页面8:
硅片规格页面
在Options选项下的WaferFormat页面可以对硅片的规格进行选择,125*125,156*156。
界面9:
语言选择界面
在Options选项下的SelectionofLanguage页面可以对语言进行选择,分别为英语和德语。
界面10:
管理界面
在这一页面可以对1到6级的密码进行修改,但这一页面只有管理员才能进入。
在日常生产中,我们会遇到很多意想不到的问题,此时自动模式无法运行,对设备进行初始化后往往还需要进行手动操作。
所以下面我们对手动模式进行一个介绍,重点是进行手动的装载与卸载,希望大家能够熟练掌握。
界面11:
伺服驱动页面
在这一页面,主要是对机械手各个伺服电机的行程位置进行调节,每个伺服电机都有许多不同的位置,每个位置都有一个精确的参数,而机械手正是依靠着这些精确的参数才能有条不紊的完成每个动作。
日常生产中我们不会用到这些内容,所以这里也不做详细的介绍。
界面12:
气缸页面
这一页面主要是对设备的各个气缸进行控制。
界面13:
直流驱动页面
这一页面可以对机械手的三个传送带CarrierInput、CarrierTransport、CarrierOutput进行控制,它们分别代表:
Input传送带、横向传动带、Output传送带。
蓝色左箭头:
向前传送
蓝色右箭头:
向后传送
STOP:
停止
下面三个页面就会涉及到对硅片的手动装载与卸载,也是我们的重点内容。
在进行手动装载或卸载时,首先需要我们把机械手设定在手动模式(ManualMode),然后打开安全门Door5,将装片盒放在横向传送带的最外侧。
注意,此时一定要确保装片盒与传送带最外侧的传感器接触,传感器点亮(黄色)说明已接触。
关好安全门,接下来的需要在屏幕上进行操作。
界面14:
Macris-CarrierChange页面
点击Start后传送带开始传送,页面中,25%,65%,100%分别代表着不同的速度。
当传送到位后需要我们进入States页面,对石英舟和装片盒的状态进行确认,看看状态是否与实际状态相同,如果不同的话需要手动修改。
保证状态正确后我们就可以进入下一页面了。
界面15:
Macros-QuartzBoatUnloading(石英舟卸载)页面
在这一页面,我们可以实现手动卸载的过程,也就是从石英舟到装片盒。
点击石英舟的A、B、C、D任意一个区域,然后再点击想要放到装片盒的某一区域——A区或B区,此时会出现一个从石英舟到装片盒的方向箭头,最后点击START,机械手就会做出相应的动作,动作完成后,重复上述操作,直至把装片盒装满。
待装满后进入CarrierChange页面,点击START,使装满的片盒通过传送带传送到最外侧,之后需要操作人员打开安全门取出装片盒,然后再在相同的位置重新放上装片盒,从而进行下一步任务。
手动卸载往往需要与装载配合使用,装载的操作过程基本和卸载相同,只是需要进入不同的页面。
界面16:
Macros-QuartzBoatLoading(石英舟装载)页面
具体操作过程与卸载类似,首先需要点击装片盒的某一区域,然后点击石英舟的某一区域,使界面上出现一个从装片盒到石英舟的方向箭头,最后点击START。
手动装载-卸载的注意事项:
1、操作之前必须打到手动,而且各个气缸都需要处于正确的位置,当无法确认是否在正确位置时可以对设备进行一次初始化。
2、横向传送带的最外侧是装片盒的初始和最终位置,在放装片盒和取装片盒时都是在这个位置,并且确保装片盒与外侧挡板处的传感器相接处。
3、进行手动操作前必须查看石英舟和装片盒的状态是否和实际状况相一致。
4、在选择区域时如果选择错误可以点击RESET,重新进行选择。
机械手动作过程中可以点击STOP使其动作停止。
三、常见报警信息及处理办法
错误信息
原因
处理方法
Carrierdosenotmatchtojob:
remove!
