全玻璃太阳能集热管工艺操作规程文档格式.docx

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5.1.2内管清洗

5.1.2.1打开一次水阀门，对玻璃管进行充分浸润。

5.1.2.2执行以下操作步骤：

a.用绸子布蘸配比为1：

100（V/V）的洗洁净溶液擦拭内管，要求所有表

面必须擦到，擦洗过程中内管的外表面必须见到洗洁净白沫。

b.把擦洗好的内管逐支放入第一水槽内，用绸子布在水中均匀擦洗一遍。

c.然后再逐支放入第二水槽内涮洗干净，最后将洗净的管子管口向下逐支插在内管烘干车上。

5.1.2.3在清洗过程中，若发现内管的内壁有泥土、油污或其它污渍存在，则用专用工具逐支刷净，然后再重复5.1.2.2的操作。

5.1.2.4打开去离子水阀门，对放置在烘干车上的内管进行反复冲洗，让水流由上而下均匀流过每支管子，要求每个地方都充分冲洗到。

5.1.3外管清洗

5.1.3.1打开一次水阀门，浸润玻璃管的内、外壁，然后利用专用工具逐支将外管的内壁擦洗干净。

用绸子布将外管的外壁擦洗干净，再将外管逐支插在外管烘干车上。

5.1.3.2对插放在烘干车上的外管，用去离子水冲洗外管的内、外壁，要求外管的内、外壁都要充分冲洗到。

5.1.4换水

水槽内的去离子水每四小时更换一次。

5.1.5烘干

5.1.5.1技术要求

烘箱烘干温度控制为120℃±

10℃。

5.1.5.2准备

检查设备、供电正常后将烘箱内清理干净。

5.1.5.3操作步骤

a.将内、外管分别推进烘箱，每台烘箱内放置3辆小车。

b.关闭烘箱门，开启电源，仪表盘上绿色指标灯亮。

c.打开加热开关，开始加热，当温度达设定温度时，烘箱进入保温状态。

d.内管保温40分钟后，外管保温20分钟后断开加热开关，自然降温至80℃以下后，取出烘干管。

在烘干的过程中，应按要求填写《烘干操作记录》。

5.1.6产品经自检合格后转下工序。

6.2JT-700型镀膜机镀膜

6.2.1技术要求

6.2.1.1铝靶的直径≥60mm；

6.2.1.2压缩空气的压强应达到0.4～0.6Mpa；

6.2.1.3镀膜操作室的室温小于35℃，相对湿度小于70%RH；

6.2.1.4镀室内干净，无灰尘、异物。

6.2.2操作步骤

6.2.2.1准备

a.打开压缩空气阀门，检查空气压强是否达到0.4～0.6Mpa。

b.打开冷却循环水阀门，同时检查通水状况是否良好，各水管的接头和阀门有无泄漏。

c.检查氩气、氮气、两种气体的联接状况，看接头是否有泄漏。

d.分别打开氩气、氮气、两个气瓶的总阀，检查气瓶内压力。

氩气、氮气的高压表的显示值不得低于0.5MPa。

6.2.2.2开机

A.开启本机电源。

B.开机械泵同时压差电磁阀开、打开“前级阀”，等2分钟以后，开复合压强制仪电源，当电离计显示数值低于8Pa后开扩散泵，开“机械泵扩散泵”记录扩散泵加热时间。

1小时后正常工作。

C分别缓慢调节氩气、氮气、两个气瓶上的减压阀，使得氩气、氮气的低压表读数控制在0.1~0.2MPa之间。

D打开计算机电源，输入工艺卡片中规定的工艺参数。

E.扩散泵加热超过60分钟后，将阀档拨至“放气”位置，放气后由“放气”档拨至“停”位置，打开镀室门。

6.2.2.3装管

a.打开转架电源开关，将电压调至80±

10V之间，将合格内管插入转架插

杆。

装管时，预先戴好干净的一次性手套，外层再戴上干净细纱手套，戴好之后不许触摸其他物品，如门、车把、桌椅等。

b.玻璃管全部插满插杆后，观察每支管子的自转状态，确定玻璃管间无碰撞后，把旋转电压调零，关闭镀室门。

6.2.2.4粗抽真空

将阀档转换开关由“前级”至“停”拨至“粗抽”位置，2分钟后开复合压强控制仪电源，热偶计开始显示读数。

6.2.2.5精抽真空

当热偶计显示值达到8Pa后，将阀档转换开关由“粗抽”经“停”拨至“前级”至“高阀”，每档转换间隔应停顿10秒钟左右，使阀门充分关闭。

6.2.2.6清靶

a.当电离计显示打到工艺要求后，将阀档转换开关有“停”拨至“光栏”档，开氩气开关，把流量计打到“自动”“伐控”