机械手抓起硅片无处可放
需要放一个空的装片盒
Doorcannotbelocked
安全门没关好
把门关上
安全门interlock故障
修理安全门interlock
SequenceTimeout
传感器错误
进行复位、求助调试人员
Overcurrent
短路
检查线路模块连接,进行检修
EmptycheckQuartzBaot,StateofpartXdiffersfromdatabase
数据库状态记录与监测到的实际状态不符
手动修改状态,然后点击continue
Timeoutcarriertransport
装片盒传送超时
手动取出装片盒,检查传送平台及传送带是否正常
Carrieroutputnotempty
Output平台已满
将挤满的装片盒取出
CombQuartzBoat,Targetpositionalreadyoccupied
Boatcompartmentcontainswaferresidue
传感器监测到石英舟中有碎片
检查时候有碎片,没有的话查看传感器时候正常工作
Finalpositionnotreached,MainStoppermovedout
装片盒被卡住,从而使其没有到位
检查装片盒是否变形,最后摆放好其位置
WaferbreakageincombunderCARdetected
传感器在comb处发现碎片
检查comb是否有碎片,取消报警继续即可
四、常用备件清单:
名称
产品型号
生产商
Inductivesensor(感应传感器)
BES516-3007-G-E4-C-PU
BALLUFF
BES516-377-S-49-C
Ind-sensor,M8x1,nb,St,3D,S,10-30VDC(感应传感器M8)
BES516-383-S49-C
cablewithconnectorM85m(M8连接电缆)
BKS-S-48-05
Cylinderswitch(气缸开关)
BMF303K-PS-C-2-PU-03
Reflectivelasersensor(激光反射传感器)
BOS26K-PA-1LQB-S4-C
Servomotor380VAC+encoder(380V伺服电机+译码器)
AM237M-0020
BECKHOFF
Servomotor380VAC+encoder+brake(380V伺服电机+译码器+制动器)
AM237M-0021
Servomotorconverter+sercos+AS(伺服电机)
AX2003-B750-0001
ProfibusDPbuscouplercompact
(Plc总线模块)
BK3150
KL14188-channeldigitalinputclamp24VDC
(24V8口输入线排)
KL1418
KL24088-channeldigitaloutputclamp24VDC
(24V8口输出线排)
KL2408
busterminal(总线终端)
KL9010
ElectronicautomaticcircuitbrakerESX10-T(线路自动控制保护器)
ESX10-TB-101-DC24V-1A
ETA
ESX10-TB-101-DC24V-2A
ESX10-TB-101-DC24V-3A
ESX10-TB-101-DC24V-4A
ESX10-TB-101-DC24V-6A
Midi-ventile/serviceunit
HEE-D-MIDI-24
Festo
Pressuresensor(压力传感器)
SDE5-D10-0-Q6E-P-M8
Opticalsensor(光学传感器)
FS-M1P(190133---37)
Keyence
Opticalfiber(光缆)
FU-77V(220401---98)
Three-phasemotorw.gear60w
(三相传动电机)
13.711.55.3.20
Lenze
Three-phasemotorw.gear90w
13.711.55.320
Frequencyconvertervector0,25kw230V(变频器)
E82EV251_K2C
FunctionmoduleforE8200Vector/DP
(E8200Vector/DP
功能模块)
E82ZAFPC010
Contactor3KW;
1O,DC24V,3P.,S00,SCRW(电流接触器)
3RT1015-1BB42
SIEMENS
Contactor4KW;
3RT1016-1BB42
Contactor5,5KW;
3RT1017-1BB42
Contactor11KW;
DC24V,3P.,2S2O,S0,SCR.(电流接触器)
3RT1026-1BB44
Capacitysensor(传感器)
SK1-1.5-M8-46-P-b-S-Y1
SIE-Sensorik
SK1-3-M8-46-P-b-S-Y1
SK1-4-M12-46-P-b-S-Y2
SK1-8-M18-46-P-b-S-Y2
Reedswitch(气缸传感器)
D-A73L
SMC
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