b.将转架电压调至80±

10V之间。

c.当电离计显示运行压强时，开启磁控靶电源，然后调节电流旋钮至设定值，直至放电电压达400V以上。

6.2.2.7溅射镀膜

a.启动计算机，按下“运行”键。

b.当镀膜机处于溅射工作状态时，操作员随时观察设备的运行状况，注意各仪器仪表显示的数值变化，严格按要求填写《镀膜操作记录》。

6.2.2.8装配支架

a.装填支架前，检查支架清洗是否干净，焊接是否牢固。

b.装填支架必需使用专用工具并配戴一次性手套，装填时应避免划伤外管的内壁，支架装填到外管的圆头部，不得用手直接接触支架以免造成污染。

6.2.2.9终止溅射镀膜

当计算机显示层数为最末一层的2~1秒时，执行如下操作：

a.关闭靶和激磁电源，当镀室内真空度达到9.0×

10-3Pa以上后，将阀档转换开关由“高阀”档拨至“前级”，关复合压强控制仪电源，停顿10秒钟后将阀档转换开关由“停”拨至“放气”，打开镀室门后，再将阀档转换开关拨至“停”。

6.2.2.10出管

a.取管：

手握已镀膜管下部垂直往上提，使管口脱离转架轴，将镀膜管移出镀室。

b.内外管装配：

手握已镀膜内管，管口向上，管身竖直放入外管中；

放入

时应注意避免内管的圆头划伤外管内壁，使其轻缓下落，直至接触到支架。

内管装入外管后，按住内管端口往下轻压，使支架包住圆头。

6.2.2.11连续工作时重复6.2.2.3~6.2.2.10的操作步骤。

6.2.2.12产品经自检合格后，由操作工在内管管口部位印上工号，转下工序。

6.2.4关机

6.2.4.1在镀膜机停止工作前，先关镀室门，开“粗抽”阀，将镀室的真空度抽到8Pa以下。

6.2.4.2关“粗抽”阀，关“扩散泵”（即“扩散泵”开关拨至“机械泵”）。

6.2.4.3关闭两气总阀（高压、低压）。

6.2.4.4在扩散泵停止加热60分钟后，关机械泵（阀档转换开关拨至“停”）。

6.2.4.5关循环水，关电源总开关。

6.2.4.6设备关机后长期停放，则需放净水套及盘管内的循环水，并用高压空气吹干。

6.4封口。

6.4.1技术要求

封口时不应有黑烟燎到内管的表面或外管内壁。

6.4.2操作步骤

6.4.2.1开启电源开关，检查车床各部位的运转情况、支撑杆的同心度和弹簧卡片的固定情况等，保证车床处于完好状态。

6.4.2.2检查上工序转来的管子支架装配是否端正，管子是否完好，确定合格后，印上封口工号。

内管端面比外管端面长出2.5~3.5mm。

6.4.2.3将管子装夹到车床上，接上活三通空气管后，点燃车床灯，点燃时先开天然气后开氧气。

6.4.2.4先用软火对准封接部位进行预热，同时用压缩空气吹除管内的水汽，再把火焰调到合适的大小，烧熔内、外管的封接部位，然后用石墨铲翻接。

6.4.2.5封接后再用火焰对准内、外管封接处烧熔，并逐渐降低火焰温度，同时一边吹空气一边用石墨铲整形，使接口圆滑。

6.4.2.6封口后取下活三通空气管，取下封好的全玻璃太阳能集热管，放在周转小车上，层与层之间加垫橡胶垫,加垫橡胶垫时应注意加垫的位置，防止管口温度过高，以免烫坏橡胶垫。

如发现封口后管内水汽大，必须用机械泵抽掉水汽。

6.4.3关机

玻璃车床在长时间不用时，应先将灯头的火焰关掉，等支撑杆完全冷却后方可将车床电源关掉，关机时先关氧气后关天然气。

6.4.4产品经自检合格后转下工序。

6.5电退火

6.5.1操作步骤

6.5.1.1根据全玻璃太阳能集热管的规格调节好转架的高度。

在退火过程中，转速＜25分钟/转。

6.5.1.2开启电源开关，检查退火炉运转情况，无异常情况后，打开温度开关升温至设定温度值。

6.5.1.3待温度升至设定温度后，将上工序转来的全玻璃太阳能集热管逐支放置在退火炉上。

6.5.1.4全玻璃太阳能集热管在转架上旋转一周后，再逐支取下放在周转小车上，层与层之间要在管口部位垫好橡胶垫。

加垫橡胶垫时应注意加垫位置，以免烫坏胶垫。

6.5.2关机

全玻璃太阳能集热管全部离开第一温区后，关闭“温控一”电源，全玻璃太阳能集热管全部离开转架后，关闭“温控二”电源，然后关旋转电源，最后关闭总电源。

6.5.3产品经自检合格后转下工序。

6.6火退火

6.6.1操作步骤

6.6.2按下电源开关，开启电磁调速电机控制装置的电源开关，电机启动，转速＜400r/min转。

6.6.3开启天然气旋钮，点火应在气源的逆风。

缓慢开启空气阀门，对火焰进行初步调节。

对火焰进行调节时，最前和最后前两个工位温度稍低一些，缓冲温度的急升急降，减少管子的炸口。

6.6.4待温度升至设定温度后，逐支将封口的管子置于退火炉的传送架上。

6.6.5待全玻璃太阳能集热管离开退火区后，再逐支取下放在周转小车上，层与层之间要在管口部位垫好橡胶垫。

6.6.6关机

关电源，关天然气旋钮，关空气开关。

6.6.7产品经自检合格后转下工序。

6.7排气

6.7.1技术要求

6.7.1.1复合真空计的显示值：

p≤3.0×

10-3Pa。

6.7.1.2工艺参数执行工艺卡片中的规定。

6.7.2操作步骤

6.7.2.1打开循环水阀门，同时检查通水状况是否良好，各水管的接头和阀门有无泄漏。

6.5.2.2开启本机电源总开关，起动机械泵，检查机械泵运转是否正常，然后开启复合真空计电源。

6.7.2.3开扩散泵，预热时间超过30分钟后，方可进行排气操作。

6.7.2.4把烘箱升到排气台最高位置，并合上保险架，将上工序转来的管排放在台

面上。

6.7.2.5关闭三通阀和高阀，打开放气阀，对真空管道系统放气，并接上吹气胶管。

然后点燃手灯，把全玻璃太阳能集热管的排气管按次序接到排气台真空管道的玻璃管上。

6.7.2.6所有排气管接好后，关闭放气阀，打开三通阀，开始对全玻璃太阳能集热管抽真空。

6.7.2.7预抽1分钟以后，用高频火花检漏仪对排气管接口及对接部位检漏。

如果有漏管，关闭三通阀，对系统放气后再进行补漏。

6.7.2.8检查2～3次后确认没有漏点，且全玻璃太阳能集热管的夹层内电火花呈浅色荧光，真空达到7Pa~5Pa后关闭三通阀，开高阀抽真空，同时打开电离计。

6.7.2.9打开保险架放下烘箱，打开“温控电源”、“加热电源”及“真空报警”开关，开始升温。

6.7.2.10真空度高于8×

10-2Pa情况下，将温度升到415±

10℃，当保温达到规定的

时间后，若复合真空计的显示值仍为3.0×

10-3Pa，可按实际情况适当延长

保温时间。

保温过程中若出现炸管，立即关闭高阀，提升烘箱降温≤100℃

后重新按正常工艺操作。

6.7.2.11保温结束后，关闭“加热电源”，全玻璃太阳能集热管排气保温结束以后，关闭加热电源开始自然降温至≤380℃时，第一次提烘箱到第一保险架以上，打好保险；

第二次提烘箱到全玻璃太阳能集热管的一半；

第三次提到第二保险架打好保险；

每次间隔